JPH0381007B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、メータイン制御とメータアウト制
御をする流体制御装置に関する。

（従来の技術） 第１図に示す従来の制御装置は、特開昭55−
149402号公報所載の発明を示したもので、手動操
作装置１を操作することによつて、メータインバ
ルブ２のいずれか一方のパイロツト室３あるいは
４にパイロツト圧を導くとともに、メータアウト
バルブ５，６のいずれかのパイロツト室７にも上
記パイロツト圧を導く。

例えば上記手動操作装置１を操作してパイロツ
ト通路８にパイロツト圧を導入すれば、そのパイ
ロツト圧はメータインバルブ２の一方のパイロツ
ト室３と前記メータアウトバルブ５のパイロツト
室７とに流入する。

上記のようにパイロツト室３にパイロツト圧が
導入されると、当該メータインバルブ２は図面右
方向に移動し、メイン通路９と負荷ポート１０と
を連通させる。したがつてポンプ１１からの作動
流体は、ロードチエツク弁１２を押し開いてシリ
ンダ１３のロツド側室１４に流入し、このシリン
ダ１３を収縮させる。

また上記のように一方のメータアウトバルブ５
のパイロツト室７にパイロツト圧が流入すると、
当該メータアウトバルブ５が開いて上記シリンダ
１３のボトム側室１５を、流通路１６を介してタ
ンク通路１７に連通させる。したがつて上記ボト
ム側室１５からの戻り側の作動流体がタンク１８
に戻る。

この従来の制御装置における前記メータインバ
ルブ２は、メイン通路９から負荷ポート１０へ流
通する作動流体の流体力により、負荷変動やポン
プ圧変動に対して、パイロツト圧に比例した流量
になるように、自己補償機能を保持している。

（発明が解決しようとする課題） 上記のようにした従来の制御装置では、上記の
ように自己補償機能があるため、負荷圧変動やポ
ンプ圧変動が生じると、当該メータインバルブ２
が自己補償動作をするが、このときパイロツト室
３，４に容積変化が生じる。パイロツト室３，４
に容積変化が生じると、パイロツト圧が変動し、
その変動がメータアウトバルブ５あるいは６に作
用する。このようにパイロツト圧がメータアウト
バルブに作用すると、そのバルブ機能に悪影響を
及ぼし、正確なメータアウト制御ができないとい
う問題があつた。

この発明の目的は、メーターインバルブによつ
てメータアウトバルブを制御するようにして上記
従来の欠点を解消した流体制御装置を提供するこ
とである。

（課題を解決するための手段） この発明は、スプールの移動量に応じて流量制
御ができるバルブを用いた流体制御装置におい
て、アクチユエータへの供給方向と流量を制御す
る流量調整切換弁及び流量調整切換弁の切換え量
に応じてアクチユエータの負荷変動に関係なく供
給流量を一定に保つ圧力制御弁からなるメータイ
ンバルブと、このメータインバルブの切換え動作
に関連してパイロツト圧が制御されるとともにこ
のパイロツト圧の作用で切換わるメータアウトバ
ルブとを備えた点に特徴を有する。

（作用） この発明は、上記のように構成したので、流量
調整切換弁の切換え量を設定すると、圧力制御弁
が機能して、アクチユエータの負荷変動に関係な
くその供給流量を一定に保つ。

また、流量調整切換弁を上記のように切換える
ことによつて、メータアウトバルブのパイロツト
圧が制御される。そして、この制御されたパイロ
ツト圧によつてメータアルトバルブが動作する。

（本発明の実施例） 第２，３図に示したは第１実施例は、可変ポン
プ２０の下流側にメータインバルブａを設けると
ともに、さらにこのメータインバルブａの下流側
にメータアウトバルブｂを設けている。

上記メータインバルブａは流量調整切換弁２１
と圧力制御弁２２とを主要素にしてなり、またメ
ータアウトバルブｂは一対のメータアウト弁２
３，２４を主要素にしてなるが、その具体的な構
成は第３図に示すとおりである。

すなわち上記各要素は、その弁本体２５にそれ
ぞれ内装されているが、その最も上流側には圧力
制御弁２２を設けている。

上記圧力制御弁２２は上記弁本体２５に形成の
ボア２６にスプール２７を摺動自在に内装してな
る。

そして上記ボア２６には第１環状溝２８と第２
環状溝２９とを形成するとともに、第１環状溝２
８は前記流量調整切換弁２１の流入通路３０に常
時連通し、第２環状溝２９はメイン通路３１を介
して前記可変ポンプ２０に常時連通するようにし
ている。

また上記スプール２７はその一端を一方のパイ
ロツト室３２に臨ませるとともに、他端を他方の
パイロツト室３３に臨ませ、かつ中央には環状凹
部３４を形成している。そして上記他方のパイロ
ツト室３３にはスプリング３５を介装し、通常は
このスプリング３５の作用で、当該スプール２７
が図示の状態に維持されるようにしている。

すなわち上記の状態では、可変ポンプ２０から
の作動流体が、メイン通路３１→第２環状溝２９
→環状凹部３４→第１環状溝２８を経由して流入
通路３０に流入する関係にある。そしてこのとき
上記流入通路３０側の圧力はオリフイス３６を経
由して前記一方のパイロツト室３２に流入する。

さらに前記流量調整切換弁２１は、弁本体２５
に形成のボア３７にスプール３８を摺動自在に内
装してなり、このスプール３８はその一端を弁本
体２５の外方に突出させる一方、他端をスプリン
グ室３９に臨ませている。このスプリング室３９
に介装したスプリング４０の作用で、当該スプー
ル３８は通常図示の中立位置に維持される。

上記図示の状態において、スプール３８の中央
に形成の環状凹部４１が前記流入通路３０と対応
し、その環状凹部４１の両側に形成したランド４
２，４３によつて流入通路３０が閉ざされる関係
にしている。このランド４２，４３には環状凹部
４１に向つて先細りにしたテーパ面又はノツチ等
を形成している。

そして上記の状態から当該スプール３８をスプ
リング４０に抗して左右いずれかに移動させる
と、負荷ポート４６あるいは４７に連通する環状
溝４４あるいは４５のいずれか一方の環状溝が前
記流入通路３０に連通する。

さらに上記環状溝４４，４５の外方であつて、
それにほぼ隣接する関係位置に、負荷検出ポート
４８，４９を形成しているが、この負荷検出ポー
ト４８，４９は前記のようにして流入通路３０と
連通した負荷ポート４６あるいは４７内の圧力を
パイロツト圧として前記圧力制御弁２２の他方の
パイロツト室３３に導くと同時に上記パイロツト
圧を後記するシヤトル弁５０に導入させる。ただ
し上記スプール３８が図示の中立位置にあるとき
は、そのスプール３８に形成の通路５１を介して
当該負荷検出ポート４８，４９をタンク５２に連
通させ、上記中立位置において他方のパイロツト
室３３内に圧力がこもらないようにしている。

そして上記のようにした負荷ポート４６，４７
はロードチエツク弁５３，５４を経由して制御ポ
ート５５，５６に連通しているが、これら両制御
ポート５５，５６はシリンダ５７のボトム側室５
８とロツド側室５９に接続している。

また前記スプール３８にはパイロツト圧切換ノ
ツチ部６０を形成するとともに、このパイロツト
圧切換ノツチ部６０は前記メイン通路３１から分
岐された分岐通路６１と常時連通するが、この分
岐通路６１の流通過程には減圧弁６２を設けてい
る。

そして前記スプール３８が中立位置にあると
き、上記パイロツト圧切換ノツチ部６０が閉じ、
スプール３８が左右いずれかに切換わつたときに
パイロツト通路６３あるいは６４のいずれかに連
通するとともに、スプール３８の移動量に応じて
パイロツト通路６３あるいは６４に対する開口面
積が決まるようにしている。

上記パイロツト通路６３，６４はオリフイス６
５，６６を経由してタンク５２，６７に連通して
いるので、パイロツト通路６３あるいは６４に対
する上記開口面積に応じたパイロツト圧がこのパ
イロツト通路６３あるいは６４に発生する。

上記のようにして発生したパイロツト圧は、前
記メータアウトバルブｂに流入するが、このメー
タアウトバルブｂの構成は次のとおりである。

すなわち上記弁本体２５の最も下流側にボア６
８，６９を形成し、これらボア６８，６９はタン
ク通路７０を挟んで互いに対向させている。

このようにしたボア６８，６９の内側にメイン
ポペツト７１，７２を設けるとともに、このメイ
ンポペツト７１，７２の外方に第１ガイド部材７
３，７４を固定し、さらにこの第１ガイド部材７
３，７４の外側に第２ガイド部材７５，７６を固
定している。

そして上記メインポペツト７１，７２と第１ガ
イド部材７３，７４との間に形成した圧力室７
７，７８内にスプリング７９，８０を介在させ、
このスプリング７９，８０の作用で通常は上記メ
インポペツト７１，７２が、前記制御ポート５
５，５６側に形成したシート部８１，８２に圧接
し、タンク通路７０と制御ポート５５，５６との
連通を遮断している。

また上記第１ガイド部材７３，７４と第２ガイ
ド部材７５，７６との間に形成した中継室８３，
８４はオリフイス８５，８６を介して上記圧力室
７７，７８に連通するとともに、通路８７，８８
を介して前記制御ポート５５，５６にも連通して
いる。さらに第２ガイド部材７５，７６に形成し
たパイロツト室８９，９０はダンパオリフイス１
２６，１２７を介して前記パイロツト通路６３，
６４に連通している。

上記のようにしたメインポペツト７１，７２、
第１ガイド部材７３，７４及び第２ガイド部材７
５，７６のそれぞれの中心に孔を形成し、この孔
内にロツド９１，９２を摺動自在に貫通させると
ともに、それら両ロツド９１，９２の内端を前記
タンク通路７０内で突き合わせている。

このようにしたロツド９１，９２は、その両端
をスプリングガイド９３，９４に当接させている
が、このスプリングガイド９３，９４はそのスプ
リング９５，９６の作用で上記ロツド９１，９２
を押し、通常はロツド９１，９２を図示の中立位
置に保持するようにしている。

上記のようにロツド９１，９２が中立位置に保
持されているときには、タンク通路７０と圧力室
７７，７８との連通が遮断されるが、上記スプリ
ング９５，９６のばね力に抗して移動したとき、
このロツド９１，９２に形成の切欠部９７，９８
を介して圧力室７７，７８とタンク通路７０とが
連通する関係にしている。

また上記ロツド９１，９２には、上記中継室８
３，８４内に導入された圧力が作用する段部９
９，１００を形成し、この段部を境にしてその内
方の直径D₁を外方の直径D₂よりも大きくしてい
る。

なお図中符号１０１，１０２はアンチボイドバ
ルブ、１０３，１０４はリリーフ弁である。

そしてこの第１実施例では、上記メータインバ
ルブａの下流側にそれと同様の構成のメータイン
バルブa′とそれにともなつたメータアウトバルブ
b′とを設けている。

これら各機構は上記したと同様なので、それら
の各要素についての詳細な説明を省略するが、必
要に応じて新たな符号を付すことにする。

上記のようにバルブ機構を備えた流体制御装置
は、上記メイン通路３１に出力検出通路１０５を
設け、この出力検出通路１０５を差圧感知制御弁
１０６と安全弁１０７とからなる傾転角制御装置
１０８に接続している。

上記差圧感知制御弁１０６はその一方のパイロ
ツト室１０９に上記出力検出通路１０５からの圧
力を導き、他方のパイロツト室１１０にはスプリ
ング１１１を設けるとともに、負荷検出通路１１
２を経由して前記シヤトル弁５０と接続してい
る。

負荷検出通路１１２と接続したシヤトル弁５０
は、負荷検出通路１２４を介して負荷検出ポート
４８，４９に接続されているが、それと同時に下
流側のメータインバルブa′の負荷検出ポートにも
負荷検出通路１２５を介して接続している。

したがつて上流側のアクチユエータかあるいは
下流側のアクチユエータのいずれかの高い方の負
荷圧がシヤトル弁５０で選択されて上記パイロツ
ト室１１０に導入されることになる。

なお上記シヤトル弁５０に代えてチエツク弁を
設けてもよいこと当然である。

そして上記差圧感知制御弁１０６は、パイロツ
ト室１０９とパイロツト室１１０に流入するパイ
ロツト圧に応じて動作し、一方のパイロツト室１
０９の圧力が、他方のパイロツト室１１０の圧力
より高いときには、差圧感知制御弁１０６がスプ
リング１１１に抗して図面左側位置に切換わる。
このように差圧感知制御弁１０６が切換わると、
出力検出通路１０５から流入した可変ポンプ２０
の作動流体が通路１１３を介して傾転角制御シリ
ンダ１１４に流入するので、当該可変ポンプ２０
の吐出量を減少させる。

反対に他方のパイロツト室１１０側の圧力が一
方のパイロツト室１０９側の圧力より高くなる
と、差圧感知制御弁１０６は図示の右側位置に保
持され上記傾転角制御シリンダ１１４をタンク１
１５に連通させるので、傾転角制御シリンダ１１
４のピストンがスプリングの作用で移動し、当該
可変ポンプ２０の吐出量を増大させる。

しかしていま上流側のシリンダ５７のみを作動
させる場合に、前記スプール３８を第３図右方向
に切換えたとすると、流入通路３０と負荷ポート
４７とが連通するが、その連通過程における開口
面積は上記スプール３８の移動量に応じて決ま
る。

上記のようにして所定の開口面積のもとで流入
通路３０と負荷ポート４７とが連通すると、可変
ポンプ２０からの作動流体は圧力制御弁２２→流
入通路３０→環状凹部４１→負荷ポート４７→ロ
ードチエツク弁５４を経由してシリンダ５７のロ
ツド側室５９に流入する。

上記のようにスプール３８を右方向に切換える
と、前記パイロツト圧切換ノツチ部６０とパイロ
ツト通路６４とが連通するとともに、スプール３
８の移動量に応じてその開口量が決まる。その開
口量が決まれば、減圧弁６２を経由して流入した
パイロツト流量が定まり、その定められたパイロ
ツト流量がパイロツト通路６４からオリフイス６
６を通つてタンク６７に流れるが、そのオリフイ
ス６６前後に上記パイロツト流量に応じた差圧が
発生する。

このようにして発生したパイロツト圧は、前記
パイロツト室９０に流入してロツド９２の外端面
に作用する。

上記のようにパイロツト室９０にパイロツト圧
が導入されると、その圧力の作用でロツド９２が
図面左方向に押される。それにともなつてロツド
９１も押されて、当該ロツド９１の切欠部９７が
圧力室７７内に開口する。

切欠部９７が圧力室７７内に開口すれば、この
圧力室７７がタンク通路７０に連通してその圧力
が低下するので、制御ポート５５側の高圧によつ
てメインポペツト７１が開き、制御ポート５５が
タンク通路７０に連通する。したがつてボトム側
室５８の戻り側の流体がタンク１１６に戻りシリ
ンダ５７が収縮する。

上記のようにシリンダ５７が作動すると、上記
負荷ポート４７側の負荷圧が負荷検出ポート４９
から圧力制御弁２２の他方のパイロツト室３３に
導入されるとともに、圧力制御弁２２の一方のパ
イロツト室３２にはオリフイス３６を通つて流入
通路３０側の圧力が導入される。

このとき一方のパイロツト室３２側の圧力P₁
と、他方のパイロツト室３３側の圧力P₂及びス
プリング３５のばね力に相当する圧力P₃とが P₁＝P₂＋P₃の関係を維持する範囲で当該圧力
制御弁２２がバランスし、環状凹部３４と流入通
路３０との開口量を調整して、スプール３８前後
の差圧を一定に制御する。したがつてスプール３
８を切換えたときに、その開口面積に比例した流
量が得られ、その結果当該シリンダ５７にはその
負荷変動に関係なく所定の流量が供給されること
になる。

このとき可変ポンプ２０の吐出圧は、出力検出
通路１０５を経由して傾転角制御装置１０８の一
方のパイロツト室１０９に流入する一方、ロツド
側室５９側の負荷圧は、環状溝４５→負荷検出通
路１２４→シヤトル弁５０→負荷検出通路１１２
を経由して他方のパイロツト室１１０に流入す
る。

したがつて上記差圧感知制御弁１０６は、その
一方のパイロツト室１０９内の圧力P₁、他方の
パイロツト室１１０内の圧力P₂及びスプリング
１１１のばね力に相当する圧力P₃とが、 P₁＝P₂＋P₃ となる関係においてバランスすることになる。

例えばパイロツト室１０９側の圧力P₁が、パ
イロツト室１１０側の圧力P₂＋P₃より高いとき
には、差圧感知制御弁１０６がスプリング１１１
に抗して移動し、上記P₂＋P₃にバランスする位
置で停止して、出力検出通路１０５と通路１１３
とを連通させる。したがつて可変ポンプ２０の吐
出圧が傾転角制御シリンダ１１４に流入し、当該
可変ポンプ２０の吐出量を減少させる。

一方上記P₁がP₂＋P₃より低くなれば、当該差
圧感知制御弁１０６が切換わり、上記シリンダ１
１４の流体がタンク１１５に流れ、それに応じて
可変ポンプ２０の吐出量も増大される。

上記のようにして可変ポンプ２０の吐出量が定
められるが、その吐出量は前記P₁＝P₂＋P₃の条
件を満足させる範囲で決められることになり、結
局ポンプ吐出圧と負荷圧との差圧がばね力に相当
する圧力に等しくなるようにポンプ吐出量が制御
される。

一方シリンダ５７に第２図に示す矢印１２８方
向に負荷が作用し、しかもロツド側室５９側に圧
力を供給するとき、すなわちシリンダ５７にネガ
テイブロードが作用するようなときには、上記メ
ータインバルブａではシリンダを制御ができな
い。

なぜなら上記のようにネガテイブロードが作用
しているときには、ポンプからの供給圧よりも負
荷圧でシリンダが移動してしまうから、その供給
側の流量を制御しても当該シリンダを制御できな
いからである。

このようなときに前記メータアウトバルブｂが
機能するが、その具体的な作動は次のとおりであ
る。

すなわち前記したように流量調整切換弁２１の
スプール３８を図面右方向に切換えると、その切
換量に応じてパイロツト通路６４の開度が決ま
る。

パイロツト通路６４の開度が決まれば、その開
度に応じた流量が流れ、前記オリフイス６６の機
能で、上記流量に応じたパイロツト圧が発生す
る。

このパイロツト圧はパイロツト室９０に流入し
てロツド９２に作用し、当該ロツド９２及び９１
を図面左方向に押す。

このとき上記圧力室７７及び中継室８３には、
制御ポート５５側の圧力が流入しているが、中継
室８３内の圧力が段部９９に作用し、その力は上
記ロツド９２及び９１に対抗する力として作用す
る。

したがつてパイロツト圧によつて押された上記
ロツド９２及び９１は、上記パイロツト圧による
押圧力と、スプリング９５及び段部９９に作用す
る力とがバランスする位置まで移動することにな
る。つまり当該ロツド９２及び９１は前記パイロ
ツト圧、すなわちスプール３８の切換量に比例し
て移動することになる。

上記のようにロツド９１が移動すると、切欠部
９７が圧力室７７側に開き、当該圧力室７７をタ
ンク通路７０に連通させる。圧力室７７がタンク
通路７０に連通すれば、オリフイス８５の作用で
圧力室７７内の圧力が低下する。このように圧力
室７７内の圧力が低下すると、制御ポート５５側
の高圧の作用で、メインポペツト７１がロツド９
１の移動量に比例して移動し、シート部８１の開
口面積を決める。

シート部８１が上記のようにして開けば、制御
ポート５５とタンク通路７０とが連通し、シート
部８１の開度に応じた流量がタンク通路７０に流
れる。

つまり流量調整切換弁２１のスプール３８の切
換量に応じてパイロツト圧が決まり、そのパイロ
ツト圧に比例してメインポペツト７１の移動量も
決まるとともに、シート部８１が上記パイロツト
圧に比例した開口面積を維持することになる。

このようにパイロツト圧に比例したシート部８
１の開口面積が得られれば、その開口面積に応じ
たメータアウト制御ができ、前記したネガテイブ
ロードが作用したときも、当該シリンダ５７を制
御できる。

そして上記の状態で当該シリンダに負荷変動が
あつて、戻り側の圧力が変化したとき、ロツド９
１，９２はその圧力変化を段部９９に対する作用
力の変化として感知する。

したがつてシート部８１の開口面積が一定の状
態で流出ポート５５側の圧力が上昇すると、その
圧力上昇分に応じてタンク通路７０に流れる流量
が増大しようとする。しかしこのとき中継室８３
内の圧力も上昇し、しかも前記段部９９に作用す
る力も増大するため、ロツド９１，９２が図面右
方向に移動する。ロツドの移動にともなつてメイ
ンポペツト７１が追従し、シート部８１の開口面
積を小さくして上記流出量の増大をキヤンセルす
るように自己調整する。

反対に制御ポート５５側の圧力が低下すると、
その圧力降下分に応じてタンク通路７０に流れる
流出量が減少しようとする。しかしこのとき中継
室８３内の圧力も降下し、しかも前記段部９９に
作用する力も減少するため、ロツド９１，９２が
図面左方向に移動する。ロツドの移動にともなつ
てメインポペツト７１が追従し、そのシート部８
１の開口面積を大きくして上記流出量の減少をシ
ヤンセルするように自己調整する。

つまり制御ポート５５側の圧力が変化しても、
シート部８１の開口面積を自動的に増減して、戻
り側の流量変化を防ぐ自己補償機能を保持してい
る。

なお、前記段部９９，１００は、それらの受圧
面積を等しくする必要はなく、例えば負荷の方向
が常に決まつているような場合には、一方の段部
の受圧面積を大きくしておいてもよい。

さらに前記メータインバルブa′側に接続したモ
ータ１１７と上記シリンダ５７とを同時に作動さ
せるときの制御動作は、シリンダ５７のみを作動
させるときと実質的に同じであるが、メータイン
バルブａ側の圧力制御弁２２とメータインバルブ
a′側の圧力制御弁１１８が機能し、負荷が低い方
のアクチユエータのみに可変ポンプ２０からの作
動流体が供給されないようにしている。

また負荷検出通路１１２には上記アクチユエー
タのうちの高い方の負荷圧がシヤトル弁５０で選
択されて導入し、その負荷圧との間で当該可変ポ
ンプ２０の吐出量が制御される。

なお、この第１実施例のように、圧力制御弁を
設けておけば、圧力制御弁が動作して当該アクチ
ユエータに必要な流量のみを供給することになる
ので、負荷の低いアクチユエータ側にのみ作動流
体が供給されるようなことがなくなる。

またこの流体制御装置では、流量調整切換弁２
１の切換動作によつてメータアウトバルブを制御
しているので、アクチユエータの負荷が変動した
り、多連にしたアクチユエータの同時動作時にポ
ンプ圧が変化したりしても、圧力制御弁２２だけ
が作動するのみで、メータアウトバルブａには何
の影響もない。つまりメータイン動作と、メータ
アウト動作とが独立しているので、感度の高いメ
ータアウトバルブの動作を安定させることができ
る。

第４図に示した第２実施例は、流量調整切換弁
１１９，１２０が図示の中立位置にあるとき、ポ
ンプ２０からの作動流体が、中立流路１２１を経
由してタンク１１６に戻るようにするとともに、
上記タンクへの流通過程に絞り１２２と低圧リリ
ーフ弁１２３とを設けている。

したがつてこの第２実施例では、流量調整切換
弁が中立位置にあるとき作動流体が上記絞り１２
２を通過するので、上記中立状態でも当該回路内
に一定の流量が確保される。また上記低圧リリー
フ弁１２３は、流量調整切換弁の切換過渡時のピ
ーク圧を低くおさえる。

なお上記両実施例において、メータアウトバル
ブにパイロツト圧を供給するのに、自己圧を利用
しているが、上記パイロツト圧供給用のポンプを
別に備えてもよい。

（効果） この発明は上記のように構成したので、メータ
インバルブの動作がメータアウトバルブに悪影響
を与えることがない。

【図面の簡単な説明】

図面第１図は特開昭55−149402号公報所載の従
来の断面図、第２〜３図はこの発明の第１実施例
を示すもので、第２図は回路図、第３図はメータ
インバルブとメータアウトバルブとの断面図、第
４図は第２実施例の回路図である。 ａ，a′……メータインバルブ、ｂ，b′……メー
タアウトバルブ、３８……スプール。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ スプールの移動量に応じて流量制御ができる
   バルブを用いた流体制御装置において、アクチユ
   エータへの供給方向と流量を制御する流量調整切
   換弁及び流量調整切換弁の切換え量に応じてアク
   チユエータの負荷変動に関係なく供給流量を一定
   に保つ圧力制御弁からなるメータインバルブと、
   このメータインバルブの切換え動作に関連してパ
   イロツト通路の開度を制御してパイロツト圧を制
   御するとともに、このパイロツト圧の作用で切換
   わるメータアウトバルブとを備えた流体制御装
   置。