JPS5996275A - メタルスリツト板の製造方法 - Google Patents
メタルスリツト板の製造方法Info
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- JPS5996275A JPS5996275A JP20575882A JP20575882A JPS5996275A JP S5996275 A JPS5996275 A JP S5996275A JP 20575882 A JP20575882 A JP 20575882A JP 20575882 A JP20575882 A JP 20575882A JP S5996275 A JPS5996275 A JP S5996275A
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Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、４’＃蕾測足截械等に用いるメタルスリット
板の製造方法に関するものである。
板の製造方法に関するものである。
従来、このわｌの梢缶槻械器具鯛のメタルスリットには
、フォトエツチング加工が多く用いられ、その装造方法
としてげステンレス、銅もしくは銅合金基材にレジスト
コーティングし、露光、現像ＶＣ，工ｖｎｆ望パターン
弦形成した候、レジスト除去されたパターン外全面ｆ／
（ｉメッキ、ニッケルメッキ＝ｈａし、このメッキ皮膜
娑レジストとしてアルカリエッチャントＹＣでエツチン
グし仕上に行う方法が知られてい６．Ｌ、７７＞Ｌなが
ら、金メツキ方法いたメタルレジストにおいてはメッキ
皮膜が１ミクロン以下で薄い場合、被覆性が不完全なた
めエツチング液により下地金属が腐共しピンホール発生
となる欠点がある。従って、耐蝕性７保持丁７る丸めに
ｒ］：最低限２〜３ミクロン程肛の膜厚が必要となり、
コスト的にも高１１１ｆｉＶｃつながる点から実用的に
不向きであった。ニッケルメッキ２用いたメタルレジス
トについても金メツキ方法と同様にメッキ皮膜が薄い場
合、ピンホールとなり易い欠点がある。そのため、ある
程匿の厚付メッキが必要とされるが厚付メッキ浴は一般
に浴温か高いためメッキ甲にパターン部分のレジストが
軟化し欠損丁ゐなど個々の問題があった。
、フォトエツチング加工が多く用いられ、その装造方法
としてげステンレス、銅もしくは銅合金基材にレジスト
コーティングし、露光、現像ＶＣ，工ｖｎｆ望パターン
弦形成した候、レジスト除去されたパターン外全面ｆ／
（ｉメッキ、ニッケルメッキ＝ｈａし、このメッキ皮膜
娑レジストとしてアルカリエッチャントＹＣでエツチン
グし仕上に行う方法が知られてい６．Ｌ、７７＞Ｌなが
ら、金メツキ方法いたメタルレジストにおいてはメッキ
皮膜が１ミクロン以下で薄い場合、被覆性が不完全なた
めエツチング液により下地金属が腐共しピンホール発生
となる欠点がある。従って、耐蝕性７保持丁７る丸めに
ｒ］：最低限２〜３ミクロン程肛の膜厚が必要となり、
コスト的にも高１１１ｆｉＶｃつながる点から実用的に
不向きであった。ニッケルメッキ２用いたメタルレジス
トについても金メツキ方法と同様にメッキ皮膜が薄い場
合、ピンホールとなり易い欠点がある。そのため、ある
程匿の厚付メッキが必要とされるが厚付メッキ浴は一般
に浴温か高いためメッキ甲にパターン部分のレジストが
軟化し欠損丁ゐなど個々の問題があった。
不発明は従来のフォトエツチングにおける欠点ｋＭ？肖
することｔ目的としてなされ１ζものであり銅もしくは
銅合金基材にメタルレジストとしてストレスが生ずるこ
となく、延性および耐蝕性に後れた性能ｔＭ丁ゐパラジ
ウム合金メツキン適用したことにエリ、尚積度で、πつ
微細なスリットを形成丁ゐ有効な製迫方法ン提供丁ゐこ
とｔ目的とてろものである。
することｔ目的としてなされ１ζものであり銅もしくは
銅合金基材にメタルレジストとしてストレスが生ずるこ
となく、延性および耐蝕性に後れた性能ｔＭ丁ゐパラジ
ウム合金メツキン適用したことにエリ、尚積度で、πつ
微細なスリットを形成丁ゐ有効な製迫方法ン提供丁ゐこ
とｔ目的とてろものである。
以下、図面に基づいて本発明の一実施例ｒ詳細に説明丁
ゐ。
ゐ。
先ず、＄１図に示′１″ように銅もしくは銅合金基材１
の表ｕｊにレジスト２ケコーテイングしΔ払露光、現像
Ｖｒ−より所望パターン３ケ形成する。次にレジストの
除去されたパターン外Ａの部分全面にメタルレジストと
して、不発明で適用し１ζパラジウム合金メッキ皮鵬５
ｒ施した後＼所望パターン６のレジスト除去６ケ行ない
エツチングにて貫通孔７ケ設けろことにエリメタルスリ
ット板と丁ゐ。
の表ｕｊにレジスト２ケコーテイングしΔ払露光、現像
Ｖｒ−より所望パターン３ケ形成する。次にレジストの
除去されたパターン外Ａの部分全面にメタルレジストと
して、不発明で適用し１ζパラジウム合金メッキ皮鵬５
ｒ施した後＼所望パターン６のレジスト除去６ケ行ない
エツチングにて貫通孔７ケ設けろことにエリメタルスリ
ット板と丁ゐ。
本発明で適用したパラジウム合金メッキ皮膜は耐酸性お
よび耐アルカリ性に侵れた耐蝕性ケ有丁ゐこと刀１ら、
アルカリエツチングに限らす酸性エツチングにも適用可
能である。
よび耐アルカリ性に侵れた耐蝕性ケ有丁ゐこと刀１ら、
アルカリエツチングに限らす酸性エツチングにも適用可
能である。
実施例１
材料幅３５０ＦＩＩＩ＋−１厚味５０ミクロンの銅基材
１に市販のネガタイプレジストをコーティングし、狡さ
２１１ｉ、１市５０ミクロンのスリットをバタン有効・
咄２６０關中に８００本自己したスリットパターンをパ
ターニング恢、パラジウム−ニッケル合金組成（パラジ
ウム１０ ｙ／ｌ 、 ニッケル１０ Ｖ／１３ ）
によるメッキ浴にて、眠流密度Ｉ ＩＶ／ｄｃｏ２、Ｐ
Ｈ７，７５、浴温６０℃の条件で８分間メッキを行っ
た。約２ミクロンのメッキ反換が得られ、パラジウムの
析出ワの含有量の分析を行った結果、５３係のパラジウ
ム析出であった。次にアルカリエッチャントにてエツチ
ング全行つ’ｆＣ＋Ｍ来、メタルレジスト面にピンホー
ルが見られず、目的に十分満足された布団のメタルスリ
ット板を仕上げることが出来た。
１に市販のネガタイプレジストをコーティングし、狡さ
２１１ｉ、１市５０ミクロンのスリットをバタン有効・
咄２６０關中に８００本自己したスリットパターンをパ
ターニング恢、パラジウム−ニッケル合金組成（パラジ
ウム１０ ｙ／ｌ 、 ニッケル１０ Ｖ／１３ ）
によるメッキ浴にて、眠流密度Ｉ ＩＶ／ｄｃｏ２、Ｐ
Ｈ７，７５、浴温６０℃の条件で８分間メッキを行っ
た。約２ミクロンのメッキ反換が得られ、パラジウムの
析出ワの含有量の分析を行った結果、５３係のパラジウ
ム析出であった。次にアルカリエッチャントにてエツチ
ング全行つ’ｆＣ＋Ｍ来、メタルレジスト面にピンホー
ルが見られず、目的に十分満足された布団のメタルスリ
ット板を仕上げることが出来た。
実施例２
材料幅２００咽０、厚味２００ミクロンの黄銅基材１’
に市販のボジタイグレジストをコーティングし、長さ１
ｒｔｒｍ、幅１８０ミクロンのスリットを２０−〇中
に３００本配したスリットパターンをパターニング佼、
実施例１と同様なメッキ浴およびメッキ条件してて１８
分間メッキを行った。
に市販のボジタイグレジストをコーティングし、長さ１
ｒｔｒｍ、幅１８０ミクロンのスリットを２０−〇中
に３００本配したスリットパターンをパターニング佼、
実施例１と同様なメッキ浴およびメッキ条件してて１８
分間メッキを行った。
約５ミクロンのメッキ皮ｊ模が得らｎ１パラジウムの析
出・吻の含有量の分析を行っり結果、５５％のパラジウ
ム析出であった。次に塩化第二鉄液にてエツチングを行
った結果、上記と同様にメタルレジスト面にピンホール
が見られず理想的なスリット板を仕上げることが出米窺
。
出・吻の含有量の分析を行っり結果、５５％のパラジウ
ム析出であった。次に塩化第二鉄液にてエツチングを行
った結果、上記と同様にメタルレジスト面にピンホール
が見られず理想的なスリット板を仕上げることが出米窺
。
以上実施例に示すごとく、銅および銅合金基材に適用し
たパラジウム合金皮膜にエルは２ミクロンの皮膜厚さに
おいてもエツチングに、Ｌるピンホールが見られず、金
メッキと同等の良好なるＩＩＪ４蝕注を示すものである
、同、基材が厚くエツチングに長時間を用する場合、酸
性エツチング液にも耐える目的として、パラジウム合金
メッキ（１５ミクロンまで適宜に膜厚を選定する。贅１
こメッキ中の問題として、従来浴温が商い場合、パター
ン部分のレジスト軟化が発生し易くレジスト欠損となる
ことが多かった。その点、パラジウム合金メッキの温度
条）ＦＵ２５℃〜′５５℃と低温な１こめ、レジストの
欠損は全く児ら几な〃）つた。以上述べた二つに、パラ
ジウム合金メッキを施したメタルレジストによれば、品
質の安定した仕上げが容易であり、かつ高棺役のスリッ
ト板装道が可能となる等の諸効果を有するものである。
たパラジウム合金皮膜にエルは２ミクロンの皮膜厚さに
おいてもエツチングに、Ｌるピンホールが見られず、金
メッキと同等の良好なるＩＩＪ４蝕注を示すものである
、同、基材が厚くエツチングに長時間を用する場合、酸
性エツチング液にも耐える目的として、パラジウム合金
メッキ（１５ミクロンまで適宜に膜厚を選定する。贅１
こメッキ中の問題として、従来浴温が商い場合、パター
ン部分のレジスト軟化が発生し易くレジスト欠損となる
ことが多かった。その点、パラジウム合金メッキの温度
条）ＦＵ２５℃〜′５５℃と低温な１こめ、レジストの
欠損は全く児ら几な〃）つた。以上述べた二つに、パラ
ジウム合金メッキを施したメタルレジストによれば、品
質の安定した仕上げが容易であり、かつ高棺役のスリッ
ト板装道が可能となる等の諸効果を有するものである。
第１＋ａ（Ａ）乃至＜Ｗ＞は不発明を適用し実施した製
造。 方法を説明する工程町１面図である。 １・・・銅もしくは銅合金基材 ２・・・レジスト ６・・・所望パターン ４・・・パターン外部分 ５・・・パラジウム合金メッキ皮膜 ６・・・パターン部レジスト除去 ７・・・頁堪孔 以 上
造。 方法を説明する工程町１面図である。 １・・・銅もしくは銅合金基材 ２・・・レジスト ６・・・所望パターン ４・・・パターン外部分 ５・・・パラジウム合金メッキ皮膜 ６・・・パターン部レジスト除去 ７・・・頁堪孔 以 上
Claims (2)
- （１）−刊もしくｒｓ、銅付金基材にレジストコーティ
ングし、露光、現像にエリ所望パターン外全面しり後、
メタルレジストとしてパターン外にパラジウム合金メッ
キケ施し、エツチング加工丁ゐこと？特徴とするメタル
スリット板の製造方法。 - （２） パラジウム合金メッキ組成がパラジウムの電
着合金比で５′５俸以下であり、かつ５ミクロン以下の
メッキ厚さである上記特許請求の範囲第１項記載のメタ
ルスリット板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20575882A JPS5996275A (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | メタルスリツト板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20575882A JPS5996275A (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | メタルスリツト板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5996275A true JPS5996275A (ja) | 1984-06-02 |
| JPS6214229B2 JPS6214229B2 (ja) | 1987-04-01 |
Family
ID=16512171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20575882A Granted JPS5996275A (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | メタルスリツト板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5996275A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6891344B2 (en) | 2002-01-25 | 2005-05-10 | Mitsuba Corporation | Automatic opening and closing apparatus for vehicle |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07119994A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-12 | Nec Corp | リサイクルダクトシステム |
-
1982
- 1982-11-24 JP JP20575882A patent/JPS5996275A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6891344B2 (en) | 2002-01-25 | 2005-05-10 | Mitsuba Corporation | Automatic opening and closing apparatus for vehicle |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6214229B2 (ja) | 1987-04-01 |
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