JPS5984411U - 距離測定装置 - Google Patents

距離測定装置

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JPS5984411U
JPS5984411U JP16683383U JP16683383U JPS5984411U JP S5984411 U JPS5984411 U JP S5984411U JP 16683383 U JP16683383 U JP 16683383U JP 16683383 U JP16683383 U JP 16683383U JP S5984411 U JPS5984411 U JP S5984411U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
reflected
deflection element
measured
irradiation
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Pending
Application number
JP16683383U
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English (en)
Inventor
浅野 都司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案装置の原理を説明するための図、第2図
は本考案の一実施例に係る装置のブロック的構成図、第
3図は同装置の各部波形図である。 1・・−光学レンズ、2・・・光電検出器、3・・・レ
ーザ光源、4・・・偏向素子、5・・・偏向素子駆動電
源、6・・・対象物、11・・・演算装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被測定対象物に向けて光束を照射する光束照射系ム前記
    光束の照射によって前記被測定対象物面で反射した反射
    光束を光学レンズを介して光電検出器で受光し電気信号
    に変換する反射光束受光系と、前記光束照射系の光束射
    出側もしくは前記反射光束受光系の光束入射側に設けら
    れた光透過形の偏向素子と、この偏向素子に複数ステッ
    プに亘ってバイアスを加える手段と、この手段で加えら
    れた各バイアス内で前記偏向素子の偏向角を制御する手
    段と、前記反射光束受光系の出力の大きさ、前記偏向素
    子表のバイアス値、上記偏向−子の偏向角および前記光
    束照射系と前記反射光束受光系との幾何学的配置によっ
    て決まる定数から前記被測定対象物までの゛距離を算出
    する演算処理系とを具備してなることを特徴とする距離
    測定装置。
JP16683383U 1983-10-27 1983-10-27 距離測定装置 Pending JPS5984411U (ja)

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JPS5984411U true JPS5984411U (ja) 1984-06-07

Family

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55106304A (en) * 1979-02-08 1980-08-15 Siemens Ag Device for measuring thickness or distance without contact

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55106304A (en) * 1979-02-08 1980-08-15 Siemens Ag Device for measuring thickness or distance without contact

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