JPS5983007A - 光学式測定機 - Google Patents
光学式測定機Info
- Publication number
- JPS5983007A JPS5983007A JP19282082A JP19282082A JPS5983007A JP S5983007 A JPS5983007 A JP S5983007A JP 19282082 A JP19282082 A JP 19282082A JP 19282082 A JP19282082 A JP 19282082A JP S5983007 A JPS5983007 A JP S5983007A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light beam
- measured
- light
- parallel scanning
- scanning light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 17
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 32
- 238000003306 harvesting Methods 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 25
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 6
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 241001137251 Corvidae Species 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/028—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring lateral position of a boundary of the object
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光学式測定機に係り、ｌトｔに一反射率の高
い平滑な表面を有する被測定物の寸法を測定する際に用
いるのに好適な、平行走査光線ビーム発生手段と、被測
定物通過後の平行走査光線ビームの明暗を感知して電気
信号とする受光手段とを有し、前記平行走査光線ビーム
発生手段と受光手段との間に配置した被測定物により前
記平行走査光線ビームが遮ぎられて生じる暗部又は明部
の長さから被測定物の寸法を測定するようにした光学式
測定機の改良に関する。
い平滑な表面を有する被測定物の寸法を測定する際に用
いるのに好適な、平行走査光線ビーム発生手段と、被測
定物通過後の平行走査光線ビームの明暗を感知して電気
信号とする受光手段とを有し、前記平行走査光線ビーム
発生手段と受光手段との間に配置した被測定物により前
記平行走査光線ビームが遮ぎられて生じる暗部又は明部
の長さから被測定物の寸法を測定するようにした光学式
測定機の改良に関する。
従来から１回転走査光線ビーム（レーザビーム）を、コ
リメータレンズによ）、このコリメータレンズと集光レ
ンズ間を通る平行走査光線ビームに変換し、該コリメー
タレンズと集光レンズの間ニ被測定物を置き、この被測
定物によって前Ｘ記事行走査光線ビームが遮ぎられて生
じる暗部又は明部の時間の長さから被測定物の寸法を測
定する高速度走査型レーザ測長機が知られている。
リメータレンズによ）、このコリメータレンズと集光レ
ンズ間を通る平行走査光線ビームに変換し、該コリメー
タレンズと集光レンズの間ニ被測定物を置き、この被測
定物によって前Ｘ記事行走査光線ビームが遮ぎられて生
じる暗部又は明部の時間の長さから被測定物の寸法を測
定する高速度走査型レーザ測長機が知られている。
これは、例えば第１図に示す如く、レーザ光源ｌＯから
レーザビーム１２を固定ミラー１４に向けて発振し、こ
の固定ミラー１４によシ反射されたレーザビーム１２を
回転ミラー１６によって走査ビーム１７に変換し、この
走査ビーム１７をコリメータレンズ１８によって平行走
査光線ビーム２０に変換し、この平行、走査光線ビーム
２０によりコリメータレンズ１８と集光レンズ２２の間
に配置した被測定物２４を高速走査し、その時被測定物
２４によって生じる暗部又は明部の時間の長さから、被
測定物２４の走査方向寸法を測定するものである。即ち
、平行走査光線ビ≧ム２ｏの明暗は、集光レンズ２２の
焦点位置にある受光素子２６の出力電圧の変化となって
検出され、該受光素子２６からの信号は、プリアンプ２
８に入力され、ここで増幅された後、セグメント選択回
路３０に送られる。このセグメント選択回路３ｏは。
レーザビーム１２を固定ミラー１４に向けて発振し、こ
の固定ミラー１４によシ反射されたレーザビーム１２を
回転ミラー１６によって走査ビーム１７に変換し、この
走査ビーム１７をコリメータレンズ１８によって平行走
査光線ビーム２０に変換し、この平行、走査光線ビーム
２０によりコリメータレンズ１８と集光レンズ２２の間
に配置した被測定物２４を高速走査し、その時被測定物
２４によって生じる暗部又は明部の時間の長さから、被
測定物２４の走査方向寸法を測定するものである。即ち
、平行走査光線ビ≧ム２ｏの明暗は、集光レンズ２２の
焦点位置にある受光素子２６の出力電圧の変化となって
検出され、該受光素子２６からの信号は、プリアンプ２
８に入力され、ここで増幅された後、セグメント選択回
路３０に送られる。このセグメント選択回路３ｏは。
測定セグメントに対応する曲目ピ暗部又は明部の時間の
長さを測定するた々′）に、受光素子２６の出力を時分
割して、被測定物２４の測定セグメントが走査されてい
る時間ｔの間だけゲート回路３２を開くための電圧Ｖを
発生して、ゲート回路３２に出力するようにされている
。このゲート回路３２には、クロックパルス発振器３４
がらクロックパルスＣ））が入力されているので−ゲー
ト回路３２は、被測定物２４の測定セグメントの走イ１
：方向寸法に対応した時間ｔに対応するクロックパルス
Ｉ）を計数回路３６に入力する。４数回路３６は、仁の
クロックパルスＰをｄ１数して、デジタル表示器３８に
計数信号を出力し、デジタル表示器３８ｔよ被測定物２
４の測定セグメントの走査方向寸法荀デジタル表示する
ことになる。一方、前記回転ミラー１６は、前記クロッ
クパルス発振器３４出力と同期して正弦波を発生する同
期正弦波発振器４０及びパワーアンプ４２の出力により
同期駆動されている同期モータ４４によシ、前記クロッ
クパルス発振器３４出力のクロックパルスＣＰと同期し
て回転され、測定精度を維持するようにされている。
長さを測定するた々′）に、受光素子２６の出力を時分
割して、被測定物２４の測定セグメントが走査されてい
る時間ｔの間だけゲート回路３２を開くための電圧Ｖを
発生して、ゲート回路３２に出力するようにされている
。このゲート回路３２には、クロックパルス発振器３４
がらクロックパルスＣ））が入力されているので−ゲー
ト回路３２は、被測定物２４の測定セグメントの走イ１
：方向寸法に対応した時間ｔに対応するクロックパルス
Ｉ）を計数回路３６に入力する。４数回路３６は、仁の
クロックパルスＰをｄ１数して、デジタル表示器３８に
計数信号を出力し、デジタル表示器３８ｔよ被測定物２
４の測定セグメントの走査方向寸法荀デジタル表示する
ことになる。一方、前記回転ミラー１６は、前記クロッ
クパルス発振器３４出力と同期して正弦波を発生する同
期正弦波発振器４０及びパワーアンプ４２の出力により
同期駆動されている同期モータ４４によシ、前記クロッ
クパルス発振器３４出力のクロックパルスＣＰと同期し
て回転され、測定精度を維持するようにされている。
このような高速度走査型レーザ測長様において。
前記同期モータ４４、回転ミラー１６−コリメータレン
ズ１８′４を含む平行走査光線ビーム発生手段は１例え
ば第２図に示す如く、高速度走査型レーザ測長機５０の
発光側ユニット５２に収納され。
ズ１８′４を含む平行走査光線ビーム発生手段は１例え
ば第２図に示す如く、高速度走査型レーザ測長機５０の
発光側ユニット５２に収納され。
又、前記集光レンズ２２−受光素子２６等を含む受光手
段は、同じく第２図に示す如く、受光側ユニット５４に
収納されており、被測定物２４を前記発光側ユニット５
２と受光側ユニット５４間に配置して、被測定物２４の
走査方向寸法を測定するようにされている。
段は、同じく第２図に示す如く、受光側ユニット５４に
収納されており、被測定物２４を前記発光側ユニット５
２と受光側ユニット５４間に配置して、被測定物２４の
走査方向寸法を測定するようにされている。
このような高速度走査型レーザ測長機は、移動する物体
、高温物体の長さ、厚み等を非接触で高精度で測定でき
るので広く利用されつつある。しかじながら１例えば前
記発光側ユニット５２の出ロ側ト受光側ユニット５４０
入口側の表面に一前記コリメータレンズ１８や集光１／
ンズ２２を保護するための保護ガラス５６−５８を設け
た場合には、被測定物２４の表面と保護ガラス５６−５
８の表面による反射光が受光素子２６に入射して一寸法
測定精度を低下させる恐れがあった。即ち。
、高温物体の長さ、厚み等を非接触で高精度で測定でき
るので広く利用されつつある。しかじながら１例えば前
記発光側ユニット５２の出ロ側ト受光側ユニット５４０
入口側の表面に一前記コリメータレンズ１８や集光１／
ンズ２２を保護するための保護ガラス５６−５８を設け
た場合には、被測定物２４の表面と保護ガラス５６−５
８の表面による反射光が受光素子２６に入射して一寸法
測定精度を低下させる恐れがあった。即ち。
一般に平行走査光線ビーム２０の断面形状は例えば所定
面積を有する円形とされておシ、その波形の中間レベル
により被測定物２４のエツジ位置を検出するようにして
いる。従って、被測定物２４の表面と保護ガラス５６の
表面による反射光が受光素子２６に入射することがない
正常な場合（第１図の上側エツジ）には、受光素子２６
における受光波形が、第３図に実線Ａで示す如くとなり
。
面積を有する円形とされておシ、その波形の中間レベル
により被測定物２４のエツジ位置を検出するようにして
いる。従って、被測定物２４の表面と保護ガラス５６の
表面による反射光が受光素子２６に入射することがない
正常な場合（第１図の上側エツジ）には、受光素子２６
における受光波形が、第３図に実線Ａで示す如くとなり
。
精度の高いエツジ検出を行うことができるものであるが
、一方、被測定物２４の表面と保護ガラス５６の表面に
よる反射光が受光素子２６に入射する場合（第１図の下
側エツジ）には、第４図に破線Ｂで示す如く、受光波形
の立上シが正常な場合（実線Ａ）より早くなり−これに
よって、例えば出側エツジの検出位置もδだけずれて、
測定精度が低下し７てし甘う。このような問題点は、平
行走査光線ビーム２０の断面形状に拘らず存在する。
、一方、被測定物２４の表面と保護ガラス５６の表面に
よる反射光が受光素子２６に入射する場合（第１図の下
側エツジ）には、第４図に破線Ｂで示す如く、受光波形
の立上シが正常な場合（実線Ａ）より早くなり−これに
よって、例えば出側エツジの検出位置もδだけずれて、
測定精度が低下し７てし甘う。このような問題点は、平
行走査光線ビーム２０の断面形状に拘らず存在する。
又、保護ガラス５８側についても同様の問題点がある。
本発明は、前記従来の欠点を解消するべくなされたもの
で一被測定物の表面性状に拘らず精度の高い測定を行う
ことができる光学式測定機を提供することを目的とする
。
で一被測定物の表面性状に拘らず精度の高い測定を行う
ことができる光学式測定機を提供することを目的とする
。
本発明は、平行走査光線ビーム発生手段と、被測定物通
過後の平行走査光線ビームの明暗を感知して電気信号と
する受光手段とを有し、前記平行走査光線ビーム発生手
段と受光手段との間に配置（−２だ被測定物によシ前記
平行走査光線ビームが遮ぎられて生じる暗部又は明部の
長さから被測定物の寸法を測定するようにした光学式測
定機において一前８Ｐ平行走査光線ビーム発生手段及び
／又は受光手段と被測定物の間に、平行走査光線ビーム
が透過可能な保護カバーを設は右と共に、該保護カバー
の表面が被測定物の表面と正対し、ないようにして、被
測定物表面と保護カバー表面による反射光が受光手段に
入射しないようにして、前記目的を達成し、たものであ
る。
過後の平行走査光線ビームの明暗を感知して電気信号と
する受光手段とを有し、前記平行走査光線ビーム発生手
段と受光手段との間に配置（−２だ被測定物によシ前記
平行走査光線ビームが遮ぎられて生じる暗部又は明部の
長さから被測定物の寸法を測定するようにした光学式測
定機において一前８Ｐ平行走査光線ビーム発生手段及び
／又は受光手段と被測定物の間に、平行走査光線ビーム
が透過可能な保護カバーを設は右と共に、該保護カバー
の表面が被測定物の表面と正対し、ないようにして、被
測定物表面と保護カバー表面による反射光が受光手段に
入射しないようにして、前記目的を達成し、たものであ
る。
又、前配保腰カバーの表面を平面状とし、該平面状表面
を千行走食光線ビームの光軸に対して傾斜して配置する
ことにより、単純、な形状の併メカバーが使用できるよ
うにしたものである。
を千行走食光線ビームの光軸に対して傾斜して配置する
ことにより、単純、な形状の併メカバーが使用できるよ
うにしたものである。
更に一前配保護カバーの平面状弐面を、平行走査光線ビ
ームの走査方向と平行な軸を回転中心として、平行走査
光線ビーム・の光軸に対シ１．て傾斜し。
ームの走査方向と平行な軸を回転中心として、平行走査
光線ビーム・の光軸に対シ１．て傾斜し。
て配置することにより、小さいイぽ１斜角度で−ＪＭｉ
ｌｌｌｌ定物表面と保護カバー表面による反射光が確実
に受光手段に入射しないようにしたものである。
ｌｌｌｌ定物表面と保護カバー表面による反射光が確実
に受光手段に入射しないようにしたものである。
或いは、前記保時カバーの表面を略凸球面状として、保
護カバーがＪ・さな設置スペースで夜易に配置できるよ
うにしたものである、 以下図面を参照して、本発明の実施例を詳〃１（１に説
明する。
護カバーがＪ・さな設置スペースで夜易に配置できるよ
うにしたものである、 以下図面を参照して、本発明の実施例を詳〃１（１に説
明する。
本実施例は、第５図に示す如く、前記従来例と同様の同
期モータ４４、回転ミラー１６、コリメータレンズ１８
等を含む発光側ユニット５２と。
期モータ４４、回転ミラー１６、コリメータレンズ１８
等を含む発光側ユニット５２と。
同じく前Ｈ「：従来例と同様の、集光レンズ２２及び受
光素子２６等を含む受光側ユニット５４とを有し、前ｄ
ピ発発光側ユニット２と受光側ユニット５４との間に配
置した被測定物２４により平行走査光線ビーム２０が遮
ぎられて生じる暗部又は明部の長さから被測定物２４の
走査方向寸法（第５図の紙面と垂直な方向の寸法）を測
定するようにした高速度走食型レーザ測長機５ｏにおい
て、前Ｍ１７発光発光側ユニット及び受光側ユニット５
４と測定物２４０間に、平行走査光線ビーム２ｏが透過
可能な平面状の保護ガラス５６− ５８を設けると共罠
、前号じ保護ガラス５６．５８の表−面を、平行走査光
線ビーム２０の走査方向と平行な軸を回転中心として一
平行走査光線ビーム２ｏの光軸に対して傾斜して配置す
ることにょシ、保護ガラス５６−５８の表面が被測定物
２４の表面と正対しないようにして、被測定物２４表面
と保護ガラス５６．５８の表面による反射光が受光素子
に入射しないようにしたものである。他の点については
前記従来例と同様であるので、説明は省略する。
光素子２６等を含む受光側ユニット５４とを有し、前ｄ
ピ発発光側ユニット２と受光側ユニット５４との間に配
置した被測定物２４により平行走査光線ビーム２０が遮
ぎられて生じる暗部又は明部の長さから被測定物２４の
走査方向寸法（第５図の紙面と垂直な方向の寸法）を測
定するようにした高速度走食型レーザ測長機５ｏにおい
て、前Ｍ１７発光発光側ユニット及び受光側ユニット５
４と測定物２４０間に、平行走査光線ビーム２ｏが透過
可能な平面状の保護ガラス５６− ５８を設けると共罠
、前号じ保護ガラス５６．５８の表−面を、平行走査光
線ビーム２０の走査方向と平行な軸を回転中心として一
平行走査光線ビーム２ｏの光軸に対して傾斜して配置す
ることにょシ、保護ガラス５６−５８の表面が被測定物
２４の表面と正対しないようにして、被測定物２４表面
と保護ガラス５６．５８の表面による反射光が受光素子
に入射しないようにしたものである。他の点については
前記従来例と同様であるので、説明は省略する。
本実施例においては、被測定物２４の表面で反射した光
線ビーム２０ａけ、保護カラス５６の表面により平行定
食光線ビーム２ｏの走査光路よシ左方（第５図の下方）
に反射されてしまうため、保護ガラス５８、集光レンズ
２２を介して受光素子２６に入射することがない。父、
保護ガラス５８の表面で反射された光線ビーム２０ｂは
、平行走査光線ビーノ、２ｏの走査光路よシ右方（第５
図の上方）に反射されてしまうため、やはり、集光レン
ズ２２．を介して受光素子２６に入射することがない。
線ビーム２０ａけ、保護カラス５６の表面により平行定
食光線ビーム２ｏの走査光路よシ左方（第５図の下方）
に反射されてしまうため、保護ガラス５８、集光レンズ
２２を介して受光素子２６に入射することがない。父、
保護ガラス５８の表面で反射された光線ビーム２０ｂは
、平行走査光線ビーノ、２ｏの走査光路よシ右方（第５
図の上方）に反射されてしまうため、やはり、集光レン
ズ２２．を介して受光素子２６に入射することがない。
従って一前出第３図に示したような。
乱入光による影響を受けない一正確な受光波形を得るこ
とができ、正確なエツジ検出が可能となる、本実施例に
おいては、保護ガラス５６．５８の表面が、平行走査光
線ビーム２ｏの走査方向と平行な軸を回転中心として、
平行走青光線ビーム２０の光軸に対して傾斜して配置さ
れているので、少ない傾斜角度で、被測定物２４表面と
保護ガラス５６−５８表面による反射光が受光素子２６
に入射することを確実に防止することができる。なお保
篩ガラス５６−５８の傾斜方向は−これに限定されない
。
とができ、正確なエツジ検出が可能となる、本実施例に
おいては、保護ガラス５６．５８の表面が、平行走査光
線ビーム２ｏの走査方向と平行な軸を回転中心として、
平行走青光線ビーム２０の光軸に対して傾斜して配置さ
れているので、少ない傾斜角度で、被測定物２４表面と
保護ガラス５６−５８表面による反射光が受光素子２６
に入射することを確実に防止することができる。なお保
篩ガラス５６−５８の傾斜方向は−これに限定されない
。
父１本実施例においては、保護ガラスとして平面ガラス
を用いているので、従来と同様の保護ガラスを用いるこ
とができ、コストアップも殆んど疫い。
を用いているので、従来と同様の保護ガラスを用いるこ
とができ、コストアップも殆んど疫い。
次に第６図を参照して一本発明の第２ 冥ｆｉｆｔｉ例
を詳細に説明する。
を詳細に説明する。
本実施例は、第６図に示す如く、前色じ従来例と同様の
、同期モータ４４、回転ミラー１６−コリメータレンズ
１８等を含む発光側ユニット５２と、同じく前記″、従
来例と同様の一集光レンズ２２、受光素子２６等を含む
受光側ユニット５４とを有し、前記発光側ユニット５２
と受光側ユニット５４との間に配置した被測定物２４に
より平行定食光線ビーム２０が遮ぎられて生じる暗部又
は明部の長さから被測定物２４の走査方向寸法（第６図
の紙面と垂直な方向の寸法）を測定するようにした冒速
度走査型レーザ測長機５０において、前６１発発光側ユ
ニット２及び受光側ユニット５４とイＩ、！測定物２４
の間に、平行走査光線ビーム２０が透】の可能な１表面
が略凸球面状とされた保護ガラス６０゜６２を設けるこ
とによって、昼台−＝Ｉｊ４；ｉ−千“：Ｌ −−′−
″−一 保護ガラス６０．６２の表部が被ｉ！ｅ」＝物
２４の表（８）と正対しないようにして、被測定物２４
表面と保護ガラス６０゜６２表面による反射光が受光素
子２６に人別しないようにしたものである。
、同期モータ４４、回転ミラー１６−コリメータレンズ
１８等を含む発光側ユニット５２と、同じく前記″、従
来例と同様の一集光レンズ２２、受光素子２６等を含む
受光側ユニット５４とを有し、前記発光側ユニット５２
と受光側ユニット５４との間に配置した被測定物２４に
より平行定食光線ビーム２０が遮ぎられて生じる暗部又
は明部の長さから被測定物２４の走査方向寸法（第６図
の紙面と垂直な方向の寸法）を測定するようにした冒速
度走査型レーザ測長機５０において、前６１発発光側ユ
ニット２及び受光側ユニット５４とイＩ、！測定物２４
の間に、平行走査光線ビーム２０が透】の可能な１表面
が略凸球面状とされた保護ガラス６０゜６２を設けるこ
とによって、昼台−＝Ｉｊ４；ｉ−千“：Ｌ −−′−
″−一 保護ガラス６０．６２の表部が被ｉ！ｅ」＝物
２４の表（８）と正対しないようにして、被測定物２４
表面と保護ガラス６０゜６２表面による反射光が受光素
子２６に人別しないようにしたものである。
他の小及び作用については前１１第１実施例と同様であ
るので説明は省略する。
るので説明は省略する。
本実施例においては、従来の保蔵カラスのイ（りに表面
が略凸球ｍ−＋状と芒れた保護カラス６〇−６２を配置
するのみで１本発明が容易に実施できる。
が略凸球ｍ−＋状と芒れた保護カラス６〇−６２を配置
するのみで１本発明が容易に実施できる。
なお前記実施例においては、いずれも、発光側ユニット
５２及び受光側コニット５４の保酔カラスを−共に被測
定物２４の表面と正対しないようにしていたが、いずれ
か一方を従来通りとすることも可能である。
５２及び受光側コニット５４の保酔カラスを−共に被測
定物２４の表面と正対しないようにしていたが、いずれ
か一方を従来通りとすることも可能である。
又、前ｎ１１例においては、いずれも、保護カバーとし
て保護ガラスが用いられていたが、保護カバーの材質は
ガラスに限定されず、平行走査光線ビームが透過可能々
材質であれば、アクリル樹脂等の他の材質であっても構
わない。
て保護ガラスが用いられていたが、保護カバーの材質は
ガラスに限定されず、平行走査光線ビームが透過可能々
材質であれば、アクリル樹脂等の他の材質であっても構
わない。
以１曲明し７だ辿り１本発明によれば、被測定物の表面
性状に拘らず、被測定物表面と保獲カバー表ｍ］による
反射光の影響を受けることなく、に￥？［の高いエツジ
検出を行うことができ、従って、高精度の寸法測定を行
うことができるという優れた効果を有する。
性状に拘らず、被測定物表面と保獲カバー表ｍ］による
反射光の影響を受けることなく、に￥？［の高いエツジ
検出を行うことができ、従って、高精度の寸法測定を行
うことができるという優れた効果を有する。
第１図は、従来の高速度走査型レーザ測長様の一例の構
成を示す、一部ブロック線図を含む正面図、第２図は、
同じく、全体構成を示す正面図、第３図は、高速度走査
型レーザ測長機における。 外乱光がない場合の受光波形の一例を示す線図、第４図
は−同じく外乱光がある場合の受光波形の一例を斥す線
図、第５Ｍは１本発明に係る光学式測定機の第１実施例
の構成を模式的に示す平面図、第６図は、同一しく第２
実施例のｔＡ Ｉｊすを模式的に示す平面図である。 ＩＯ・・・レーザ光源、１４・・・固定ミラー−１６・
・・回転ミラー、］８・・・コリメータレンズ、２０・
・・平行走査光線ビーム、２２・・・集光１／ンズ。 ２４・・・被測定物、２６・・受光素−ｐ−ｓｏ・・・
、ｉｌｆ、速１咀定奔型レーザ測長機、５２・・発光１
＋ｉ＋＋ユニッｈ−５４・・・受光（Ｎｌｌユ＝：；／
ト、 ５６．５８．６０．ｆｉ２・・・保護ガラス。 代理人 高 矢 論 （ほか１名）
成を示す、一部ブロック線図を含む正面図、第２図は、
同じく、全体構成を示す正面図、第３図は、高速度走査
型レーザ測長機における。 外乱光がない場合の受光波形の一例を示す線図、第４図
は−同じく外乱光がある場合の受光波形の一例を斥す線
図、第５Ｍは１本発明に係る光学式測定機の第１実施例
の構成を模式的に示す平面図、第６図は、同一しく第２
実施例のｔＡ Ｉｊすを模式的に示す平面図である。 ＩＯ・・・レーザ光源、１４・・・固定ミラー−１６・
・・回転ミラー、］８・・・コリメータレンズ、２０・
・・平行走査光線ビーム、２２・・・集光１／ンズ。 ２４・・・被測定物、２６・・受光素−ｐ−ｓｏ・・・
、ｉｌｆ、速１咀定奔型レーザ測長機、５２・・発光１
＋ｉ＋＋ユニッｈ−５４・・・受光（Ｎｌｌユ＝：；／
ト、 ５６．５８．６０．ｆｉ２・・・保護ガラス。 代理人 高 矢 論 （ほか１名）
Claims (4)
- （１）平行走査光線ビーム発生手段と、被測定物通過後
の平行走査光線ビームの明暗を感知して電気信号とする
受光手段とを有し、前記平行走査光線ビーム発生手段と
受光手段との間に配置した被測定物により前記平行走査
光線ビームが遮ぎられて生じる暗部又は明部の長さから
被測定物の寸法全測定するようにした光学式測定機にお
いて、前Ｎ１戸ト行走査光線ビーム発生手段及び／又は
受光手段と被測定物の間に、平行走査光線ビームが透過
可能な保護カバーを設けると共に、該保設カバーの表面
が被測定物の表面と正対しないようにして。 被測定物表面と保頗カバー表面による反射光が受光手段
に入射しないようにしたことを特徴とする光学式測定機
。 - （２）前配保穫カバーの表面が平面状とされ、該平面状
表面が平行走査光線ビームの光軸に対して傾斜して配置
されている特許請求の範囲第１項に記載の光学式測定機
。 - （３）前記保護カバーの平面状表面が、平行走査光線ビ
ームの走査方向と平行な軸を回転中心として、平行走査
光線ビームの光軸に対１〜で傾斜して配置されている特
＃′１゛誼求の範囲第２項に５１」戦の光学式測定機。 - （４） 削口［；保護カバーの表面が略凸球面状と芒
れている特許請求の範囲第１項に記載の光学式測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19282082A JPS5983007A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 光学式測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19282082A JPS5983007A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 光学式測定機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5983007A true JPS5983007A (ja) | 1984-05-14 |
| JPS6365885B2 JPS6365885B2 (ja) | 1988-12-19 |
Family
ID=16297522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19282082A Granted JPS5983007A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 光学式測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5983007A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01206205A (ja) * | 1988-02-12 | 1989-08-18 | Keyence Corp | スペックルパターン干渉計 |
| JPH027507U (ja) * | 1988-06-28 | 1990-01-18 | ||
| DE102018002788A1 (de) | 2017-04-18 | 2018-10-18 | Mitutoyo Corporation | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Messung eines Außendurchmessers |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018115985A (ja) * | 2017-01-19 | 2018-07-26 | リコーインダストリアルソリューションズ株式会社 | ガス分布検出光学装置およびガス分布検出装置 |
-
1982
- 1982-11-02 JP JP19282082A patent/JPS5983007A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01206205A (ja) * | 1988-02-12 | 1989-08-18 | Keyence Corp | スペックルパターン干渉計 |
| JPH027507U (ja) * | 1988-06-28 | 1990-01-18 | ||
| DE102018002788A1 (de) | 2017-04-18 | 2018-10-18 | Mitutoyo Corporation | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Messung eines Außendurchmessers |
| US10401151B2 (en) | 2017-04-18 | 2019-09-03 | Mitutoyo Corporation | Optical outer diameter measurement apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6365885B2 (ja) | 1988-12-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5175595A (en) | Non-contact measuring device | |
| US4936676A (en) | Surface position sensor | |
| US5291271A (en) | Measurement of transparent container wall thickness | |
| US4370058A (en) | Digital focimeter and method | |
| JPS628124B2 (ja) | ||
| US20030227635A1 (en) | Device and method for the optical detection of objects | |
| US3915575A (en) | Reflector arrangement | |
| EP0320139A3 (en) | Optical measurement of wall thickness of transparent articles | |
| US4622462A (en) | Method and apparatus for three-dimensional scanning | |
| US3658426A (en) | Alignment telescope | |
| EP0273717B1 (en) | Method and apparatus for noncontact automatic focusing | |
| JPH01253607A (ja) | 材料面の表面あらさ検出装置 | |
| GB2079561A (en) | Secondary alignment target for an electro-optical alignment measuring system | |
| US4099051A (en) | Inspection apparatus employing a circular scan | |
| JPS59166805A (ja) | 光学投影器及びその使用方法 | |
| US4192612A (en) | Device for contact-free thickness measurement | |
| EP0110937A1 (en) | APPARATUS FOR MEASURING THE DIMENSIONS OF CYLINDRICAL OBJECTS BY MEANS OF A FLOATING LASER BEAM. | |
| JPS6341484B2 (ja) | ||
| US4521113A (en) | Optical measuring device | |
| US5587787A (en) | Process for measuring relative angles | |
| JPS6365885B2 (ja) | ||
| EP0244102A1 (en) | Inspection apparatus | |
| US4458147A (en) | Apparatus for evaluating optical signals | |
| JPS61234306A (ja) | 光学式測定装置 | |
| JPH09210639A (ja) | 外径測定装置 |