JPH09318662A5 - - Google Patents

Description

【発明の名称】検査装置及び検査方法

Claims (12)

1. 第１グループの複数の端子と、第２グループの複数の端子と、前記第１グループの複数の端子と前記第２グループの複数の端子との間を電気的に接続する複数の導体パターンとを有する電子回路基板について、前記複数の導体パターンの良否を判定する検査装置であって、
   前記電子回路基板に接触する第１の接触ピンを１つ有する第１のプローブと、
   前記第１のプローブまたは前記電子回路基板のいずれか一方を、前記第１の接触ピンが前記電子回路基板の表面から離れることなく、且つ、略直線状に形成された前記第１グループの複数の端子に沿って移動させる移動手段と、
   前記第１のプローブの前記第１の接触ピンに、識別可能な第１の電気信号を供給する供給手段と、
   前記第２グループの複数の端子の夫々に現れる第２の電気信号をモニタするモニタ手段と、
   前記モニタ手段によるモニタ結果に基づいて、前記複数の導体パターンの良否を判定する判定手段と、
   を備えることを特徴とする検査装置。
2. 前記判定手段は、前記モニタ手段によるモニタ結果に基づいて、前記第１グループの複数の端子中の、前記供給手段によって前記第１の電気信号を印加された端子を同定する同定手段を有し、
   前記同定手段によって同定された端子に導体パターンを介して接続された前記第２グループ中の１つまたは複数の端子にて前記モニタ手段により検出された第２の電気信号に基づいて、前記導体パターンの良否を判定することを特徴とする請求項１記載の検査装置。
3. 更に、前記第１グループの複数の端子と前記第２グループの複数の端子との間の前記複数の導体パターンによる接続関係を記憶する第１の記憶手段を備え、
   前記判定手段は、前記移動手段により前記第１のプローブの前記第１の接触ピンが前記第１グループの１つの端子の上に移動してきたときに、前記第２グループ中の、前記１つの端子に接続された特定の端子を前記記憶手段から特定し、特定された端子について前記検出手段を介して検出された第２の電気信号に基づいて、前記１つの端子と前記特定された端子間の導体パターンの良否を判断することを特徴とする請求項１記載の検査装置。
4. 更に、前記第１のプローブの前記第１の接触ピンに近接した位置に設けられた第２の接触ピンを有する第２のプローブを備え、
   前記同定手段は、前記第１のプローブから前記第１の接触ピンを介して前記第１のグループのある端子に印加された前記第１の電気信号を前記第２のプローブの前記第２の接触ピンを介して検出された第３の電気信号に基づいて、前記ある端子を同定することを特徴とする請求項２記載の検査装置。
5. 前記第１プローブと第２のプローブは共通の本体を有し、この本体の下部に前記第１と第２の接触ピンを有することを特徴とする請求項４記載の検査装置。
6. 前記第１の接触ピンと第２の接触ピンとの離間距離は１つの端子の幅未満に設定されていることを特徴とする請求項４記載の検査装置。
7. 前記第１プローブの前記第１の接触ピンは、前記電子回路基板の前記面に対して傾けられて前記第１のプローブ上に設けられていることを特徴とする請求項１記載の検査装置。
8. 前記移動手段は、
   前記第１のプローブの移動方向が変更されたときは、前記第１のプローブの本体を前記電子回路基板の前記面に垂直な軸の周りに回転させる手段を備え、
   これにより、前記第１のプローブの移動方向が変更される前における前記第１の接触ピンの前記面に対する方位角を、前記第１のプローブの移動方向が変更された後も保つことを特徴とする請求項７記載の検査装置。
9. 前記判定手段は、
   前記移動手段により前記第１のプローブの前記第１の接触ピンが前記第１グループのいずれか１つの端子に接触していることを検出する手段と、
   前記第２グループ中の、前記いずれか１つの端子に接続された第１の端子と、前記いずれか１つの端子に接続されていない第２の端子とを、前記記憶手段から読み出した接続関係に基づいて、特定する手段と、
   前記第１の端子にて検出された第２の電気信号に基づいて、前記いずれか１つの端子と前記第１の端子との間の導体パターンの断線を判定する手段と、
   前記第２の端子にて検出された第２の電気信号に基づいて、前記いずれか１つの端子と前記第２の端子との間の導体パターンの短絡を判定する手段と、
   を備えることを特徴とする請求項３記載の検査装置。
10. 前記モニタ手段は、前記第２のグループの複数の端子にて検出される電気信号の値が大きく変化した時点から所定の時間後の検出信号を前記第２の電気信号としてサンプリングすることを特徴とする請求項１記載の検査装置。
11. 第１グループの複数の端子と、第２グループの複数の端子と、前記第１グループの複数の端子と前記第２グループの複数の端子との間を電気的に接続する複数の導体パターンとを有する電子回路基板に対して、識別可能な第１の電気信号を所定のプローブを介して印加することにより、前記複数の導体パターンの良否を判定する検査方法であって、
    前記プローブを、該プローブの先端が前記電子回路基板の表面から離れることなく、且つ、略直線状に形成された前記第１グループの複数の端子に沿って移動させながら、前記プローブに識別可能な第１の電気信号を供給する移動工程と、
    前記プローブが前記第１グループの１つの端子に前記電気信号を供給している間に、前記第２グループの複数の端子の夫々に現れる第２の電気信号をモニタするモニタ工程と、
    前記モニタ工程で得られた第２の電気信号に基づいて、前記複数の導体パターンの良否を判定する判定工程とを備えることを特徴とする検査方法。
12. 電子回路基板上に形成された複数の端子の位置を探索することにより前記電子回路基板を検査する検査方法であって、
    プローブ上に所定の間隔だけ離間されて設けられた２つの第１と第２の接触ピンを前記電子回路基板の表面に接触させる接触工程と、
    前記２つの接触ピンが前記電子回路基板の前記表面との接触を保ち且つ前記表面に対して略平行に沿うように、プローブを前記電子回路基板上を移動させる移動工程と、
    前記プローブを前記電子回路基板上で移動させる過程で、識別可能な電気信号を前記第１の接触ピンに印加しつつ、前記第２の接触ピンを介して前記電気信号のリターン信号を検出する検出工程と、
    検出されたリターン信号に基づいて、前記複数の端子の位置を同定する同定工程と、
    を備えることを特徴とする検査方法。