JPS5999364A - スル−ホ−ル検査装置 - Google Patents
スル−ホ−ル検査装置Info
- Publication number
- JPS5999364A JPS5999364A JP57210110A JP21011082A JPS5999364A JP S5999364 A JPS5999364 A JP S5999364A JP 57210110 A JP57210110 A JP 57210110A JP 21011082 A JP21011082 A JP 21011082A JP S5999364 A JPS5999364 A JP S5999364A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- light
- image
- image signal
- defect
- Prior art date
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- Granted
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１１発明の技術分野
本発明はスルーホール欠陥部像を得、それを用いてスル
ーホールの欠陥判定をするスルーホール検査装置に関す
る。
ーホールの欠陥判定をするスルーホール検査装置に関す
る。
（２）技術の背景
プリント基板には多数のスルーホールが形成されている
が、そのスルーホールの導電層に欠陥がないことが信頼
性の向上に不可決である。
が、そのスルーホールの導電層に欠陥がないことが信頼
性の向上に不可決である。
しかしながら、その欠陥の程度によっては、それがあっ
たとしても、許容しうる場合がある。けれども、従来装
置では、その判定をなしうるちのがなく、検出された欠
陥のためそのプリント基板が使用に供し得ないものとさ
れてしまっていた。
たとしても、許容しうる場合がある。けれども、従来装
置では、その判定をなしうるちのがなく、検出された欠
陥のためそのプリント基板が使用に供し得ないものとさ
れてしまっていた。
このような不具合を解決しうる技術的手段の開発が待望
されている。
されている。
（３）従来技術と問題点
従来装置では、スルーホールに欠陥があるかないかの二
者択一のみしか出来なかった。従って、そのスルーホー
ルの機能が失わない程度の欠陥であっても、そのプリン
ト基板は不良のものと判定してしまい、プリント基板の
有効利用からそのプリント基板を排除してしまう結果と
なっている。
者択一のみしか出来なかった。従って、そのスルーホー
ルの機能が失わない程度の欠陥であっても、そのプリン
ト基板は不良のものと判定してしまい、プリント基板の
有効利用からそのプリント基板を排除してしまう結果と
なっている。
（４）発明の目的
本発明は上述したような従来装置の有する欠点に鑑みて
創案されたもので、その目的は欠陥形状を判定出来、許
容し得る欠陥のあるものの有効利用に寄与するスルーホ
ール検査装置を提供することにある。
創案されたもので、その目的は欠陥形状を判定出来、許
容し得る欠陥のあるものの有効利用に寄与するスルーホ
ール検査装置を提供することにある。
（５）発明の構成
そして、この目的は内壁面に導電層を形成しているスル
ーホールを有する電気部材のスルーポール検査装置にお
いて、上記スルーホールの導電層の外周へ光を入射させ
る照明手段と、上記スルーホールの一側端を遮光する遮
光手段と、上記スルーホールの他側端を介してその内面
に生ずることがある欠陥光像の像信号を発生する像信号
発生手段と、上記像信号に応答して上記導電層の欠陥を
検出する検出手段とを設けることによって、達成される
。
ーホールを有する電気部材のスルーポール検査装置にお
いて、上記スルーホールの導電層の外周へ光を入射させ
る照明手段と、上記スルーホールの一側端を遮光する遮
光手段と、上記スルーホールの他側端を介してその内面
に生ずることがある欠陥光像の像信号を発生する像信号
発生手段と、上記像信号に応答して上記導電層の欠陥を
検出する検出手段とを設けることによって、達成される
。
（６）発明の実施例
以下、添付図面を参照しながら、本発明の詳細な説明す
る。
る。
第１図は本発明の第１の実施例を示す。この図において
、１はプリント板のような、内壁面２に導電層（銅箔）
３を形成したスルーポール４を有する電気部材（以下、
プリント板について説明する。）である。５はスルーホ
ール４のｉ１号箔の外周へ入射される光を示し、この光
は図示しない照明手段から発生される。
、１はプリント板のような、内壁面２に導電層（銅箔）
３を形成したスルーポール４を有する電気部材（以下、
プリント板について説明する。）である。５はスルーホ
ール４のｉ１号箔の外周へ入射される光を示し、この光
は図示しない照明手段から発生される。
６は光学系例えば、図示の如き１個のレンズ７から含む
もので、これは銅箔３に生ずることがある欠陥８で生ず
る光像を結像面に結合させるためのものである。１０は
遮光手段で、例えば照明手段からの光５がスルーホール
の一側端からその内部へ入射されるのを遮えぎるための
光マスクが用いられる。
もので、これは銅箔３に生ずることがある欠陥８で生ず
る光像を結像面に結合させるためのものである。１０は
遮光手段で、例えば照明手段からの光５がスルーホール
の一側端からその内部へ入射されるのを遮えぎるための
光マスクが用いられる。
上記結像面には変換手段としての光検知器１１が複数配
置されている。この光検知器はレンズ７と共に図面に関
して上下動可能に構成されている。
置されている。この光検知器はレンズ７と共に図面に関
して上下動可能に構成されている。
１２はレンズ７への光の入射を許容するようにレンズ７
及び光検知器１１を囲繞するカバーであり、これは必要
に応じて設けられる。
及び光検知器１１を囲繞するカバーであり、これは必要
に応じて設けられる。
光検知器１１は検出手段１３へ接続されている。
この検出手段は光検知器１１の出力へ各別に接続された
二値化回路１４と、回路１４の出力へ接続され、それら
の出力値の加算値を発生ずるように接続された加算回路
装置１５ （１５，、１５□ ・・・は加算回路である
。）と、加算回路装置１５の出力を一方の入力に、又基
準値発生回路（図示せず）の出力を他方の入力に接続し
ている比較回路１６とから成る。
二値化回路１４と、回路１４の出力へ接続され、それら
の出力値の加算値を発生ずるように接続された加算回路
装置１５ （１５，、１５□ ・・・は加算回路である
。）と、加算回路装置１５の出力を一方の入力に、又基
準値発生回路（図示せず）の出力を他方の入力に接続し
ている比較回路１６とから成る。
次に、上述の構成を有する本発明装置の動作を説明する
。
。
照明手段が検査せんとするスルーホール４の外周へ光を
入射させた場合に、もしそのスルーホールの銅箔３に欠
陥つまりメツキネ良部８があると、そこを経てスルーホ
ール４内へ光が漏れる。
入射させた場合に、もしそのスルーホールの銅箔３に欠
陥つまりメツキネ良部８があると、そこを経てスルーホ
ール４内へ光が漏れる。
この光が丁度レンズ７によりその結像面に結像される位
置にあるとすると、その光像は結像面に配置されている
光検知器ｌｌ上に結像される。
置にあるとすると、その光像は結像面に配置されている
光検知器ｌｌ上に結像される。
上記欠陥が第２図に示す如き欠陥、即ちスルーホール円
周の一部のみにメツキネ良部８がある如きものであると
、その光像はリング状に配置された光検知器１１の一部
にのみ明部となって現われる。又、欠陥が第３図に示す
如く円周全体に！工っている場合には、全部の光検知器
１１が明るくされることになる。
周の一部のみにメツキネ良部８がある如きものであると
、その光像はリング状に配置された光検知器１１の一部
にのみ明部となって現われる。又、欠陥が第３図に示す
如く円周全体に！工っている場合には、全部の光検知器
１１が明るくされることになる。
このように明るく照らされた光検知器１１から出力信号
が発生し、それが二値化回路１４で二値化され、加算回
路装置１５で強い光を検知した光検知器１１の数を合計
し、その値が基準値と比較回路１６で比較される。
が発生し、それが二値化回路１４で二値化され、加算回
路装置１５で強い光を検知した光検知器１１の数を合計
し、その値が基準値と比較回路１６で比較される。
その比較結果が検査した欠陥を許容しうるちの（第２図
）であるか、又は許容し得ないもの（第３図参照）であ
るかを示す。
）であるか、又は許容し得ないもの（第３図参照）であ
るかを示す。
又、スルーホール４のどこに欠陥があっても、レンズ７
及び光検知器１１を上下に後動させることにより、上述
のような欠陥検出を施行することが出来る。
及び光検知器１１を上下に後動させることにより、上述
のような欠陥検出を施行することが出来る。
第４図は本発明の第２の実施例を示す。
この実施例は変換手段としてＴＶカメラ、ＣＯＤセンサ
等の２次元走査手段１７を用い、それに応じて検出手段
１３を次のように変更したことに、第１の実施例との間
の差違がある。その他の構成要素は第１の実施例と同じ
であるので、同一の構成要素には同一の参照番号を付し
てその説明を省略する。
等の２次元走査手段１７を用い、それに応じて検出手段
１３を次のように変更したことに、第１の実施例との間
の差違がある。その他の構成要素は第１の実施例と同じ
であるので、同一の構成要素には同一の参照番号を付し
てその説明を省略する。
この実施例の検出手段はＴＶカメラ１７の出力に２値化
回路１８を接続し、その回路１８出力信号をメモリ制御
回路１９の制御の下に画像メモリ２０に取り込み、その
終了後にメモリ制御回路１９の制御の下に画像メモリ２
０の各画素信号をカウンタ回路２１へ読み出し、これを
カウンタ回路２１でカウントして得た値を基準値と比較
するようにして構成されている。
回路１８を接続し、その回路１８出力信号をメモリ制御
回路１９の制御の下に画像メモリ２０に取り込み、その
終了後にメモリ制御回路１９の制御の下に画像メモリ２
０の各画素信号をカウンタ回路２１へ読み出し、これを
カウンタ回路２１でカウントして得た値を基準値と比較
するようにして構成されている。
第４図に示す実施例の動作の大要は第１の実施例と変り
なく、その細部において異なるのみであり、そこから得
られる効果も文筆１の実施例と同等である。
なく、その細部において異なるのみであり、そこから得
られる効果も文筆１の実施例と同等である。
上記実施例においては、光学系６と変換手段１１とをプ
リント板ｌに対し遠近させる場合について述べたが、逆
に構成してもよい。又、光学系をズーム機構にしてもよ
い。
リント板ｌに対し遠近させる場合について述べたが、逆
に構成してもよい。又、光学系をズーム機構にしてもよ
い。
（７）発明の効果
以上述べたところから明らかなように、本発明によれば
、スルーボールに生ずる欠陥を許容しうる欠陥と許容し
ｉＭない欠陥とに類別しうる。従って、プリント板等の
歩留りを向上させ得る。
、スルーボールに生ずる欠陥を許容しうる欠陥と許容し
ｉＭない欠陥とに類別しうる。従って、プリント板等の
歩留りを向上させ得る。
第１図は本発明の第１の実施例を示す図、第２図及び第
３図は第１の実施例の説明に用いた図、第４図は本発明
の第２の実施例を示す図である。 図中、１はプリント板、２は内壁面、３は導電層、４は
スルーボール、５は入射光、６は光学系、８は欠陥、１
１は光検知器（変換手段）、１０は遮光手段、１３は検
出手段である。 特 許 出 願 人 富士通株式会社第２図 第３図
３図は第１の実施例の説明に用いた図、第４図は本発明
の第２の実施例を示す図である。 図中、１はプリント板、２は内壁面、３は導電層、４は
スルーボール、５は入射光、６は光学系、８は欠陥、１
１は光検知器（変換手段）、１０は遮光手段、１３は検
出手段である。 特 許 出 願 人 富士通株式会社第２図 第３図
Claims (5)
- （１）内壁面に導電層を形成しているスルーホールを有
する電気部材のスルーホール検査装置において、上記ス
ルーホールの導電層の外周へ光を入射させる照明手段と
、上記スルーホールの一側端を遮光する遮光手段と、上
記スルーホールの他側端を介してその内面に生ずること
がある欠陥光（象の像信号を発生ずる像信号発生手段と
、上記像信号に応答して上記導電層の欠陥を検出する検
出手段とを設けたことを特徴とするスルーホール検査装
置。 - （２）上記像信号発生手段は上記スルーホールの他側端
を介してその内面に生ずることがある欠陥光像を結像面
に結像する光学系と、上記結像面の欠陥光像を電気信号
に変換する変換手段と、上記光学系及び変換手段と上記
電気部材とを相対的に遠近させる駆動手段とから成るこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のスルーホー
ル検査装置。 - （３）上記像信号発生手段は上記スルーホールの他側端
を介してその内面に生ずることがある欠陥光像を結像面
に結像するズーム式光学系と、上記結像面の欠陥光像を
電気信号に変換する変換手段とから成ることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のスルーホール検査装置。 - （４）上記変換手段は上記結像面に配置された複数の光
検知器から成ることを特徴とする特許請求の範囲第２項
又は第３項記載のスルーボール検査装置。 - （５）上記変換手段は２次元走査手段としたことを特徴
とする特許請求の範囲第２項又は第３項記載のスルーホ
ール検査装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57210110A JPS5999364A (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | スル−ホ−ル検査装置 |
| US06/554,543 US4560273A (en) | 1982-11-30 | 1983-11-23 | Method and apparatus for inspecting plated through holes in printed circuit boards |
| DE8383307291T DE3377527D1 (en) | 1982-11-30 | 1983-11-30 | Method and apparatus for inspecting plated through holes in printed circuit boards |
| EP83307291A EP0111404B1 (en) | 1982-11-30 | 1983-11-30 | Method and apparatus for inspecting plated through holes in printed circuit boards |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57210110A JPS5999364A (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | スル−ホ−ル検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5999364A true JPS5999364A (ja) | 1984-06-08 |
| JPH0332730B2 JPH0332730B2 (ja) | 1991-05-14 |
Family
ID=16583970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57210110A Granted JPS5999364A (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | スル−ホ−ル検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5999364A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08178858A (ja) * | 1994-12-26 | 1996-07-12 | Nec Corp | スルーホール検査装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5920840A (ja) * | 1982-07-28 | 1984-02-02 | Fujitsu Ltd | 欠陥検査装置 |
-
1982
- 1982-11-30 JP JP57210110A patent/JPS5999364A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5920840A (ja) * | 1982-07-28 | 1984-02-02 | Fujitsu Ltd | 欠陥検査装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08178858A (ja) * | 1994-12-26 | 1996-07-12 | Nec Corp | スルーホール検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0332730B2 (ja) | 1991-05-14 |
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