JPS6312310B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6312310B2 JPS6312310B2 JP54087750A JP8775079A JPS6312310B2 JP S6312310 B2 JPS6312310 B2 JP S6312310B2 JP 54087750 A JP54087750 A JP 54087750A JP 8775079 A JP8775079 A JP 8775079A JP S6312310 B2 JPS6312310 B2 JP S6312310B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- area
- pattern
- circuit
- point
- imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Character Input (AREA)
- Image Input (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、別途発生させた領域指定用パターン
を撮像装置で得られた二次元パターンの或る特定
領域に対応するように自動的に移動させることに
より、その領域指定用パターン内に含まれる前記
二次元パターンの特定領域のみを指定し、例えば
その特定領域のみに処理を行なうことができるよ
うにした特定領域指定方式に関するものである。
を撮像装置で得られた二次元パターンの或る特定
領域に対応するように自動的に移動させることに
より、その領域指定用パターン内に含まれる前記
二次元パターンの特定領域のみを指定し、例えば
その特定領域のみに処理を行なうことができるよ
うにした特定領域指定方式に関するものである。
パターン認識等の分野に於いては、撮像装置で
撮像して得られた二次元パターンのうち或る特定
の領域のみに着目し、この特定領域のみに何等か
の処理を実行したい場合がしばしば生じる。例え
ば第１図の平面図及び第２図の断面図に示すよう
に、同一面上に、疵等の有無を検査する必要があ
る検査領域１００，１０１とその必要のない検査
不要領域１０２とを混在して有するような検査対
称物１０３を撮像装置で撮像して得た撮像信号を
処理して、検査領域１００，１０１のみの欠陥１
０４，１０５を検査する場合などである。このよ
うな場合、従来は、撮像装置の視野内に於ける検
査対称物の位置を正確に規定しておき、機械的な
マスクを設けて検査対象物の不要領域が撮像装置
に入らないようにしたり、またそのように位置決
めされた検査対象物の検査領域に対応する固定的
な限定領域パターンを装置側で発生させ、この限
定領域パターンにより検査領域を電気的に抽出す
るようにして行なつていたが、何れの方法もその
検査精度を高める為には、検査対象物の高精度な
位置決めを必要とする欠点があつた。特に検査対
象物が小さいような場合には、極めて高精度な位
置決めが必要となり、ほとんどその実現が困難で
あつた。
撮像して得られた二次元パターンのうち或る特定
の領域のみに着目し、この特定領域のみに何等か
の処理を実行したい場合がしばしば生じる。例え
ば第１図の平面図及び第２図の断面図に示すよう
に、同一面上に、疵等の有無を検査する必要があ
る検査領域１００，１０１とその必要のない検査
不要領域１０２とを混在して有するような検査対
称物１０３を撮像装置で撮像して得た撮像信号を
処理して、検査領域１００，１０１のみの欠陥１
０４，１０５を検査する場合などである。このよ
うな場合、従来は、撮像装置の視野内に於ける検
査対称物の位置を正確に規定しておき、機械的な
マスクを設けて検査対象物の不要領域が撮像装置
に入らないようにしたり、またそのように位置決
めされた検査対象物の検査領域に対応する固定的
な限定領域パターンを装置側で発生させ、この限
定領域パターンにより検査領域を電気的に抽出す
るようにして行なつていたが、何れの方法もその
検査精度を高める為には、検査対象物の高精度な
位置決めを必要とする欠点があつた。特に検査対
象物が小さいような場合には、極めて高精度な位
置決めが必要となり、ほとんどその実現が困難で
あつた。
本発明はこのような従来の欠点を改善したもの
であり、その目的は、撮像装置で得られた物体等
の二次元パターンが撮像画面上のどの位置にあろ
うとも、その二次元パターンの特定領域を高精度
に指定し、例えば特定領域のみの欠陥検出などの
処理を精度良く行なわせることにある。本発明
は、従来の固定的な限定領域パターン発生方法を
基本としてこれを改善したものであり、別途発生
させた領域指定用パターンを撮像装置で得られた
二次元パターンの位置に対応するように自動的に
移動させることにより前記目的を達成したもので
ある。以下実施例について詳細に説明する。
であり、その目的は、撮像装置で得られた物体等
の二次元パターンが撮像画面上のどの位置にあろ
うとも、その二次元パターンの特定領域を高精度
に指定し、例えば特定領域のみの欠陥検出などの
処理を精度良く行なわせることにある。本発明
は、従来の固定的な限定領域パターン発生方法を
基本としてこれを改善したものであり、別途発生
させた領域指定用パターンを撮像装置で得られた
二次元パターンの位置に対応するように自動的に
移動させることにより前記目的を達成したもので
ある。以下実施例について詳細に説明する。
第３図は本発明を実施する欠陥検査装置の一例
を表わす要部ブロツク図であり、第１図に示した
検査対象物１０３の検査領域１００のみの欠陥を
検査する場合を示したものである。なお同図に於
いて、３０１は第１図に示した検査対象物、３０
２は順次走査型のテレビカメラ等の撮像装置、３
０３は光電スイツチ若しくは近接スイツチ等の検
出器、３０４はシーケンス制御回路、３０５は同
期信号発生回路、３０６は増幅回路、３０７は二
値化回路、３０８は量子化回路、３０９は外周点
検出回路、３１０は外周点記憶回路、３１１はマ
イクロプセツサ等を含むCPU回路、３１２は水
平初期値レジスタ、３１３は垂直初期値レジス
タ、３１４は水平軸カウンタ、３１５は垂直軸カ
ウンタ、３１６は指定領域立上り点メモリ、３１
７は指定領域立下り点メモリ、３１８は指定領域
立上り点検出回路、３１９は指定領域立下り点検
出回路、３２０はオア回路、３２１は期間パルス
発生回路、３２２は欠陥検査回路である。シーケ
ンス制御回路３０４は、検査対象物３０１が撮像
装置３０２の撮像視野内に到来したことを検出す
る検出器３０３の出力を受けて、検査対象物の欠
陥検査の一連のシーケンスを決定し、各部に制御
信号CONTを送出するものである。また同期信
号発生回路３０５は、撮像装置３０２の順次走査
や後段の指定領域発生の為に供される各種の同期
信号を発するものであり、代表的な信号として、
撮像装置３０２を走査線方向に周期的にさせる為
の水平同期信号HSYC、撮像装置３０２を走査線
と垂直方向に周期的に走査させる為の垂直同期信
号VSYC、走査線方向の走査点を一画素毎に進め
る水平分割信号CLK等を発生する。
を表わす要部ブロツク図であり、第１図に示した
検査対象物１０３の検査領域１００のみの欠陥を
検査する場合を示したものである。なお同図に於
いて、３０１は第１図に示した検査対象物、３０
２は順次走査型のテレビカメラ等の撮像装置、３
０３は光電スイツチ若しくは近接スイツチ等の検
出器、３０４はシーケンス制御回路、３０５は同
期信号発生回路、３０６は増幅回路、３０７は二
値化回路、３０８は量子化回路、３０９は外周点
検出回路、３１０は外周点記憶回路、３１１はマ
イクロプセツサ等を含むCPU回路、３１２は水
平初期値レジスタ、３１３は垂直初期値レジス
タ、３１４は水平軸カウンタ、３１５は垂直軸カ
ウンタ、３１６は指定領域立上り点メモリ、３１
７は指定領域立下り点メモリ、３１８は指定領域
立上り点検出回路、３１９は指定領域立下り点検
出回路、３２０はオア回路、３２１は期間パルス
発生回路、３２２は欠陥検査回路である。シーケ
ンス制御回路３０４は、検査対象物３０１が撮像
装置３０２の撮像視野内に到来したことを検出す
る検出器３０３の出力を受けて、検査対象物の欠
陥検査の一連のシーケンスを決定し、各部に制御
信号CONTを送出するものである。また同期信
号発生回路３０５は、撮像装置３０２の順次走査
や後段の指定領域発生の為に供される各種の同期
信号を発するものであり、代表的な信号として、
撮像装置３０２を走査線方向に周期的にさせる為
の水平同期信号HSYC、撮像装置３０２を走査線
と垂直方向に周期的に走査させる為の垂直同期信
号VSYC、走査線方向の走査点を一画素毎に進め
る水平分割信号CLK等を発生する。
検査対象物３０１を撮像装置３０２で撮像して
得られた撮像信号は、増幅回路３０６に於いて、
処理し易いレベルに増幅され、二値化回路３０７
の一方の入力端子及び欠陥検査回路３２２に加え
られる。一水平走査期間に亘る撮像信号ａを増幅
回路３０６で増幅した信号ｂが、例えば第４図に
示すように検査対象物表面のレベルがVr、背景
レベルがVgであつたとすると、二値化回路３０
７は、この出力信号ｂと例えば第４図の直線Vs
に示す閾値レベルとを比較し、出力信号ｂが閾値
レベルVsより大きいときその出力を“１”とし
て検査対象物３０１と背景とを分離し、検査対象
物３０１の外形を表わす外形二値化信号ｃを形成
する。この外形二値化信号ｃは量子化回路３０８
に加えられ、そこで水平分割信号CLKによつて
画素単位に量子化される。外周点検出回路３０９
は、この量子化された信号より検査対象物３０１
の外形の背景から立上り点Ｐ及びその立下り点Ｑ
を検出して、その検出結果を外周点記憶回路３１
０に出力するもので、外周点記憶回路３１０は、
この立上り点Ｐ及び立下り点Ｑの位置を内部に記
憶する。この記憶は、例えば第５図に示すように
撮像画面５０１の左上を原点Ｃ（０、０）とし、
走査線方向をＸ軸、これに垂直な方向をＹ軸とし
て予め定義された基本座標系を採用して、この基
本座標系に於ける立上り点Ｐ及び立下り点Ｑの座
標値を、DMA（ダイレクト・メモリ・アクセス）
によりハード的に外周点記憶回路３１０内のメモ
リに記憶することにより行なわれる。このような
動作は、撮像信号の各水平走査線毎に行なわれ、
その結果、一垂直走査期間が終了した時点で検査
対象物３０１の外周を表わす座標値が外周点記憶
回路３１０に記憶されることになる。この記憶状
態を第５図の基本座標系に表示したものが、同図
の曲線５０２であり、この曲線５０２が検査対象
物３０１の撮像視野内に於ける実際の位置と等し
くなる。
得られた撮像信号は、増幅回路３０６に於いて、
処理し易いレベルに増幅され、二値化回路３０７
の一方の入力端子及び欠陥検査回路３２２に加え
られる。一水平走査期間に亘る撮像信号ａを増幅
回路３０６で増幅した信号ｂが、例えば第４図に
示すように検査対象物表面のレベルがVr、背景
レベルがVgであつたとすると、二値化回路３０
７は、この出力信号ｂと例えば第４図の直線Vs
に示す閾値レベルとを比較し、出力信号ｂが閾値
レベルVsより大きいときその出力を“１”とし
て検査対象物３０１と背景とを分離し、検査対象
物３０１の外形を表わす外形二値化信号ｃを形成
する。この外形二値化信号ｃは量子化回路３０８
に加えられ、そこで水平分割信号CLKによつて
画素単位に量子化される。外周点検出回路３０９
は、この量子化された信号より検査対象物３０１
の外形の背景から立上り点Ｐ及びその立下り点Ｑ
を検出して、その検出結果を外周点記憶回路３１
０に出力するもので、外周点記憶回路３１０は、
この立上り点Ｐ及び立下り点Ｑの位置を内部に記
憶する。この記憶は、例えば第５図に示すように
撮像画面５０１の左上を原点Ｃ（０、０）とし、
走査線方向をＸ軸、これに垂直な方向をＹ軸とし
て予め定義された基本座標系を採用して、この基
本座標系に於ける立上り点Ｐ及び立下り点Ｑの座
標値を、DMA（ダイレクト・メモリ・アクセス）
によりハード的に外周点記憶回路３１０内のメモ
リに記憶することにより行なわれる。このような
動作は、撮像信号の各水平走査線毎に行なわれ、
その結果、一垂直走査期間が終了した時点で検査
対象物３０１の外周を表わす座標値が外周点記憶
回路３１０に記憶されることになる。この記憶状
態を第５図の基本座標系に表示したものが、同図
の曲線５０２であり、この曲線５０２が検査対象
物３０１の撮像視野内に於ける実際の位置と等し
くなる。
このような外周点座標値の記憶動作が終了する
と、CPU回路３１１はシーケンス制御回路３０
４の指令により、外周点記憶回路３１０に記憶さ
れた検査対象物３０１の外周点座標値を読出し
て、検査対象物３０１の中心点０′の座標値を求
め、続いてこの求めた実際の中心座標値０′（ａ、
ｂ）と予め設定した検査対象物の正規の中心座標
値０（Ａ、Ｂ）との距離、即ちずれ量を次式によ
つて算出する。
と、CPU回路３１１はシーケンス制御回路３０
４の指令により、外周点記憶回路３１０に記憶さ
れた検査対象物３０１の外周点座標値を読出し
て、検査対象物３０１の中心点０′の座標値を求
め、続いてこの求めた実際の中心座標値０′（ａ、
ｂ）と予め設定した検査対象物の正規の中心座標
値０（Ａ、Ｂ）との距離、即ちずれ量を次式によ
つて算出する。
Ａ−ａ＝α ………(1)
Ｂ−ｂ＝β ………(2)
なお、上記正規の中心座標値０（Ａ、Ｂ）と
は、後述する領域指定用パターンの中心点の座標
値である。
は、後述する領域指定用パターンの中心点の座標
値である。
(1)式により求められた検査対象物の実際の中心
座標値０′と正規の中心座標値０とのＸ軸方向の
距離αは、水平初期値レジスタ３１２にラツチさ
れ、そのＹ軸方向の距離βは垂直初期値レジスタ
３１３にラツチされる。この場合、α、βが負数
になるときは補数の形で出力ラツチさせる。
座標値０′と正規の中心座標値０とのＸ軸方向の
距離αは、水平初期値レジスタ３１２にラツチさ
れ、そのＹ軸方向の距離βは垂直初期値レジスタ
３１３にラツチされる。この場合、α、βが負数
になるときは補数の形で出力ラツチさせる。
一方、指定領域立上り点メモリ３１６及び指定
領域立下り点メモリ３１７には、領域指定用パタ
ーンがその中心が基本座標系で０（Ａ、Ｂ）の位
置にくるように予め記憶されている。本実施例
は、検査対象物３０１の検査領域１００のみを検
査する場合であるので、領域指定用パターンとし
ては、例えば第６図に示すように検査領域１００
と等しい形状の領域指定用パターン６０１を記憶
しておくものである。この場合の記憶方法として
は、領域指定用パターン６０１の外周点の基本座
標系に於ける座標値を用いるものとし、１本の水
平走査線６０２が領域指定用パターン６０１の外
周と交わる点を例えば立上り点Ｒ（x1、y1）、立下
り点Ｓ（x2、y2）としたとき、Ｙ軸に近い立上り
点ＲのＸ座標値x1を指定領域立上り点メモリ３１
６のy1番地に格納し、Ｙ軸から遠い立下り点Ｓの
Ｘ座標値x2を指定領域立下り点メモリ３１７のy1
番地に格納しておくものとする。同様に他の水平
走査線が領域指定用パターン６０１と交わる点の
Ｘ座標値を、両メモリ３１６，３１７に対応する
番地に格納する。従つて、メモリ３１６，３１７
としては、少なくとも水平走査線数だけのアドレ
スを有するメモリが必要である。尚、領域指定用
パターン６０１と交わらない水平走査線に対応す
る番地には、実際の画面上のＸ座標値としてはあ
り得ない数、例えば水平分割数以上の数を記憶さ
せておく。次に、指定領域立上り点メモリ３１６
及び指定領域立下り点メモリ３１７に記憶してお
いた領域指定用パターン６０１を、検査対象物３
０１の撮像パターンと一致するように自動的に重
ね合せて検査領域１００のみを指定する動作を以
下説明する。
領域立下り点メモリ３１７には、領域指定用パタ
ーンがその中心が基本座標系で０（Ａ、Ｂ）の位
置にくるように予め記憶されている。本実施例
は、検査対象物３０１の検査領域１００のみを検
査する場合であるので、領域指定用パターンとし
ては、例えば第６図に示すように検査領域１００
と等しい形状の領域指定用パターン６０１を記憶
しておくものである。この場合の記憶方法として
は、領域指定用パターン６０１の外周点の基本座
標系に於ける座標値を用いるものとし、１本の水
平走査線６０２が領域指定用パターン６０１の外
周と交わる点を例えば立上り点Ｒ（x1、y1）、立下
り点Ｓ（x2、y2）としたとき、Ｙ軸に近い立上り
点ＲのＸ座標値x1を指定領域立上り点メモリ３１
６のy1番地に格納し、Ｙ軸から遠い立下り点Ｓの
Ｘ座標値x2を指定領域立下り点メモリ３１７のy1
番地に格納しておくものとする。同様に他の水平
走査線が領域指定用パターン６０１と交わる点の
Ｘ座標値を、両メモリ３１６，３１７に対応する
番地に格納する。従つて、メモリ３１６，３１７
としては、少なくとも水平走査線数だけのアドレ
スを有するメモリが必要である。尚、領域指定用
パターン６０１と交わらない水平走査線に対応す
る番地には、実際の画面上のＸ座標値としてはあ
り得ない数、例えば水平分割数以上の数を記憶さ
せておく。次に、指定領域立上り点メモリ３１６
及び指定領域立下り点メモリ３１７に記憶してお
いた領域指定用パターン６０１を、検査対象物３
０１の撮像パターンと一致するように自動的に重
ね合せて検査領域１００のみを指定する動作を以
下説明する。
水平軸カウンタ３１４は、水平同期信号HSYC
の到来毎に、水平初期値レジスタ３１２の内容、
この場合はαを初期値として水平分割信号CLK
のパルスをカウントするものであり、垂直軸カウ
ンタ３１５は、垂直同期信号VSYCの到来毎に、
垂直初期値レジスタ３１３の内容、この場合はβ
を初期値として水平同期信号TSYCのパルスをカ
ウントするものである。この垂直軸カウンタ３１
５のカウント出力は、指定領域立上り点メモリ３
１６及び指定領域立下り点メモリ３１７の番地指
定として用いられ、指定領域立上り点メモリ３１
６から読出された領域指定用パターン６０１の立
上り点のＸ座標値は、指定領域立上り点検出回路
３１８にラツチされ、また指定領域立下り点メモ
リ３１７から読出された立下り点のＸ座標値は、
指定領域立下り点検出回路３１９にラツチされ
る。
の到来毎に、水平初期値レジスタ３１２の内容、
この場合はαを初期値として水平分割信号CLK
のパルスをカウントするものであり、垂直軸カウ
ンタ３１５は、垂直同期信号VSYCの到来毎に、
垂直初期値レジスタ３１３の内容、この場合はβ
を初期値として水平同期信号TSYCのパルスをカ
ウントするものである。この垂直軸カウンタ３１
５のカウント出力は、指定領域立上り点メモリ３
１６及び指定領域立下り点メモリ３１７の番地指
定として用いられ、指定領域立上り点メモリ３１
６から読出された領域指定用パターン６０１の立
上り点のＸ座標値は、指定領域立上り点検出回路
３１８にラツチされ、また指定領域立下り点メモ
リ３１７から読出された立下り点のＸ座標値は、
指定領域立下り点検出回路３１９にラツチされ
る。
他方、水平軸カウンタ３１４のカウント内容
も、指定領域立上り点検出回路３１８及び指定領
域立下り点検出回路３１９に加えられており、両
検出回路３１８，３１９に於いて、領域指定用パ
ターン６０１の立上り点座標と立下り点座標がそ
れぞれ水平軸カウンタ３１４のカウント内容と比
較される。
も、指定領域立上り点検出回路３１８及び指定領
域立下り点検出回路３１９に加えられており、両
検出回路３１８，３１９に於いて、領域指定用パ
ターン６０１の立上り点座標と立下り点座標がそ
れぞれ水平軸カウンタ３１４のカウント内容と比
較される。
ところで、垂直軸カウンタ３１５は垂直初期値
レジスタ３１３の内容βを初期値としてカウント
を開始するので、βの値が正であつた場合には、
そのカウント内容が指定領域立上り点メモリ３１
７及び指定領域立下り点メモリ３１８の所定番地
に等しくなるのに要す水平同期信号HSYCのパル
ス数は少なくて済む。このことは、Ｙ軸に関して
領域指定用パターン６０１が原点方向にずれて読
出されることを意味する。また、βの値が負の場
合は垂直軸カウンタ２１５のカウント内容が
“０”になるまでβ個の水平同期パルスを必要と
するから、その間に撮像装置３０２の走査が水平
走査線にしてβ本分行なわれ、領域指定用パター
ン６０１はＹ軸に関して原点から遠ざかる方向に
ずれて読出されることになる。
レジスタ３１３の内容βを初期値としてカウント
を開始するので、βの値が正であつた場合には、
そのカウント内容が指定領域立上り点メモリ３１
７及び指定領域立下り点メモリ３１８の所定番地
に等しくなるのに要す水平同期信号HSYCのパル
ス数は少なくて済む。このことは、Ｙ軸に関して
領域指定用パターン６０１が原点方向にずれて読
出されることを意味する。また、βの値が負の場
合は垂直軸カウンタ２１５のカウント内容が
“０”になるまでβ個の水平同期パルスを必要と
するから、その間に撮像装置３０２の走査が水平
走査線にしてβ本分行なわれ、領域指定用パター
ン６０１はＹ軸に関して原点から遠ざかる方向に
ずれて読出されることになる。
同様に、水平軸カウンタ３１４は水平初期値レ
ジスタ３１２の内容αを初期値としてカウントを
開始するので、αの値が正であつた場合には、そ
のカウント内容が指定領域立上り点メモリ３１７
及び指定領域立下り点メモリ３１８から読出され
た立上り点若しくは立上り点のＸ座標値に等しく
なるのに必要な水平分割信号CLKのパルス数は
通常の場合よりも少なくて済む。このことは、領
域指定用パターン６０１がその分だけＸ軸に関し
原点方向にずれて読出されることを意味してい
る。またαの値が負の場合は、カウンタ内容が所
定値に達するのに多くの水平分割信号CLKを必
要とするから、その分だけＸ軸に関して領域指定
用パターン６０１が原点から遠ざかる方向にずれ
て読出されることになる。
ジスタ３１２の内容αを初期値としてカウントを
開始するので、αの値が正であつた場合には、そ
のカウント内容が指定領域立上り点メモリ３１７
及び指定領域立下り点メモリ３１８から読出され
た立上り点若しくは立上り点のＸ座標値に等しく
なるのに必要な水平分割信号CLKのパルス数は
通常の場合よりも少なくて済む。このことは、領
域指定用パターン６０１がその分だけＸ軸に関し
原点方向にずれて読出されることを意味してい
る。またαの値が負の場合は、カウンタ内容が所
定値に達するのに多くの水平分割信号CLKを必
要とするから、その分だけＸ軸に関して領域指定
用パターン６０１が原点から遠ざかる方向にずれ
て読出されることになる。
第３図に於ける指定領域立上り点検出回路３１
８及び指定領域立下り点検出回路３１９は、以上
のようにしてＹ軸に対してβだけずれて読出され
た領域指定用パターン６０１の立上り点Ｘ座標値
及び立上り点Ｘ座標値と、αだけ補正された水平
分割信号CLKのカウント内容とを各水平走査期
間毎に比較して、その一致を検出したときに、一
致パルスをオア回路３２０を介して期間パルス発
生回路３２１に出力するものであり、この一致パ
ルスは、Ｘ軸に関してα、Ｙ軸に関してβだけ移
動された領域指定用パターン６０１の外周点に対
応した時間的位置で発生される。期間パルス発生
回路３２１は、水平同期信号HSYCの到来毎にリ
セツトされ、オア回路３２０からの奇数番目の一
致パルスによつて“１”にセツトされ、偶数番目
の一致パルスにより反転して“０”にリセツトさ
れるものであり、従つて、その出力として、領域
指定用パターン６０１の範囲内に於いてのみ出力
が“１”となる期間パルスが得られる。
８及び指定領域立下り点検出回路３１９は、以上
のようにしてＹ軸に対してβだけずれて読出され
た領域指定用パターン６０１の立上り点Ｘ座標値
及び立上り点Ｘ座標値と、αだけ補正された水平
分割信号CLKのカウント内容とを各水平走査期
間毎に比較して、その一致を検出したときに、一
致パルスをオア回路３２０を介して期間パルス発
生回路３２１に出力するものであり、この一致パ
ルスは、Ｘ軸に関してα、Ｙ軸に関してβだけ移
動された領域指定用パターン６０１の外周点に対
応した時間的位置で発生される。期間パルス発生
回路３２１は、水平同期信号HSYCの到来毎にリ
セツトされ、オア回路３２０からの奇数番目の一
致パルスによつて“１”にセツトされ、偶数番目
の一致パルスにより反転して“０”にリセツトさ
れるものであり、従つて、その出力として、領域
指定用パターン６０１の範囲内に於いてのみ出力
が“１”となる期間パルスが得られる。
以上のように、指定領域立上り点メモリ３１６
及び指定領域立下り点メモリ３１７に予め記憶さ
れた領域指定用パターン６０１の中心が、基本座
標系の点０（Ａ、Ｂ）であつたとしても、撮像装
置３０２と同期して読出される際には、水平初期
値レジスタ３１２及び垂直初期値レジスタ３１３
にセツトされたα、βに応じ、その中心が基本座
標系の（Ａ−α、Ｂ−β）点になるように読出さ
れる。基本座標系の（Ａ−α、Ｂ−β）点は、
(1)、(2)式から明らかなように検査対象物３０１の
実際の中心点０′（ａ、ｂ）であるから、指定領
域パターン６０１の中心を実際の検査対象物３０
１の中心に完全に一致させて読出すことができ
る。
及び指定領域立下り点メモリ３１７に予め記憶さ
れた領域指定用パターン６０１の中心が、基本座
標系の点０（Ａ、Ｂ）であつたとしても、撮像装
置３０２と同期して読出される際には、水平初期
値レジスタ３１２及び垂直初期値レジスタ３１３
にセツトされたα、βに応じ、その中心が基本座
標系の（Ａ−α、Ｂ−β）点になるように読出さ
れる。基本座標系の（Ａ−α、Ｂ−β）点は、
(1)、(2)式から明らかなように検査対象物３０１の
実際の中心点０′（ａ、ｂ）であるから、指定領
域パターン６０１の中心を実際の検査対象物３０
１の中心に完全に一致させて読出すことができ
る。
以上の動作により、検査対象物３０１の正規位
置からのずれ量を水平初期値レジスタ３１２及び
垂直初期値レジスタ３１３にセツトした次の画面
走査より、期間パルス発生回路３２１の出力とし
て、画面中の検査領域１００に同期した領域指定
用パターン６０１が得られるので、欠陥検査回路
３２２は、その領域指定用パターン６０１をゲー
ト信号として増幅回路３０６からの撮像信号を処
理し、検査領域１００のみの欠陥検査を行なうこ
とができる。
置からのずれ量を水平初期値レジスタ３１２及び
垂直初期値レジスタ３１３にセツトした次の画面
走査より、期間パルス発生回路３２１の出力とし
て、画面中の検査領域１００に同期した領域指定
用パターン６０１が得られるので、欠陥検査回路
３２２は、その領域指定用パターン６０１をゲー
ト信号として増幅回路３０６からの撮像信号を処
理し、検査領域１００のみの欠陥検査を行なうこ
とができる。
尚、第３図に於いて、指定領域立上り点メモリ
３１６及び指定領域立下り点メモリ３１７がバス
を介してCPU回路３１１に接続されているのは、
必要に応じてその記憶内容を変更することができ
るようにする為である。こうすることにより、例
えば各種形状の領域指定用パターンを別のメモリ
に記憶しておいて、必要なパターンを必要なとき
に自由に移し変えて使用することができる。更
に、例えば外周点記憶回路３１０に記憶された検
査対象物の外周点座標を、正規の位置に補正した
後ソフト的に中心方向に数画素分縮少し、例えば
検査領域１００の形状より若干小さめの縮小パタ
ーンを形成して、これを領域指定用パターンとし
て指定領域立上り点メモリ３１６及び指定領域立
下り点メモリ３１７に記憶させることもできる。
３１６及び指定領域立下り点メモリ３１７がバス
を介してCPU回路３１１に接続されているのは、
必要に応じてその記憶内容を変更することができ
るようにする為である。こうすることにより、例
えば各種形状の領域指定用パターンを別のメモリ
に記憶しておいて、必要なパターンを必要なとき
に自由に移し変えて使用することができる。更
に、例えば外周点記憶回路３１０に記憶された検
査対象物の外周点座標を、正規の位置に補正した
後ソフト的に中心方向に数画素分縮少し、例えば
検査領域１００の形状より若干小さめの縮小パタ
ーンを形成して、これを領域指定用パターンとし
て指定領域立上り点メモリ３１６及び指定領域立
下り点メモリ３１７に記憶させることもできる。
以上の実施例は、領域指定用パターンとして第
６図に示したような検査領域１００に対応したパ
ターンを発生させる場合のものであるが、第１図
に示した検査対象物の検査領域１０１のみを処理
する場合には、例えば第７図に示すような検査領
域１０１と大きさの等しい領域指定用パターン７
０１を用意すれば良い。尚この場合は、領域指定
用パターン７０１と一水平走査線との交点は、立
上り点R1、立下り点S1、立上り点R2、立下り点
S2に示すように最大４ケ所となるので、これを第
３図に示した回路で実現する為には、指定領域立
上り点メモリ３１６及び指定領域立下り点メモリ
３１７と同等のメモリをそれぞれもう一つ附加
し、更に指定領域立上り点検出回路３１８及び指
定領域立下り点検出回路３１９と同等の検出回路
をそれぞれもう一つ附加して、オア回路３２０が
合計４個の検出回路からの一致検出信号を論理和
するように構成すれば良い。
６図に示したような検査領域１００に対応したパ
ターンを発生させる場合のものであるが、第１図
に示した検査対象物の検査領域１０１のみを処理
する場合には、例えば第７図に示すような検査領
域１０１と大きさの等しい領域指定用パターン７
０１を用意すれば良い。尚この場合は、領域指定
用パターン７０１と一水平走査線との交点は、立
上り点R1、立下り点S1、立上り点R2、立下り点
S2に示すように最大４ケ所となるので、これを第
３図に示した回路で実現する為には、指定領域立
上り点メモリ３１６及び指定領域立下り点メモリ
３１７と同等のメモリをそれぞれもう一つ附加
し、更に指定領域立上り点検出回路３１８及び指
定領域立下り点検出回路３１９と同等の検出回路
をそれぞれもう一つ附加して、オア回路３２０が
合計４個の検出回路からの一致検出信号を論理和
するように構成すれば良い。
以上説明したように本発明は、撮像装置で撮像
して得られた二次元パターンの撮像画面上に於け
る位置を算出し、予めメモリに固定的に記憶して
おいた領域指定用パターンをその位置に一致する
ように自動的に移動させて、二次元パターンの特
定領域を指定するよう構成したものであり、二次
元パターンが撮像画面上のどの位置にあろうと
も、その特定領域を正確に指定できる利点があ
る。従つて、本発明を例えば、検査対象物の特定
領域のみに於ける欠陥を検査する欠陥検査装置に
適用すれば、従来のように検査対象物の高精度に
位置決めしておかなくても、精度の高い欠陥検査
が可能となる。尚、本発明は欠陥検査装置以外に
例えばテレビゲーム、テレビデイスプレイ等にも
応用することが可能である。
して得られた二次元パターンの撮像画面上に於け
る位置を算出し、予めメモリに固定的に記憶して
おいた領域指定用パターンをその位置に一致する
ように自動的に移動させて、二次元パターンの特
定領域を指定するよう構成したものであり、二次
元パターンが撮像画面上のどの位置にあろうと
も、その特定領域を正確に指定できる利点があ
る。従つて、本発明を例えば、検査対象物の特定
領域のみに於ける欠陥を検査する欠陥検査装置に
適用すれば、従来のように検査対象物の高精度に
位置決めしておかなくても、精度の高い欠陥検査
が可能となる。尚、本発明は欠陥検査装置以外に
例えばテレビゲーム、テレビデイスプレイ等にも
応用することが可能である。
第１図及び第２図は検査対象物の平面図及び断
面図、第３図は本発明を実施する欠陥検査装置の
一例を表わすブロツク図、第４図は検査対象物を
撮像して得た撮像信号の一例を表わす線図、第５
図、第６図及び第７図は本発明の動作を説明する
為の線図である。 １００，１０１は検査領域、１０２は検査不要
領域、１０３，３０１は検査対象物、１０４，１
０５は欠陥、３０２は撮像装置、３０４はシーケ
ンス制御回路、３０５は同期信号発生回路、３０
６は増幅回路、３０７は二値化回路、３０８は量
子化回路、３０９は外周点検出回路、３１０は外
周点記憶回路、３１１はCPU回路、３１２は水
平初期値レジスタ、３１３は垂直初期値レジス
タ、３１４は水平軸カウンタ、３１５は垂直軸カ
ウンタ、３１６は指定領域立上り点メモリ、３１
７は指定領域立下り点メモリ、３１８は指定領域
立上り点検出回路、３１９は指定領域立下り点検
出回路、３２０はオア回路、３２１は期間パルス
発生回路、３２２は欠陥検査回路である。
面図、第３図は本発明を実施する欠陥検査装置の
一例を表わすブロツク図、第４図は検査対象物を
撮像して得た撮像信号の一例を表わす線図、第５
図、第６図及び第７図は本発明の動作を説明する
為の線図である。 １００，１０１は検査領域、１０２は検査不要
領域、１０３，３０１は検査対象物、１０４，１
０５は欠陥、３０２は撮像装置、３０４はシーケ
ンス制御回路、３０５は同期信号発生回路、３０
６は増幅回路、３０７は二値化回路、３０８は量
子化回路、３０９は外周点検出回路、３１０は外
周点記憶回路、３１１はCPU回路、３１２は水
平初期値レジスタ、３１３は垂直初期値レジス
タ、３１４は水平軸カウンタ、３１５は垂直軸カ
ウンタ、３１６は指定領域立上り点メモリ、３１
７は指定領域立下り点メモリ、３１８は指定領域
立上り点検出回路、３１９は指定領域立下り点検
出回路、３２０はオア回路、３２１は期間パルス
発生回路、３２２は欠陥検査回路である。
Claims (1)
- １ 撮像装置で撮像して得られた二次元パターン
の特定領域を指定する方式に於いて、前記特定領
域と等しい形状を有する領域指定用パターンを撮
像画面上に定義した正規位置に記憶しておく記憶
手段と、前記撮像装置の撮像信号を処理して前記
二次元パターンの撮像画面上に於ける位置を求め
且つ前記正規位置からのずれ量を算出する演算手
段と、該演算手段で算出されたずれ量に基づき前
記記憶手段に記憶された領域指定用パターンを前
記二次元パターンの特定領域に一致するように前
記撮像装置の画面走査と同期して読出す手段とを
備え、該手段により読出された領域指定用パター
ンをゲート信号として前記二次元パターンの特定
領域を指定するようにしたことを特徴とする特定
領域指定方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8775079A JPS5611560A (en) | 1979-07-11 | 1979-07-11 | Designation system of specific area |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8775079A JPS5611560A (en) | 1979-07-11 | 1979-07-11 | Designation system of specific area |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5611560A JPS5611560A (en) | 1981-02-04 |
| JPS6312310B2 true JPS6312310B2 (ja) | 1988-03-18 |
Family
ID=13923604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8775079A Granted JPS5611560A (en) | 1979-07-11 | 1979-07-11 | Designation system of specific area |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5611560A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11587121B2 (en) | 2018-08-24 | 2023-02-21 | Panasonic Holdings Corporation | Pedestrian device, communication device, and information distribution method |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5994045A (ja) * | 1982-11-22 | 1984-05-30 | Toshiba Corp | 画像入力装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5939066B2 (ja) * | 1977-11-19 | 1984-09-20 | 富士電機株式会社 | パタ−ン正規化装置 |
-
1979
- 1979-07-11 JP JP8775079A patent/JPS5611560A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11587121B2 (en) | 2018-08-24 | 2023-02-21 | Panasonic Holdings Corporation | Pedestrian device, communication device, and information distribution method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5611560A (en) | 1981-02-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08287252A (ja) | ネジ穴位置認識方法 | |
| JPH0644292B2 (ja) | 二次元視覚認識装置 | |
| CN117788348A (zh) | 一种线扫相机畸变矫正方法 | |
| JP2775924B2 (ja) | 画像データ作成装置 | |
| JP2841961B2 (ja) | 視覚認識装置 | |
| JP3013255B2 (ja) | 形状測定方法 | |
| JP3031069B2 (ja) | 外観検査方法 | |
| JPH0334801B2 (ja) | ||
| JPH05231842A (ja) | 形状パターン検査方法及び装置 | |
| JP2874752B2 (ja) | 画像処理の位置検出方法 | |
| JPH11173817A (ja) | 寸法測定方法及びその実施に使用する装置 | |
| JPH0652167B2 (ja) | 画像処理方法 | |
| JPH0155630B2 (ja) | ||
| JPS63223505A (ja) | 位置合わせ方法及びその装置 | |
| JP2959017B2 (ja) | 円形画像判別方法 | |
| JP2001050714A (ja) | ペースト高さ測定装置 | |
| JPS59108907A (ja) | ３次元物体の位置検出装置 | |
| JPS63101972A (ja) | パタ−ン検出方法 | |
| JPS61239147A (ja) | 画像処理による欠け検査方法 | |
| JPH0410074A (ja) | 画像パターン傾き検出方法 | |
| JPS6318683B2 (ja) | ||
| JPH04269606A (ja) | 部品検出方法及び装置 | |
| JP3611225B2 (ja) | 中子及び主型の位置検出装置 | |
| JPH0560145B2 (ja) | ||
| JPH01298479A (ja) | 傾き角度検出装置 |