JPS5993140U - ウエ−ハ移し替え装置 - Google Patents

ウエ−ハ移し替え装置

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Publication number
JPS5993140U
JPS5993140U JP19055282U JP19055282U JPS5993140U JP S5993140 U JPS5993140 U JP S5993140U JP 19055282 U JP19055282 U JP 19055282U JP 19055282 U JP19055282 U JP 19055282U JP S5993140 U JPS5993140 U JP S5993140U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transfer
cassette
wafer
moving
wafers
Prior art date
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Granted
Application number
JP19055282U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6141237Y2 (ja
Inventor
角田　良二
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Kokusai Denki Electric Inc
Original Assignee
Hitachi Kokusai Electric Inc
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS5993140U publication Critical patent/JPS5993140U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6141237Y2 publication Critical patent/JPS6141237Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Separation, Sorting, Adjustment, Or Bending Of Sheets To Be Conveyed (AREA)
  • Discharge By Other Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案装置の一実施例を示す簡略斜視図、第２
図はその簡略平面図、第３図は同じくその簡略正面図、
第４図は本考案における移し替え機構の説明図、第５図
ａ　”　ｃは本考案における移移し替えカセ゛イトとボ
ートとの間のウェーハ移し替え動作の説明図、第６図は
本考案におけるウェーハホルダの一例を示す斜視図であ
る。 １１〜１．・・・テーブル、２・・・回転軸、３・・・
ウェーハ、４１□〜４□６．４□１〜４２６．・・・、
４４１〜４４６・・・収納カセット、５・・・回転式カ
セットストッカ、６・・・設置台、７・・・移し替えカ
セット、７ａ・・・被動部、８・・・ガイドレール、９
・・・カセット移動部、１０・・・移し替え機構、１６
・・・水平軸、１７ａ、１７ｂ・・・ウェーハ抑え、１
８ａ、１８ｂ・・・抑え枢支軸、１８・・・抑え枢支軸
駆動機構、１９・・・ロードブツシャ、２０・・・アン
ロードブツシャ、Ｐ□・・・移し替え位置、Ｐ２・・・
ボートの乗せかえ位置、２１・・・拡散処理装置（ウェ
ーハ処理装置）、２２・・・ボート、２２□〜２２６・
・：ボート２２のブロック部、２４・・・移動アーム、
２５１〜２５６・・・ウェーハホルダ、２６□〜２６６
・・・センサ、２７・・・移し替え機構１０の回転手段
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 多数枚のウェーハを水平状態で収納する収納カセットを
    複数個ずつ複数段に配置した回転式カセットストッカに
    隣接して、多数枚のウェーハを水平状態で収容する移し
    替えカセットに連設した被動部と、この被動部をガイド
    レールに沿って移動させるためのカセット移動部とより
    なる移し替え機構を垂設し、この移し替え機構の基部を
    、回転手段によって回転される水平軸に固定し、移し替
    えカセットの反ストッカ側の出入口両側にそれぞれ多数
    枚のウェーハを閉持・開放するためのウェーハ抑えを抑
    え枢支軸により枢支し、移し替えカセットにウェーハの
    閉持ｄ開放を行うべく各抑え枢支軸をそれぞれ反対方向
    に回転するための抑え−枢支軸動機構を設置す、収納カ
    セットと移し替えカセットが対向した位置に、両力セッ
    ト間で多数のウエニハを一括して移し替えるためのロー
    ドブツシャとアンロードブツシャを設け、移し替え機構
    を垂直状態から゛９０°回転して水平状態にした時、こ
    の水平状態の移し替え機構の移し替えカセットの参勤範
    囲に対向する移し替え位置とウェーハ処理装置より取出
    したホードの乗りかえ位置との間でボートの両端部を水
    平に載置して搬送するための移動アームを設け、この移
    動アームにポート移動機構を連結せしめ、移し替え位置
    で移動アームに水平に載置されたボートの下方には各段
    の収納カセット数と同じ数のブロック部に分けたボート
    の各ブロック部にそれぞれ多数枚のウェーハを一括して
    移し替える時にボートの挿通孔を挿通して上動するウェ
    ーハホルダを配置し、このウエーノ（ホルダに上下動機
    構を連結すると共に、移し替え位置にはボートの各ブロ
    ック部毎にボートのウェーハ保持溝とウェーハホルダの
    ウェーハ保持溝の位置ずれを検出し両ウェーハ保持溝の
    溝合せを行うべ（ボート移動機構を駆動するための信号
    を出力するセンサを設けてなるウェーハ移し替え装置。
JP19055282U 1982-12-15 1982-12-15 ウエ−ハ移し替え装置 Granted JPS5993140U (ja)

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JP19055282U JPS5993140U (ja) 1982-12-15 1982-12-15 ウエ−ハ移し替え装置

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Publications (2)

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JPS5993140U true JPS5993140U (ja) 1984-06-25
JPS6141237Y2 JPS6141237Y2 (ja) 1986-11-25

Family

ID=30410551

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JP19055282U Granted JPS5993140U (ja) 1982-12-15 1982-12-15 ウエ−ハ移し替え装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61151340U (ja) * 1985-02-07 1986-09-18

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61151340U (ja) * 1985-02-07 1986-09-18

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JPS6141237Y2 (ja) 1986-11-25

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