JPS5997301A - 流体制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、ロードセンシング制御とメ・−タアウト制
御をする流体制御装置に関する。

（従来の制御装置） 第１図に示す従来の制御装置は、手動操作装置１を操作
することによって、メータインバルブ２のいずれか一方
のパイロット室３あるいは４にパイロット圧を導くとと
もに、メータアウトバルブ５．６のいずれかのパイロッ
ト室７にも上記パイロット圧を導く。

例えば上記手動操作装置１を操作してパイロット通路８
にパイロット圧を導入すれば、そのパイロット圧はメー
タインバルブ２の一方のパイロット室３と前記メータア
ウトバルブ５のパイロット室７とに流入する。

上記のようにパイロット室３にパイロット圧が導入され
ると、当該メータインバルブ２は図面右劣向に移動し、
メイン通路９と負荷ボート１０とを連通させる。したが
ってポンプ１１からの作動流体は、ロードチェック弁１
２を押し開いてシリンダ１３のロッド側室１４に流入し
、このシリンダ１３を収縮させる。

また上記のように一方のメータアウトバルブ５のパイロ
ット室７にパイロット圧が流入すると、当該メータアウ
トバルブ５が開いて上記シリンダ１３のボトム側室１５
を、流通路１Ｇを介してタンク通路１７に連通させる。

したがって上記ボトム側室１５からの戻り側の作動流体
がタンク１８に戻る。

この従来の制御装置における前記メータイン／くルブ２
は、メイン通路９から負荷ポー）１０へ流通する作動流
体の流体力により、負荷変動やポンプ圧変動に対して、
パイロット圧に比例した流量になるように、自己補償機
能を保持している。

しかしこのような自己補償機能があるために、負荷圧変
動やポンプ圧変動が生じると、当該メータインバルブ２
が自己補償動作をするが、このときパイロット室３．４
に容積変化が生じる。パイロット室３．４に容積変化が
生じると、パイロット圧が変動し、その変動がメータア
ウトバルブ５あるいは６に作用する。

上記のように変動したパイロット圧がメータアウトバル
ブに作用すると、そのバルブ機能に悪影響を及ぼし、正
確なメータアウト制御ができない欠点があった。

（本発明の目的） この発明は、メーターインバルブ機構によってメータア
ウトバルブ機構を制御するようにして上記従来の欠点を
解消した流体制御装置の提供を目的にする。

（本発明の実施例） 第２．３図に示したは第１実施例は、可変ポンプ２０の
下流側にメータインバルブ機構ａを設けるとともに、さ
らにこのメータインバルブ機構ａの下流側にメータアウ
トバルブ機構すを設けている。

上記メータインバルブ機構ａは流量調整切換弁２１と圧
力制御弁２２とを主要素にしてなり、またメータアウト
バルブ機構すは一対のメータアウトバルブ２３．２４を
主要素にしてなるが、その具体的な構成は第３図に示す
とおりである。

すなわち上記各要素は、その弁本体２５にそれぞれ内装
されているが、その最も上流側には圧力制御弁２２を設
けている。

上記圧、力制御弁２２は上記弁本体２５に形成のポア２
６にスプール２７を摺動自在に内装してなる。

そして上記ポア２６には第１環状溝２８と第２環状溝２
８とを形成するとともに、第１環状ｎ２８は前記流量調
整切換弁２１の流入通路３ｏに常時連通し、第２環状溝
２８はメイン通路３１を介して前記可変ポンプ２０に常
時連通するようにしている。

また上記スプール２７はその一端を一方のパイロット室
３２に臨ませるとともに、他端を他方のパイロット室３
３に臨ませ、かつ中央には環状凹部３４を形成している
。そして上記他方のパイロット室３３にはスプリング３
５を介装し、通常はこのスプリング３５の作用で、当該
スプール２７が図示の状態に維持されるようにしている
。

すなわち上記の状態では、可変ポンプ２０からの作動流
体が、メイン通路３１→第２環状溝２８→環状凹部３４
→第１環状溝２８を経由して流入通路３０に流入する関
係にある。そしてこのとき上記流入通路３０側の圧力は
オリフィス３６を経由して前記一方のパイロット室３２
に流入する。

さらに前記流量調整切換弁２１は、弁本体２５に形成の
ポア３７にスプール３８を摺動自在に内装してなり、こ
のスプール３８はその一端を弁本体２５の外方に突出さ
せる一方、他端をスプリング室３θに臨ませている。こ
のスプリング室３Ｂに介装したスプリング４０の作用で
、当該スプール３８は通常図示の中立位置に維持される
。

上記図示の状態において、スプール３８の中央に形成の
環状凹部４１が前記流入通路３０と対応し、その環状凹
部４１の両側に形成したランド４２．４３によって流入
通路３０が閉ざされる関係にしている。

このランド４２．４３には環状凹部４１に向って先細り
にしたテーパ面又はノツチ等を形成している。

そして上記の状態から当該スプール３８をスプリング４
０に抗して左右、いずれかに移動させると、負荷ボート
４Ｂある、いは４７に連通ずる環状溝４４あるいは４５
のいずれか一方の環状溝が前記流入通路３０に連通ずる
。

さらに上記環状溝４４．４５の外方であって、それにほ
ぼ隣接する関係位置に、ち荷検出ボート４８．４８を形
成しているが、この負荷検出ボート４８．４８、、は前
記のようにして流入通路３０と、連通した負荷ボート４
Ｂあるいは４７内の圧力を２パイロツト圧として前記圧
力制御弁２２の他方のパイロット室３３に導くと同時に
上記パイロット圧を後記するシャトル弁５０に導入させ
る。ただし上記スプール３８が図示の中立位置にあると
きは、そのスプール３８に形成の通路５１を介して当該
負荷検出ポート４８．４８をタンク５２に連通させ、上
記中立位置において他方のパイロット室３３内に圧力が
こもらないようにしている。

そして上記のようにした負荷ポート４６．４７はロード
チェック弁５３．５４を経由して制御ポート５５．５６
に連通しているが、これら再制御ポート５５．５８はシ
リンダ５７のボトム側室５８とロッド側室５８に接続し
ている。

また前記スプール３８にはパイロット圧切換ノツチ部６
０を形成するとともに、このパイロット圧切換ノツチ部
８０は前記メイン通路３１から分岐された分岐通路６１
と常時連通するが、この分岐通路８１の流通過程には減
圧弁８２を設けている。

そして前記スプール、３８が中立位置にあるとき、上記
パイロット圧切換ノツチ部６０が閉じ、スプール３８が
左右いずれかに切換わったときにパイロット通路６３あ
るいは６４のいずれかに連通するとともに、スプール３
８の移動量に応じてパイロット通路６３あるいは８４に
対する開口面積が決まるようにしている。

上記パイロット通路６３．６４はオリフィス６５．６６
を経由してタンク５２．８７に連通しているので、パイ
ロット通路８３あるいは８４に対する上記開口面積に応
じたパイロット圧がこのパイロット通路６３あるいは８
４に発生する。

上記のようにして発生したパイロット圧は、前記メータ
アウトバルブ機構すに流入するが、このメータアウトバ
ルブ機構すの構成は次のとおりである。

すなわち上記弁本体２５の最も下流側にポア６日、６９
を形成し、これらポア６８．８９はタンク通路７０を挟
んで互いに対向させている。　　、 この、ようにしたポア６８．６８の内側にメインポペッ
ト７１．７２を設けるとともに−、このメインポペット
７１．７２の外方に第１ガイド部材７３．７４を固定し
、さらにこの第１ガイド部材７３．７４の外側に第２ガ
イド部材７５．７８を固定している。

そして上記メインポペット７１．７２と第１ガイド部材
７３．７４との間に形成した圧力室？？、７８内にスプ
リング７９．８０を介在させ、このスプリング７９．８
０の作用で通常は上記メインボペ、、）７１．７２が、
前記制御ポート５５．５６側に形成したシート部８１．
８２に圧接し、タンク通路７０と制御ポート５５．５８
との連通を遮断している。

また上記第１ガイド部材７３．７４と第２ガイド部材７
５．７８との間に形成した中継室８３．８４はオリフィ
ス８５．８８を介して上記圧力室７７．７８に連通する
とともに、通路８７．８８を介して前記制御ボート５５
．５６にも連通している。さらに第２ガイド部材７５．
７６に形成したパイロット室８８．９０はダンパオリフ
ィス１２８　、１２７を介して前記パイロット通路６３
．６４に連通している。

上記のようにしたメインポペット７１．７２、第１ガイ
ド部材７３．７４及び第２ガイド部材７５．７６のそれ
ぞれの中心に孔を形成し、この孔内にロッド９１．８２
を摺動自在に貫通させるとともに、それら両ロッド８１
．８２の内端を前記タンク通路７０内で突き合わせてい
る。

このようにしたロッド８１．８２は、その両端をスプリ
ングガイド９３．９４に当接させているが、このスプリ
ングガイド８３．９４はそのスプリング９５．９８の作
用で上記ロッド８１．８２を押し、通常はロッド９１．
８２を図示の中立位置に保持するようにしている。

上記のようにロッド８１．８２が中立位置に保持されて
いるときには、タンク通路７０と圧力室７７．７８との
連通が遮断されるが、上記スプリング９５．９６のばね
力に抗して移動したとき、このロッド９１．８２に形成
の切欠部８７．９８を介して圧力室７７．７８とタンク
通路７０とが連通ずる関係にしている。

また上記ロッド８１．８２には、上記中継室８３．８４
内に導入された圧力が作用する段部９８．１００を形成
し、この段部を境にしてその内方の直径Ｄ１を外方の直
径Ｄ２よりも大きくしている。

なお図中符号１０１　、１０２はアンチボイドバルブ、
１０３　、１０４はリリーフ弁である。

そしてこの第１実施例では、上記メータインバルブ機構
ａの下流側にそれと同様の構成のメータインバルブ機構
ａ′とそれにともなったメータアウトバルブ機構ｂ′と
を設けている。

これら各機構は上記したと同様なので、それらの各要素
についての詳細な説明を省略するが、必要に応じて新た
な符号を付すことにする。

上記のようにバルブ機構を備えた流体制御装置は、上記
メイン通路３１に出力検出通路１０５を設け、この出力
検出通路１０５を差圧感知制御弁１０Ｂと安全弁１０７
とからなる傾転角制御装置１０８に接続している。

上記差圧感知制御弁１０Ｂはその一方のパイロット室−
１０９に上記出力検出通路１０５からの圧力を導き、他
方のパイロット室１１０にはスプリング１１１を設ける
とともに、負荷検出通路１１２を経由して前記シャトル
弁５０と接続している。

負荷検出通路１１２と接続したシャトル弁５ｏは、負荷
検出通路１２４を介して負荷検出ボート４８．４９に接
続されているが、それと同時に下流側のメータインバル
ブ機構ａ′の負荷検出ボートにも負荷検出通路１２５を
介して接続している。

したがって上流側のアクチェータかあるいは下流側のア
クチェータのいずれかの高い方の負荷圧がシャトル弁５
０で選択されて上記パイロット室１１０に導入されるこ
とになる。

なお上記シャトル弁５０に代えてチェック弁を設けても
よいこと当然である。

そして上記差圧感知制御弁１０Ｂは、パイロット室１０
８とパイロット室１１０に流入するパイロット圧に応じ
て動作し、一方のパイロット室１０９の圧力が、他方の
パイロット室１１０の圧力より高いときには、差圧感知
制御弁１０１３がスプリング１１１に抗して図面左側位
置に切換わる。このように差圧感知制御弁１０６が切換
わると、出力検出通路１０５から流入し返可変ポンプ２
０の作動流体が通路１１３を介して傾転角制御シリンダ
１１４に流入するので、当該可変ポンプ２０の吐出量を
減少させる。

反対に他方のパイロット室１０８の圧力が一方のパイロ
ット室１０８側の圧力より高くなると、差圧感知制御弁
１０８は図示の右側位置に保持され上記傾転角制御シリ
ンダ１１４をタンク１１５に連通させるので、傾転角制
御シリンダ１１４のピストンがスプリングの作用で移動
し、当該可変ポンプ２０の吐出量を増大させる。

しかしていま上流側のシリンダ５７のみを作動させる場
合に、前記スプール３８を第３図右方向に切換えたとす
ると、流入通路３０と負荷ボート４７とが連通ずるが、
その連通過程における開口面積は上記スプール３８の移
動量に応じて決まる。

上記のようにして所定の開口面積のもとて流入通路３０
と負荷ボート４７とが連通ずると、可変ポンプ２０から
の作動流体は圧力制御弁２２→流入通路３０→環状凹部
４１→負荷ポート４７→ロードチェック弁５４を経由し
てシリンダ５７のロッド側室５９に流入する。

上記のようにスプール３８を右方向に切換えると、前記
パイロット圧切換ノツチ部６０とパイロット通路８４と
が連通ずるとともに、スプール３８の移動量に応じてそ
の開口量が決まる。その開口量が決まれば、減圧弁６２
を経由して流入したパイロット流量が定まり、その定め
られたパイロット流量がパイロット通路６４からオリフ
ィス８６を通ってタンクＢ７に流れるが、そのオリフィ
ス６６前後に上記パイロット流量に応じた差圧が発生す
る。

このようにして発生したパイロット圧は、前記パイロッ
ト室８０に流入してロッド８２の外端面に作用する。

上記のようにパイロット室８０にパイロット圧が導入さ
れると、その圧力の作用でロッド８２が図面左方向に押
される。それにともなってロッド８１も押されて、当該
ロッド８１の切欠部８７が圧力室７７内に開口する。

切欠部９７が圧力室７７内に開口すれば、この圧力室７
７がタンク通路７０に連通してその圧力が低下するので
、制御ボート５５側の高圧によってメインボペッ）７１
が開き、制御ボート５５がタンク通路７０に連通する。

したがってボトム側室５８の戻り側の流体がタンク１１
６に戻りシリンダ５７が収縮する。

上記のようにシリンダ５７が作動すると、上記負荷ボー
ト４７側の負荷圧が負荷検出ボート４９から圧力制御弁
２２の他方のパイロット室３３に導入されるとともに゛
、圧力制御弁２２の一方のパイロット室３２にはオリア
イス３８を通って流入通路３ｏ側の圧力が導入される。

このとき一方のパイロット室３２側の圧力Ｐ１と、他方
のパイロット室３３側の圧力Ｐ２及びスプリング３５の
ばね力に相当する圧力Ｐ３とがＰｌ＝Ｐ２＋Ｐ３の関係
を維持する範囲で当該圧力制御弁２２がバランスし、環
状凹部３４と流入通路３０との開口量を調整して、スプ
ール３８前後の差圧を一定に制御する。したがってスプ
ール３８を切換えたときに、その開口面積に比例した流
量が得られ、その結果当該シリンダ５７にはその負荷変
動に関係なく所定の流量が供給されることになる。

このとき可変ポンプ２ｏの吐出圧は、出力検出通路１０
５を経由して傾転角制御装置１０８の一方のパイロット
室１０９に流入する一方、ロッド側室５８側の負荷圧は
、環状溝４５→負荷検出通路１２４→シャトル弁５０→
負荷検出通路１１２を経由して他方のパイロット室１１
０に流入する。

したがって上記差圧感知制御弁１０６は、その一方のパ
イロット室１０９内の圧力Ｐよ、他方のパイロット室１
１０内の圧力Ｐ２及びスプリング１１１のばね力に相当
する圧力Ｐ３とが、 Ｐ１＝Ｐ２＋Ｐ３ となる関係においてバランスすることになる。

例えばパイロット室１０８側の圧力Ｐ１が、パイロット
室１１０側の圧力Ｐ２＋Ｐ３より高いときには、差圧感
知制御弁１０８がスプリング１１１に抗して移動し、上
記Ｐ２＋Ｐ３にバランスする位置〒停止して、出力検出
通路１０５と通路１１３とを連通させる。したがって可
変ポンプ２０の吐−山王が傾転角制御シリンダ１１４に
流入し、当該可変ポンプ２０の吐出量を減少させる。

一方上記Ｐ１がＰ２＋Ｐ３よりも低くなれば、当該差圧
感知制御弁１０６が切換わり、上記シリンダ１１４の流
体がタンク１１５に流れ、それに応じて可変ポンプ２０
の吐出量も増大される。

上記のようにして可変ポンプ２０の吐出量が定められる
が、その吐出量は前記Ｐ、＝Ｐ２　＋ｉ＝’３の条件を
満足させる範囲で決められることになり、結局ポンプ吐
出圧と負荷圧との差圧がばね力に相当する圧力に等しく
なるようにポンプ吐出量が制御される。

一方シリンダ５７に第２図に示す矢印１２８方向に負荷
が作用し、しかもロッド側室５８側に圧力を供給すると
き、すなわちシリンダ５７にネガティブロードが作用す
るようなときには、上記メータインバルブ機構ａではシ
リンダを制御ができない。

なぜなら上記のようにネガティブロードが作用している
ときには、ポンプからの供給圧よりも負荷圧でシリンダ
が移動してしまうから、その供給側の流量を制御しても
当該シリンダを制御できないからである。

このようなときに前記メータアウトバルブ機構すが機能
するが、その具体的な作動は次のとおりである。

すなわち前記したように流量調整切換弁２１のスプール
３８を図面右方向に切換えると、その切換量に応じてパ
イロット通路Ｂ４の開度が決まる。

パイロット通路６４の開度が決まれば、その開度に応じ
た流量が流れ、前記オリフィス６Ｂの機能で、上記流量
に応じたパイロット圧が発生する。

このパイロット圧はパイロット室９０に流入してロッド
９２に作用し、当該ロッド９２及び９１を図面左方向に
押す。

このとき上記圧力室７７及び中継室８３には、制御ポー
ト５５側の圧力が流入しているが、中継室８３内の圧力
が段部８９に作用し、その力は上記ロッド８２及び８１
に対抗する力として作用する。

したがってパイロット圧によって押された上記ロッド９
２及び８１は、上記パイロット圧による押圧力と、スプ
リング９５及び段部８８に作用する力とがバランスする
位置まで移動することになる。つまり当該ロッド９２及
び８１は前記パイロット圧、すなわちスプール３８の切
換量に比例して移動することになる。

上記のようにロッド８１が移動すると、切欠部８７が圧
力室７７側に開き、当該圧力室７７をタンク通路７０に
連通させる。圧力室７７がタンク通路７０に連通すれば
、オリフィス８５の作用で圧力室７７内の圧力が低下す
る。このように圧力室７７内の圧力が低下すると、制御
ボート５５側の高圧の作用で、メインポペット７１がロ
ッド８１の移動量に比例して移動し、シート部８１の開
口面積を決める。

シート部８１が上記のようにして開けば、制御ポート５
５とタンク通路７０とが連通し、シート部８１の開度に
応じた流量がタンク通路７０に流れる。

つまり流量調整切換弁２１のスプール３８の切換量に応
じてパイロット圧が決まり、そのパイロット圧に比例し
てメインポペット７１の移動量も決まるとともに、シー
ト部８１が上記パイロット圧に比例した開口面積を維持
することになる。

このようにパイロット圧に比例したシート部８１の開口
面積が得られれば、その開口面積に応じたメータアウト
制御ができ、前記したネガティブロードが作用したとき
も、当該シリンダ５７を制御できる。

そして上記の状態で当該シリンダに負荷変動があって、
戻り側の圧力が変化したとき、ロッド９１．８２はその
圧力変化を段部８８に対する作用力の変化として感知す
る。

したがってシート部８１の開口面積が一定の状態で流出
ポート５５側の圧力が上昇すると、その圧力上昇分に応
じてタンク通路７０に流れる流量が増大しようとする。

しかしこのとき中継室８３内の圧力も上昇し、しかも前
記段部９９に作用する力も増大するため、ロッド８１．
８２が図面右方向に移動する。ロッドの移動にともなっ
てメインポペット７１が追従し、シート部８１の開口面
積を小さくして上記流出量の増大をキャンセルするよう
に自己調整する。

反対に制御ポート５５側の圧力が低下すると、その圧力
降下分に応じてタンク通路７０に流れる流出量が減少し
ようとする。しかしこのとき中継室８３内の圧力も降下
し、しかも前記段部９９に作用する力も減少するため、
ロッド９１．８２が図面左方向に移動する。ロッドの移
動にともなってメインポペット７１が追従し、そのシー
ト部８１の開口面積を大きくして上記流出量の減少をシ
ャンセルするように自己調整する。

つまり制御ボート５５側の圧力が変化しても、シート部
８１の開口面積を自動的に増減して、戻り側の流量変化
を防ぐ自己補償機能を保持している。

なお前記段１部９９．１００は、それらの受圧面積を等
しくする必要はなく、例えば負荷の方向が密番こ決まっ
ているような場合には、一方の段部の受圧面積を大きく
しておいてもよい。

さらに前記メータインバルブ機構ａ′側に接続したモー
タ１１７と上記シリンダ５７とを同時側と作動させると
きの制御動作は、シリンダ５７のみを作動させるときと
実質的に同じであるが、メータインバルブ機構ａ側の圧
力制御弁２２とメータイン７＜ルブ機構ａ′側の圧力制
御弁１１８が機能し、負荷が低い方のアクチェータのみ
に可変ポンプ２０からの作動流体が供給きれないように
している。

また負荷検出通路１１２には上記アクチェータのうちの
高い方の負荷圧がシャトル弁５０で選択されて導入し、
その負荷圧との間で当該可変ポンプ２０の吐出量が制御
される。

なお上記実施例におｌ、Ｎて圧力ｆｆＪＩ　Ｓｖ弁２２
．１１８は、複数のアクチェータを１つの回路構成で’
ＨＪ御する場合にのみ必要とする。

つまり複数のアクチェータを同時側と操作する場合には
、ポンプからの供給流量力く負荷の低１．％方番このみ
流れようとし、そのため番と負荷の高し１方番こｔよ作
動流体が供給されなくなる。

そこでこの第１実施例のよう番こ、圧力ｆｌＪＩ御弁を
設けておけば、圧力制御弁が動作して当！アクチェータ
に必要な流量のみを供給すること番となるので、負荷の
低いアクチェータ（ｌ−このみ作動流体が供給されるよ
うなことがなくなる。

またこの流体制御装置では、流量調整切換弁２１の切換
動作によってメータアウト／＜ルブ機構を＃制御してい
るので、アクチェータの負荷力く変動したり、多連にし
たアクチェータの同時動作時しこポンプ圧が変化したす
しても、圧カーＪ御弁２２だ乞ナカく作動するのみで、
メータアウト／＜ルブ機構ａ４こｔ±何の影響もない。

つまりメータイン動作と、メータアウト動作とが独立し
てしするので、感度の高１．Ｎメ−タアウトバルブ機構
の動作を安定させることができる。

第４図に示した第２実施例は、流量調整切換弁１１９　
、１２０が図示の中立位置にあるとき、ポンプ２０から
の作動流体が、中立流路１２１を経由してタンク１１６
に戻るようにするとともに、上記タンクへの流通過程に
絞り１２２と低圧リリーフ弁１２３とを設けている。

したがってこの第２実施例では、流量調整切換弁が中立
位置にあるとき作動流体が上記絞り１２２を通過するの
で、上記中立状態でも当該回路内に一定の流量が確保さ
れる。また上記低圧リリーフ弁１２３は、流量調整切換
弁の切換過渡時のピーク圧を低くおさえる。

なお上記両実施例において、メータアウトバルブ機構に
パイロット圧を供給するのに、自己圧を利用しているが
、上記パイロット圧供給用のポンプを別に備えてもよい
。

（本発明の構成） この発明の構成は、スプールの移動量に応じて流量制御
ができるバルブ機構を用いた流体制御装置において、ア
クチェータの負荷変動に関係なく、開度に応じた一定の
流量を常に供給するメータインバルブ機構と、このメー
タインバルブ機構の切換動作によって動作するメータア
ウトバルブ機構とを備えた点に特徴を有する。

上記のように構成したので、メータインバルブ機構を操
作すれば、メータアウトバルブ機構が自動的に動作し、
メータイン制御とメータアウト制御とができる。

（本発明の効果） この発明は上記のように構成したので、メータインバル
ブ機構の動作がメータアウトバルブ機構に悪影響を与え
ることがない。

【図面の簡単な説明】

図面第１図は従来の断面図、第２〜３図はこの発明の第
１実施例を示すもので、第２図は回路図、第３図はメー
タインバルブ機構とメータアウトバルブ機構との断面図
、第４図は第２実施例の回路図である。 ａ、ａ′・・・メータインバルブ機構、ｂ、ｂ′・働・
メータアウトバルブ機構、３日・拳・スプール。 代理人弁理士　嶋　宣之 ９ｒ　１　口

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. スプールの移動量に応じて流量制御ができるバルブ機構
   を用いた流体制御装置において、アクチェータの負荷変
   動に関係なく、常に開度に応じた一定の流量を供給する
   メータインバルブ機構と、このメータインバルブ機構の
   切換動作によって動作するメータアウトバルブ機構とを
   備えた流体制御装置。