JPS5997786A - ドリフト検出方法 - Google Patents
ドリフト検出方法Info
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- JPS5997786A JPS5997786A JP57207024A JP20702482A JPS5997786A JP S5997786 A JPS5997786 A JP S5997786A JP 57207024 A JP57207024 A JP 57207024A JP 20702482 A JP20702482 A JP 20702482A JP S5997786 A JPS5997786 A JP S5997786A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 230000000747 cardiac effect Effects 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はｔ−ザ加子装置等において、レーザビニ基を加
工面上で位置決めするオプティカルスキャナ装置の温度
によるドリフト検出方法に関する。
工面上で位置決めするオプティカルスキャナ装置の温度
によるドリフト検出方法に関する。
たとえは薄膜抵抗の抵抗値の調整に用いるレーザ加ニー
−においては、通常オプティカルスキャナーｉ２よ颯ム
ーザビームの加工面上÷の位置決め精度が抵抗値の精度
に大きく影響する。
−においては、通常オプティカルスキャナーｉ２よ颯ム
ーザビームの加工面上÷の位置決め精度が抵抗値の精度
に大きく影響する。
しかしながらこのオブティカルスモヤナ装置は温度によ
□るドリフトがあり、レーザビームの加工位置決めを精
度良くできないため、従来は作業者がレーザ直゛−λに
よるトリミング状態を観察し、所定のトリミング位置よ
りずれている場合は手動によりこのドリフ゛ト量を補正
していた。
□るドリフトがあり、レーザビームの加工位置決めを精
度良くできないため、従来は作業者がレーザ直゛−λに
よるトリミング状態を観察し、所定のトリミング位置よ
りずれている場合は手動によりこのドリフ゛ト量を補正
していた。
したがって作業者の負担が犬きく、シかも作業く、その
ため抵抗値の精度にバラツキを生じさせていた。本発明
の目的は、オプティカルスキャナ装置の温度によるトリ
゛フト量を、作業者の目視によることなく自動検出する
方法を提供することにある。
ため抵抗値の精度にバラツキを生じさせていた。本発明
の目的は、オプティカルスキャナ装置の温度によるトリ
゛フト量を、作業者の目視によることなく自動検出する
方法を提供することにある。
すなわち本発明によれば、ＸＹ千面上の座標値を設定す
ることによ？、ビームをＸＹ平面上の原点からＸＹ平面
上の前記設定座標に位置決めすることができるオプティ
カルスキャナ装置において、ＸＹ平面上の座標値を設定
し、ＸＹ平面上の前記設定座標に位置決めしたビームの
光像を、Ｘｙ平面でスキャンできる光電変換手段により
、順次スキャンして得られた像の２値化像の中心座標値
を検出し、前記２値化像のｘｙ平面の中心座標値に光電
変換手段のスキャン分解能を乗算してＸＹ平面の座標値
に変換し、この値と前記ＸＹ平面の設定座標値との減算
を行なうことにより、オプティカルスキャナ装置の温度
によるドリフト量を算出することを特徴とするドリフト
検出方法が得られる。
ることによ？、ビームをＸＹ平面上の原点からＸＹ平面
上の前記設定座標に位置決めすることができるオプティ
カルスキャナ装置において、ＸＹ平面上の座標値を設定
し、ＸＹ平面上の前記設定座標に位置決めしたビームの
光像を、Ｘｙ平面でスキャンできる光電変換手段により
、順次スキャンして得られた像の２値化像の中心座標値
を検出し、前記２値化像のｘｙ平面の中心座標値に光電
変換手段のスキャン分解能を乗算してＸＹ平面の座標値
に変換し、この値と前記ＸＹ平面の設定座標値との減算
を行なうことにより、オプティカルスキャナ装置の温度
によるドリフト量を算出することを特徴とするドリフト
検出方法が得られる。
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明によるオプティカルスキャナ装置のドリ
フト検出方法の一実施例を示す図であり、ここでＸ軸オ
プティカルスキャナ３、Ｙ軸オプティカルスキャナ４の
位置決め分解能をそれぞれＡμｍとする。
フト検出方法の一実施例を示す図であり、ここでＸ軸オ
プティカルスキャナ３、Ｙ軸オプティカルスキャナ４の
位置決め分解能をそれぞれＡμｍとする。
位置決め回路１は入力端子１０１に印加され、５Ｘａな
る値と、入力端子１０２に印加されるＹａなる値とによ
り駆動し、前記Ｘａ、Ｙａなる値を前記オプティカルス
キャナの位置決め分解能Ａμｍで除した商をディジタル
量で出力する。この出力信号はオプティカルスキャナ駆
動回路２の入力信号となる。オプティカルスキャナ駆動
回路２は前記入力信号をティジタルアナログ変換して出
力し、Ｘ軸オプティカルスキャナ３とＹ軸オプティカル
スキャナ４を駆動する。一方、ビーム７はＸ軸オプティ
カルスキャナ３のミラーに入射する。各軸□オプティカ
ルスキャナ３のミラーは前記位置決め回路１の入力端子
１０１に印加されるＸａなる値によって回転しビーム７
を反射させＹ軸オプティカルスキャナ４のミラーに入射
させる。Ｙ軸オプティカルスキャナ４のミラーは前記位
置決め回路１の入力端子１０２に印加されたＹａなる値
によって回転し、ビーム７を反射させる。このビーム７
はスキャンレンズ５とノへ−フミラー６を介してＸＹ平
面８上の座標（Ｘａ 、 Ｙａ ）に位置決めされる。
る値と、入力端子１０２に印加されるＹａなる値とによ
り駆動し、前記Ｘａ、Ｙａなる値を前記オプティカルス
キャナの位置決め分解能Ａμｍで除した商をディジタル
量で出力する。この出力信号はオプティカルスキャナ駆
動回路２の入力信号となる。オプティカルスキャナ駆動
回路２は前記入力信号をティジタルアナログ変換して出
力し、Ｘ軸オプティカルスキャナ３とＹ軸オプティカル
スキャナ４を駆動する。一方、ビーム７はＸ軸オプティ
カルスキャナ３のミラーに入射する。各軸□オプティカ
ルスキャナ３のミラーは前記位置決め回路１の入力端子
１０１に印加されるＸａなる値によって回転しビーム７
を反射させＹ軸オプティカルスキャナ４のミラーに入射
させる。Ｙ軸オプティカルスキャナ４のミラーは前記位
置決め回路１の入力端子１０２に印加されたＹａなる値
によって回転し、ビーム７を反射させる。このビーム７
はスキャンレンズ５とノへ−フミラー６を介してＸＹ平
面８上の座標（Ｘａ 、 Ｙａ ）に位置決めされる。
。
このＸＹ平面８上の座標（Ｘａ、Ｙ↑）＆こ位置決めさ
れたビーム７の光像は／１−フミラー６と４５゜反射ミ
ラー９を介した光電変換手段１０Ｉこよりｘｙ平面１４
でスキャンされる。での光電変換手段１０（こより得ら
れた像は２値化回路１１ζこより２イ直イヒ像として出
力され、平面図形±心座標検宇回路１２の入力となる。
れたビーム７の光像は／１−フミラー６と４５゜反射ミ
ラー９を介した光電変換手段１０Ｉこよりｘｙ平面１４
でスキャンされる。での光電変換手段１０（こより得ら
れた像は２値化回路１１ζこより２イ直イヒ像として出
力され、平面図形±心座標検宇回路１２の入力となる。
この平面図形中心座標検出回路１２（よ、たとえば公知
のパターンマ・ンチン法を用Ｇまた回炉６で構成するこ
とにより、マツチンク゛力ＳＳこったときの２値化像の
中心座標値を検出して出力する。
のパターンマ・ンチン法を用Ｇまた回炉６で構成するこ
とにより、マツチンク゛力ＳＳこったときの２値化像の
中心座標値を検出して出力する。
この検出された中〕９座標値を（ｘｑ山）とすると補正
量検出回路１３は補正量を算出し、出力端子２０１にＸ
補正量△Ｘを、出力端子２０２ 番こＹ４巾正量ΔＹを
出力する。
量検出回路１３は補正量を算出し、出力端子２０１にＸ
補正量△Ｘを、出力端子２０２ 番こＹ４巾正量ΔＹを
出力する。
次に補正量の算出の詳細につ（１て述べる。
第２図はオプティカルスキャナ装置ｏ）ＸＹ平面８を示
す図で、スキャン軌跡２１は位置決め！路１の入力信号
（Ｘａ、Ｙａ）のベクトル成分番こより決まる。ＸＹ平
面上の光像２２の中心点Ｍの座標はオプティカルスキャ
ナ装置薯こドリフトのない場合は（Ｘａ、Ｙａ）となる
。
す図で、スキャン軌跡２１は位置決め！路１の入力信号
（Ｘａ、Ｙａ）のベクトル成分番こより決まる。ＸＹ平
面上の光像２２の中心点Ｍの座標はオプティカルスキャ
ナ装置薯こドリフトのない場合は（Ｘａ、Ｙａ）となる
。
また光電変換手段のｘｙ平面１４を示す図を第３図に示
す。ここでは光電変換手段のスキャン分解能をＢμｎ１
．とする。
す。ここでは光電変換手段のスキャン分解能をＢμｎ１
．とする。
第４図は第２図のＸＹ平面８と第３図のｘｙ平面１４と
の関係を示している図である。オプティカルスキャナ装
置のＸＹ平面８上の（Ｘｏ・、Ｙ［＋）の座標位置にＸ
Ｙ平面１４のスキャン原点を設定する。
の関係を示している図である。オプティカルスキャナ装
置のＸＹ平面８上の（Ｘｏ・、Ｙ［＋）の座標位置にＸ
Ｙ平面１４のスキャン原点を設定する。
ビー＋７のＸＹ平面上の光像は、オプティカルスキャナ
装置に温度によるドリフトがない場合は２２となり、中
心点Ｍの座標値は（Ｘａ、ｙａ）となる。
装置に温度によるドリフトがない場合は２２となり、中
心点Ｍの座標値は（Ｘａ、ｙａ）となる。
またオプティカルスキャナ装置に温度によるドリフトが
ある場合は詔となり、中心点Ｎの座標値は（ｘｂ、ｙｂ
）となる。
ある場合は詔となり、中心点Ｎの座標値は（ｘｂ、ｙｂ
）となる。
この値ｘｂ ｗ ｙｂのＸＹ平面上での値〕ぐｂ 、
ＹｂはＸｂ ＝ Ｘ６−１− Ｂｘ ｂ Ｙｂ ： Ｙｏ＋ＢＹｂ （ となる。
ＹｂはＸｂ ＝ Ｘ６−１− Ｂｘ ｂ Ｙｂ ： Ｙｏ＋ＢＹｂ （ となる。
したがってＸＹ平面上でのドリフト量△Ｘ、△Ｙは、上
記Ｘｂ 、 Ｙｂなる値からオプティカルスキャナ装置
の設定座標値Ｘａ、Ｙａを減算した値となる。
記Ｘｂ 、 Ｙｂなる値からオプティカルスキャナ装置
の設定座標値Ｘａ、Ｙａを減算した値となる。
すなわち
△Ｘ−Ｘｏ゛＋Ｂｘｂ−Ｘａ
’△Ｙ ＝ ＹＵ ＋ Ｂｙｂ−Ｙａ
となる。
よって上記方法により、温度によるドリフト量△Ｘ、△
Ｙを検出して、オプティカルスキャナ装置の設定座標値
を Ｘ二Ｘａ−△Ｘ Ｙ＝Ｙａ−ΔＹ とすることによりビームの光像のＸＹ平面上での位置を
補正することができるため、ドリフｌ１ｔｔの補正が可
能、となる。
Ｙを検出して、オプティカルスキャナ装置の設定座標値
を Ｘ二Ｘａ−△Ｘ Ｙ＝Ｙａ−ΔＹ とすることによりビームの光像のＸＹ平面上での位置を
補正することができるため、ドリフｌ１ｔｔの補正が可
能、となる。
以上説明したように本発明によれば、レーザ装置等にお
けるオプティカルスキャナ装置の温度によるドリフト量
を目視によることなく自動的に検出できるので、ビーム
のＸＹ平面上の位置を正確に制御できる。したかって薄
膜抵抗のトリミング装置等において作業者の目視観察を
必要としないため、自動化することができ作業者による
抵抗値の精度のばらつきをな（すことが可能となる。
けるオプティカルスキャナ装置の温度によるドリフト量
を目視によることなく自動的に検出できるので、ビーム
のＸＹ平面上の位置を正確に制御できる。したかって薄
膜抵抗のトリミング装置等において作業者の目視観察を
必要としないため、自動化することができ作業者による
抵抗値の精度のばらつきをな（すことが可能となる。
第１図は本発明によるドリフト補正方法の一実施例を示
す図、第２図はオプティカルスキャナ装置のＸＹ平面を
示す図、第３図は光電変換手段のｘｙ平面を示す図、第
４図はＸＹ平面とｘｙ平面との関係を示す図である。 なお図において、１・・・位置決め回路、２・・・オプ
ティカルスキャナ駆動回路、３・・・Ｘ軸オプティカル
スキャナ、４・・・Ｙ軸オプティカルスキャナ、５・・
・スキャンレンズ、６・・・ハーフミラ−１７・・・ビ
ーム、８・・・ＸＹ平而面９・・・４５°反射ミラー、
１０・・・光電変換手段、１１・・・２値化回路、１２
・・・平面図形中心座標検出回路、１３・・・補正量検
出回路、１４・・・ｘｙ平面、２１・・・スキャン軌跡
、２２．２３・・・ビームの光像、０・・・ＸＹ平面原
点、０′・・・ｘｙ平面スキャン原点、Ｍ、Ｎ・・・ビ
ームの光像の中心点、Ｘ０９ＹＯ，Ｘａ、Ｙａ ・・
・、ｘｙ平面上の座標値、ｘａｚ’ＪａｇＸｂｐＹｂ
”’ ＸＹ平面上の座標（［１ｆ、△Ｘ・・・Ｘ補正量
、△Ｙ・・・Ｘ補正量、１０１ 、１０２・・・入力端
子、２０１ 、２０２・・・出力端子である。− ・ 第４図 Ｘ
す図、第２図はオプティカルスキャナ装置のＸＹ平面を
示す図、第３図は光電変換手段のｘｙ平面を示す図、第
４図はＸＹ平面とｘｙ平面との関係を示す図である。 なお図において、１・・・位置決め回路、２・・・オプ
ティカルスキャナ駆動回路、３・・・Ｘ軸オプティカル
スキャナ、４・・・Ｙ軸オプティカルスキャナ、５・・
・スキャンレンズ、６・・・ハーフミラ−１７・・・ビ
ーム、８・・・ＸＹ平而面９・・・４５°反射ミラー、
１０・・・光電変換手段、１１・・・２値化回路、１２
・・・平面図形中心座標検出回路、１３・・・補正量検
出回路、１４・・・ｘｙ平面、２１・・・スキャン軌跡
、２２．２３・・・ビームの光像、０・・・ＸＹ平面原
点、０′・・・ｘｙ平面スキャン原点、Ｍ、Ｎ・・・ビ
ームの光像の中心点、Ｘ０９ＹＯ，Ｘａ、Ｙａ ・・
・、ｘｙ平面上の座標値、ｘａｚ’ＪａｇＸｂｐＹｂ
”’ ＸＹ平面上の座標（［１ｆ、△Ｘ・・・Ｘ補正量
、△Ｙ・・・Ｘ補正量、１０１ 、１０２・・・入力端
子、２０１ 、２０２・・・出力端子である。− ・ 第４図 Ｘ
Claims (1)
- ＸＹ平面上の座標値を設定することによ６、ビームをＸ
ＹＹ面上の原点からＸＹ千圃面上前記設定座標に位置決
めすることができるオプティカルスキャナ装置において
、ＸＹ千圃面上座標値を設定し、ＸＹＹ面上の前記設定
−標に位置決□めしたビームの光像を、Ｘｙ平面でス羊
ヤンできる光電変換手段により、順次スキャン己で得ら
れｈ像の２値化像の中心座標値を検出し、前記２値化像
のｘｙ平面の中心座標値に光電変換手段のスキャン分解
能を乗算してＸＹ平面の座標値に変換し、この値と前記
ＸＹ平面の設定座標値との減算を行なうことにより、オ
プティカルスキャナ装置の温度によるドリフト量を算出
することを特徴とするドリフト検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57207024A JPS5997786A (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | ドリフト検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57207024A JPS5997786A (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | ドリフト検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5997786A true JPS5997786A (ja) | 1984-06-05 |
Family
ID=16532936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57207024A Pending JPS5997786A (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | ドリフト検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5997786A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63235088A (ja) * | 1987-03-23 | 1988-09-30 | Nikon Corp | レ−ザ加工装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5334058A (en) * | 1976-09-10 | 1978-03-30 | Fujitsu Ltd | Intermittent motion mechanism |
-
1982
- 1982-11-26 JP JP57207024A patent/JPS5997786A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5334058A (en) * | 1976-09-10 | 1978-03-30 | Fujitsu Ltd | Intermittent motion mechanism |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63235088A (ja) * | 1987-03-23 | 1988-09-30 | Nikon Corp | レ−ザ加工装置 |
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