JPS60109238A - ボンディング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明はボンディング技術、特に、ワイヤボンディング
用のワイヤを巻くためのスプールに通用して効果のある
技術に関する。

［背景技術］　Ｉ 半導体装置の製造過程においてペレットのポンディング
パッドと外部導出用の導電部とを電気的に接続するため
に金（Ａｕ）またはアルミニウム（ＡＩ）等で作られた
ボンディングワイヤを用いる場合がある。

この場合、ボンディングワイヤはスプールに巻かれたも
のを必要量ずつ巻き出して使用することが行われる（特
開昭５０−１３１７６５号公報）。

この巻き出し、すなわちワイヤ供給の方式としては、ス
プール置場に設けた中空のワイヤスプールおよびがラス
管のガイドの孔を通ってワイヤを引っ張ることによりワ
イヤの供給を行う方式と、ワイヤスプール自体をモータ
で回転させてワイヤの供給を行う方式とが考えられる。

ところが、これらの方式において、ワイヤスプールとス
プール置場等との間には隙間があり、ワイヤがたるむ際
にその隙間にワイヤが引っ掛かるため、第１ボンドから
第２ボン′ドに移る際に第１ボンドのネック部等でワイ
ヤ切れを生じてしまうという問題があることを本発明者
は見い出した。

［発明の目的］ 本発明の目的は、スプールに巻かれたワイヤ等の線状物
が供給時等に引っ掛かりを生じて切れることを防止でき
る技術を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

［発明の概要］ 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、スプールの端板部の少なくとも一方に引っ掛
かり防止手段を設けることにより、線状物の引っ掛かり
に起因する断線を阻止するものである。

［実施例１］ 第１図は本発明にょるボンディング装置におけるスプー
ルの一実施例を一部断面図で示す側面図であ菖。

この実施例において、ス、プールはたとえばワイヤボン
ディングに用いるワイヤを巻き取ったり巻き出しく繰り
出し）たりするものである。

このスプールは、ワイヤを巻回するための円筒状のワイ
ヤ巻回部１と、その軸方向両端に形成された端板部２ａ
、２ｂとを有している。

このスプールの端板部のうち、スプール置場３の上に置
かれる側の端板部２ａには、円形の皿状断面形状を持つ
ガイド４が密着状態で嵌装されている。したがって、ス
プールは端板部２ａを下側にしてガイド４を介してスプ
ール置場３の上に載置されている。そして、ガイド４の
外周部の周壁部４ａは端板部２ａの外周側に端板部２ａ
の上面よりも僅かに上方に突出している。

したがって、本実施例においては、たとえば第１ボンデ
ィング点から第２ボンディング点に移る際にワイヤ巻回
部に巻かれたワイヤがたるみを生じたような場合にも、
ワ４イヤが端板部２ａとスプール置場３との間の隙間に
引っ掛かってワイヤ切れを起こすようなことはなくなる
。

［実施例２］ 第２図は本発明の他の実施例であるボンディング装置に
おけるスプールを示す側面図である。

この実施例では、スプール置場の上に載置される側の端
板部２ａの外周部が反対側の端板部２ｂよりも同図にＬ
ｌで示す寸法だけ大きい直径に作られている。

したがって、本実施例でも、端板部２ａが外周方向に寸
法Ｌ１だけ張り出していることにより、ワイヤ巻回部ｌ
に巻いたワイヤがたるみを生じても端板部２ａとスプー
ル置場３との間の隙間に引っ掛かることがなく、ワイヤ
切れを防止できる。

［実施例３］ 第３図は本発明の他の実施例であるボンディング装置に
おけるスプールを示す正面図である。

本実施例では、スプールの端板部２ａの下側には、該端
板部２ａの直径よりも寸法Ｌ２だけ大きい直径を持つ円
板状のガイド板５が接着等で固定されている。

したがって、本実施例では、ガイド板５の外周部が寸法
Ｌ２だけ端板部２ａよりも張り出していることにより、
ワイヤの引っ掛かりを防止することができる。

なお、ガイド板５は端板部２ａ等と一体成形の樹脂等で
作ってもよい。

［実施例４］ 第４図は本発明の他の実施例によるボンディング装置に
おけるスプールの断面図である。

この実施例では、両端板部２ａ、２ｂの外周部内側に互
いに対向方向に延びるリング状の突出部２ａ１．２ｂ１
が一体的に形成されている。

この突出部２ａ１．２ｂ１を設けたことにより、ワイヤ
巻回部２ａ、２ｂに引っ掛がることを防止できる。

なお、突出部をリング状に複数ケ所設けてもよい。

［効果］ （ｌ）、スプールの少なくとも一方の端部が引っ掛かり
防止手段を有することにより、スプールに巻かれたワイ
ヤ等の線状物が引っ掛かりを生ずることを阻止し、線状
物の切断を阻止できる。

（２）、前記（１）により、線状物の供給が中断されな
（なるので、作業効率、ひいては装置の稼動率が向上す
る。

（３）８本発明のスプールをワイヤボンディング用のワ
イヤのために使用すると、たとえば第１ボンディング点
から第２ボンディング点に移る時等におけるワイヤのネ
ック切れや断線を防止することができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

たとえば、スプールの端部の引っＨ）かり防止構造は前
記実施例以外にも様々な構造とすることができる。

また、スプールの巻回部と端板部等とは一体成形品でも
よく、あるいは別体のものを組み立てたものでもよい。

［利用分野］ 以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるワイヤボンディング
用のワイヤに適用した場合について説明したが、それに
限定されるものではなく、たとえば、ワイヤボンディン
グ以外の用途に用いられるワイヤあるいは糸等のように
スプールへの引っ掛かりを生じるものであればどのよう
な線状物にも広く適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例１であるボンディング装置にお
けるスプールを一部断面図で示す側面図、第２図は本発
明の実施例２であるボンディング装置におけるスプール
の側面図、 第３図は本発明の実施例３であるボンディング装置にお
けるスプールの側面図、 第４図は本発明の実施例４であるボンディング装置にお
けるスプールの断面図である。 １・・・ワイヤ巻回部、２ａ、２ｂ・・・端板部、２ａ
１．２ｂ１・・・突出部（引っ掛かり防止手段）、３・
・・スプール置場、４・・・ガイド（引っ掛かり防止手
段）、５・・・ガイド板（引っ掛かり防止手段）。 第　１　図 第　３　図 第　２　図 ） 第　４　図 １　Ｚ、１

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、スプールの端板部の少なくとも一方に引つ掛かり防
   止手段を有することを特徴とするボンディング装置。 ２、前記引っ掛かり防止手段が、一方の端板部に密着状
   態で嵌装されたガイドよりなることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載のボンディング装置。 ３、前記引っ掛かり防止手段が、一方の端板部を他方の
   端板部よりも大きい直径にすることにより形成されるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のボンディン
   グ装置。 ４、前記引っ掛かり防止手段が、一方の端板部に形成さ
   れかつ該端板部および他方の端板部よりも大きい直径を
   持つガイドよりなることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載のボンディング装置。 ５、前記引っ掛かり防止手段が、少なくとも一方の端板
   の周縁部から軸方向内側に突出する環状のまたは環状に
   配置された突起部よりなることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載のボンディング装置。