JPS5987514A - 微動装置 - Google Patents
微動装置Info
- Publication number
- JPS5987514A JPS5987514A JP57195887A JP19588782A JPS5987514A JP S5987514 A JPS5987514 A JP S5987514A JP 57195887 A JP57195887 A JP 57195887A JP 19588782 A JP19588782 A JP 19588782A JP S5987514 A JPS5987514 A JP S5987514A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement element
- piezoelectric ceramic
- main purpose
- whose main
- fine movement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
- B23Q1/36—Springs
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、電圧によシ物を移動させる装置を得ようとす
るものであり、硬ンレコーダのペン移動、プロッタのペ
ン移動、オーディオ・プレーヤのリニアトラッキング、
自動焦点カメラのレンズ移動などのさまざま々分野で利
用し得るものである。
るものであり、硬ンレコーダのペン移動、プロッタのペ
ン移動、オーディオ・プレーヤのリニアトラッキング、
自動焦点カメラのレンズ移動などのさまざま々分野で利
用し得るものである。
従来例の構成とその問題点
従来、−’ンレコーダ、プロッタのペン移動、オーディ
オ・プレーヤのリニアトラッキング、自動焦点カメラの
レンズ移動はモータを中心とする機構部品によって行な
っていたので、機構が複雑になったシ微少変位が制御し
にくいなどの問題点がちった。
オ・プレーヤのリニアトラッキング、自動焦点カメラの
レンズ移動はモータを中心とする機構部品によって行な
っていたので、機構が複雑になったシ微少変位が制御し
にくいなどの問題点がちった。
発明の目的
本発明の目的は、簡単な構造で比較的大きな変位のとれ
る金属板と圧電体とから成る貼シ合せ型の屈曲振動子を
採用することにより、簡単な構造のしかも微小移動を精
度良く制御できる微動装置を提供することである。
る金属板と圧電体とから成る貼シ合せ型の屈曲振動子を
採用することにより、簡単な構造のしかも微小移動を精
度良く制御できる微動装置を提供することである。
発明の構成
本発明は、管の中に位置固定用の電歪屈曲振動子と１移
動用の電歪屈曲振動子を一体化した変位素子を複数個そ
れぞれ機械的に結合して設置し、前記屈曲振動子にそれ
ぞれ電圧印加するととにより、変位素子を管内で移動さ
せるようにしたものである。
動用の電歪屈曲振動子を一体化した変位素子を複数個そ
れぞれ機械的に結合して設置し、前記屈曲振動子にそれ
ぞれ電圧印加するととにより、変位素子を管内で移動さ
せるようにしたものである。
実施例の説明
以下、図によって本発明の実施例について詳細な説明を
行なう。第１図は本発明の一実施例の微動装置の断面図
である。同図において、１と２は位置固定を主目的とす
る屈曲振動子を構成するだめの圧電磁器１板でちシ、３
と４は移動を主目的とする屈曲振動子を構成するための
圧電磁器板である。５と６は屈曲振動子の金属部を一体
化したもので、それぞれは金属棒７で機械的に結合され
ている。８は一体化された金属部５と６ｆ：設置するた
めの円形の金属管である。第２図は一体化された振動子
の概観図である。同図において、圧電磁器板１，２に電
圧を印加すれば矢印の９，１０の方向に先端部が変位す
るので、金属管８の壁面を押さえて位置を固定したシ、
自由の状態になったシする。また圧電磁器板３に電圧を
印加すれば、矢印１１の方向へ中心部が変形する。第３
図のタイミングチャートによシ本実施例の動作を説明す
る。まずスタートｌの時点において、圧電磁器板１に正
の電圧を印加して、第１図の左側の素子Ａをクランプ部
Ａ′にょ９位置固定する。これを確認して時間ｔｌ後、
圧電磁器板２に負の電圧を加えて素子Ｂを自由の状態に
する。これを確認して時間ｔ２後、圧電磁器板３，４に
それぞれ正、負の電圧を印加すれば、圧電磁器板３，４
の中心部はそれぞれ圧電磁器板３，４の周辺の金属部Ａ
” 、 Ｂ”に対して左と右の方向に変化する。それぞ
れ、上記の中心部は金属棒７によシ機械的に固定されて
いるので、素子Ｂのクランプ部Ｂ′は、もとの位置に比
べて圧電磁器板３．４の中心部の変位の和の分だけ左へ
移動している。これを確認して時間ｔ３後、圧電磁器板
２の印加電圧を正にしてクランプ部Ｂ′によシ素子Ｂを
位置固定する。これを確認して時間ｔ４後、圧電磁器板
１の印加電圧を負にして素子Ａを自由にする。これを確
認して時間ｔ５後圧電磁器板３，４の印加電圧をそれぞ
れ負、正にすれば、圧電磁器板３，４の中心部はそれぞ
れの周辺部Ａ″。
行なう。第１図は本発明の一実施例の微動装置の断面図
である。同図において、１と２は位置固定を主目的とす
る屈曲振動子を構成するだめの圧電磁器１板でちシ、３
と４は移動を主目的とする屈曲振動子を構成するための
圧電磁器板である。５と６は屈曲振動子の金属部を一体
化したもので、それぞれは金属棒７で機械的に結合され
ている。８は一体化された金属部５と６ｆ：設置するた
めの円形の金属管である。第２図は一体化された振動子
の概観図である。同図において、圧電磁器板１，２に電
圧を印加すれば矢印の９，１０の方向に先端部が変位す
るので、金属管８の壁面を押さえて位置を固定したシ、
自由の状態になったシする。また圧電磁器板３に電圧を
印加すれば、矢印１１の方向へ中心部が変形する。第３
図のタイミングチャートによシ本実施例の動作を説明す
る。まずスタートｌの時点において、圧電磁器板１に正
の電圧を印加して、第１図の左側の素子Ａをクランプ部
Ａ′にょ９位置固定する。これを確認して時間ｔｌ後、
圧電磁器板２に負の電圧を加えて素子Ｂを自由の状態に
する。これを確認して時間ｔ２後、圧電磁器板３，４に
それぞれ正、負の電圧を印加すれば、圧電磁器板３，４
の中心部はそれぞれ圧電磁器板３，４の周辺の金属部Ａ
” 、 Ｂ”に対して左と右の方向に変化する。それぞ
れ、上記の中心部は金属棒７によシ機械的に固定されて
いるので、素子Ｂのクランプ部Ｂ′は、もとの位置に比
べて圧電磁器板３．４の中心部の変位の和の分だけ左へ
移動している。これを確認して時間ｔ３後、圧電磁器板
２の印加電圧を正にしてクランプ部Ｂ′によシ素子Ｂを
位置固定する。これを確認して時間ｔ４後、圧電磁器板
１の印加電圧を負にして素子Ａを自由にする。これを確
認して時間ｔ５後圧電磁器板３，４の印加電圧をそれぞ
れ負、正にすれば、圧電磁器板３，４の中心部はそれぞ
れの周辺部Ａ″。
ＢＩＩに対して右と左の方へ変位する。この時、クラン
プ部と周辺部の長さは一定であるから、素子Ａのクラン
プ部Ａ′はもとの位置に比べて、圧電磁器板３と４の変
位の和の分だけ左へ移動している。
プ部と周辺部の長さは一定であるから、素子Ａのクラン
プ部Ａ′はもとの位置に比べて、圧電磁器板３と４の変
位の和の分だけ左へ移動している。
以後、との動作を第３図のタイミングチャートに従って
繰返せば左の方へ移動していく。右の方向へ移動させる
時は、第３図のタイミングチャートのスタート２からの
電圧印加を行なえばよい。
繰返せば左の方へ移動していく。右の方向へ移動させる
時は、第３図のタイミングチャートのスタート２からの
電圧印加を行なえばよい。
発明の効果
以上述べたように、本発明は簡単な機構で精度のよい微
動装置が得られる。また屈曲振動姿態を用いているので
、少ない数量の圧電体を用いて大きな変位をとれるとい
う効果もある。加えて１移動速度が各サイクルの電圧印
加の時間制御で簡単にできる。
動装置が得られる。また屈曲振動姿態を用いているので
、少ない数量の圧電体を用いて大きな変位をとれるとい
う効果もある。加えて１移動速度が各サイクルの電圧印
加の時間制御で簡単にできる。
第１図は本発明の一実施例の微動装置の断面図、第２図
は一体化した構造の変位素子の概観図、第３図は動作タ
イミングチャートである。 １．２・・・位置固定を主目的とする屈曲振動子を構成
するだめの圧電磁器板、３，４・・・移動を主目的とす
る屈曲振動子を構成するための圧電磁器板、５．６・・
・一体化した屈曲振動子の金属部、７・・・金属棒、８
・・・金属管、９．１０．１１・・・屈曲振動子の変位
方向。 第３ ｔｌｔ２ｔ３ １゜↑５ ！Ｉ劇 り１ンデ −祷
は一体化した構造の変位素子の概観図、第３図は動作タ
イミングチャートである。 １．２・・・位置固定を主目的とする屈曲振動子を構成
するだめの圧電磁器板、３，４・・・移動を主目的とす
る屈曲振動子を構成するための圧電磁器板、５．６・・
・一体化した屈曲振動子の金属部、７・・・金属棒、８
・・・金属管、９．１０．１１・・・屈曲振動子の変位
方向。 第３ ｔｌｔ２ｔ３ １゜↑５ ！Ｉ劇 り１ンデ −祷
Claims (2)
- （１） 円形または角形の管の中に、位置固定を主目
的とする屈曲振動型変位素子と、移動を主目的とする屈
曲振動型変位素子を一体化した構造を有する変位素子を
複数個、それぞれを機械的に結合した形で設置し、該位
置固定を主目的とする変位素子と、該移動を主目的とす
る変位素子に制動電圧を印加することによシ管内を移動
させることを特徴とする微動装置。 - （２）変位素子として金属と圧電体を１枚または２枚貼
シ合せた構造の屈曲振動型変位素子を用いることを特徴
とする特許請求の範囲第（１）項記載の微動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57195887A JPS5987514A (ja) | 1982-11-10 | 1982-11-10 | 微動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57195887A JPS5987514A (ja) | 1982-11-10 | 1982-11-10 | 微動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5987514A true JPS5987514A (ja) | 1984-05-21 |
Family
ID=16348632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57195887A Pending JPS5987514A (ja) | 1982-11-10 | 1982-11-10 | 微動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5987514A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6339474A (ja) * | 1986-08-04 | 1988-02-19 | Rion Co Ltd | 超音波モ−タ |
-
1982
- 1982-11-10 JP JP57195887A patent/JPS5987514A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6339474A (ja) * | 1986-08-04 | 1988-02-19 | Rion Co Ltd | 超音波モ−タ |
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