JPS5987607U - 相互比較方式パタ−ン検査機の位置合せ装置 - Google Patents
相互比較方式パタ−ン検査機の位置合せ装置Info
- Publication number
- JPS5987607U JPS5987607U JP18254782U JP18254782U JPS5987607U JP S5987607 U JPS5987607 U JP S5987607U JP 18254782 U JP18254782 U JP 18254782U JP 18254782 U JP18254782 U JP 18254782U JP S5987607 U JPS5987607 U JP S5987607U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection machine
- patterns
- alignment device
- mutual comparison
- pattern inspection
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は被検基板上の被検パターンと撮像部の位置を示
す図、第２図は本考案の原理説明図、第３図は本考案を
実施した検査機の概略図である。 １・・・・・・基板、２，３・・・・・・撮像部、４・
・・・・・γテーブル、５・・・・・−Ｘ−ニーーｆル
、６． ７． ８． ９・・・・・・パルスモータ、１
０・・・・・・ｉ制御装置。
す図、第２図は本考案の原理説明図、第３図は本考案を
実施した検査機の概略図である。 １・・・・・・基板、２，３・・・・・・撮像部、４・
・・・・・γテーブル、５・・・・・−Ｘ−ニーーｆル
、６． ７． ８． ９・・・・・・パルスモータ、１
０・・・・・・ｉ制御装置。
Claims (1)
- １枚の大形基板面に規則正しく２列に平行させて形成し
たパターン群に対して、各側に対応して配置した２組の
撮像部を介して得た両パターンの対応部分の映像をモニ
タ画面で相互に比較してパターン欠陥を検出するように
した検査機において、前記基板の検査機にセットした際
に生ずる、両パターンとそれぞれに対応する撮像部との
相対位置ずれの補正をζ前記パターンの列方向や横並び
の方向にほぼ平行な、互いに直交する、検査機に特定な
２方向上のみでの相対移動によって行うようにしたこと
を特徴とする相互比較方式パターン検査機の位置合せ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18254782U JPS5987607U (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | 相互比較方式パタ−ン検査機の位置合せ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18254782U JPS5987607U (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | 相互比較方式パタ−ン検査機の位置合せ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5987607U true JPS5987607U (ja) | 1984-06-13 |
Family
ID=30395301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18254782U Pending JPS5987607U (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | 相互比較方式パタ−ン検査機の位置合せ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5987607U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5223365A (en) * | 1975-08-13 | 1977-02-22 | Cit Alcatel | Method of and apparatus for automatically inspecting pattern of print circuit board |
| JPS5225575A (en) * | 1975-08-22 | 1977-02-25 | Hitachi Ltd | Inspection method of the state of object |
-
1982
- 1982-12-03 JP JP18254782U patent/JPS5987607U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5223365A (en) * | 1975-08-13 | 1977-02-22 | Cit Alcatel | Method of and apparatus for automatically inspecting pattern of print circuit board |
| JPS5225575A (en) * | 1975-08-22 | 1977-02-25 | Hitachi Ltd | Inspection method of the state of object |
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