JPS598356Y2 - ブロ−ブカ−ド用エツジセンサ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は３本の針を用いたブローブカード用エツジセン
サに関するものである。

集積回路の電気的特性を検査するためにウエハのパッド
上に探針を接触させ、この探針をプリント回路で電気的
に端子に導くようにしたプローブカードは既に知られて
いる。

このブローブカードの探針がウエハの面上からはずれな
いように、通常、ウエハの周辺位置を検出するためにエ
ッジセンサが用いられている。

第１図は従来のエツジセンサの斜視図である。

１はブローブロードの基板、２，３はその基板１の下面
に樹脂などで涸定されたエツジセンサを構成する針であ
る。

針２，３は弾性導電材料からなり途中から先になるにつ
れて細くなるように形威されており、このうち針２は先
端部がほぼ直角に下方に折曲げられ、針３は先端部が直
角に横方向に折曲げられて針２と常時接触するように配
置されている。

ブローブカードを検査台に載せ、ウエハを下から押し上
げブローブカードの基板１に固定された検査用の探針（
図示せず）にパッドを接触させて検査状態にセットする
と、針２はその先端がウエハの表面に接触して押し上げ
られるため、針２と３の接触は開かれる。

したがって針２，３が接続されるセンサ回路はオフの状
態になる。

探針とウエハのパッドが接触すると外部回路とウエハは
電気的に接続されてウエハの電気特性の検査がなされる
。

さらにウエハは上下および左右方向の移動を繰り返しな
がら各点の検査を行なう。

そしてエツ．ジセンサの針２の先端がウエハの縁にきて
針２の先端がウエハから落ちると針２と３は接触する。

この結果、センサ回路はオンの状態になり、探針がウエ
ハの縁に近づいたことを知らせる。

しがしながら、検査中に針２の先端がウエハ上の電位の
あるパッド等の位置に接触すると、針２に電流が流れて
しまい、これが誤信号となって針２と３は開いているの
にもかかわらすセンサ回路はオン状態になってしまうこ
とがある。

この問題を解決するために、第２図に示すように針２の
先端に絶縁体４を設けたエツジセンサが考えられている
。

このようにすると、針２の先端が絶縁されるため誤信号
が流れることはなくなる。

しかし、針２の先端を細く尖鋭に形或することは可能で
あるが、この上に薄く絶縁加工することは困難であるた
め、絶縁体の形状がどうしても大きくなりエッジセンサ
の検出感度を低下させてしまうという欠点があった。

本考案はこのような従来の欠点を解消するために考えら
れたもので、その目的とするところは、誤信号を拾うこ
となく、シかも検出感度の高いブローブカード用エツジ
センサを提供することにある。

このような目的を達するために、本考案は、３本の針を
設け、第１の針の先端をウエハに接触させ、この第１の
針の上下移動によって第１の針に設けた絶縁体を介して
第２の針と第３の針の開閉を行なうようにしたものであ
る。

以下、本考案を実施例によって詳細に説明する。

第３図は本考案に係るブローブカード用エツジセンサの
一実施例の斜視図である。

図において、１０はプリント配線基板からなるプローブ
カードの基板、１１，１２．１３は基板１０の開口周辺
の上面に形威された導電パターン、１４，１５．１６は
導電パターン１１ ，１２．１３にそれぞれ形威された
スルーホールである。

こレラの導電パターン１１，１２．１３はこのスルーホ
ール１４，１５．１６を介して基板１０の下面に形戒さ
れた配線パターンにそれぞれ接続されている。

導電パターン１２．１３はセンサ回路に接続され、導電
パターン１１は必要に応じ検査回路に接続される。

２１，２２．２３は基部にはんだ付けによりアーム２４
，２５．２６が固定された針で、弾性導電材料からなり
途中から先が順次細くなるように形威されている。

そして各針２１．２２．２３はその基部のアーム２４，
２５．２６が導電パターン１１，１２．１３にそれぞれ
はんだ２７によって取付けられ、基板１０の開口にほぼ
平行に突出するように固定される。

そして、針２１は先端をほぼ直角に下方に折曲げて垂直
部２１ ａが形威され、針２２は先端を直角に横方向に
折曲げて先端水平部２２ ａが形威され、針２３は先端
がそのまま真直ぐ延びて先端水平部２３ ａが形或され
る。

さらに、針２１の水平部の先端部分には絶縁材料からな
るチューブ２８が設けられている。

ここで、針２２と２３はセンサスイツチを構戒し、針２
１はスイッチアクチュエータを構戒する。

そして、常時は、先端水平部２２ａと２３３は接触して
センサスイツチはオンになっており、このときチューブ
２８は先端水平部２２ ａに軽く接触するか又はやや間
隔をおくようにそれぞれ配置されている。

なお実際にはエツジセンサのほかに検査用の探針が多数
開口に突出して設けられるが図では省略してある。

次にこのエツジセンサの使用動作について説明する。

第４図は針の部分の側面図である。

図において、３０は可動台、３１は可動台３０の上に載
置された被検査用のウエハである。

図ａは基板１０を検査台（図示せず）に載せ、ウエハ３
１がまた下位置にある状態を示している。

この状態では針２２の先端水平部２２ ａは針２１のチ
ューブ２８に押されることはなくセンサスイツチはオン
している。

次に、ウエハ３１の検査をするために可動台３０を上昇
し、図ｂに示すように、ウエハ３１を上位置に持ち上げ
ると、垂直部２１ ａの先端がウエハ３１の表面に当り
、さらに垂直部２１ ａは上方に押し上げられる。

この結果、チューブ２８を介して針２２の先端水平部２
２ａも押し上げられて針２３の先端水平部２３ａ（第４
図には図示せず）とはなれセンサスイツチはオフ状態に
なる。

かくて、ウエハ３１が上位置でかつセンサスイツチがオ
フのときは、センサ回路はウエハ３１が正規の検査状態
にあることを検出する。

この状態で周知のように図示しない探針によってウエハ
３１の電気的特性が検査される。

次にウエハ３１が下位置に下ると垂直部２１ ａも下降
しチューブ２８が下方に移動するため、針２２は自身の
弾力で元の位置に戻りセンサスイツチはオンする。

この上下動作と水平移動を繰り返して探針によってウエ
ハ３１の各点が検査される。

そして、ウエハ３１が上位置にあるとき垂直部２１ ａ
の先がウエハ３１の表面の縁からはずれて可動台３０上
に落ちるとセンサスイツチはオンになる。

このように、ウエハ３１が上位置でかつセンサスイツチ
がオンのときはセンサ回路はウエハ３１がエッジ状態に
あることを検出する。

なお、針２１を検査回路に接続すれば、針２１にはセン
サスイツチのアクチュエータとしての機能のほかに探針
としての機能を持たせることもできる。

このようにこの実施例では、針２１の垂直部２１ａの先
端は尖鋭に形或できるために、精密な寸法でウエハ上に
配置できエッジ検出感度を高くすることができる。

しかも絶縁材のチューブ２８を介してセンサスイツチを
動作させるのでウエハからセンサ回路に誤信号が入るこ
ともなくなる。

また、従来は、ブローブカードの基板１０の下面に多数
の探針が設けられていて、エツジセンサを取付ける場所
がなかなか得られなかったが、この実施例では基板１０
の上面にエツジセンサの３本の針を取付けるのでスペー
スが有効に使え通常のブローブカードにそのまま適用す
ることができる。

しかも、エツジセンサが故障してもその修理，交換が容
易にできる利点がある。

また、アーム２４，２５．２６から先の針の長さはそれ
ぞれ一定になるため、これらアームをウエハの位置に合
せて任意に前後させて導体パターン１１，１２．１３に
取付けても、各針の弾力は変らす針圧は均一になり安定
したエッジ検出ができる。

さらに、ウエハのパッドが密になってエツジセンサを配
置するスペースがないような場合は、前記のように針２
１を検査用の探針として利用することができるため、こ
のような密の場合でも容易にエツジセンサを設けること
が可能となる。

このように本考案に係るブローブカード用エッジセンサ
によると、簡単な構造により、誤信号を拾うことなく、
シかも検出感度を大きく向上できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は従来のエツジセンサの斜視図、第３図
は本考案に係るブローブカード用エツジセンサの一実施
例の斜視図、第４図は針の部分の側面図である。 １０・・・・・・基板、１１，１２．１３・・・・・・
導電パターン、１４，１５．１６・・・・・・スルーホ
ール、２１，２２．２３・・・・・・針、２１ａ・・・
・・・垂直部、２２ ａ ，２３ ａ・・・・・・先端
水平部、２４，２５．２６・・・・・・アーム、２７・
・・・・・はんだ、２８・・・・・・チューブ、３１・
・・・・・ウエハ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 基板に３本の針を並べて面方向に突出させ、第１の針は
   先端を下方に折曲げて垂直部を形或するとともにその水
   平部の先端部分に絶縁体を設け、第２の針は先端を横方
   向に折曲げて先端水平部を形或し、第３の針は先端をそ
   のまま延ばして先端水平部を形或し、前記第２の針の先
   端水平部を前記第３の針の先端水平部に接触するように
   構威し、前記第１の針の垂直部を所定距離持ち上げたと
   き絶縁体を介して前記第２の針の先端水平部を押し上げ
   前記第３の針の先端水平部との接触を開くように構或し
   たブローブカード用エツジセンサ。