JPS5985118A - 厚みすべり圧電振動子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は厚みすベシ振動を行うａＥ電電動動子関するも
のである。

従来、厚みすベシ圧電振動子の一例としてＡＴカットの
水晶振動子は、気智端子の２本の端子ビンに保持バネを
溶接などにより固着し、２本の保持バネの間に水晶片を
支持し、保持バネ、水晶片と接触しない状態でキャンプ
を被せ、気密端子のベースとギャップとを封止していｆ
Ｃ，このため部品点数が多くなり、構成が複雑であつｆ
Ｃ。また製造１組立が煩雑であり、外形形状か犬さくな
るという欠点を持っていた。さらに水晶片にＬ２点にて
支持されるｆＣめ衝撃に弱いと（ハう不都合もあつ１こ
。

本発明は上記欠点全除去するものであり、構成が簡単で
部品点数が少なく、製造、組立が容易であυ、衝撃に強
く、外形形状の小さい厚みすべり圧電振動子全提供する
ものである。

以下本発明の丈施例を図面を参照して詳細に峠。

明する。

第１〜３図におい又、１は厚みすべＶ川電振動子として
ＡＴカットの水晶振動子であり、圧電素子である水晶）
１２と、この水晶片の両主面２ａ。

２ｂの外周端部に対応するリング状の接着層６゜４と、
これらの接着層により水晶片２０両主主面主面の中火部
が非接触の状態で固着された基板６およびカバ一体であ
る基鈑５とから構成される。

水晶片２は平凸状ｔしており、振如）エネルギが中火部
に集中するようにしてあり、外周端部の振動変位が極め
て小さくなるようにしである。水晶片２の両生面２　ａ
、　、　２　ｂにはそれぞｈ駆動電極７゜８が真空蒸着
などの手法によジ形成１〜である。主面２ａに形成され
た駆動電極７の引出し電極７ａは水晶片の外周端部筐て
延出されて反対側の主面２ｂの外周端部まで連続して形
成されている。また主面２ｂに形成された駆動電極の引
出し電極８ａは水晶片の主面２ｂの外周端部まで延出形
成されている。すなわち二つの駆動電極７，８の引出し
電極７ａ、３ａは一方の主面２ｂの外周端部に延出形成
しである。基板５．６はセラミック、ガラスなど水晶片
２と熱膨張係数が近く、通気性のないものが用いられる
。基板６に（は導体ペースト全印刷するなどして引出し
パターン９，１０が形成しである。これらの引出しパタ
ーンは水晶片２の引出し電極７ａ、８ａと対向するよう
に形成しである。基板５に設けられる接着層３は、基板
５と電気的に接続されることがないため絶縁性接着剤、
導電接着剤など適宜のものか用いられる。

基鈑／）Ｋ殻けられる接着層４は異方導電性接着剤によ
り形成される。この異方導電性接着剤は絶縁性接着剤の
ベースに銀粉を２０〜４０重Ｍ％程度混ぜたものであシ
、ノ印み方向には導通を示し、幅方向には絶縁を示すも
のである。接着層４は二つの引出しパターン９．１０と
交差して設けられるが、これらの二つの引出しバ〃−ン
間は幅方向となるため絶縁される。しかし引出Ｌ　Ｗｆ
　＠＜　７　ａと引出しパターン９と１１、−１７ｊ引
出し電極８ａと引出しパターン１０とは厚み方向となる
ため導通となるのである。水晶振■］子ユは上記構成で
あり、部品点数が少なく傷取が簡単で、小型化、薄型化
が図れる。寸た水晶片２い」、全周にて支持され／）た
め衝撃に強い。

つぎに水晶４動子ユの組立につＸ／′１て述べる。まず
基＋ｋ　６　（／（引出しパターン９，１０’に形成し
でおく。つき゛にこれらの引出し、パターンと交差する
ようにリング状の接着層４全異方導１軸、性接庸剤によ
り形成する。そして接ＮＮ４に合わせて引出し電イ＠７
ａ、８ａをそれ、ぞれ引出しパターン９，１０に対応で
せて水晶片２全載置する。このとき主面２ｂの中火部が
基徽６に触れないようにする。このあと基鈑５に接着層
６を形成し７、水晶片２の上に載１６：する。このとき
も主面２ａの中火が基板５に触れｆｌｍようにする。な
お接着層６，４を形成する接着剤に所定の径の粒子を混
ぜておけば層厚全一定にでき、水晶片２と基へ５，６と
が接触することはない。このように水晶振動子ユの製造
組立は極り）で容易に行える。

なお接着層６，４により水晶片２と基Ａυ５，６とを接
着するときは真空中あるいは不活性ガス雰囲気で行えば
水晶振動子ユは安定したものとなる。

水晶片２の外周部全ワンクスなとの封止材にて覆えば水
晶片２の気密性能１は同上する。

また本実施例では水晶片２の上部のカッく一体とＬ７て
基板５ヶ用いたがこれに限らない。そし、て基板５をガ
ラス製とすれば、レーザ光線により上方の駆動電極全除
去でき、質゛１１．調整によセ共振周汲Ｖの調整ができ
る。

」ツ上述べたように本発明によ扛ば、部品点数が少なく
構成が簡単であり、製造組立が容易であり、衝撃に強く
、小型の厚みすべり！−Ｅ電据電子動子全提供る。唸た
基板上（・て二つの引出し２パターンが設けである女め
電圧の聞方ｎが容易であるとともに基板上に配線パター
ン全形成する場合は好都合である。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一要施例看：）ｉ−１し、第１図は正面
図、第２〜３図はそれぞれ第１図ｌｌ−Ｔｌ線、Ｉｆｌ
−■線断面図、第４図は基４にの正面図、２６５図は水
晶片の背面図、第６図はカバ一体の止面図である。 １・・・・・・水晶４辰動子　　　２・・・・・水晶片
６．４　・・・接着層　　　５・・・・基　（ル６・・
・・カバ一体　　　　７，８　・・・駆動電極７　ａ、
　、　８　ａ”’引出（ｙ　ＩＵＩ極９　、１　［１・
・・・・・引出しパターン辺上 出願人　株式会社　精　　工　　金 策１図 第４図 第６図 弓 第２図 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 厚みすべり振動全行い、両主面に駆動電極が形成してあ
   り、これらの駆動電極の引出し電極が一方の主面の外周
   端部に延出形成しである圧電素子と、 上記引出し電極に対向する引出しパターンが形成してあ
   り、上記引出しパターンと交差し上記圧電素子の外周端
   部に対応するリング状をしており異方導電性接着剤によ
   り形成された接着層を有し、−上記接着層により上記−
   力の主面の中火部が非接触の状態で」−記圧侶、素子に
   固着された基枦と、上記圧電素子の外周端部に対応する
   リング状の接着層により上記両生面の他方の中火部が非
   接触の状態で上記圧電素子に固着さｉしたカバ一体とを
   設けた厚みずベシ圧電振動子。