JPS5996264A - 連続真空蒸着装置 - Google Patents
連続真空蒸着装置Info
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- JPS5996264A JPS5996264A JP20455382A JP20455382A JPS5996264A JP S5996264 A JPS5996264 A JP S5996264A JP 20455382 A JP20455382 A JP 20455382A JP 20455382 A JP20455382 A JP 20455382A JP S5996264 A JPS5996264 A JP S5996264A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、例えば銅帯の片面に亜鉛メッキを施すための
連続真空蒸着装置に関し、特に亜鉛蒸気がメッキを必要
としない面に付着することを防止する上記装置に関する
。
連続真空蒸着装置に関し、特に亜鉛蒸気がメッキを必要
としない面に付着することを防止する上記装置に関する
。
銅帯に連続的に亜鉛メッキ皮膜を形成する方法として、
従来の溶融亜鉛浸漬法や電気メツキ法の他に、片面のみ
のメッキに対する有利性から真空蒸着メッキ法が最近研
究されている。
従来の溶融亜鉛浸漬法や電気メツキ法の他に、片面のみ
のメッキに対する有利性から真空蒸着メッキ法が最近研
究されている。
第１図は従来の蒸着装置を示す図である。図に、おいて
、ｉｏｉは蒸ノ５室、１０２（は鉛；；１ｔで、蒸着室
１０１に入る前に表面を活性化されている。１０３．１
０３′はシール装置、１０４は真空ポンプへの連結口で
、図示されていない真空ポンプによシ室内圧力は１〜１
０ ’ Ｔｏｒｒ の真空に保持されている。１０５
は蒸発ルツボ、１０６はメッキ用溶融金属である。１０
７は加熱用ヒータ、１０８は電源への端子である。
、ｉｏｉは蒸ノ５室、１０２（は鉛；；１ｔで、蒸着室
１０１に入る前に表面を活性化されている。１０３．１
０３′はシール装置、１０４は真空ポンプへの連結口で
、図示されていない真空ポンプによシ室内圧力は１〜１
０ ’ Ｔｏｒｒ の真空に保持されている。１０５
は蒸発ルツボ、１０６はメッキ用溶融金属である。１０
７は加熱用ヒータ、１０８は電源への端子である。
第２図は第１図の■−■矢視断面図である。
該図に示すように、蒸発ルツボ１０５の液面よシ蒸発し
た亜鉛蒸気は大部分は鋼帯１０２の下面に付着して凝固
するが、一部は無効蒸気として蒸着室１０１の壁面に付
着し、捷た一部は鋼帯１０２の上面に付着する。
た亜鉛蒸気は大部分は鋼帯１０２の下面に付着して凝固
するが、一部は無効蒸気として蒸着室１０１の壁面に付
着し、捷た一部は鋼帯１０２の上面に付着する。
このため鋼帯１０２の上面に付着すること（いわゆる裏
廻シ）によシ商品価値を低くするという欠点があった。
廻シ）によシ商品価値を低くするという欠点があった。
本発明は前記従来装置の欠点を改良するためになさｎた
もので、鋼帯のメッキを必要としない血（すなわち裏面
）への無効蒸気の付着を防止するために、蒸発ルツボの
蒸気出口部において、銅帯の裏面側に鋼・おと同等ある
いはそれ以下の幅を有し、メッキ金属の再蒸発温度以上
に加熱された付着防止板を設置することを特徴とする連
続真空蒸着装置に関するものである。
もので、鋼帯のメッキを必要としない血（すなわち裏面
）への無効蒸気の付着を防止するために、蒸発ルツボの
蒸気出口部において、銅帯の裏面側に鋼・おと同等ある
いはそれ以下の幅を有し、メッキ金属の再蒸発温度以上
に加熱された付着防止板を設置することを特徴とする連
続真空蒸着装置に関するものである。
第３図は本発明装置の一実施態様例を示す図である。
第６図において、１０１は蒸着完、１０２は鋼帯、１０
５は蒸発ルツボ、１０６はメッキ用溶融金属、１１２は
その蒸気、１１０は付着防止板、１１１は付着防止板を
・加熱するヒータである。付着防止板１１０は、銅帯１
０２と同程度あるいはそれ以下の幅を有しておシ、鋼帯
１０２の非メツキ面側に銅帯１０２と平行に、かつ鋼帯
１０２と接触することなく、極力近づけて（例えば１０
論前後）設置されている。
５は蒸発ルツボ、１０６はメッキ用溶融金属、１１２は
その蒸気、１１０は付着防止板、１１１は付着防止板を
・加熱するヒータである。付着防止板１１０は、銅帯１
０２と同程度あるいはそれ以下の幅を有しておシ、鋼帯
１０２の非メツキ面側に銅帯１０２と平行に、かつ鋼帯
１０２と接触することなく、極力近づけて（例えば１０
論前後）設置されている。
付着防止板１１０をヒータ１１１によシ再蒸発温度以上
に加熱した状態で蒸着を行うと、蒸発ルツボ１０５より
発生した蒸気１１２のうち鋼帯１０２の下面に付着せず
銅帯１０２の端部分通って鋼帯１０２の上方に廻シ込む
蒸気は、付着防止板１１０にさえぎられて鋼帯１０２の
上面には付着しにくい。さらに、付着防止板１１０は再
蒸発温度以上に加熱さｎているので、長時間運転後の付
着防止板１１０へのメッキ用金屈の堆積による銑帝１０
２の上表面と堆積金属との接触等のトラブルは防止され
ている。
に加熱した状態で蒸着を行うと、蒸発ルツボ１０５より
発生した蒸気１１２のうち鋼帯１０２の下面に付着せず
銅帯１０２の端部分通って鋼帯１０２の上方に廻シ込む
蒸気は、付着防止板１１０にさえぎられて鋼帯１０２の
上面には付着しにくい。さらに、付着防止板１１０は再
蒸発温度以上に加熱さｎているので、長時間運転後の付
着防止板１１０へのメッキ用金屈の堆積による銑帝１０
２の上表面と堆積金属との接触等のトラブルは防止され
ている。
付着防止板１１０の幅は銅帯１０２の輻よシ若干小さく
ても良く、実験では２０瓢小さくても付着防止効果が確
認されている。
ても良く、実験では２０瓢小さくても付着防止効果が確
認されている。
なお付着防止板１１０は、望ましくは銅帯１０２の蛇行
に追従するように、図示されていないふ動装置によフ巴
動さｎる。
に追従するように、図示されていないふ動装置によフ巴
動さｎる。
第１図は従来の連続真空蒸着装置を示す図、第２図は第
１図の■−■矢視断面図、第３図は本発明装（１ｔの一
実施態様例を示す図である。 後代ｊ里人 内 １） 明 復代理人 萩 原 亮 − 第１頁の続き ０発 明 者 古用平三部 広島市西区観音新町四丁目６番 ２２号三菱重工業株式会社広島造 船所内 ０発 明 者 和気完治 広島市西区観音新町四丁目６番 ３４３−
１図の■−■矢視断面図、第３図は本発明装（１ｔの一
実施態様例を示す図である。 後代ｊ里人 内 １） 明 復代理人 萩 原 亮 − 第１頁の続き ０発 明 者 古用平三部 広島市西区観音新町四丁目６番 ２２号三菱重工業株式会社広島造 船所内 ０発 明 者 和気完治 広島市西区観音新町四丁目６番 ３４３−
Claims (1)
- 連続真空蒸着装置において、蒸着室内の蒸発ルツボの蒸
気出口部近傍の銅帯の非メツキ側に、銅帯と同等又はそ
れ以下の幅を有し、メッキ金属の再蒸発温度以上に加熱
された付着防止板を、銅帯と平行に、かつ鉗１帯に近接
して設置すること全特徴とする連続真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20455382A JPS5996264A (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 連続真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20455382A JPS5996264A (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 連続真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5996264A true JPS5996264A (ja) | 1984-06-02 |
| JPH0151544B2 JPH0151544B2 (ja) | 1989-11-06 |
Family
ID=16492393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20455382A Granted JPS5996264A (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 連続真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5996264A (ja) |
-
1982
- 1982-11-24 JP JP20455382A patent/JPS5996264A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0151544B2 (ja) | 1989-11-06 |
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