JPS598421A - 表面波遅延線及びその製造法 - Google Patents
表面波遅延線及びその製造法Info
- Publication number
- JPS598421A JPS598421A JP57117298A JP11729882A JPS598421A JP S598421 A JPS598421 A JP S598421A JP 57117298 A JP57117298 A JP 57117298A JP 11729882 A JP11729882 A JP 11729882A JP S598421 A JPS598421 A JP S598421A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface wave
- medium
- delay
- delay line
- delay medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/30—Time-delay networks
- H03H9/42—Time-delay networks using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は表面波を用いた表面波遅延線及びその製造法に
関するものである。
関するものである。
第１図に従来の表面波遅延線の一実施例を示す。
１に表面波遅延媒体であり、表面波送受信用のくし形電
極２．２’Ｕこの表面波遅延媒体１上に設けらｎている
。上記表面波遅延媒体１は圧電性単結晶または圧電磁器
またにガラス等よりなる。ここで、遅延媒体１としてガ
ラスを用いるときには、表面波を送受するために圧電性
薄膜ヲくシ形電極部に構成している。そして、くシ形電
極２に電気信号を加えると表面波が励起さｎ、この表面
波は遅延媒体１０表面を伝播し、もう一方のくし形電極
２′に至り再び電気信号に変換される。この際、表面波
の伝播経路長と伝播速度に応じた信号遅延が得らｎる。
極２．２’Ｕこの表面波遅延媒体１上に設けらｎている
。上記表面波遅延媒体１は圧電性単結晶または圧電磁器
またにガラス等よりなる。ここで、遅延媒体１としてガ
ラスを用いるときには、表面波を送受するために圧電性
薄膜ヲくシ形電極部に構成している。そして、くシ形電
極２に電気信号を加えると表面波が励起さｎ、この表面
波は遅延媒体１０表面を伝播し、もう一方のくし形電極
２′に至り再び電気信号に変換される。この際、表面波
の伝播経路長と伝播速度に応じた信号遅延が得らｎる。
この場合、長時間の信号遅延を得るためには伝播速度を
遅くするか、経路長を長くする必要がある。しかし、伝
播速度に遅延媒体１の材料によって決定さｎるため、伝
播速度を遅くするのには限度がある。一方、経路長を長
くするためには形状を大きくする必要があり、価格や小
形化という面で問題がある。ここで、形状を大きくする
ことなしに経路長ケ長くするために反射を用いたり、螺
旋状の経路全円柱の上に形成する等の捉案がなさｎてい
る。さらに、くシ形電極を形成するためには通常フォト
エツチング工程を経るので、形状が大きくなったり複雑
になるときわめて非能率な作業が強いら扛ることになり
、場合によっては実質的に加工が不可能になるという欠
点を有している。
遅くするか、経路長を長くする必要がある。しかし、伝
播速度に遅延媒体１の材料によって決定さｎるため、伝
播速度を遅くするのには限度がある。一方、経路長を長
くするためには形状を大きくする必要があり、価格や小
形化という面で問題がある。ここで、形状を大きくする
ことなしに経路長ケ長くするために反射を用いたり、螺
旋状の経路全円柱の上に形成する等の捉案がなさｎてい
る。さらに、くシ形電極を形成するためには通常フォト
エツチング工程を経るので、形状が大きくなったり複雑
になるときわめて非能率な作業が強いら扛ることになり
、場合によっては実質的に加工が不可能になるという欠
点を有している。
不発明は上記のような欠点に鑑みなさｎたものであり、
安価にして長時間の表面波遅延線を提供することを目的
としている。
安価にして長時間の表面波遅延線を提供することを目的
としている。
第２図に不発明になる表面波遅延線の一実施例を示す。
４は表面波遅延媒体であり、ガラス等よｆ）なる。５及
び５′はくし形電極を付与した送受信用の表面波変換用
素子であり、ニオブ酸リチウム等の圧電性単結晶または
圧電磁器またはガラス基！７なる。ここで、表面波変換
用素子６，５′は遅延媒体４とは別工程でくし形電極を
付与した後あらかじめ適当な大きさに切断９分離し、同
じくあらかじめ所定の形状に加工さｎた遅延媒体４上に
接合する。６及び６′に表面波変換用素子５，５′力）
ら遅延媒体４０表面波伝播面に効率良く表面波を伝播さ
せるために設けらｎた中間材であり、こｒにより表面波
変換用素子６，５′の表面と遅延媒体４の表面波伝播面
との間を連続した平面に構成している。この中間材６．
６’［水ガラス等機械インピーダンスが表面波変換用素
子５，５′または遅延媒体４の機械インピーダンスに近
似したものかまたに両者の中間のインピーダンスの材料
１［ｆることにより、効率良く表面波を伝播することが
できる。
び５′はくし形電極を付与した送受信用の表面波変換用
素子であり、ニオブ酸リチウム等の圧電性単結晶または
圧電磁器またはガラス基！７なる。ここで、表面波変換
用素子６，５′は遅延媒体４とは別工程でくし形電極を
付与した後あらかじめ適当な大きさに切断９分離し、同
じくあらかじめ所定の形状に加工さｎた遅延媒体４上に
接合する。６及び６′に表面波変換用素子５，５′力）
ら遅延媒体４０表面波伝播面に効率良く表面波を伝播さ
せるために設けらｎた中間材であり、こｒにより表面波
変換用素子６，５′の表面と遅延媒体４の表面波伝播面
との間を連続した平面に構成している。この中間材６．
６’［水ガラス等機械インピーダンスが表面波変換用素
子５，５′または遅延媒体４の機械インピーダンスに近
似したものかまたに両者の中間のインピーダンスの材料
１［ｆることにより、効率良く表面波を伝播することが
できる。
この場合、遅延媒体形状を小形にするために円柱状また
は螺旋状に構成しても良い。
は螺旋状に構成しても良い。
このように表面波遅延線を構成することにより、表面波
変換用素子のくし形電極と遅延媒体加工が独立にできる
ため、加工上の制約が大幅に取除か汎、遅延媒体形状の
設計の自由度が増すと共−に、くし形電極形成のフォト
エツチング工程の能率が向上し、安価な表面波遅延線が
得らｎるものである。
変換用素子のくし形電極と遅延媒体加工が独立にできる
ため、加工上の制約が大幅に取除か汎、遅延媒体形状の
設計の自由度が増すと共−に、くし形電極形成のフォト
エツチング工程の能率が向上し、安価な表面波遅延線が
得らｎるものである。
この場合、表面波変換用素子と中間材と遅延媒体との機
械インピーダンスを全く一致させることも可能であり、
この場合には遅延媒体上にくし形電極を設けた従来の表
面波遅延線に比べ性能を劣化させることなく、安価な表
面波遅延線を得ることができるものである。
械インピーダンスを全く一致させることも可能であり、
この場合には遅延媒体上にくし形電極を設けた従来の表
面波遅延線に比べ性能を劣化させることなく、安価な表
面波遅延線を得ることができるものである。
第１図は従来の表面波遅延線を示す構成図、第２図は不
発明じも表面波遅延線の一実施例ケ示す構成図である。 ｌト ・・・・・・ １芝 ６ｂ シＮシ１道女譬２イ
壽２、３・ζ′ １乏ｉ ＝ｉ ’１ ｔａ
叩 素子、Ｇ 、 ｆｌｙ’ 中り県。 ｆ〜′１人の しち ９丁＋！！＋、 Ｔ 尾
１匁 男 −１１・１九第 １ ｒＭ
発明じも表面波遅延線の一実施例ケ示す構成図である。 ｌト ・・・・・・ １芝 ６ｂ シＮシ１道女譬２イ
壽２、３・ζ′ １乏ｉ ＝ｉ ’１ ｔａ
叩 素子、Ｇ 、 ｆｌｙ’ 中り県。 ｆ〜′１人の しち ９丁＋！！＋、 Ｔ 尾
１匁 男 −１１・１九第 １ ｒＭ
Claims (2)
- （１）表面波遅延媒体とくし形電極を設けた送受信用の
２つの表面波変換用素子とからなり、上記表面波遅延媒
体の表面波伝播面と上記表面波変換用素子の表面波伝播
面との間をその表面波遅延媒体または表面波変換用素子
の機械インピーダンスに近似するかまたは両者の中間の
機械インピーダンスを有する中間材により連続した平面
に構成してなる表面波遅延線。 - （２） あらかじめ所定の形状に加工さｔた表面波遅
延媒体上にあらかじめくし形電極の設けら牡た表面波変
換用素子を送受信用２枚接合し、上記表面波遅延媒体の
表面波伝播面と上記表面波変換用素子の表面波伝播面と
の間にその表面波遅延媒体またに表面波変換用素子の機
械インピーダンスに近似するかまたは両者の中間の機械
インピーダンスを有する中間材を介在させることにより
両表面を連続した平面にすることを特徴とする表面波遅
延線の製造、法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57117298A JPS598421A (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | 表面波遅延線及びその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57117298A JPS598421A (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | 表面波遅延線及びその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS598421A true JPS598421A (ja) | 1984-01-17 |
Family
ID=14708285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57117298A Pending JPS598421A (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | 表面波遅延線及びその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS598421A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5294052A (en) * | 1976-02-03 | 1977-08-08 | Toshiba Corp | Elastic surface wave element and its manufacture |
| JPS5444429A (en) * | 1977-09-14 | 1979-04-07 | Hitachi Denshi Ltd | Preheating system of electron tube |
-
1982
- 1982-07-05 JP JP57117298A patent/JPS598421A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5294052A (en) * | 1976-02-03 | 1977-08-08 | Toshiba Corp | Elastic surface wave element and its manufacture |
| JPS5444429A (en) * | 1977-09-14 | 1979-04-07 | Hitachi Denshi Ltd | Preheating system of electron tube |
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