JPS5981832A - パタ−ン形成方法 - Google Patents
パタ−ン形成方法Info
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- JPS5981832A JPS5981832A JP57190865A JP19086582A JPS5981832A JP S5981832 A JPS5981832 A JP S5981832A JP 57190865 A JP57190865 A JP 57190865A JP 19086582 A JP19086582 A JP 19086582A JP S5981832 A JPS5981832 A JP S5981832A
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- ferrite
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2278—Application of light absorbing material, e.g. between the luminescent areas
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、カラー受像管のブラックマトリクス、光学図
形の複写およびリソグラフィーなどに適用可能なパター
ン形成方法に関するものである。
形の複写およびリソグラフィーなどに適用可能なパター
ン形成方法に関するものである。
従来、カラー受像管のブラックマトリクスは、フェース
プレート内面への感光性樹脂液の塗布、乾燥、露光、現
像、乾燥、カーボン分散液の塗布、乾燥、感光性樹脂膜
の剥離、乾燥の工程を経て形成されている。この方法に
は、工程が複雑であること、感光性樹脂の現像及び剥離
に多量の水を必要とすること等の問題点かめつ７ζ。
プレート内面への感光性樹脂液の塗布、乾燥、露光、現
像、乾燥、カーボン分散液の塗布、乾燥、感光性樹脂膜
の剥離、乾燥の工程を経て形成されている。この方法に
は、工程が複雑であること、感光性樹脂の現像及び剥離
に多量の水を必要とすること等の問題点かめつ７ζ。
本発明者等の一部のものは、先に特公昭５７−２０６５
１号においで、芳香族ジアゾニウム塩の光分解生成物が
粉体粒子受容能力をイｊノーゐというｉ；ｕ見に基づき
、露光により粘着性を生じる芳香族ジアゾニウム塩を含
む薄層を基体表面上に形成し、その薄層に粉体粒子を接
触せしめて、粘着性を生ぜしめた部分に粉体粒子を受容
せし７めた後残余の粉体粒子を薄層上から除去すること
を一回または二回以上繰り返し、基体の表面上に所望の
粉体よ１） ｊ７る図形状粉体塗布層を形成する方法を
提案した。
１号においで、芳香族ジアゾニウム塩の光分解生成物が
粉体粒子受容能力をイｊノーゐというｉ；ｕ見に基づき
、露光により粘着性を生じる芳香族ジアゾニウム塩を含
む薄層を基体表面上に形成し、その薄層に粉体粒子を接
触せしめて、粘着性を生ぜしめた部分に粉体粒子を受容
せし７めた後残余の粉体粒子を薄層上から除去すること
を一回または二回以上繰り返し、基体の表面上に所望の
粉体よ１） ｊ７る図形状粉体塗布層を形成する方法を
提案した。
この方法によシブラックマトリクスを形成することは、
カラーブラウン管フェースプレート内面に上記の方法に
上る露光とけい光体付与を３種のけい光体についてそれ
ぞれ行なったのち、塗膜全面を露光し、光吸収性物質で
ある黒鉛を塗膜に接触させることによって可能である。
カラーブラウン管フェースプレート内面に上記の方法に
上る露光とけい光体付与を３種のけい光体についてそれ
ぞれ行なったのち、塗膜全面を露光し、光吸収性物質で
ある黒鉛を塗膜に接触させることによって可能である。
しかしながら、この方法によるど、ブラック−２トリク
スは形成できるが、けい光面の輝度が低ドすることが明
らかとなった。その理由は、けい光体粒子の平均粒径は
３〜１８μｍ程度と比較的大きく、フェースプレート内
面に形成されだけい光体層は、上記の粒径に準じた凹凸
があシ、一方、黒鉛粉末は微粉末であるのでこの凹凸の
間にある程度人ら込んでしまうためである。周知の通シ
カラーブラウン管のけい光面にはアルミナイジングがほ
どこされている。これは、けい光体の発光は、前方、す
なわちガラス基板方向のみに進行するのでなく、後方に
も進行する。後方に進光する光を、アルミナイジングに
よシ形成さπｈａ面によシ前方に反射させ、けい光面の
輝度を向上させるためである。ところが前述の如くけい
光体層の上に黒鉛微粉末が存在すると、一部の光がこれ
に吸収され、アルミ蒸着向で反射される光がその分だけ
減少し、その結果けい光面全体の輝度が低下することに
なる。
スは形成できるが、けい光面の輝度が低ドすることが明
らかとなった。その理由は、けい光体粒子の平均粒径は
３〜１８μｍ程度と比較的大きく、フェースプレート内
面に形成されだけい光体層は、上記の粒径に準じた凹凸
があシ、一方、黒鉛粉末は微粉末であるのでこの凹凸の
間にある程度人ら込んでしまうためである。周知の通シ
カラーブラウン管のけい光面にはアルミナイジングがほ
どこされている。これは、けい光体の発光は、前方、す
なわちガラス基板方向のみに進行するのでなく、後方に
も進行する。後方に進光する光を、アルミナイジングに
よシ形成さπｈａ面によシ前方に反射させ、けい光面の
輝度を向上させるためである。ところが前述の如くけい
光体層の上に黒鉛微粉末が存在すると、一部の光がこれ
に吸収され、アルミ蒸着向で反射される光がその分だけ
減少し、その結果けい光面全体の輝度が低下することに
なる。
本発明の目的は、露光により粘着性を生じる感光性組成
物を用いる改良されたパターン形成方法を提供すること
にある。
物を用いる改良されたパターン形成方法を提供すること
にある。
本発明のパターン形成方法は、水溶性分書族ジアゾニウ
ム塩を含む光粘着性組成物を基板上に塗膜として形成し
、これに所定のパターンの選択された部分への化学放射
線の露光、所定の物質の粉体の露光部分への付着を少な
くとも１回行なったのち、基板全面に化学放射線を露光
し、所定の物質が付着した以外の部分に黒色焼結体の粉
末を付着せしめることを特徴とする。
ム塩を含む光粘着性組成物を基板上に塗膜として形成し
、これに所定のパターンの選択された部分への化学放射
線の露光、所定の物質の粉体の露光部分への付着を少な
くとも１回行なったのち、基板全面に化学放射線を露光
し、所定の物質が付着した以外の部分に黒色焼結体の粉
末を付着せしめることを特徴とする。
この際、基板をブラウン管のフェースグレートの内面と
し、ブラウン管用のシャドウマスクを用いてドツト又は
ストライプ状などの形状に部分的に露光して、この露光
部分にけい光体粉体を付着せしめることを１回又は２回
以上くり返すことにより、カラー受像管のけい光面を形
成できるものであシ、シかる後に、黒色焼結体の粉体を
付着させて黒色被膜を形成せしめれば、ブラックマ）
ＩＪクスを有するカラー受像管のけい光面を形成できる
ものである。
し、ブラウン管用のシャドウマスクを用いてドツト又は
ストライプ状などの形状に部分的に露光して、この露光
部分にけい光体粉体を付着せしめることを１回又は２回
以上くり返すことにより、カラー受像管のけい光面を形
成できるものであシ、シかる後に、黒色焼結体の粉体を
付着させて黒色被膜を形成せしめれば、ブラックマ）
ＩＪクスを有するカラー受像管のけい光面を形成できる
ものである。
以上のようにして、本発明によれば、ブラックマ） Ｉ
Ｊクスを有するカラー受像管の発光面の形成、あるいは
、同様な光学図形の複写およびリソグラフィーへの適用
において、従来技術による工程よりも著しく簡単、容易
な工程でパターン形成を可能とするものである。
Ｊクスを有するカラー受像管の発光面の形成、あるいは
、同様な光学図形の複写およびリソグラフィーへの適用
において、従来技術による工程よりも著しく簡単、容易
な工程でパターン形成を可能とするものである。
本発明で用いられる黒色焼結体としては、一般式Ｍ”Ｆ
ｅ２Ｏ４、Ｍ”Ｆｅ５／２０４ 、Ｍ”Ｆｅ１２０１Ｇ
のいずれかで表わされるフェライト化合物が用いられる
。ここで、Ｍ２＋とじては１、ニッケル、コバルト、バ
リウム、マンガン、亜鉛、銅、ストロンチウム、鉛、マ
グネシウム、カルシウムなどの金属イオンが挙げられる
。Ｍ＋とじては、リチウム、ナトリウム、カリウム、ル
ビジウム、セシウム、銅、銀などが挙げられる。また、
上記金属イオンが２種以上用いられたフェライト化合物
、例えば、マンガン・亜鉛フェライト、コバルト・亜鉛
フェライトなども使用可能である。
ｅ２Ｏ４、Ｍ”Ｆｅ５／２０４ 、Ｍ”Ｆｅ１２０１Ｇ
のいずれかで表わされるフェライト化合物が用いられる
。ここで、Ｍ２＋とじては１、ニッケル、コバルト、バ
リウム、マンガン、亜鉛、銅、ストロンチウム、鉛、マ
グネシウム、カルシウムなどの金属イオンが挙げられる
。Ｍ＋とじては、リチウム、ナトリウム、カリウム、ル
ビジウム、セシウム、銅、銀などが挙げられる。また、
上記金属イオンが２種以上用いられたフェライト化合物
、例えば、マンガン・亜鉛フェライト、コバルト・亜鉛
フェライトなども使用可能である。
フェライト化合物は、１〜２μｍ前後の小さな粒子とな
ると、磁性体の単位磁区の大きさに近くなるため磁性を
示すようになシ、互に凝集し、化合物の種類によっても
異なるが、例えば５〜１０μｍ程度の凝集体となる。ま
だある程度以上の大きさの粒子径となると磁性を示さず
凝集しなくなる。それ故、微細な粒子が単独で存在する
ことがほとんどないので、先に形成しであるけい光体層
の中にフェライト粒子が入シ込み難くなる。
ると、磁性体の単位磁区の大きさに近くなるため磁性を
示すようになシ、互に凝集し、化合物の種類によっても
異なるが、例えば５〜１０μｍ程度の凝集体となる。ま
だある程度以上の大きさの粒子径となると磁性を示さず
凝集しなくなる。それ故、微細な粒子が単独で存在する
ことがほとんどないので、先に形成しであるけい光体層
の中にフェライト粒子が入シ込み難くなる。
一方、フェライト化合物以外の黒色物質では、このよう
な現象はみられない。すなわち、これらの物質の粒子で
は、粒子径は、続開学的なある分布を示し、微細な粒子
を除去することが困難である。また、平均粒径をあまり
にも大きくすると、微細な粒子は少なくなるがブラック
マトリクスを形成した部分において、粒子間のすき間が
できやすく、黒色物質の被覆度が低下するので好ましく
ない。
な現象はみられない。すなわち、これらの物質の粒子で
は、粒子径は、続開学的なある分布を示し、微細な粒子
を除去することが困難である。また、平均粒径をあまり
にも大きくすると、微細な粒子は少なくなるがブラック
マトリクスを形成した部分において、粒子間のすき間が
できやすく、黒色物質の被覆度が低下するので好ましく
ない。
フェライト化合物は、原料粉の粒子径を変えだυ、焼成
温度、時間を変えることによシ、生成する焼結体の粒子
径を自由に制御できるので、好ましい粒子径でかつ粒径
分布の狭い粉体を容易に得ることかできる。
温度、時間を変えることによシ、生成する焼結体の粒子
径を自由に制御できるので、好ましい粒子径でかつ粒径
分布の狭い粉体を容易に得ることかできる。
用いるフェライト化合物の粒子径は、０，５〜４０μｍ
の範囲であることが好ましい。平均粒径が小さいものを
用いても、前述の如く凝集して数μｍ〜１０μｍ程度の
粒子と同じように作用する。
の範囲であることが好ましい。平均粒径が小さいものを
用いても、前述の如く凝集して数μｍ〜１０μｍ程度の
粒子と同じように作用する。
また、４０μｍを越えるものは、ブラックマトリクスを
形成したとき粒子間のすき間ができやすく、ブラックマ
トリクスの被覆度が低下する。一般の無機化合物、有機
化合物の黒色物質においては０．５〜４０μｍの平均粒
径を有するものはほとんどないが、フェライト化合物に
おいては、前述の如く焼結条件などを選ぶなどの方法で
、容易にこの範囲の粒径のものが送られる。
形成したとき粒子間のすき間ができやすく、ブラックマ
トリクスの被覆度が低下する。一般の無機化合物、有機
化合物の黒色物質においては０．５〜４０μｍの平均粒
径を有するものはほとんどないが、フェライト化合物に
おいては、前述の如く焼結条件などを選ぶなどの方法で
、容易にこの範囲の粒径のものが送られる。
フェライト化合物のうち、微小粒子になったときの磁性
が強すぎると、凝集が強くなり、全体として大きな質量
の粉として作用するので、先に塗布したけい光体層に影
響を与えやすい。それ故１０μｍ程度の粒子径になった
ときには磁性を示さず、凝集しないことが望ましい。こ
のような特性をもったフェライト化合物として特に好ま
しいのけ、バリウム−フェライト、ストロンチウム−フ
ェライト、コバルトフェライト、マンガン−亜鉛フェラ
イト、亜鉛フェライト、マグネシウムフェライトである
。
が強すぎると、凝集が強くなり、全体として大きな質量
の粉として作用するので、先に塗布したけい光体層に影
響を与えやすい。それ故１０μｍ程度の粒子径になった
ときには磁性を示さず、凝集しないことが望ましい。こ
のような特性をもったフェライト化合物として特に好ま
しいのけ、バリウム−フェライト、ストロンチウム−フ
ェライト、コバルトフェライト、マンガン−亜鉛フェラ
イト、亜鉛フェライト、マグネシウムフェライトである
。
また本発明で用いられるフェライト化合物は、いずれも
比重４４５〜５．５、かさ比重０．５〜２，３の範囲内
にあるが、これは、黒色粉体として代表的な黒鉛の比重
１．６〜２．３、かさ比重０．１〜０．３に比べると十
分重いものである。このことは、光粘着膜に付着させる
場合に、黒鉛粉末よりも強い圧力で接触することが可能
であシ、粘着膜への付着を容易にする。また、光粘着膜
に粉体を付着させる場合に、粉体を膜上で揺動すること
により付着密度を上げる方法をとることが知られている
が、この方法においても、かさ比重が大きいことにより
、黒鉛粉末に比べ十分満足すべき流動性を示す。
比重４４５〜５．５、かさ比重０．５〜２，３の範囲内
にあるが、これは、黒色粉体として代表的な黒鉛の比重
１．６〜２．３、かさ比重０．１〜０．３に比べると十
分重いものである。このことは、光粘着膜に付着させる
場合に、黒鉛粉末よりも強い圧力で接触することが可能
であシ、粘着膜への付着を容易にする。また、光粘着膜
に粉体を付着させる場合に、粉体を膜上で揺動すること
により付着密度を上げる方法をとることが知られている
が、この方法においても、かさ比重が大きいことにより
、黒鉛粉末に比べ十分満足すべき流動性を示す。
本発明の光粘着性組成物において、実用的に有用なジア
ゾニウム、塩は安定化された芳香族ジアゾニウム塩、た
とえば芳香族ジアゾニウムフルオロホウ酸塩、芳香族ジ
アゾニウム硫酸塩、芳香族ジアゾニウムスルホン酸塩、
芳香族ジアゾニウムクロリド塩化亜鉛複塩等である。よ
シ具体的な化合物名については、前記％公昭５７−２０
６５１号などに記載しである。
ゾニウム、塩は安定化された芳香族ジアゾニウム塩、た
とえば芳香族ジアゾニウムフルオロホウ酸塩、芳香族ジ
アゾニウム硫酸塩、芳香族ジアゾニウムスルホン酸塩、
芳香族ジアゾニウムクロリド塩化亜鉛複塩等である。よ
シ具体的な化合物名については、前記％公昭５７−２０
６５１号などに記載しである。
また、同様に特公昭５７−２０６５１号などに記載した
ように、ジアゾニウム塩と混合して用いられる物質とし
ては、有機高分子化合物、たとえば、アラビアゴム、ア
ルギン酸プロピレングリコールエステル、ポリビニルア
ルコール、ポリアクリルアミド、ポリ（Ｎ−ビニルピロ
リドン）、アクリルアミド−ジアセトンアクリルアミド
共重合体などがある。これらは水溶性であり、有機溶媒
を用いる必要がなく、本発明に用いるのに好ましい材料
である。勿論、２種以上混合することも可能である。
ように、ジアゾニウム塩と混合して用いられる物質とし
ては、有機高分子化合物、たとえば、アラビアゴム、ア
ルギン酸プロピレングリコールエステル、ポリビニルア
ルコール、ポリアクリルアミド、ポリ（Ｎ−ビニルピロ
リドン）、アクリルアミド−ジアセトンアクリルアミド
共重合体などがある。これらは水溶性であり、有機溶媒
を用いる必要がなく、本発明に用いるのに好ましい材料
である。勿論、２種以上混合することも可能である。
これらの物質を用いる目的は、ジアゾニウム塩を感光成
分とする光粘着性組成物の薄層を形成させる際の塗布性
を向上させること、薄層の均一性を向上させること、お
よび光粘着性薄層の粉体粒子受容能力を制御することに
おる。この様にジアゾニウム塩に少量の（１１シの物質
を混合ｔ−’−（−用いる場合、混合物質はジアゾニウ
ム塩の０．５〜５００近開：チでおることが好ましく、
１〜５０重量係であることがより好ましい。また塗布性
の向上のために、適宜各種の界面活性剤を添加すること
が出来る。組成物の塗布性向上のブζめに組成物に界面
活性剤を添加することは公知の手段であり、とのような
公知の手段に用いられている界面活性剤を本発明におい
ても用いてさしつかえない。添加量はジアゾニウム塩に
対し０．０１〜１％程度で、一般的な用い方に従って十
分である。
分とする光粘着性組成物の薄層を形成させる際の塗布性
を向上させること、薄層の均一性を向上させること、お
よび光粘着性薄層の粉体粒子受容能力を制御することに
おる。この様にジアゾニウム塩に少量の（１１シの物質
を混合ｔ−’−（−用いる場合、混合物質はジアゾニウ
ム塩の０．５〜５００近開：チでおることが好ましく、
１〜５０重量係であることがより好ましい。また塗布性
の向上のために、適宜各種の界面活性剤を添加すること
が出来る。組成物の塗布性向上のブζめに組成物に界面
活性剤を添加することは公知の手段であり、とのような
公知の手段に用いられている界面活性剤を本発明におい
ても用いてさしつかえない。添加量はジアゾニウム塩に
対し０．０１〜１％程度で、一般的な用い方に従って十
分である。
以下、実施例を用いて本発明をさらに具体的に説明する
。
。
実施例１
次に示すような組成の光粘着性組成物の水溶液を調合し
た。
た。
４−（ジメチルアミノ）ベンゼンジアゾニウムクロリド
・塩化亜鉛 ・・・３，３ｇアルギン酸
フロピレンゲリコールエステル（君津化学製、ギミロイ
ドＭＶ） ・・・Ｏ，１７ｇイオン純水
・・・９７ｇこの水溶液を６型カラー
ブラウン管のフェースプレートに１１−６Ｏｒｐの回転
数で回転塗布し、赤外線加熱乾燥し／こ。これにシャド
ウマスクを装着１７、超高圧水銀灯を光源として、１Ｙ
色に相当する部分に紫外線露光を行ない、ついでシャド
ウマスクをはずした後、青色けい光体をふりかけて青色
けい光体膜を形成した。同様の操作をくシ返して、緑色
、赤色に相当する部分を紫外線露光しては、緑色けい光
体、赤色けい光体を付着せｌ〜め、宵、緑、赤３色のけ
い光体膜を形成した。
・塩化亜鉛 ・・・３，３ｇアルギン酸
フロピレンゲリコールエステル（君津化学製、ギミロイ
ドＭＶ） ・・・Ｏ，１７ｇイオン純水
・・・９７ｇこの水溶液を６型カラー
ブラウン管のフェースプレートに１１−６Ｏｒｐの回転
数で回転塗布し、赤外線加熱乾燥し／こ。これにシャド
ウマスクを装着１７、超高圧水銀灯を光源として、１Ｙ
色に相当する部分に紫外線露光を行ない、ついでシャド
ウマスクをはずした後、青色けい光体をふりかけて青色
けい光体膜を形成した。同様の操作をくシ返して、緑色
、赤色に相当する部分を紫外線露光しては、緑色けい光
体、赤色けい光体を付着せｌ〜め、宵、緑、赤３色のけ
い光体膜を形成した。
しかるのち、シャドウマスクを介さないでプレート内面
全部に紫外線露光を行ない、バリウムフェライト（日立
金属製、ＭＰＢ−３８０，粒子径１〜２（）μｍ）をけ
い光体の付着していない部分に付着させ、ブラックマト
リクスに相当する黒色被膜を得た。
全部に紫外線露光を行ない、バリウムフェライト（日立
金属製、ＭＰＢ−３８０，粒子径１〜２（）μｍ）をけ
い光体の付着していない部分に付着させ、ブラックマト
リクスに相当する黒色被膜を得た。
黒色被膜部分の光の透過率は３係であった。また先に塗
布したけい光体層への黒色粉体の混入の程度を比較する
ため、黒色粉体を付与する前と後でそれぞれ３３０ ｎ
ｒｎの紫外線でけい光体層を励起させ、その輝度を比較
した。青色および緑色けい光体において２〜３チ、赤色
けい光体において５ニア％輝度低下が認められた。一方
、比較のため同様の条件で黒鉛粉末（日立粉末冶金製、
ヒタゾルＧＰ−６Ｏ８，粒子径約０．１μｍ）を用いる
と、各色けい光体で１５〜２０％の輝度低下を起こした
。
布したけい光体層への黒色粉体の混入の程度を比較する
ため、黒色粉体を付与する前と後でそれぞれ３３０ ｎ
ｒｎの紫外線でけい光体層を励起させ、その輝度を比較
した。青色および緑色けい光体において２〜３チ、赤色
けい光体において５ニア％輝度低下が認められた。一方
、比較のため同様の条件で黒鉛粉末（日立粉末冶金製、
ヒタゾルＧＰ−６Ｏ８，粒子径約０．１μｍ）を用いる
と、各色けい光体で１５〜２０％の輝度低下を起こした
。
実施例２
実施例Ｉのバリウムフェライトの代わりにストロンチウ
ムフェライト（日立金属製、ＭＰｆ３−３８０Ｈ，粒子
径２〜１５μｍ）を用いた以外は、実施例１と全く同様
の操作を行ない、同様のブラックマトリクスけい光面を
得た。
ムフェライト（日立金属製、ＭＰｆ３−３８０Ｈ，粒子
径２〜１５μｍ）を用いた以外は、実施例１と全く同様
の操作を行ない、同様のブラックマトリクスけい光面を
得た。
黒色被膜部分の光透過率、各けい光体の輝度低下も実施
例１とほぼ同じであった。
例１とほぼ同じであった。
実施例３
実施例１のバリウムフェライトの代りにコバルトフェラ
イトを用いた以外は、実施例１と全く同様の操作を行な
い、同様のブラックマトリクスけい光面を得た。
イトを用いた以外は、実施例１と全く同様の操作を行な
い、同様のブラックマトリクスけい光面を得た。
コバルトフェライトは、炭酸コバルトと酸化第二鉄をモ
ル比で１対２の割合で混合し、１００ｏｃで２時間焼成
することによシ調製した。
ル比で１対２の割合で混合し、１００ｏｃで２時間焼成
することによシ調製した。
黒色被膜部分の光透過率、各けい光体の輝度低下も実施
例１とほぼ同じであった。
例１とほぼ同じであった。
実施例４
実施例１のバリウムフェライトの代シにマンガン・亜鉛
フェライトを用いた以外は、実施例１と全く同様の操作
を行ない、同様のブラックマトリクスけい光面を得だ。
フェライトを用いた以外は、実施例１と全く同様の操作
を行ない、同様のブラックマトリクスけい光面を得だ。
黒色被膜部分の光の透過率は２チであった。しかしなが
らこの場合には、けい光体膜の上側にも一部フエライト
粉末の付着が認められた。各けい光体の輝度低下を実施
例１と同様の方法で測定したところ、青色および緑色け
い光体では５チ、赤色けい光体では８〜１０％であった
。
らこの場合には、けい光体膜の上側にも一部フエライト
粉末の付着が認められた。各けい光体の輝度低下を実施
例１と同様の方法で測定したところ、青色および緑色け
い光体では５チ、赤色けい光体では８〜１０％であった
。
実施例５
実施例１のバリウムフェライトの代りにリチウム・バリ
ウノ・フェライトを用いた以外は、実施例１と全く同様
の操作を行ない、同様のブラックマトリクスを得た。黒
色被膜部分の光透過率は５チであった。また、青色及び
緑色のけい光体の輝度低下は５チ、赤色けい光体のそれ
は８〜１０φであった。
ウノ・フェライトを用いた以外は、実施例１と全く同様
の操作を行ない、同様のブラックマトリクスを得た。黒
色被膜部分の光透過率は５チであった。また、青色及び
緑色のけい光体の輝度低下は５チ、赤色けい光体のそれ
は８〜１０φであった。
なお、上記各実施例に用いた以外の前述したようなフェ
ライト、例えば、亜鉛フェライト、ニッケルフェライト
、銅フェライト、リチウムフェライト、ナトリウムフェ
ライトなどを用いて同様の操作を行なったが、いずれも
ほぼ同様のブラックマトリクスを得だ。黒色被膜部分の
光透過率は約２〜５チ、各けい光体の輝度低下は約２〜
１０チであった。
ライト、例えば、亜鉛フェライト、ニッケルフェライト
、銅フェライト、リチウムフェライト、ナトリウムフェ
ライトなどを用いて同様の操作を行なったが、いずれも
ほぼ同様のブラックマトリクスを得だ。黒色被膜部分の
光透過率は約２〜５チ、各けい光体の輝度低下は約２〜
１０チであった。
以上説明したように、本発明においては、光粘着性感光
性組成物の塗膜に所定パターンの露光、粉体付与を少な
くとも一回行なったのちに、塗膜冷面に露光しフェライ
ト化合物を付着させることによυ、前記パターンに影響
をほとんど与えずに他の部分に黒色粉体を被着させるこ
とができる。
性組成物の塗膜に所定パターンの露光、粉体付与を少な
くとも一回行なったのちに、塗膜冷面に露光しフェライ
ト化合物を付着させることによυ、前記パターンに影響
をほとんど与えずに他の部分に黒色粉体を被着させるこ
とができる。
代理人 弁理士 薄田利幸
立製作所茂原工場内
０発 明 者 三浦清明
茂原市早野３３００番地株式会社日
立製作所茂原工場内
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、（イ） 水溶性芳香族ジアゾニウム塩を含む露光に
より粘着性を示す感光性組成物の塗膜を基板上に形成す
る工程、 （ロ） 上記塗膜上に所定のパターンの化学放射線を露
光し、所定の粉体を上記霧光後の塗膜に接触させ、該露
光部に該粉体を付着させることを少なくとも１回行なう
工程及び（ハ） 上記塗膜全面に化学放射線を露光し、
フェライト化合物の粉体を上記塗膜に何着させ、すでに
所定の粉体のパターンが・形成されている以外の部分に
該フェライト化合物の粉体を付着させる工程、 よシなることを特徴とするパターン形成方法。 ２、−１＝記フ工ライト化合物が、一般式Ｍ”Ｆｅ２０
４（ここにＭ２＋は、Ｎ ｉ” ＋ Ｇ Ｏ２” ＋
Ｉ３ ａ” 、 Ｍｎ” 。 Ｚ ｎ ２ ＋ 、 Ｃｕ ２ ＋ 、 Ｓ ｒ ２
” 、 Ｐ ｂ ２ ” 、 Ｍ ｇ ２＋及びＣａ２
＋からなる群から選ばれた少なくとも一種の金属イオン
を表わす）で表わされるフェライト化合物である特許請
求の範囲第１項記載のノくターン形成方法１゜ ３、」二記フェライト化合物が、一般式Ｍ２” Ｆ’ｅ
ｔ２０ｔ９（ここにＭ２＋はＮ ｉ２” 、 ＣＯ２＋
、 Ｂ ａ２＋ 、 １ｖｌｎ”。 ｚ 、１２＋、 ＣＬＩ” 、 Ｂｒ” 、 Ｐｂ”
＋ Ｍｇ２＋及びＣａ ｉｊ ＋からなる群から選ばれ
た少なくとも一種の金属イオンを表わす）で表わされる
フェライト化合物である特許請求の範囲第１項記載のノ
くター／形成方法。 ４、−に記フェライト化合物が、一般式Ｍ“Ｆ ｅｓ／
２０４（ここにＭ＋は、Ｊ−ｊ” ＩＮ”ＩＫ”ｌ Ｐ
ｂ”１０”＋ＣＬＩ“及びＡｇ１からなる群から選ばれ
た少なくとも一種の金属イオンを表わす）で表わされる
フェライト化合物である特許請求の範囲第１項記載のパ
ターン形成方法。 ５、に記基板は、カラーブラウン管フェースプレートの
内面であシ、上記所定の粉体はけい光体であり、上記（
ロ）の工程は３種のりい光体について３回くり返すもの
である特許請求の範囲第１項から第４項までのいずれか
に記載のパターン形成方法。 ６、上記けい光体によって形成されたパターンはストラ
イプ状である特許請求の範囲第５項記載のパターン形成
方法。 ７、上記けい光体によって形成されたパターンはドツト
状である特許請求の範囲第５項記載のパターン形成方法
。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57190865A JPS5981832A (ja) | 1982-11-01 | 1982-11-01 | パタ−ン形成方法 |
| KR1019830005081A KR840006869A (ko) | 1982-11-01 | 1983-10-27 | 패턴 형성 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57190865A JPS5981832A (ja) | 1982-11-01 | 1982-11-01 | パタ−ン形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5981832A true JPS5981832A (ja) | 1984-05-11 |
Family
ID=16265046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57190865A Pending JPS5981832A (ja) | 1982-11-01 | 1982-11-01 | パタ−ン形成方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5981832A (ja) |
| KR (1) | KR840006869A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5356751A (en) * | 1992-07-31 | 1994-10-18 | E. I. Du Pont De Nemours & Company | Method and product for particle mounting |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100520162B1 (ko) * | 1998-12-30 | 2005-11-25 | 삼성전자주식회사 | 멀티미디어 서비스가 가능한 사설교환기_ |
-
1982
- 1982-11-01 JP JP57190865A patent/JPS5981832A/ja active Pending
-
1983
- 1983-10-27 KR KR1019830005081A patent/KR840006869A/ko not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5356751A (en) * | 1992-07-31 | 1994-10-18 | E. I. Du Pont De Nemours & Company | Method and product for particle mounting |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR840006869A (ko) | 1984-12-03 |
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