JPS5983581A - 回転微動機構 - Google Patents
回転微動機構Info
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- JPS5983581A JPS5983581A JP57193782A JP19378282A JPS5983581A JP S5983581 A JPS5983581 A JP S5983581A JP 57193782 A JP57193782 A JP 57193782A JP 19378282 A JP19378282 A JP 19378282A JP S5983581 A JPS5983581 A JP S5983581A
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- Japan
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- drive
- power sources
- rotation
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/101—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using intermittent driving, e.g. step motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、物体位置の回転を高精度に行わせる回転微動
機構の改良に関する。
機構の改良に関する。
近年、半導体ウェーハやマスク基板等の試料に微細パタ
ーンを形成するものとして、電子ビーム描画装置、縮小
投影型転写装置およびＸ線転写装置等が開発されている
が、この種の装置ではサブミクロン単位の精度を保持す
るために微小に駆動する駆動機溝が必要となる。また、
上記装置に限らず測定機器で精密な測定を行う分野等に
おいても、高精度を有する微動駆動機１′ 構が必要ズある。
ーンを形成するものとして、電子ビーム描画装置、縮小
投影型転写装置およびＸ線転写装置等が開発されている
が、この種の装置ではサブミクロン単位の精度を保持す
るために微小に駆動する駆動機溝が必要となる。また、
上記装置に限らず測定機器で精密な測定を行う分野等に
おいても、高精度を有する微動駆動機１′ 構が必要ズある。
微動績動機構としては、−軸方向に移動させるものや回
転運」１１を行わせるもの等があるが、回転運動を行わ
せる従来の回転微動機構にあっては次のような問題があ
った。すガわち、ストロークが長いものは微動駆動が困
難で、微動駆動が可能なものはストロークを長くできな
い等の問題があった。
転運」１１を行わせるもの等があるが、回転運動を行わ
せる従来の回転微動機構にあっては次のような問題があ
った。すガわち、ストロークが長いものは微動駆動が困
難で、微動駆動が可能なものはストロークを長くできな
い等の問題があった。
例えば、公知文献（電動形位置合せ機構の動作特性、昭
和５１年年度様学会秋期大会前刷、Ｐ ３５９ ）で述
べられている回転機構は圧電効果を持った材料を歪ませ
て回転運動に変換しているが、この場合半径２９ ［ｍ
］の所で±２〔μｆｆｌ〕の極めて短いストロークし
かとれていない。また、圧電効果を利用したものとして
特公昭５１−１２４９７号公報「ステップ微動装置」が
あるが、ここで述べられている内容は直進運動形のステ
ップ駆動であり、これを回転運動に変換させるためには
やはり従来の軸受を用いた回転テーブルを使用しなけれ
ばならず、さらにガタを々〈すためには材料の弾性変形
を利用した片持梁のような回転機構を使用しなければな
ら々い。
和５１年年度様学会秋期大会前刷、Ｐ ３５９ ）で述
べられている回転機構は圧電効果を持った材料を歪ませ
て回転運動に変換しているが、この場合半径２９ ［ｍ
］の所で±２〔μｆｆｌ〕の極めて短いストロークし
かとれていない。また、圧電効果を利用したものとして
特公昭５１−１２４９７号公報「ステップ微動装置」が
あるが、ここで述べられている内容は直進運動形のステ
ップ駆動であり、これを回転運動に変換させるためには
やはり従来の軸受を用いた回転テーブルを使用しなけれ
ばならず、さらにガタを々〈すためには材料の弾性変形
を利用した片持梁のような回転機構を使用しなければな
ら々い。
そしてこの場合、前者では軸受内のガタの発生、回転ス
トロークを大きくでき人い等の問題を招き、後者にあっ
ても以前として回転ストロークの問題を解決することは
でき々い。
トロークを大きくでき人い等の問題を招き、後者にあっ
ても以前として回転ストロークの問題を解決することは
でき々い。
上記のような問題を解決するものとして、最近本発明者
等は、第１図（ａ） 、 （ｂ）に示す如き回転微動機
構を考案した（特願昭５７−１９３２８号）。
等は、第１図（ａ） 、 （ｂ）に示す如き回転微動機
構を考案した（特願昭５７−１９３２８号）。
この方式では回転ストロークを大きく取れ、原理的には
１回転以上の駆動が可能であり、かつ微小ステップｏ、
ｏｏｓ［：μｍ〕程度の微動移動が可能である。以下、
回転微動機構について説明する。
１回転以上の駆動が可能であり、かつ微小ステップｏ、
ｏｏｓ［：μｍ〕程度の微動移動が可能である。以下、
回転微動機構について説明する。
第１図（ａ）は平面図で第１図（ｂ）は同図（、）の矢
視Ａ−Ａ断面図を示している。図中１は回転板であり、
この回転板１は半円板状の第１および第２の移動部材２
，３を弾性ヒンジ４で接続して構成されている。なお、
実際には円板の中心軸を対称とする該円板の外周部２個
所をそれぞれ一部切欠すると共に、該切欠部から中心軸
に向ってそれぞれ切り込みを設けることによって、上記
移動部材２，３および弾性ヒンジ４からなる回転板１が
形成される。そして、回転板１は導電性の基台５上に移
動自在に載置されると共Ｋ、その中心である弾性゛ヒン
ジ４の下面に設けたビン６によって回転中心が規定され
ている。
視Ａ−Ａ断面図を示している。図中１は回転板であり、
この回転板１は半円板状の第１および第２の移動部材２
，３を弾性ヒンジ４で接続して構成されている。なお、
実際には円板の中心軸を対称とする該円板の外周部２個
所をそれぞれ一部切欠すると共に、該切欠部から中心軸
に向ってそれぞれ切り込みを設けることによって、上記
移動部材２，３および弾性ヒンジ４からなる回転板１が
形成される。そして、回転板１は導電性の基台５上に移
動自在に載置されると共Ｋ、その中心である弾性゛ヒン
ジ４の下面に設けたビン６によって回転中心が規定され
ている。
回転板１の前記切欠部には、第１および第２の枢動部材
７，８がそれぞれ設けられている。
７，８がそれぞれ設けられている。
これらの駆動部材７．８はそれぞれ印加電圧に応じて伸
縮する圧電素子からなるもので、その伸縮方向（図中に
示す矢印方向）の両端に前記第１および第２の移動部材
２，３がそれぞれ取着固定されている。なお、この固定
は接着、ねじ止め或いは圧入等のいずれであってもよい
。
縮する圧電素子からなるもので、その伸縮方向（図中に
示す矢印方向）の両端に前記第１および第２の移動部材
２，３がそれぞれ取着固定されている。なお、この固定
は接着、ねじ止め或いは圧入等のいずれであってもよい
。
まだ、第１の駆動部材２にはスイッチ９ａを介して可変
電圧電源１０ａが接続され、第２の駆動部材８にはスイ
ッチ９ｂを介して可変電圧電源ｉｏｂが接続されるもの
となっている。
電圧電源１０ａが接続され、第２の駆動部材８にはスイ
ッチ９ｂを介して可変電圧電源ｉｏｂが接続されるもの
となっている。
一方、前記第１の移動部材２の下部には電極１１１Ｌお
よび絶縁物１１ｂ、Ｉｌｃからなる第１の静電チャック
（固定部材）１１が設けられておシ、上記電極１１ａと
前記基台５との間にスイッチ１３ｍを介して電源１４＆
を接続することにより第１の移動部材２が基台５上に吸
着固定されるものとなっている。また、第２の移動部材
３の下部には上記静電チャック１１と同様々第２の静電
チャック１２が設けられておシ、このチャック１２によ
り第２の移動部材３が基台５上に吸着固定されるものと
なっている。
よび絶縁物１１ｂ、Ｉｌｃからなる第１の静電チャック
（固定部材）１１が設けられておシ、上記電極１１ａと
前記基台５との間にスイッチ１３ｍを介して電源１４＆
を接続することにより第１の移動部材２が基台５上に吸
着固定されるものとなっている。また、第２の移動部材
３の下部には上記静電チャック１１と同様々第２の静電
チャック１２が設けられておシ、このチャック１２によ
り第２の移動部材３が基台５上に吸着固定されるものと
なっている。
このように構成された回転微動機構では、まず前記第２
の静電チャック１２により第２の移動部材３を基台５上
に吸着固定する。この状態で第１の駆動部材７を伸長さ
せると共に、第２の駆動部材８を縮長させる。これによ
り、第１の移動部材２は第２図（、）に示す如く、弾性
ヒンジ４のひずみにより同ヒンジ４を中心として矢印Ｐ
方向に微小回転する。次に、前記第１の静電チャック１
１により第１の移動部材２を基台５上に固定し、その後
筒２の静電チャック１２による第２の移動部材３の固定
を解除する。この状態で第１の！＠駆動部材を縮長させ
ると共に第２の駆動部材８を伸長させると、第２の移動
部材３が第２図（ｂ）に示す如く、弾性ヒンジ４を中心
として矢印Ｐ方向に微小回転する。以上の操作を繰り返
すことによって、第１および第２の移動部材２，３から
なる回転板１は、弾性ヒンジ４のひずみによりビン６を
中心として矢印Ｐ方向に回転せしめられるととになる。
の静電チャック１２により第２の移動部材３を基台５上
に吸着固定する。この状態で第１の駆動部材７を伸長さ
せると共に、第２の駆動部材８を縮長させる。これによ
り、第１の移動部材２は第２図（、）に示す如く、弾性
ヒンジ４のひずみにより同ヒンジ４を中心として矢印Ｐ
方向に微小回転する。次に、前記第１の静電チャック１
１により第１の移動部材２を基台５上に固定し、その後
筒２の静電チャック１２による第２の移動部材３の固定
を解除する。この状態で第１の！＠駆動部材を縮長させ
ると共に第２の駆動部材８を伸長させると、第２の移動
部材３が第２図（ｂ）に示す如く、弾性ヒンジ４を中心
として矢印Ｐ方向に微小回転する。以上の操作を繰り返
すことによって、第１および第２の移動部材２，３から
なる回転板１は、弾性ヒンジ４のひずみによりビン６を
中心として矢印Ｐ方向に回転せしめられるととになる。
かくして、回転板１を微動駆動し得ると共にこの繰返し
動作によって回転ストロークを長くすることができる。
動作によって回転ストロークを長くすることができる。
さらに、駆動部材７，８に印加する電圧を調整すること
によって、回転板１の粗動および超微動を容易に行うこ
とができる。
によって、回転板１の粗動および超微動を容易に行うこ
とができる。
ところで、このような機構にあっては、微動駆動を行う
ため１駆動部材７，８を駆動する電源１０ａ、１０ｂＫ
極めて高い安定性が要求される。しかし、高安定性を持
っＩｔ源は一般に応答速度が遅いため、この種の電源を
用いた場合、回転板１０回転速度が遅くなると云う問題
を招く 。
ため１駆動部材７，８を駆動する電源１０ａ、１０ｂＫ
極めて高い安定性が要求される。しかし、高安定性を持
っＩｔ源は一般に応答速度が遅いため、この種の電源を
用いた場合、回転板１０回転速度が遅くなると云う問題
を招く 。
本発明の目的は、微動駆動が可能で回転ストロークを十
分長くすることができ、さら忙駆動時に伴うガタの発生
をも未然に防止することができ、かつ回転速度の高速化
をはかり得る回転微動機構を提供することにある。
分長くすることができ、さら忙駆動時に伴うガタの発生
をも未然に防止することができ、かつ回転速度の高速化
をはかり得る回転微動機構を提供することにある。
本発明の骨子は、圧電効果を有する駆動部材に適当な電
圧を印加するだめの手段として、低い安定性でも高い周
波数応答性を持つ第１の電源と、周波数応答性が悪くて
も高い安定性を持つ第２の電源とを用い、これらの電源
を必要に応じて切り換えることにある。
圧を印加するだめの手段として、低い安定性でも高い周
波数応答性を持つ第１の電源と、周波数応答性が悪くて
も高い安定性を持つ第２の電源とを用い、これらの電源
を必要に応じて切り換えることにある。
すなわち本発明は、基台上に移動自在に載置された第１
および第２の移動部材と、印加電圧に応じて伸縮する圧
電素子からなりその伸縮方向両端に上記第１および第２
の移動部材がそれぞれ取着された１駆動部材と、上記第
１および第２の移動部材を前記基台上に交互に固定する
と共にこれらの移動部材の少なくとも一方を常に固定す
る固定部材と、上記第１および第２の移動部材の回転中
心を決定する手段と、上記駆動部材に所定の電圧を印加
する手段とを具備し、前記駆動部材の伸縮作用および前
記固定部材の固定作用により前記第１および第２の移動
部材を単一の軸心を中心として回転せしめる回転微動機
構において、前記駆動部材に電圧を印加する手段として
、高周波応答性に優れた第１の電源及び安定性に優れた
第２の電源を用い、これらの電源のいずれか一方を選択
して前記駆動部材に電圧を印加するようにしたものであ
る。
および第２の移動部材と、印加電圧に応じて伸縮する圧
電素子からなりその伸縮方向両端に上記第１および第２
の移動部材がそれぞれ取着された１駆動部材と、上記第
１および第２の移動部材を前記基台上に交互に固定する
と共にこれらの移動部材の少なくとも一方を常に固定す
る固定部材と、上記第１および第２の移動部材の回転中
心を決定する手段と、上記駆動部材に所定の電圧を印加
する手段とを具備し、前記駆動部材の伸縮作用および前
記固定部材の固定作用により前記第１および第２の移動
部材を単一の軸心を中心として回転せしめる回転微動機
構において、前記駆動部材に電圧を印加する手段として
、高周波応答性に優れた第１の電源及び安定性に優れた
第２の電源を用い、これらの電源のいずれか一方を選択
して前記駆動部材に電圧を印加するようにしたものであ
る。
本発明によれば、従来の回転機構のように微動を行わせ
ると回転ストロークが極端に短くなると云う不都合がな
く、原理的には１回転以上の回転が可能となる。このた
め、粗動用および微動用の回転機構が不要となる。しか
も、駆動源として圧電素子からなる駆動部材で回転部（
第１および第２の移動部材）を直接駆動しているので、
例えば１ ［Ｖ］テ０．００５ ［μｔＰｔ］と云う超
微動を確実に行うことができる。また、回転中心或いは
回転部が発生する部分に弾性ヒンジ等を設は回転軸に通
常の軸受を必要としないので、枢動時に伴うガタの発生
を未然に防止することができる。さらに、圧電効果を有
する部材は、印加電圧の大きさによって異なるが数１０
０ （ｋｇ〕〜数〔ｔ〕の力を発生することが可能であ
シ、回転を直接駆動しているため、大きなトルクを発生
する回転機構を提供することができる。、この場合、固
定部材で押えた部分のスリップが考えられるが、これは
伝達するトルクによって固定部材の押圧力を適当にに調
整すればよい。
ると回転ストロークが極端に短くなると云う不都合がな
く、原理的には１回転以上の回転が可能となる。このた
め、粗動用および微動用の回転機構が不要となる。しか
も、駆動源として圧電素子からなる駆動部材で回転部（
第１および第２の移動部材）を直接駆動しているので、
例えば１ ［Ｖ］テ０．００５ ［μｔＰｔ］と云う超
微動を確実に行うことができる。また、回転中心或いは
回転部が発生する部分に弾性ヒンジ等を設は回転軸に通
常の軸受を必要としないので、枢動時に伴うガタの発生
を未然に防止することができる。さらに、圧電効果を有
する部材は、印加電圧の大きさによって異なるが数１０
０ （ｋｇ〕〜数〔ｔ〕の力を発生することが可能であ
シ、回転を直接駆動しているため、大きなトルクを発生
する回転機構を提供することができる。、この場合、固
定部材で押えた部分のスリップが考えられるが、これは
伝達するトルクによって固定部材の押圧力を適当にに調
整すればよい。
また、本発明によれば、第１図（−） （ｂ）に示しだ
ものと比較して次のような効果が得られる。すなわち、
高速送りが必要なときは第１の電源によす躍動部材を駆
動し、高精度位置決めが必要なときは第２の電源により
駆動部材を駆動することによって、微動駆動は勿論、回
転速度の高速化をはかることができる。
ものと比較して次のような効果が得られる。すなわち、
高速送りが必要なときは第１の電源によす躍動部材を駆
動し、高精度位置決めが必要なときは第２の電源により
駆動部材を駆動することによって、微動駆動は勿論、回
転速度の高速化をはかることができる。
オだ、本発明はその構成が極めて筒車で故障する部品等
も用いていないので、計測器類や各種半導体製造装置内
に組み込んで使用しても十分信頼性のあるものである。
も用いていないので、計測器類や各種半導体製造装置内
に組み込んで使用しても十分信頼性のあるものである。
さらに、電子ビームやイオンビーム等の荷電粒子を、用
いた装置では磁界の変動によって荷電粒子が影響を受け
る ′が、本発明では全ての構成利料を非磁性材で形成
することができ、この点から荷電粒子を用いる装置に極
めて有用性が高い。
いた装置では磁界の変動によって荷電粒子が影響を受け
る ′が、本発明では全ての構成利料を非磁性材で形成
することができ、この点から荷電粒子を用いる装置に極
めて有用性が高い。
第３図（、） （ｂ）は本発明の一実施例の概略構成を
示すもので、第３図（＆）は平面図、第３図（ｂ）は同
図（＆）の矢視Ｂ−Ｂ断面図である。なお、第１図（ａ
） （ｂ）と同一部分には同一符号を付して、その詳し
い説明は省略する。この実施例が前記第１図（ａ） （
ｂ）に示した機構と異なる点は、前記電源１０ａ。
示すもので、第３図（＆）は平面図、第３図（ｂ）は同
図（＆）の矢視Ｂ−Ｂ断面図である。なお、第１図（ａ
） （ｂ）と同一部分には同一符号を付して、その詳し
い説明は省略する。この実施例が前記第１図（ａ） （
ｂ）に示した機構と異なる点は、前記電源１０ａ。
１０ｂの代シに高周波応答性の優れた第１の可変電圧電
源２１ｈ、２１ｂ及び安定性に優れた第２の可変電圧電
源２２ｍ 、２２ｂを用いたことにある。すなわち、第
１の、駆動部材７には前記スイッチ９ａおよび切換スイ
ッチ２３ａを介して上記電源２１ ａ 、２２＊が接続
され、第２の駆動部材８にはｉ％７記スイッチ９ ｂ
ｉ−よび切換スイッチ２．９ ｂを介して上記電源２Ｊ
ｂ 、 ２２ｂが接続されている。また、前記静電チ
ャック１１．１２には、上記第１の可変電圧電源２１ａ
。
源２１ｈ、２１ｂ及び安定性に優れた第２の可変電圧電
源２２ｍ 、２２ｂを用いたことにある。すなわち、第
１の、駆動部材７には前記スイッチ９ａおよび切換スイ
ッチ２３ａを介して上記電源２１ ａ 、２２＊が接続
され、第２の駆動部材８にはｉ％７記スイッチ９ ｂ
ｉ−よび切換スイッチ２．９ ｂを介して上記電源２Ｊ
ｂ 、 ２２ｂが接続されている。また、前記静電チ
ャック１１．１２には、上記第１の可変電圧電源２１ａ
。
２１ｂと同様に同波数応答性の優れた電源２４ａ。
場合切換スイッチ２３ ａ 、 ２ 、？ ｂをＳｉ側
にすることにより、駆動部材７，８を高い周波数応答性
を持つ電源２１ａ、２１ｂで駆動できるので、回転板１
を高速度で回転させることができる。まだ、高精度位置
決めが必要な集合切換スイッチ２３１Ｌ、２３ｂをＳｉ
側に切り換えることによす、（枢動部材７，８を高安定
性を持つ電源２２ａ、２２ｂで駆動できるので、回転板
１を高い位置決め精度で微動させることができる。
にすることにより、駆動部材７，８を高い周波数応答性
を持つ電源２１ａ、２１ｂで駆動できるので、回転板１
を高速度で回転させることができる。まだ、高精度位置
決めが必要な集合切換スイッチ２３１Ｌ、２３ｂをＳｉ
側に切り換えることによす、（枢動部材７，８を高安定
性を持つ電源２２ａ、２２ｂで駆動できるので、回転板
１を高い位置決め精度で微動させることができる。
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
い。前記実施例では回転の中心に弾性ヒン・ゾを設けた
構造を示しているが、これは回転中心を確実にし安定さ
せるだめのものであり、特に必要なものではなく取って
去っだ４；゛・Ｖ造でも特に問題ではない。また、移即
１部月は差動で動かしているが片側１個でも十分に回転
微勤行なえるようになっている。さらに、弾性構造体の
形状や寸法等は、仕様に応じて適宜変更することか可能
である。
い。前記実施例では回転の中心に弾性ヒン・ゾを設けた
構造を示しているが、これは回転中心を確実にし安定さ
せるだめのものであり、特に必要なものではなく取って
去っだ４；゛・Ｖ造でも特に問題ではない。また、移即
１部月は差動で動かしているが片側１個でも十分に回転
微勤行なえるようになっている。さらに、弾性構造体の
形状や寸法等は、仕様に応じて適宜変更することか可能
である。
虜だ、固定部材によって移動部材を基台に固定する手段
として、実施例では静電チャックを用いたものを説明し
たが、静電チャックの構造。
として、実施例では静電チャックを用いたものを説明し
たが、静電チャックの構造。
製作方法としては特開昭５５−１４５３５１号「静電チ
ャ、り」等にも示されているように種種考えられる。ま
た、静電チャックとは別に、真空チャック、電磁チャッ
クとしてもよく、さらに機械的にクランプする方法でも
よい。また、前記駆動部材を駆動する電源、制御方法も
種々前えられ目的に合せて製作することができる。
ャ、り」等にも示されているように種種考えられる。ま
た、静電チャックとは別に、真空チャック、電磁チャッ
クとしてもよく、さらに機械的にクランプする方法でも
よい。また、前記駆動部材を駆動する電源、制御方法も
種々前えられ目的に合せて製作することができる。
例えば、非常に粗く動かして良いときは駆動部材に印加
する電圧を高くシ、超微動を行ないたい時は低電圧を印
加する様に自在に制御を行なうことができる。さらに、
この回転機構は一種の微動回転モータとして使用すると
とも可能であり、この回転を他の機構姉伝えることによ
って物体の微動を行うこともできる。
する電圧を高くシ、超微動を行ないたい時は低電圧を印
加する様に自在に制御を行なうことができる。さらに、
この回転機構は一種の微動回転モータとして使用すると
とも可能であり、この回転を他の機構姉伝えることによ
って物体の微動を行うこともできる。
要するに本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で、種々
変形して実施することができる。
変形して実施することができる。
第１図（−） （ｂ）は本発明の基本となる回転微動機
構の概略構成を示すもので第１図（、）は平面図、第１
図（ｂ）は同図（、）の矢視Ａ−Ａ断面図、第２図（、
） （ｂ）はそれぞれ上記機構の作用を説明するための
模式図、第３図（、） （ｂ）は本発明の一実施例に係
わる回転微動機構の概略構成を示すもので第３図（、）
は平面図、第３図（ｂ）は同図（、）の矢視Ｂ−Ｂ断面
図である。 １・・・回転板、２・・・第１の移動部材、３・・・第
２の移動部材、４・・・弾性ヒンジ、５・・・基台、６
・・・＆ｙ、７ 、８−１１ｍ動部材、９ａ、９ｂ、１
３ｍ１１３ ｂ ・・・スイッチ、１０ｍ＋１０ｂ、１
４ｍ。 １４ｂ・・・電源、１１・・・第１の静電チャック（第
１の固定部材）、１２・・・第２の静電チャック（第２
の固定部材）、２１ａ、２１ｂ・”第１の電源、２２
ｍ 、 ２２ ｂ ・・・第２の電源、２３ａ。 ２３ｂ・・・切換スイッチ、２４ｍ、’２４ｂ・・・電
源。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 （ａ） 「４ Ｌ。 （ｂ） ｉ２Ｅ （ａ） （ｂ）
構の概略構成を示すもので第１図（、）は平面図、第１
図（ｂ）は同図（、）の矢視Ａ−Ａ断面図、第２図（、
） （ｂ）はそれぞれ上記機構の作用を説明するための
模式図、第３図（、） （ｂ）は本発明の一実施例に係
わる回転微動機構の概略構成を示すもので第３図（、）
は平面図、第３図（ｂ）は同図（、）の矢視Ｂ−Ｂ断面
図である。 １・・・回転板、２・・・第１の移動部材、３・・・第
２の移動部材、４・・・弾性ヒンジ、５・・・基台、６
・・・＆ｙ、７ 、８−１１ｍ動部材、９ａ、９ｂ、１
３ｍ１１３ ｂ ・・・スイッチ、１０ｍ＋１０ｂ、１
４ｍ。 １４ｂ・・・電源、１１・・・第１の静電チャック（第
１の固定部材）、１２・・・第２の静電チャック（第２
の固定部材）、２１ａ、２１ｂ・”第１の電源、２２
ｍ 、 ２２ ｂ ・・・第２の電源、２３ａ。 ２３ｂ・・・切換スイッチ、２４ｍ、’２４ｂ・・・電
源。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 （ａ） 「４ Ｌ。 （ｂ） ｉ２Ｅ （ａ） （ｂ）
Claims (1)
- 基台上に移動自在に載置された第１および第２の移動部
材と、印加電圧に応じて伸縮する圧電素子からなりその
伸縮方向両端に上記第１および第２の移動部材が取着さ
れた駆動部材と、上記第１および第２の移動部材を前記
基台上に交互に固定すると共にこれらの移動部材の少な
くとも一方を常に固定する固定部材と、上記第１および
第２の移動部材の回転中心を決定する手段と、高周波応
答性に優れた第１の電源及び安定性に優れた第２の電源
からなりこれらの電源のいずれか一方を選択し前記駆動
部材に所定の電圧を印加する手段とを具備し、前記駆動
部利の伸縮作用および前記固定部材の固定作用により前
記筒１及び第２の移動部材を単一の軸心を中心として回
転せしめることを特徴とする回転微動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57193782A JPS5983581A (ja) | 1982-11-04 | 1982-11-04 | 回転微動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57193782A JPS5983581A (ja) | 1982-11-04 | 1982-11-04 | 回転微動機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5983581A true JPS5983581A (ja) | 1984-05-15 |
Family
ID=16313708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57193782A Pending JPS5983581A (ja) | 1982-11-04 | 1982-11-04 | 回転微動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5983581A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE112009001360B4 (de) * | 2008-05-30 | 2017-03-16 | Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh | Massenspektrometer mit Spannungsstabilisierung mittels Leerbetrieb |
-
1982
- 1982-11-04 JP JP57193782A patent/JPS5983581A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE112009001360B4 (de) * | 2008-05-30 | 2017-03-16 | Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh | Massenspektrometer mit Spannungsstabilisierung mittels Leerbetrieb |
| DE112009005542B3 (de) * | 2008-05-30 | 2020-02-20 | Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh | Massenspektrometer mit spannungsstabilisierung mittels dummy-last |
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