JPS6028366B2 - 抵抗素子の調整方法 - Google Patents
抵抗素子の調整方法Info
- Publication number
- JPS6028366B2 JPS6028366B2 JP55110602A JP11060280A JPS6028366B2 JP S6028366 B2 JPS6028366 B2 JP S6028366B2 JP 55110602 A JP55110602 A JP 55110602A JP 11060280 A JP11060280 A JP 11060280A JP S6028366 B2 JPS6028366 B2 JP S6028366B2
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- resistance
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は抵抗素子の調整方法に関し、特に薄膜又は厚膜
の矩形抵抗素子をＬ字形にレーザ・トリミングする調整
方法に関する。
の矩形抵抗素子をＬ字形にレーザ・トリミングする調整
方法に関する。
一般に薄膜又は厚膜の矩形抵抗素子をレーザ・トリミン
グして抵抗値を調整するには、第１図Ａ乃至第１図Ｃに
示すような方法が行なわれる。
グして抵抗値を調整するには、第１図Ａ乃至第１図Ｃに
示すような方法が行なわれる。
第１図ＡはＬカットと呼ばれ電極２に取付けられた抵抗
素子１に、Ｌ字形の切欠き３を入れたものである。同図
Ｂは同様に抵抗素子１に１本の直線の切欠き３を入れた
ストレートカット、同図Ｃは抵抗素子１に直線の切欠き
３を入れたＳカットと呼ばれるものである。通常、抵抗
素子は電流の局所的な集中が少なく、又調整時の感度が
低い方が良いことから、矩形抵抗素子の調整はＬカット
によって行なわれる。このＬカットによる抵抗値調整方
法を第１図Ａを参照して説明すると、Ｗは抵抗素子１の
幅、Ｌは長さ、ＡはＬカットの垂直部分（以下Ａカット
）の長さ、Ｂは水平部分（以下Ｂカットの長さＣは電極
２からＬカット開始地点までの距離、Ｗはしーザ光線に
よる切欠き幅である。
素子１に、Ｌ字形の切欠き３を入れたものである。同図
Ｂは同様に抵抗素子１に１本の直線の切欠き３を入れた
ストレートカット、同図Ｃは抵抗素子１に直線の切欠き
３を入れたＳカットと呼ばれるものである。通常、抵抗
素子は電流の局所的な集中が少なく、又調整時の感度が
低い方が良いことから、矩形抵抗素子の調整はＬカット
によって行なわれる。このＬカットによる抵抗値調整方
法を第１図Ａを参照して説明すると、Ｗは抵抗素子１の
幅、Ｌは長さ、ＡはＬカットの垂直部分（以下Ａカット
）の長さ、Ｂは水平部分（以下Ｂカットの長さＣは電極
２からＬカット開始地点までの距離、Ｗはしーザ光線に
よる切欠き幅である。
Ｌカットにおいては、トリミング方向の９びの転換８９
点（以下折点）を決めるのは重要な問題で、従来、‘１
１折点までのＡカットの長さを、Ａ＝ＷＱ（Ｑ＝０．２
〜０．６）の式で表わされるように、抵抗素子１の幅か
ら決める方法と、｛２ー 目標抵抗値をＲｏ、Ｌカット
の折点の抵抗値をＲｔとしてて、ＲｔがＲｏの５０〜７
０％に達する地点を折点とする方法とがある。
点（以下折点）を決めるのは重要な問題で、従来、‘１
１折点までのＡカットの長さを、Ａ＝ＷＱ（Ｑ＝０．２
〜０．６）の式で表わされるように、抵抗素子１の幅か
ら決める方法と、｛２ー 目標抵抗値をＲｏ、Ｌカット
の折点の抵抗値をＲｔとしてて、ＲｔがＲｏの５０〜７
０％に達する地点を折点とする方法とがある。
しかしながら、抵抗素子１の初期値Ｒｉは抵抗膜の比抵
抗、膜厚パターン形成時のバラッキ等により、それぞれ
異なった値を示すので、前者の方法のようにＡカットの
長さを抵抗素子１の幅Ｗから、Ａ＝ＱＷ（Ｑ＝０．２〜
０．６）に固定すると、例えば、初期抵抗値Ｒｉが目標
抵抗値Ｒｏに近い抵抗素子では、トリミングの方向転換
が行なわれる前に、抵抗値Ｒｔが目標抵抗値Ｒｏに達し
てしまって、単なるストレートカットになり、折点付近
での電流の集中を生じて、素子の劣化を招く恐れがある
。又、初期抵抗値Ｒｉが目標抵抗値Ｒｏよりかなり低い
抵抗素子では、目標抵抗値Ｒｏに達する前にＢカットが
電極部２に到達してしまい。トリミングが終了しない場
合がある。後者の方法では、折点の抵抗値Ｒｔを目標抵
抗値Ｒｏの５０〜７０％に設定すると、例えば、初期抵
抗値Ｒｉが折点の抵抗値Ｒｔより大きい抵抗素子では、
ストレートカットとなりＬカットは行なわれない。従っ
て、本発明の目的は、従来のＬカットによる抵抗素子の
調整方法では、ストレートカットとなって、抵抗素子に
局所的な電流の集中を生じたり、抵抗値の未調整を招い
たりする欠点を除去して、確実にＬカットが行なわれ、
しかもＢカットの長さを、初期抵抗値にかかわらず一定
な長さとすることの出来る調整方法を提供することにあ
る。
抗、膜厚パターン形成時のバラッキ等により、それぞれ
異なった値を示すので、前者の方法のようにＡカットの
長さを抵抗素子１の幅Ｗから、Ａ＝ＱＷ（Ｑ＝０．２〜
０．６）に固定すると、例えば、初期抵抗値Ｒｉが目標
抵抗値Ｒｏに近い抵抗素子では、トリミングの方向転換
が行なわれる前に、抵抗値Ｒｔが目標抵抗値Ｒｏに達し
てしまって、単なるストレートカットになり、折点付近
での電流の集中を生じて、素子の劣化を招く恐れがある
。又、初期抵抗値Ｒｉが目標抵抗値Ｒｏよりかなり低い
抵抗素子では、目標抵抗値Ｒｏに達する前にＢカットが
電極部２に到達してしまい。トリミングが終了しない場
合がある。後者の方法では、折点の抵抗値Ｒｔを目標抵
抗値Ｒｏの５０〜７０％に設定すると、例えば、初期抵
抗値Ｒｉが折点の抵抗値Ｒｔより大きい抵抗素子では、
ストレートカットとなりＬカットは行なわれない。従っ
て、本発明の目的は、従来のＬカットによる抵抗素子の
調整方法では、ストレートカットとなって、抵抗素子に
局所的な電流の集中を生じたり、抵抗値の未調整を招い
たりする欠点を除去して、確実にＬカットが行なわれ、
しかもＢカットの長さを、初期抵抗値にかかわらず一定
な長さとすることの出来る調整方法を提供することにあ
る。
一般に、長さＬ、幅Ｗの矩形抵抗素子の抵抗値Ｒは、シ
ート抵抗値Ｒｓ、縦横比（＝Ｌ／Ｗ）をＮｓとすれば、
Ｒ＝Ｒ３‐声＝ＲＳＮＳ ‘１’ で表わされる。
ート抵抗値Ｒｓ、縦横比（＝Ｌ／Ｗ）をＮｓとすれば、
Ｒ＝Ｒ３‐声＝ＲＳＮＳ ‘１’ で表わされる。
この矩形抵抗素子がＬカットされた場合、シート抵抗Ｒ
ｓは変らないから、抵抗値戊′は、式‘１）と同様にＲ
＝ＲｓＮｓ′ ｛２１で表
わされ、このときＮｓ′（Ｒ′／Ｒｓ）は、通常等価縦
横比と呼ばれる。
ｓは変らないから、抵抗値戊′は、式‘１）と同様にＲ
＝ＲｓＮｓ′ ｛２１で表
わされ、このときＮｓ′（Ｒ′／Ｒｓ）は、通常等価縦
横比と呼ばれる。
Ｌカットされた矩形抵抗素子の等価縦横比は、数値解析
の手法としてよく知られた「緩和法」と呼ばれる電界分
布の計算手段によって求められることが知られているぐ
プロシーディングス オフ エレクトロニツクコンポー
ネンツ コンファレンス５６〜６２頁、１９７３年」（
ＰｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｃ
ｏｍｐｏ船ｎＧ Ｃｏｎにｒｅ比ｅ ｐｐ５６〜６２、
１９７３））。
の手法としてよく知られた「緩和法」と呼ばれる電界分
布の計算手段によって求められることが知られているぐ
プロシーディングス オフ エレクトロニツクコンポー
ネンツ コンファレンス５６〜６２頁、１９７３年」（
ＰｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｃ
ｏｍｐｏ船ｎＧ Ｃｏｎにｒｅ比ｅ ｐｐ５６〜６２、
１９７３））。
本発明の抵抗素子の調整方法は、薄膜又は厚膜の矩形抵
抗素子に、Ｂカットの長さが常に一定となるようにＬカ
ットを施した場合、緩和法により計算された折点の抵抗
値Ｒｆと初期抵抗値Ｒｉとの間には、Ｒｔ＝ＱＲｉ＋３
（Ｑ，８は定数） ‘３’なる直線関係が成立する
という性質に基づき、抵抗素子の初期抵抗値Ｒｉから、
折点の抵抗値Ｒｔを求め、Ｒｔに抵抗値が達した時、ト
リミング方向を転換してＬカットを行なうことを特徴と
する。
抗素子に、Ｂカットの長さが常に一定となるようにＬカ
ットを施した場合、緩和法により計算された折点の抵抗
値Ｒｆと初期抵抗値Ｒｉとの間には、Ｒｔ＝ＱＲｉ＋３
（Ｑ，８は定数） ‘３’なる直線関係が成立する
という性質に基づき、抵抗素子の初期抵抗値Ｒｉから、
折点の抵抗値Ｒｔを求め、Ｒｔに抵抗値が達した時、ト
リミング方向を転換してＬカットを行なうことを特徴と
する。
次に本発明による実施例を図面を参照して説明する。第
２図Ａ乃至第２図Ｄに本発明の一実施例を示す。第２図
Ａに長さＬが２，３５側幅Ｗが１．７肋、目標抵抗値Ｒ
ｏが３００Ｑの抵抗素子１に、Ｂカットの長さＢが一定
値値０．９肌になるように、電極２からトリミング開始
地点までの距離Ｃを０．４７５肋、レーザ光線による切
欠き幅Ｗを０．０５帆でＬカットを施す場合を示す。最
初に、矩形抵抗素子１のＢカット終了後の等価縦横比Ｎ
ｆ及びカット終了後の等価縦横比ＮｔをＡカット長が０
．２側から１．２側の間の６点について、前述の「緩和
法」により求めた。こられのＬカットによって目標抵抗
値Ｒｏが得られたとすれば、そのときの矩形抵抗素子１
のシート抵抗値Ｒｓは、式■よりＲｓ＝Ｒｏ／Ｎｆ
‘４１となる。
２図Ａ乃至第２図Ｄに本発明の一実施例を示す。第２図
Ａに長さＬが２，３５側幅Ｗが１．７肋、目標抵抗値Ｒ
ｏが３００Ｑの抵抗素子１に、Ｂカットの長さＢが一定
値値０．９肌になるように、電極２からトリミング開始
地点までの距離Ｃを０．４７５肋、レーザ光線による切
欠き幅Ｗを０．０５帆でＬカットを施す場合を示す。最
初に、矩形抵抗素子１のＢカット終了後の等価縦横比Ｎ
ｆ及びカット終了後の等価縦横比ＮｔをＡカット長が０
．２側から１．２側の間の６点について、前述の「緩和
法」により求めた。こられのＬカットによって目標抵抗
値Ｒｏが得られたとすれば、そのときの矩形抵抗素子１
のシート抵抗値Ｒｓは、式■よりＲｓ＝Ｒｏ／Ｎｆ
‘４１となる。
従って、このとき初期抵抗値Ｒｉは式‘１１，｛４はり
Ｒｉ＝ＲＳ‐声＝馬亭・寿 （５１となり、折点
抵抗値Ｒｔは式‘２１，‘４’よりＲｔ＝ＲＳＮｔ＝器
・Ｎｔ ｛６’となる。
Ｒｉ＝ＲＳ‐声＝馬亭・寿 （５１となり、折点
抵抗値Ｒｔは式‘２１，‘４’よりＲｔ＝ＲＳＮｔ＝器
・Ｎｔ ｛６’となる。
以上の結果よりＡカット長をバラメふく夕として、矩形
抵抗素子１のＮｆ及びＮｔの値と、式｛４’〜（６｝よ
り計算したＲｓ，Ｒｊ，Ｒｔの値を第１表に示す。
抵抗素子１のＮｆ及びＮｔの値と、式｛４’〜（６｝よ
り計算したＲｓ，Ｒｊ，Ｒｔの値を第１表に示す。
第１表
次にＲｉとＲｔの値をグラフ上にプロットすると、第２
図Ｂに示すように、Ｒｔ＝ＱＲｉ＋８なる直線関係が得
られたので、最小２乗法によりＱ及び８の値を決定し、
Ｒｔ＝０．５１５鰍ｉ＋１４０．６（Ｑ）
のを求めた。
図Ｂに示すように、Ｒｔ＝ＱＲｉ＋８なる直線関係が得
られたので、最小２乗法によりＱ及び８の値を決定し、
Ｒｔ＝０．５１５鰍ｉ＋１４０．６（Ｑ）
のを求めた。
なお、８カット長を変えた場合でも、Ｑ及びＢの値は異
なるが、Ｒｔ＝ＱＲｉ＋８なる直線関係は変らずに保持
された。
なるが、Ｒｔ＝ＱＲｉ＋８なる直線関係は変らずに保持
された。
トリミングはまず前記抵抗素子１の初期抵抗値Ｒｉを測
定し、上式から折点の抵抗値Ｒｔを算出した。次に前記
抵抗素子１の抵抗値を検出しながらトリミングを開始し
、その抵抗値がＲｔに達した時に、トリミング方向を９
００転換し、更に、前記目標抵抗値３０００になった時
点でトリミングを停止させた。第２図Ｃに前記抵抗素子
１の初期抵抗値Ｒｉが１０８．８０の場合のＬカットの
軌跡を示す。このとき折点の抵抗値Ｒｔは１９６．７０
、Ａカットの長さは１．２５肋であった。第２図Ｄは前
記抵抗素子１の初期抵抗値Ｒｉが２３２．６Ｑの場合の
Ｌカットの軌跡で、折点の抵抗値Ｒｔは２６０．６０、
Ａカットの長さＡは０．５０側であった。Ｂカットの長
さはいずれの場合も約０．９脚と一定値が得られ、調整
後の抵抗値も前記目標抵抗値３０００の土０．１％内に
入った。第３図Ａ乃至第３図Ｄに本発明による第二の実
施例を示す。
定し、上式から折点の抵抗値Ｒｔを算出した。次に前記
抵抗素子１の抵抗値を検出しながらトリミングを開始し
、その抵抗値がＲｔに達した時に、トリミング方向を９
００転換し、更に、前記目標抵抗値３０００になった時
点でトリミングを停止させた。第２図Ｃに前記抵抗素子
１の初期抵抗値Ｒｉが１０８．８０の場合のＬカットの
軌跡を示す。このとき折点の抵抗値Ｒｔは１９６．７０
、Ａカットの長さは１．２５肋であった。第２図Ｄは前
記抵抗素子１の初期抵抗値Ｒｉが２３２．６Ｑの場合の
Ｌカットの軌跡で、折点の抵抗値Ｒｔは２６０．６０、
Ａカットの長さＡは０．５０側であった。Ｂカットの長
さはいずれの場合も約０．９脚と一定値が得られ、調整
後の抵抗値も前記目標抵抗値３０００の土０．１％内に
入った。第３図Ａ乃至第３図Ｄに本発明による第二の実
施例を示す。
「第３図Ａに、長さＬが１．５肋、幅Ｗが２．５柵、目
標抵抗値Ｒｏが３９０の抵抗素子１に、Ｂカットの長さ
が一定値０．５豚となるように、電極２からトリミング
開始地点までの距離Ｃを０．３肋、レーザ光線による切
欠き幅Ｗを０．０５帆でＬカットを施す場合を示す。ま
ず最初に、第１の実施例の場合と同様な方法で、この矩
形抵抗素子のＡカット長が０．２５肌から１．７５帆の
４点につき、Ｎｆ，Ｎｔ，Ｒｓ，Ｒｉ，Ｒｔの値を算出
した。この結果を第２表に示す。第２表 次に、ＲｉとＲｔの値をグラフ上にプロットすると、第
３図Ｂに示すように、Ｒｔ＝ＱＲｉ＋８なる直線関係が
第１の実施例と同様に得られたので、最小２乗法により
Ｑ及び３の値を決定し、Ｒｔ＝０．２９３狐ｉ十２６．
８８（Ｑ） ■を求めた。
標抵抗値Ｒｏが３９０の抵抗素子１に、Ｂカットの長さ
が一定値０．５豚となるように、電極２からトリミング
開始地点までの距離Ｃを０．３肋、レーザ光線による切
欠き幅Ｗを０．０５帆でＬカットを施す場合を示す。ま
ず最初に、第１の実施例の場合と同様な方法で、この矩
形抵抗素子のＡカット長が０．２５肌から１．７５帆の
４点につき、Ｎｆ，Ｎｔ，Ｒｓ，Ｒｉ，Ｒｔの値を算出
した。この結果を第２表に示す。第２表 次に、ＲｉとＲｔの値をグラフ上にプロットすると、第
３図Ｂに示すように、Ｒｔ＝ＱＲｉ＋８なる直線関係が
第１の実施例と同様に得られたので、最小２乗法により
Ｑ及び３の値を決定し、Ｒｔ＝０．２９３狐ｉ十２６．
８８（Ｑ） ■を求めた。
なお、Ｂカット長を変えた場合でも、第１の実施例と同
様に、ＲｉとＲｔの直線関係は保持された。
様に、ＲｉとＲｔの直線関係は保持された。
トリミングは第１の実施例と同様な方法で行なった。第
３図Ｃに前記抵抗素子１の初期抵抗値Ｒｉが、１３．８
０の場合のＬカットの軌跡を示す。このときの折点の抵
抗値Ｒｔは３０．９０、Ａカットの長さＡは１．７５側
であった。第３図Ｄは前記抵抗素子１の初期抵抗値Ｒｉ
が３２．８０の場合のＬカットの軌跡で、所定の抵抗値
Ｒｔは３６．５０、Ａカットの長さＡは、０．５肌であ
った。いずれの場合もＢカットの長さは約０．５肌と一
定値が得られ、調整後の抵抗値も前記目標抵抗値３９０
の土０．５％内に入った。Ｂカット長を一定とした形状
の異なる矩形抵抗素子３の蓮以上について、第１及び第
２の実施例と同機の方法で、Ｎｆ，Ｎｔを計算しＬＲｔ
とＲｊの関係を求めたが、いずれもＲｔ＝ＱＲｊ＋Ｂな
る直線関係が得られた。
３図Ｃに前記抵抗素子１の初期抵抗値Ｒｉが、１３．８
０の場合のＬカットの軌跡を示す。このときの折点の抵
抗値Ｒｔは３０．９０、Ａカットの長さＡは１．７５側
であった。第３図Ｄは前記抵抗素子１の初期抵抗値Ｒｉ
が３２．８０の場合のＬカットの軌跡で、所定の抵抗値
Ｒｔは３６．５０、Ａカットの長さＡは、０．５肌であ
った。いずれの場合もＢカットの長さは約０．５肌と一
定値が得られ、調整後の抵抗値も前記目標抵抗値３９０
の土０．５％内に入った。Ｂカット長を一定とした形状
の異なる矩形抵抗素子３の蓮以上について、第１及び第
２の実施例と同機の方法で、Ｎｆ，Ｎｔを計算しＬＲｔ
とＲｊの関係を求めたが、いずれもＲｔ＝ＱＲｊ＋Ｂな
る直線関係が得られた。
従って、この直線関係は、Ｂカット長を一定としてＬカ
ットされた矩形抵抗素子の固有の性質であることが確か
められた。
ットされた矩形抵抗素子の固有の性質であることが確か
められた。
各実施例におけるＢカットの長さは、抵抗素子のパター
ン形成時のバラツキ、レーザ・トリミング装置の位置合
せ誤差、抵抗測定器等の原因によって、設定値からのズ
レを生じたが、いずれの場合においても、Ｂカットの長
さに対して無視出来る範囲内のズレであった。
ン形成時のバラツキ、レーザ・トリミング装置の位置合
せ誤差、抵抗測定器等の原因によって、設定値からのズ
レを生じたが、いずれの場合においても、Ｂカットの長
さに対して無視出来る範囲内のズレであった。
かかる方法で調整された抵抗素子は、不完全なＬカット
による局所的な電流の集中や、トリミング未終了等がな
く、確実にＬカットが行なわれ、しかもＢカットの長さ
が、初期抵抗値にかかわらず一定であった。
による局所的な電流の集中や、トリミング未終了等がな
く、確実にＬカットが行なわれ、しかもＢカットの長さ
が、初期抵抗値にかかわらず一定であった。
これは、本発明のＬカットによる抵抗値の調整方法が、
薄膜又は厚膜の矩形抵抗素子に、Ｂカットの長さが一定
となるようにＬカットを施した場合、初期抵抗値Ｒｉと
折点の抵抗値Ｒｔとの間には、Ｒｔ＝ＱＲｉ十８（Ｑ，
８は定数） なる直線関係があるという性質を応用して行なわれたた
めの効果と考えられる。
薄膜又は厚膜の矩形抵抗素子に、Ｂカットの長さが一定
となるようにＬカットを施した場合、初期抵抗値Ｒｉと
折点の抵抗値Ｒｔとの間には、Ｒｔ＝ＱＲｉ十８（Ｑ，
８は定数） なる直線関係があるという性質を応用して行なわれたた
めの効果と考えられる。
本発明のＬカットになる抵抗素子の調整方法では、Ｂカ
ットの長さを初期抵抗値によらず一定とすることが出来
るから、Ｂカットが電極に達しないようなバラッキの許
容範囲内で、Ｂカットの長さを長くすれば、そのとき、
その初期抵抗値における最も残りの幅の広いＬカットを
行うこと可能である。
ットの長さを初期抵抗値によらず一定とすることが出来
るから、Ｂカットが電極に達しないようなバラッキの許
容範囲内で、Ｂカットの長さを長くすれば、そのとき、
その初期抵抗値における最も残りの幅の広いＬカットを
行うこと可能である。
従って、本発明は、レーザ光線の抵抗秦子に及ぼす熱的
影響が最も少なくて、経時的に安定な抵抗素子を製造出
来る調整方法である。又、抵抗素子の面積を最も広くと
ることが出釆るので本発明が、許容消費電力の最大抵抗
素子の調整方法を提供出来るのはもちろんである。
影響が最も少なくて、経時的に安定な抵抗素子を製造出
来る調整方法である。又、抵抗素子の面積を最も広くと
ることが出釆るので本発明が、許容消費電力の最大抵抗
素子の調整方法を提供出来るのはもちろんである。
第１図Ａ乃至第１図Ｃは抵抗値調整を行う各種のカット
方法を説明する平面図であり、第２図Ａ乃至第２図Ｄは
本発明による一実施例を示す平面図であり、第３図Ａ乃
至第３図Ｄは本発明の他の実施例を示す平面図である。 図において、１・・・…抵抗素子、２・・・・・・電極
、３．．・．・・Ｌカットの軌跡である。弟′図 弟Ｚ図 努３図
方法を説明する平面図であり、第２図Ａ乃至第２図Ｄは
本発明による一実施例を示す平面図であり、第３図Ａ乃
至第３図Ｄは本発明の他の実施例を示す平面図である。 図において、１・・・…抵抗素子、２・・・・・・電極
、３．．・．・・Ｌカットの軌跡である。弟′図 弟Ｚ図 努３図
Claims (1)
- １ 薄膜又は厚膜の矩形抵抗素子を、Ｌ字形にレーザ・
トリミングして抵抗値を調整する方法において、前記Ｌ
字形トリミングにおけるトリミング方向転換地点から、
トリミング終了地点までの距離が、予め定められた一定
の値となるように、前記抵抗素子の初期抵抗値から前記
方向転換地点の抵抗値を求め、この抵抗値に前記抵抗素
子の抵抗値が達した時に、トリミング方向を転換してト
リミングすることを特徴とする抵抗素子の調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55110602A JPS6028366B2 (ja) | 1980-08-12 | 1980-08-12 | 抵抗素子の調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55110602A JPS6028366B2 (ja) | 1980-08-12 | 1980-08-12 | 抵抗素子の調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5735305A JPS5735305A (en) | 1982-02-25 |
| JPS6028366B2 true JPS6028366B2 (ja) | 1985-07-04 |
Family
ID=14540001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55110602A Expired JPS6028366B2 (ja) | 1980-08-12 | 1980-08-12 | 抵抗素子の調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6028366B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06287859A (ja) * | 1992-06-05 | 1994-10-11 | Sando Iron Works Co Ltd | 発色用特殊蒸熱装置 |
| CN106782951B (zh) * | 2017-01-23 | 2019-03-22 | 广东风华高新科技股份有限公司 | 薄膜热敏电阻的调阻方法及薄膜式热敏电阻的制造方法 |
-
1980
- 1980-08-12 JP JP55110602A patent/JPS6028366B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5735305A (en) | 1982-02-25 |
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