JPS6367247U - - Google Patents

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JPS6367247U
JPS6367247U JP16133686U JP16133686U JPS6367247U JP S6367247 U JPS6367247 U JP S6367247U JP 16133686 U JP16133686 U JP 16133686U JP 16133686 U JP16133686 U JP 16133686U JP S6367247 U JPS6367247 U JP S6367247U
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JP
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wafer
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rotating member
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図，第２図および第３図Ａ―Ｄは本考案の
一実施例を示したもので第１図はウエハプローバ
に搬送部を用いた平面図、第２図は第１図―
線断面図（ローダ側を示す）、第３図Ａ〜Ｄは第
１図―線断面図（アンローダ側を示す）、第
４図から第９図まではウエハの搬送工程の順序を
説明した平面説明図であり、第１０図は従来例を
示したウエハプローバの搬送部の平面図、第１１
図は第１０図―線断面図、第１２図は他の従
来例を示した斜視図、第１３図から第１６図は他
の従来例を示したウエハ取受装置のウエハ引き出
し動作を示した側面図、第１７図はプリアライメ
ントの説明図、第１８図は不効率な搬送の説明図
。 １１：ウエハ、１２：ウエハカセツト、１４：
エレベータ、１５：ローダ用搬送路、１７：ロー
ダ用ウエハ昇降部材、１７ａ：サブチヤツク、１
７ｂ：昇降部（回動部分）、２０：アンローダ用
搬送路、２３：回転部材、２３ａ：駆動部、２３
ｂ：アーム、２５：チヤツク、２５ａ：ピン、２
５ｂ，ｃ：基台、２６：ヘツトプレート、３７ａ
：サブチヤツク、３７ｂ：昇降部、３７ｃ：溝部
、３９ａ：ウエハカセツト台、３９ｂ：昇降部、
４０：プローブカード、６０：ウエハ取受装置、
６１：ピンセツト部、６２：昇降部、６３：保持
部、７１：スライド軸、７２：ウエハ保持板、７
３：基台、８１：サブチヤツク、８２：昇降部材
、８９：測定部、９０：アンローダ部、９５：ロ
ーダ部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエハのローダ用およびアンローダ用の
    搬送路に係合し左右に回転自在な回転部材を設け
    たウエハ搬送構造において、 ローダ用の搬送路内に第１のウエハ昇降部材を
    設け、 アンローダ用の搬送路内に上記回転部材が回転
    する際にウエハ昇降部材と接触しないように溝部
    を設けた第２のウエハ昇降部材を設け、 上記回転部材により、第２のウエハ昇降部材に
    ウエハが保持された状態で、上記回転部材は第２
    のウエハ昇降部材の溝部を通過してウエハを搬送
    することを特徴としたウエハ搬送構造。
JP16133686U 1986-10-20 1986-10-20 Expired - Lifetime JPH0517885Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16133686U JPH0517885Y2 (ja) 1986-10-20 1986-10-20

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16133686U JPH0517885Y2 (ja) 1986-10-20 1986-10-20

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6367247U true JPS6367247U (ja) 1988-05-06
JPH0517885Y2 JPH0517885Y2 (ja) 1993-05-13

Family

ID=31087556

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JP16133686U Expired - Lifetime JPH0517885Y2 (ja) 1986-10-20 1986-10-20

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JP (1) JPH0517885Y2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03290946A (ja) * 1990-03-30 1991-12-20 Tokyo Electron Ltd 処理装置および処理方法およびレジスト処理装置
CN102690052A (zh) * 2012-05-25 2012-09-26 熊进 一种玻璃下料装置
JP2013149703A (ja) * 2012-01-18 2013-08-01 Nippon Steel & Sumikin Fine Technology Co Ltd ウエハ搬送装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03290946A (ja) * 1990-03-30 1991-12-20 Tokyo Electron Ltd 処理装置および処理方法およびレジスト処理装置
JP2013149703A (ja) * 2012-01-18 2013-08-01 Nippon Steel & Sumikin Fine Technology Co Ltd ウエハ搬送装置
CN102690052A (zh) * 2012-05-25 2012-09-26 熊进 一种玻璃下料装置

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Publication number Publication date
JPH0517885Y2 (ja) 1993-05-13

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