JPS5992190A - レ−ザ加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本５も明は１ノーリ“＃ＩＩ−ｒ装Ｗに関わり、更（こ
詳細ｔこはレーザビームを被加工物のＸ軸とＹ軸方向ｌ
＼の移動速度と材質と板厚とを関数としたパルス発牛装
胃／！：輸えたレーク”加丁駅１こ１に関り−るもので
あり、口つ被ハ（ｌ　Ｔ物の移動が全くへい場合てｂ被
７１１１１−物を加工しく７い程度の低出力を軒１持し
続（Ｊているレーザ加１−装首に関りるものである。

従来レーリ゛加［装置のレーリブを振”Ａ　ｉＭｉ　ｆ
、ｌ、ぞの発振機構の構成上り激な出力の変化に灼応η
ることがむ勺かしい間Ｍｒｉ貞があり、まｌこ、レーク
゛＃ｌＬ１：において（，１、加Ｉ−聞始イ装置ど終了
（ｉ’／　ｐｌにおいで熱１９三ｊ、Ｉ、（＋範囲が人
さくイ「る問題がある。

本ざｔ明１．Ｌ　ｌ記問題貞を解消りｌ＼＜ｌ「された
ちのＣ双子に図面に０どづいてその好適実施例を詳ｔ１
１１に説明づる。− 第１図に例示１ノだ総括的＜’ＣＩノーリ“力Ｉド「装
置１においで、炭酸）Ｉスレーリ′光１１装胃のことき
レーげ珪振装置Ｆ？　、’３から１ｙｊ向（第１図の右
ｆｊ向）に放０・１され／ｊレーリ“ビーム５か、パル
ス光１１装置７を経て反身・１ミラー９で５反射され、
レンズ１１ににって集光されて被加工物１３−１に焦点
「を結び、被加下物１３を」二面に固着しているテーブ
ル１５が例えばリードスクリ１−ｈどのＸ軸移動手段１
７どＹ軸移動手段１０どにＪ、つて数顧制御的に移動さ
１！られで、１ノーリー加１を行うのである。

前記した×軸移動丁［９１７どＹ軸移動手段１つには、
例えば回φ！１辿度甜イｔどからなるＸ軸移動）＊度検
出に首２１とＹ輔移動速１ｕ検出装間２３が設（）てあ
・）で、こねらからのデータが速度ヘクＩ−ル１ｖ１帥
装冒２５’＼送られてくる。

速度ヘタ１ヘル演ｃ７訣置２５はＸ軸、Ｙ’ＦＩＩＩ力
向の移動速度を合成して合成ベクＩ−ルとしての実際１
の斜めの移動速度を６の出゛りる。

史にレー＋ｙ加Ｔにお（りる所望の光熱吊に関係１ｊる
材質データ２７ど、板材データ２９とが入力されて、前
記し１．：）中１ｑヘク１−ル演節装置２５か１うのデ
ータどどしにパルス変換装置３１に導かれる。

上記しｌこパルス変換装詔３１からは前記した諸データ
を総合して後述づるパルスの発生モートを３Ｕ　４１１
！決定してパルスざｔＩ４−装置７に指令を発する。

第１図（ご示し１．：本実施例のレーク“加工具ｆｉＭ
１は、レーリ″発振装置３が定常的にレーク゛じ−ムを
敢ｑ・１していて、パルス発牛装屁７（ご、］−）で瞬
０）的ｆ、；　’、＋八）１−或い（，１尤１１１制限
と、通過とをＱ：　ｋ’ｌ返して被加工物１３の発熱Φ
を制御している。１ 叩へパルス光牛装冒７（，１例えば１ノーリ゛ビーム尤
東５の通路に一１コツパー（１，ＩＪ断具、遮光板）を
？り数枚回軒、自（１（Ｊ設（］、パルス変変換買置１
からの指令にＪ、って、（の複数枚のｆ−ｌツバ−を適
宜ｊハ択回φ人して、第２図の下図のＪ、うに１ノーリ
フビー１１か液加−１物を照ｑ・１する時間Ｔ＋　　（
デユーティ・タイｌｘ　）ど、遮＞ｔ　ｔ、て照ｑ４が
全く行なわれない時間１２　（Ａ）・りｒム）とを］ン
ビュータ制御しているのである。皆い換えればパルス変
１φ装冒３１（，１、速度ヘタ１ヘル演樟装置２５　＃
目ろ橡かれた時々刻々変化Ｊるうゝ−タに材質う−タ２
７．板厚データ２つを加味して、前記したデコーテイタ
イム］−１どＡフタイム１２との比率（デコーテイファ
クタ）をコンビコータ制御ににつて、前記したチョッパ
ーを選択しているのである。

第２図は被加工物１３のＸｌｌｌ１ｌ＋、Ｙ軸方向移１
ｐＩＪ速度のベクＩ−ル演Ｈ’Ｆ−夕だｌ−Ｊを上図に
示してあり、下図にそれ（こス・１応りるパルスのデ］
−ティタイ１８部分を示して（偽る。

即嶋パルスの出）Ｊぞのものは全肋間同一であるが、デ
？−ティタイム１−１　とオフタイムＴ２との比が移動
速１αのＩ＼り１−ル演Ｃン顧の関数としてｌｌ旨Ｚ＆
）１１　／ｌ変化している状態を示しでいる。

前記し／ＪＪ：うに第２図１−１４４７’、ｉ　′ｉミ
ータ２フ板厚データ２９を９１．シた１表であり、実際
は両データを加味してパルスのデコーフイフｊ・フタが
］ンピ：Ｉ−タ制御されるから、被加工材１３が全く動
り１／、７　＜でも例えばり１斬などか？−ｉなわれ＜
ｊい稈１σの１ノーリ“ｊ＋’ｌ　Ｑ（は連続し−Ｃ行
なわれているのである。

第こ３図に示したのは前述した１ノーリ゛加二［’Ｉ　
ｉ　１においで、パルス変換装置３１からの指令の１部
をレーリ゛光振装：霞３にも導いてテ１−′フイノ、・
フタをもつパルス出力に加えてレーザの出力そのものを
増減しＩこ」誘合で、ｂる、１ 以目前記した本発明の実施個装ｙ（スは、被加工物の移
１す；速１α、）Ａ覧’？、及び（）ノ厚の関数として
レー＋）−の加二［出力をパルス的に出力でするどど１
９に、被加工物が停止１シてｌｊ　＃ｌ「［Ｌ、ない程
庶の低出力を絹持し続（〕でいるから、レーＩＦか安定
１ノ加１：精度を向ｌ−シｉ！１だのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例装置ｒ１”の説明図、第２図は
液加二［物の移動速度だ（〕にｂと１′いたパルス発生
の状況を示した説明図、 第３３図はレーク゛の出力をも（７ｆ　ｔ！て増減さ１
２／ご場合のパルス光／１の状況を示しｔこ説明図であ
る。 （図面の１要イｉ部分を表わ覆符号の説明）１　・・・
　し　−　リー　カ［１１装　買　　　　　　３　・・
・　し　−　リ゛　光　１局　装　Ｆｆ７・・・パルス
５１　／ｌ−装Ｆ１１３・・・被加工物２１・・・Ｘ輔
移Φ」１速度検出装冒 ２５・・・速用ヘクＩ〜ル演咋装；ｉ ３１・・・パルス変換装置 第２図 第３　図 吋ｒｒ１

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　レーリ゛Ｒ娠装；１９と、液加Ｊ祠のＸ軸、
   　Ｙ　Ｑｉｌｌ　ｈ向への４３Φｊ１）＊磨を検出して
   速度ベタ１〜ルを演Ｑりる演り装置べと、液加゛［祠の
   祠質、仮〜のｉ゛−タとＬ開演０装置ｔｆｌのルｉｔ　
   Ｇ＞埴とに１．ｔいて被加工材へ照ｑ４づるパルス１ノ
   ーリ゛の７”　１−’ｔイノＩ・フタを制御りルＲｉｔ
   ”ｆとをｆ７ｉえＣ／Ｉ：ルコトヲ特徴トｌ　ルｌ／　
   　’Ｊ’　１１＋１Ｔ独価６、
2. （２）１ノーＩＪ″光振装］鉛は連続出力のレーリ゛光
   振旧１２？であり、このレーリ゛梵振装Ｕｑから液加Ｆ
   ４イへのレーザビームの杼路途中１５、ビームの瞬０．
   １的な連尤或いは光ＢＪ制限と通過を繰り返し、レーザ
   ビームオなパルス化覆るパルス光／Ｊ−！−冒を１ｉＱ
   ＩＪたことを１ｊＩ徴どりる１冒′１ムｔ’ｉ求の範囲
   第一１　Ｔ〔ｉに記載のレー１）１ｊ［Ｉ丁装「１．。