JPS60100663A - 亜鉛の真空蒸着装置への亜鉛の供給方法 - Google Patents
亜鉛の真空蒸着装置への亜鉛の供給方法Info
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- JPS60100663A JPS60100663A JP20601783A JP20601783A JPS60100663A JP S60100663 A JPS60100663 A JP S60100663A JP 20601783 A JP20601783 A JP 20601783A JP 20601783 A JP20601783 A JP 20601783A JP S60100663 A JPS60100663 A JP S60100663A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/246—Replenishment of source material
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、亜鉛の真空蒸着装置への亜鉛の供給方法に関
し、特に亜鉛の真空蒸着装置へ亜鉛全供給する吸上げ管
の寿命延長を図った上記方法に関するものでるる。
し、特に亜鉛の真空蒸着装置へ亜鉛全供給する吸上げ管
の寿命延長を図った上記方法に関するものでるる。
第１図に亜鉛の真空蒸着装置の中心部の概略図を示す。
図示されていない前処理装置（表面活性化、帯鋼の適温
の加熱又は冷却等）および予備真空室を通ってきた帯鋼
１が、真空蒸着室２に送り込まれ、チャンネル１０に面
したすｄ６−トロール３に巻付けられる。帯鋼１にメッ
キちれる亜鉛は、ヒータ６を備えた亜鉛溶解炉５で溶解
され溶解亜鉛４となり、大気圧と真空蒸着室の差圧で押
し上げられ吸上げ管７を通って蒸発鍋８に供給される。
の加熱又は冷却等）および予備真空室を通ってきた帯鋼
１が、真空蒸着室２に送り込まれ、チャンネル１０に面
したすｄ６−トロール３に巻付けられる。帯鋼１にメッ
キちれる亜鉛は、ヒータ６を備えた亜鉛溶解炉５で溶解
され溶解亜鉛４となり、大気圧と真空蒸着室の差圧で押
し上げられ吸上げ管７を通って蒸発鍋８に供給される。
蒸発鍋８の上部に設けられたヒータ９で加熱された亜鉛
は蒸発し、チャンネル１０を通って帯鋼１に蒸着される
。
は蒸発し、チャンネル１０を通って帯鋼１に蒸着される
。
上記プロセスにおいて問題となるのは、蒸発鍋８ならび
に吸上げ管７の溶融亜鉛による侵食である。溶融亜鉛の
温度社、５００℃前後でおるため熱的には鉄系の材料そ
のものでは問題ないが、亜鉛と鉄が合金金形成し、融点
の高−ドロスを生じ蒸発鍋の寿命を短くするのみならず
、吸上げ管を詰めてしまり。このために、蒸発鍋や吸上
げ管ｔ−溶融亜鉛と反応しない、例えば、セラミック、
カーボン等でライニングすることが考えられるが、いず
れも熱膨張の差で剥離したり、真空が保持できない等の
理由で、耐久性のらる装置は今だに実用化されていない
。
に吸上げ管７の溶融亜鉛による侵食である。溶融亜鉛の
温度社、５００℃前後でおるため熱的には鉄系の材料そ
のものでは問題ないが、亜鉛と鉄が合金金形成し、融点
の高−ドロスを生じ蒸発鍋の寿命を短くするのみならず
、吸上げ管を詰めてしまり。このために、蒸発鍋や吸上
げ管ｔ−溶融亜鉛と反応しない、例えば、セラミック、
カーボン等でライニングすることが考えられるが、いず
れも熱膨張の差で剥離したり、真空が保持できない等の
理由で、耐久性のらる装置は今だに実用化されていない
。
本発明は、上記欠点を補うために、とくに内面のライニ
ング処理の至難な吸上げ管の寿命延長を計るものである
。
ング処理の至難な吸上げ管の寿命延長を計るものである
。
すなわち本発明は、亜鉛の真空蒸着装置へ亜鉛を供給す
るにろたり、真空蒸着装置の真空蒸着室内の蒸発鍋に亜
鉛を供給する装置である吸上げ管の内部および前記蒸発
鍋の下部を溶融鉛で充たした後、前記溶融鉛白全通して
亜鉛を前記吸上は管の内面に直接接触することなく蒸発
鍋に供給すること全特徴とする、亜鉛の真空蒸着装置へ
の亜鉛の供給方法に関するものである。
るにろたり、真空蒸着装置の真空蒸着室内の蒸発鍋に亜
鉛を供給する装置である吸上げ管の内部および前記蒸発
鍋の下部を溶融鉛で充たした後、前記溶融鉛白全通して
亜鉛を前記吸上は管の内面に直接接触することなく蒸発
鍋に供給すること全特徴とする、亜鉛の真空蒸着装置へ
の亜鉛の供給方法に関するものである。
従来から溶融鉛は鉄と反応しないので、鉄容器の下部に
溶融鉛を存在させ、亜鉛による侵食を防ぐことは知られ
ており、蒸発鍋にこれｔ−適用した例が、特願昭５６−
１ｉ５７７号明細書に開示されている。本発明は、上記
の方法上亜鉛の真空蒸着装置への亜鉛供給装置である吸
上は管に適用したものである。
溶融鉛を存在させ、亜鉛による侵食を防ぐことは知られ
ており、蒸発鍋にこれｔ−適用した例が、特願昭５６−
１ｉ５７７号明細書に開示されている。本発明は、上記
の方法上亜鉛の真空蒸着装置への亜鉛供給装置である吸
上は管に適用したものである。
以下に、本発明の方法上図面により説明する。
第２図は、本発明に適用′される溶解炉吸上げ管の一例
の部分側面断面図を示し、第３図はその平面図（第２図
のｍ−■矢視図）を示す。吸上げ管７を囲んで、溶融鉛
１１と溶融亜鉛４を分離する隔壁５−１を設け、吸上げ
管７の亜鉛側二に亜鉛の流入ロアー１を設ける。第４図
（Ｎ。
の部分側面断面図を示し、第３図はその平面図（第２図
のｍ−■矢視図）を示す。吸上げ管７を囲んで、溶融鉛
１１と溶融亜鉛４を分離する隔壁５−１を設け、吸上げ
管７の亜鉛側二に亜鉛の流入ロアー１を設ける。第４図
（Ｎ。
ＣＢ）は、亜鉛の流入ロアー１の拡大断面図でおる。
亜鉛の供給がない状態では、第４図（Ａ）に示すように
流入ロアー１の上部が亜鉛４と鉛１゛１の境界面となり
、吸上げ管７は完全に溶融鉛１１で充たされている。亜
鉛ｔ″第５図のａ部に供給すると、第４図（Ｂ）に示す
ように、まず、亜鉛４のレベルがＬｌからＬｌｌに上り
、一方鉛１１は押されて、船側すでは、鉛レベルはＬ３
がらＬ３／に上る。このため、当然亜鉛４と鉛１１の境
界面はＬ２からＬ２／に下り、流入ロアー１の上部レベ
ルより下り、比重差によって亜鉛４は、吸上げ管７内の
溶融鉛１１の内を浮上りながら図示されていない蒸発鍋
に達する。次に、亜鉛の供給の手順を第５図（４）〜（
０）に示す。
流入ロアー１の上部が亜鉛４と鉛１゛１の境界面となり
、吸上げ管７は完全に溶融鉛１１で充たされている。亜
鉛ｔ″第５図のａ部に供給すると、第４図（Ｂ）に示す
ように、まず、亜鉛４のレベルがＬｌからＬｌｌに上り
、一方鉛１１は押されて、船側すでは、鉛レベルはＬ３
がらＬ３／に上る。このため、当然亜鉛４と鉛１１の境
界面はＬ２からＬ２／に下り、流入ロアー１の上部レベ
ルより下り、比重差によって亜鉛４は、吸上げ管７内の
溶融鉛１１の内を浮上りながら図示されていない蒸発鍋
に達する。次に、亜鉛の供給の手順を第５図（４）〜（
０）に示す。
まず、第５図（Ａ）の状態で溶融鉛１１のみを使用し、
蒸発鍋１で鉛を充填する。次に、第５図（Ｂ）に示すよ
うに溶融亜鉛４をａ部に注入して前記したように亜鉛を
蒸発鍋に送り込む。定常作業時の亜鉛補給は、必ずしも
溶融亜鉛である必要量なく、第５図（Ｃ）に示すように
、亜鉛インゴット１５を投入することが一般的である。
蒸発鍋１で鉛を充填する。次に、第５図（Ｂ）に示すよ
うに溶融亜鉛４をａ部に注入して前記したように亜鉛を
蒸発鍋に送り込む。定常作業時の亜鉛補給は、必ずしも
溶融亜鉛である必要量なく、第５図（Ｃ）に示すように
、亜鉛インゴット１５を投入することが一般的である。
また、亜鉛の注入は、例えば第６図に示すように、吸上
は管７の下部に直接投入することも可能であり・更に、
第７図に示すように、線状の亜鉛１２を送りロール１３
、ガイド１４全通して吸上げ管７に送り込み、溶解しな
がら蒸発鍋に送り込んでもよい。
は管７の下部に直接投入することも可能であり・更に、
第７図に示すように、線状の亜鉛１２を送りロール１３
、ガイド１４全通して吸上げ管７に送り込み、溶解しな
がら蒸発鍋に送り込んでもよい。
作用としては、真空蒸着室と大気のシールを溶融鉛で行
い、この鉛の中に亜鉛を送り込んで浮上させることによ
って、亜鉛を直接吸上げ管に接触させずに必要量だけ蒸
発鍋に供給するものである。
い、この鉛の中に亜鉛を送り込んで浮上させることによ
って、亜鉛を直接吸上げ管に接触させずに必要量だけ蒸
発鍋に供給するものである。
本発明の方法によれば、亜鉛の吸上は管内での亜鉛と内
面との接触は、従来の亜鉛の吸上げに比べれば無視され
る程匿に少なくなる。また、亜鉛の吸上げ管は、管内の
凝固を防ぐために外部から加熱されているが、鉛は亜鉛
より融点が低いので、過熱する必要がなφ。すなわち、
亜鉛が充填されているとき局部的に過熱すれば、その部
分が鉄と合金化して融点の上昇が起り、１すます加熱が
必要となり、悪循環して管の寿命を著しく短ｍすること
になるが、本発明ではこのような過熱を必要としない。
面との接触は、従来の亜鉛の吸上げに比べれば無視され
る程匿に少なくなる。また、亜鉛の吸上げ管は、管内の
凝固を防ぐために外部から加熱されているが、鉛は亜鉛
より融点が低いので、過熱する必要がなφ。すなわち、
亜鉛が充填されているとき局部的に過熱すれば、その部
分が鉄と合金化して融点の上昇が起り、１すます加熱が
必要となり、悪循環して管の寿命を著しく短ｍすること
になるが、本発明ではこのような過熱を必要としない。
第１口拡、亜鉛の真空蒸着装置の中心部の概略図を示し
、第２図は、本発明に適用される溶解炉吸上げ管の一例
金示す部分側面断面図でおり、第３図は、第２図の■−
■矢視図である。 第４図は、亜鉛の流入口の拡大断面図である。 第５図は、本発明による亜鉛の供給手順を示し、第６図
および第７図は、亜鉛の供給様態の他の例を示す。 復代理人 内 １） 明 復代理人 萩 原 亮 − 第３図 ら−１ （Ａ） （Ｂ） 第５図 （Ａ） ＣＢ） （ｃ）
、第２図は、本発明に適用される溶解炉吸上げ管の一例
金示す部分側面断面図でおり、第３図は、第２図の■−
■矢視図である。 第４図は、亜鉛の流入口の拡大断面図である。 第５図は、本発明による亜鉛の供給手順を示し、第６図
および第７図は、亜鉛の供給様態の他の例を示す。 復代理人 内 １） 明 復代理人 萩 原 亮 − 第３図 ら−１ （Ａ） （Ｂ） 第５図 （Ａ） ＣＢ） （ｃ）
Claims (1)
- 亜鉛の真空蒸着装置へ亜鉛全供給するにおたり、真空蒸
着装置の真空蒸着室内の蒸発鍋に亜鉛全供給する装置で
める吸上げ管の内部および前記蒸発鍋の下部を溶融鉛で
充たした後、前記溶融船内を通して亜鉛を前記吸上げ管
の内面に直接接触することなく蒸発鍋に供給すること全
特徴とする、亜鉛の真空蒸着装置への亜鉛の供給方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20601783A JPS60100663A (ja) | 1983-11-04 | 1983-11-04 | 亜鉛の真空蒸着装置への亜鉛の供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20601783A JPS60100663A (ja) | 1983-11-04 | 1983-11-04 | 亜鉛の真空蒸着装置への亜鉛の供給方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60100663A true JPS60100663A (ja) | 1985-06-04 |
| JPH0344144B2 JPH0344144B2 (ja) | 1991-07-05 |
Family
ID=16516523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20601783A Granted JPS60100663A (ja) | 1983-11-04 | 1983-11-04 | 亜鉛の真空蒸着装置への亜鉛の供給方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60100663A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1967604A1 (en) * | 2007-03-08 | 2008-09-10 | Applied Materials, Inc. | Evaporation crucible and evaporation apparatus with directional evaporation |
-
1983
- 1983-11-04 JP JP20601783A patent/JPS60100663A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1967604A1 (en) * | 2007-03-08 | 2008-09-10 | Applied Materials, Inc. | Evaporation crucible and evaporation apparatus with directional evaporation |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0344144B2 (ja) | 1991-07-05 |
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