JPS60108914A - ペレット位置検出方法およびその装置 - Google Patents
ペレット位置検出方法およびその装置Info
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- JPS60108914A JPS60108914A JP21663783A JP21663783A JPS60108914A JP S60108914 A JPS60108914 A JP S60108914A JP 21663783 A JP21663783 A JP 21663783A JP 21663783 A JP21663783 A JP 21663783A JP S60108914 A JPS60108914 A JP S60108914A
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- 239000008188 pellet Substances 0.000 title claims abstract description 98
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 description 3
- 101000767160 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) Intracellular protein transport protein USO1 Proteins 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、ペレット位置検出方法およびその装置・特に
、光電変換スキャナで入力されたペレットの２値化画像
と矩形ウィンドとのエッチ交点および矩形ウィンド内に
含まれるベレット上の点の個数をめてペレットの位置検
出を行なう方法とその装置、さらに詳しく言えば、入力
したペレットの２値化画像のエッチと矩形ウィンドとの
エッヂ交点、および矩形ウィンドの各頂点のうちペレ；
トの２値化画像上にある任意の１点を基準点としこの基
準点と前記矩形ウィンドとペレットエッヂとのエッチ交
点とによ多構成される矩形ウィンド内のペレット像につ
いてペレット上にある矩形ウィンド端点からベレットエ
ッヂまでのペレット上の点の個数を水平方向および垂直
方向についてめることによりペレットの傾きおよび位置
検出を行なうベレット位置検出゛方法およびその装置に
関する。
、光電変換スキャナで入力されたペレットの２値化画像
と矩形ウィンドとのエッチ交点および矩形ウィンド内に
含まれるベレット上の点の個数をめてペレットの位置検
出を行なう方法とその装置、さらに詳しく言えば、入力
したペレットの２値化画像のエッチと矩形ウィンドとの
エッヂ交点、および矩形ウィンドの各頂点のうちペレ；
トの２値化画像上にある任意の１点を基準点としこの基
準点と前記矩形ウィンドとペレットエッヂとのエッチ交
点とによ多構成される矩形ウィンド内のペレット像につ
いてペレット上にある矩形ウィンド端点からベレットエ
ッヂまでのペレット上の点の個数を水平方向および垂直
方向についてめることによりペレットの傾きおよび位置
検出を行なうベレット位置検出゛方法およびその装置に
関する。
従来のベレット位置検出方法およびその装置は、マウン
ト工程におけるペレット位置の検出を行なう場合に、第
１図で示されるように、光電変換スキャナを用いて入力
されたペレットの２値化画像１に対して、あらかじめ設
定された位置に矩形ウィン′ド２を発生させて、各矩形
ウィンド２内に含まれるペレット上の点の個数をカウン
トして・相互のカウント値の差よりベレット位置および
傾きをめるものでｈ−ｖだ。
ト工程におけるペレット位置の検出を行なう場合に、第
１図で示されるように、光電変換スキャナを用いて入力
されたペレットの２値化画像１に対して、あらかじめ設
定された位置に矩形ウィン′ド２を発生させて、各矩形
ウィンド２内に含まれるペレット上の点の個数をカウン
トして・相互のカウント値の差よりベレット位置および
傾きをめるものでｈ−ｖだ。
しかしながらこのようなベレット位置検出方法およびそ
の装置は、ベレット全体の像が、ｉ電変換スキャナの走
査エリア内に含まれる必要があるので、ベレット寸法が
大きくなった場合には倍率を下げる必要があシ、精度を
上げることが不可能であるので、位置検出精度を向上で
きないという欠点があった。
の装置は、ベレット全体の像が、ｉ電変換スキャナの走
査エリア内に含まれる必要があるので、ベレット寸法が
大きくなった場合には倍率を下げる必要があシ、精度を
上げることが不可能であるので、位置検出精度を向上で
きないという欠点があった。
本発明の目的は、位置検出精度を向上できるベレット位
置検出方法およびその装置を提供することにある。
置検出方法およびその装置を提供することにある。
すなわち本発明の目的は、上述の欠点を除去するために
、ペレットの一部を光電変換スキャナを用いて撮像して
、ペレットの位置検出を行なうことによ多位置検出精度
を向上できるベレット位置検出方法およびその装置を提
供することにある。
、ペレットの一部を光電変換スキャナを用いて撮像して
、ペレットの位置検出を行なうことによ多位置検出精度
を向上できるベレット位置検出方法およびその装置を提
供することにある。
本発明のベレット位置検出方法は、半導体の製造工程で
あるマウント工程でのベレット位置検出方法において、
ｊｔ電変換スキャナで撮像されたペレットの２値化画像
に対してあらかじめ設定された矩形ウィンドを用いて前
記ペレットの２値化画像のエッヂわａ交点をめ、かつ、
矩形ウィンドの各頂点のうちのペレットの２値化画像上
にある任意の１点を基準点としこの基準点と前記ψエッ
ヂ交点よ多構成される矩形ウィンド内のペレット１ａｌ
Ｉｒ／１１Ａ＋Ｉ″、ｚ Ｉ７−、 ｋ ｋＶ 淑入６
１６イント１備占ｆｈらペレットエッヂまでのペレット
上の点の個数を水平方向および垂直方向についてめて、
これら−の値と前記エッチ交点によってペレットの傾き
お置決め対象ペレットを走査する光電変換スキャナと、
前記光電変換スキャナで検出された像を２値化して２値
化画像を出力する２値化回路と、前記２値化画像を記憶
させる記憶回路と、あらかじめ設定された位置に矩形ウ
ィンドを発生させるウィンド発生回路と、発生させた前
記矩形ウィンドと前記２値化画像のエッヂとのエッヂ交
点をめるためのエッヂ検出回路と、前記矩形ウィンドの
各頂点のうちのペレットの前記２値化画像の上にある任
意の１点を基準点としこの基準点と前記エッチ交点よ多
構成される矩形ウィンド内のベレット像についてペレッ
ト上にある矩形ウィンド端点からペレットエッヂまでの
ペレット上の点の個数を水平方向および垂直方向にカウ
ントするために記憶回路を制御する制御回路と、前記矩
形ウインド内ノヘレット上の点の個数をカウントしてカ
ウント結果を出力するカウンタ回路と、前記カウント結
果と前記エッチ交点とによシペレット位置検出を行なう
位置検出回路とを含んで構成される。
あるマウント工程でのベレット位置検出方法において、
ｊｔ電変換スキャナで撮像されたペレットの２値化画像
に対してあらかじめ設定された矩形ウィンドを用いて前
記ペレットの２値化画像のエッヂわａ交点をめ、かつ、
矩形ウィンドの各頂点のうちのペレットの２値化画像上
にある任意の１点を基準点としこの基準点と前記ψエッ
ヂ交点よ多構成される矩形ウィンド内のペレット１ａｌ
Ｉｒ／１１Ａ＋Ｉ″、ｚ Ｉ７−、 ｋ ｋＶ 淑入６
１６イント１備占ｆｈらペレットエッヂまでのペレット
上の点の個数を水平方向および垂直方向についてめて、
これら−の値と前記エッチ交点によってペレットの傾き
お置決め対象ペレットを走査する光電変換スキャナと、
前記光電変換スキャナで検出された像を２値化して２値
化画像を出力する２値化回路と、前記２値化画像を記憶
させる記憶回路と、あらかじめ設定された位置に矩形ウ
ィンドを発生させるウィンド発生回路と、発生させた前
記矩形ウィンドと前記２値化画像のエッヂとのエッヂ交
点をめるためのエッヂ検出回路と、前記矩形ウィンドの
各頂点のうちのペレットの前記２値化画像の上にある任
意の１点を基準点としこの基準点と前記エッチ交点よ多
構成される矩形ウィンド内のベレット像についてペレッ
ト上にある矩形ウィンド端点からペレットエッヂまでの
ペレット上の点の個数を水平方向および垂直方向にカウ
ントするために記憶回路を制御する制御回路と、前記矩
形ウインド内ノヘレット上の点の個数をカウントしてカ
ウント結果を出力するカウンタ回路と、前記カウント結
果と前記エッチ交点とによシペレット位置検出を行なう
位置検出回路とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第２図は、本発明のペレット位置検出方法の一実施例を
説明するための画像正面図で、光電変換スキャナで入力
されたペレットの２値化画像と、″ あらかじめ設定さ
れた矩形ウィンドとの位置関係の一例を示す。
説明するための画像正面図で、光電変換スキャナで入力
されたペレットの２値化画像と、″ あらかじめ設定さ
れた矩形ウィンドとの位置関係の一例を示す。
第２図において２値化画像１は、前記ペレットの２値化
画像を示し、４は矩形ウィンドを示す。
画像を示し、４は矩形ウィンドを示す。
また、同図で示されるペレットエッヂと矩形ウィンド４
とのエッヂ交点５および矩形ウィンド４の内にあるベレ
ット上の点の交点数６をめれば、ペレットと矩形ウィン
ド４との位置関係、すなわち、同図では矩形ウィンド４
がペレットの１辺のみを含む等の判定カー可能であシ、
矩形ウィンド４内にペレットのコーナーがはいるようｋ
、矩形ウィンド４の位置もしくは、ペレッ′ト位置を、
一般に公知の方法で移動させることができる。
とのエッヂ交点５および矩形ウィンド４の内にあるベレ
ット上の点の交点数６をめれば、ペレットと矩形ウィン
ド４との位置関係、すなわち、同図では矩形ウィンド４
がペレットの１辺のみを含む等の判定カー可能であシ、
矩形ウィンド４内にペレットのコーナーがはいるようｋ
、矩形ウィンド４の位置もしくは、ペレッ′ト位置を、
一般に公知の方法で移動させることができる。
第３図は、第２図に示す実・施例における水平方向交点
数のめ方を説明するための画像正面図で、矩形ウィンド
４内にペレットのコーナーが含まれる場合に、矩形ウィ
ンド４内に含まれるペレット上の点の×点数６を水平方
向についてめる方法を説明するだめの図である。
数のめ方を説明するための画像正面図で、矩形ウィンド
４内にペレットのコーナーが含まれる場合に、矩形ウィ
ンド４内に含まれるペレット上の点の×点数６を水平方
向についてめる方法を説明するだめの図である。
第３図において、基準点８および矩形ウィンド４とペレ
ットの２値化画像７とのエッヂ交点９よ多構成される矩
形ウィンド４内のベレット像にり −いて：ペレット上
にある矩形ウィンド端点からベレットエッヂまでの交点
数＆を水平方向についてめる。また、ペレットコーナー
の、基準点８からの位置座標をｘ、ｙとすると、前記基
準点８からエッヂ交点９までの距離ａ、ｂをめれは、ペ
レットの傾きθおよび、前述の矩形ウィンド４内のペレ
ット上の点の交点数８は次の（１）式および（２）式で
表わされる。
ットの２値化画像７とのエッヂ交点９よ多構成される矩
形ウィンド４内のベレット像にり −いて：ペレット上
にある矩形ウィンド端点からベレットエッヂまでの交点
数＆を水平方向についてめる。また、ペレットコーナー
の、基準点８からの位置座標をｘ、ｙとすると、前記基
準点８からエッヂ交点９までの距離ａ、ｂをめれは、ペ
レットの傾きθおよび、前述の矩形ウィンド４内のペレ
ット上の点の交点数８は次の（１）式および（２）式で
表わされる。
Ｓ＝・ｙ ＋ ｂｘ Ｌ１
２
ｔａｎθ＝ｙ−ｂ＝ ａ−ｘ（２１
ｘ ｙ
第４図は第２図に示す実施例における垂直方向交点数の
め方を説明するための画像正面図で、矩形ウィンド４内
に含まれるペレット上の点の個数を垂直方向についてめ
る方法を説明するための図である。
め方を説明するための画像正面図で、矩形ウィンド４内
に含まれるペレット上の点の個数を垂直方向についてめ
る方法を説明するための図である。
第４図において、基準点８および、矩形ウィンド４とペ
レットの２値化画＠７とのエッチ交点９よ多構成される
矩形ウィンド４内のペレット像について、ペレット上に
ある矩形ウィンド端点からペレットエッヂまでの点の交
点数Ｓ′を垂直方向についてめると、ペレットの傾きθ
は次の（３）式でしたがって、（１） 、 （２） 、
（３）式を用いれはベレットコーナーの基準点８から
の位置座ｆＡ ｘ ｒ ｙおよび損もθを束めで、ペレ
ットの位ｆ＃検出が行なわれる。
レットの２値化画＠７とのエッチ交点９よ多構成される
矩形ウィンド４内のペレット像について、ペレット上に
ある矩形ウィンド端点からペレットエッヂまでの点の交
点数Ｓ′を垂直方向についてめると、ペレットの傾きθ
は次の（３）式でしたがって、（１） 、 （２） 、
（３）式を用いれはベレットコーナーの基準点８から
の位置座ｆＡ ｘ ｒ ｙおよび損もθを束めで、ペレ
ットの位ｆ＃検出が行なわれる。
第５図は本発明のベレット位置検出装置の一実施例を示
すブロック図で、前述のベレット位置検出方法を用いて
構成されたペレット位置検出装置のブロック図を示す。
すブロック図で、前述のベレット位置検出方法を用いて
構成されたペレット位置検出装置のブロック図を示す。
第５図において、光電変換スキャナ１０を走査しで読み
出されたペレットの画像は、２値化回路１１で２値化画
像に変換され、記憶回路１２に記憶される。この記憶さ
れたベレ・ットの２値化画像のエッチと、ウィンド発生
回路１５を用いて発生させた矩形ウィンドとのエッチ交
点は、エッチ検出回路１８を用いてめられる。また、前
述したように、矩形ウィンドの各頂点のうちのペレット
の２値化画像上にある任意の１点を基準点とし、この基
準点と前記エッチ交点よ多構成される矩形ウィンド内の
ペレット像について、ペレット上にある矩形ウィンド端
点からペレットエッヂまでのペレット上の点の交点数を
水平方向および垂直方向にカウントするために、制御信
号１４を用いて、制御回路１８によって記憶回路の制御
が行なわれる。また、前記交点数は、カウンタ回路１６
によって水平方向、および垂直方向についてカウントさ
れる。このカウント結果であるカウント信号１７および
エッヂ検出回路の出力信号であるエッチ信号１９は、位
置検出回路２０に加えられ、前述の方法で、ベレット位
置検出が行なわれる。
出されたペレットの画像は、２値化回路１１で２値化画
像に変換され、記憶回路１２に記憶される。この記憶さ
れたベレ・ットの２値化画像のエッチと、ウィンド発生
回路１５を用いて発生させた矩形ウィンドとのエッチ交
点は、エッチ検出回路１８を用いてめられる。また、前
述したように、矩形ウィンドの各頂点のうちのペレット
の２値化画像上にある任意の１点を基準点とし、この基
準点と前記エッチ交点よ多構成される矩形ウィンド内の
ペレット像について、ペレット上にある矩形ウィンド端
点からペレットエッヂまでのペレット上の点の交点数を
水平方向および垂直方向にカウントするために、制御信
号１４を用いて、制御回路１８によって記憶回路の制御
が行なわれる。また、前記交点数は、カウンタ回路１６
によって水平方向、および垂直方向についてカウントさ
れる。このカウント結果であるカウント信号１７および
エッヂ検出回路の出力信号であるエッチ信号１９は、位
置検出回路２０に加えられ、前述の方法で、ベレット位
置検出が行なわれる。
本発明のベレット位置検出方法およびその装置は、マウ
ント工程でのベレット位置検出において、ベレットの一
部分゛を光電変換スキャナを用いて撮像して、あらかじ
め設定された矩形ウィンドとベレットエッヂとのエッヂ
交点および矩形ウィンド内のベレット上の点の個数をめ
れは、ベレットの位置検出を行なうことが可能となシ、
従来のようにベレット全体を撮像する必要がなく、高精
度な位置検出が可能となるという効果がある。
ント工程でのベレット位置検出において、ベレットの一
部分゛を光電変換スキャナを用いて撮像して、あらかじ
め設定された矩形ウィンドとベレットエッヂとのエッヂ
交点および矩形ウィンド内のベレット上の点の個数をめ
れは、ベレットの位置検出を行なうことが可能となシ、
従来のようにベレット全体を撮像する必要がなく、高精
度な位置検出が可能となるという効果がある。
第１図は従来のペレット位置検出方法の一例を説明する
ための画像正面図、第２図は本発明のペレット位置検出
方法の一実施例を説明するだめの画像正面図、第３図は
第２図に示す実施例における水平方向交点数のめ方を説
明するための画像正面図、第４図は第２図に示す実施例
における垂直方向交点数のめ方を説明するための画像正
面図、第５図は本発明のベレット位置検出装置の一実施
例を示すブロック図である。 １・・・・・・２値化画像、２・・・・・・矩形ウィン
ド、３ ・・・・入カニリア、４・・・・・・矩形ウィ
ンド、５・・・・エッヂ交点、６・・・・・・交点、７
・・・・・・２値化画像、８・・・・・基準点、９・・
・・・・エッヂ交点、１０・・・・・・光電変換スキャ
ナ、１１・・・・・・２値化回路、１２・・・・・・記
憶回路、１３・・・・・・制御回路、１４・・・・・・
制御信号、１５・・・・・・ウィンド発生回路、１６・
・・・・・カウンタ回路、１７・・・・・・カウント信
号、１８・・・・・・エッヂ検出回路、１９・・・・エ
ッヂ信号、２０・・・・位置検出回路。 第ｌ 日 つ 弗２ 図 り 茎３ 閃 ４ 第４ 図 ９ υ
ための画像正面図、第２図は本発明のペレット位置検出
方法の一実施例を説明するだめの画像正面図、第３図は
第２図に示す実施例における水平方向交点数のめ方を説
明するための画像正面図、第４図は第２図に示す実施例
における垂直方向交点数のめ方を説明するための画像正
面図、第５図は本発明のベレット位置検出装置の一実施
例を示すブロック図である。 １・・・・・・２値化画像、２・・・・・・矩形ウィン
ド、３ ・・・・入カニリア、４・・・・・・矩形ウィ
ンド、５・・・・エッヂ交点、６・・・・・・交点、７
・・・・・・２値化画像、８・・・・・基準点、９・・
・・・・エッヂ交点、１０・・・・・・光電変換スキャ
ナ、１１・・・・・・２値化回路、１２・・・・・・記
憶回路、１３・・・・・・制御回路、１４・・・・・・
制御信号、１５・・・・・・ウィンド発生回路、１６・
・・・・・カウンタ回路、１７・・・・・・カウント信
号、１８・・・・・・エッヂ検出回路、１９・・・・エ
ッヂ信号、２０・・・・位置検出回路。 第ｌ 日 つ 弗２ 図 り 茎３ 閃 ４ 第４ 図 ９ υ
Claims (2)
- （１）半導体の製造工程であるマウント工程でのベレッ
ト位置検出方法において、光電変換スキャナで撮像され
たペレットの２値化画像に対してあらかじめ設定された
矩形ウィンドを用いて前記ペレットの２値化画像のエッ
ヂとの交点をめ、かつ、矩形ウィンドの各頂点のうちの
ペレットの２値化画像上にある任意の１点を基準点とし
この基準点と前記ψエッヂ交点よシ構成される矩形ウィ
ンド内のペレット像についてベレット上にある矩形ウィ
ンド端点がらペレットエッヂまでのペレット上の点の個
数を水平方向および垂直方向についてめて、これらの値
と前記エッヂ交点によってペレットの傾きおよび位置を
めることを特徴とするペレット位置横１方法。 - （２） ＄位置決め対象ベレットを走査する充電変換ス
キャナと、前記光電変換スキャナで検出された像を２値
化して２値化画像を出力する２値化回路と、前記２値化
画像を記憶させる記憶回路と、あらかじめ設定された位
置に矩形ウィンドを発生させるウィンド発生回路と、発
生させた前記矩形ウィンドと前記２値化画像のエッヂと
のエッヂ交点をめるためのエッチ検出回路と前記矩形ウ
ィンドの各頂点のうちのペレットの前記２値化画像の上
にある任意の１点を基準点としこの基準点と前記エッヂ
交点よシ構成される矩形ウィンド内のペレッｌについて
ペレット上にある矩形ウィンド端点からベレットエッヂ
までのペレット上の点の個数を水平方向および垂直方向
にカウントするために記憶回路を制御する制御回路と、
前記矩形ウィンド内のペレット上の点の個数をカウント
してカウント結果を出力するカウンタ回路と、前記カウ
ント結果と前記、エッヂ交点とによシベレット位置検出
を行なう位置検出回路とを含むことを特徴とするペレッ
ト位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21663783A JPS60108914A (ja) | 1983-11-17 | 1983-11-17 | ペレット位置検出方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21663783A JPS60108914A (ja) | 1983-11-17 | 1983-11-17 | ペレット位置検出方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60108914A true JPS60108914A (ja) | 1985-06-14 |
Family
ID=16691555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21663783A Pending JPS60108914A (ja) | 1983-11-17 | 1983-11-17 | ペレット位置検出方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60108914A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6344735A (ja) * | 1986-08-11 | 1988-02-25 | Matsushita Electric Works Ltd | ウエハ−チツプの検出装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5967631A (ja) * | 1982-10-12 | 1984-04-17 | Oki Electric Ind Co Ltd | ウエハ−アライメント方法 |
| JPS5989426A (ja) * | 1982-11-15 | 1984-05-23 | Fuji Electric Co Ltd | 物品の位置ずれ検査装置 |
-
1983
- 1983-11-17 JP JP21663783A patent/JPS60108914A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5967631A (ja) * | 1982-10-12 | 1984-04-17 | Oki Electric Ind Co Ltd | ウエハ−アライメント方法 |
| JPS5989426A (ja) * | 1982-11-15 | 1984-05-23 | Fuji Electric Co Ltd | 物品の位置ずれ検査装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6344735A (ja) * | 1986-08-11 | 1988-02-25 | Matsushita Electric Works Ltd | ウエハ−チツプの検出装置 |
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