JPS60111049U - ウエ−ハ整列器 - Google Patents

ウエ−ハ整列器

Info

Publication number
JPS60111049U
JPS60111049U JP20374083U JP20374083U JPS60111049U JP S60111049 U JPS60111049 U JP S60111049U JP 20374083 U JP20374083 U JP 20374083U JP 20374083 U JP20374083 U JP 20374083U JP S60111049 U JPS60111049 U JP S60111049U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
separating member
wafer aligner
legs
tilted
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20374083U
Other languages
English (en)
Inventor
敬 甲斐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP20374083U priority Critical patent/JPS60111049U/ja
Publication of JPS60111049U publication Critical patent/JPS60111049U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案ウェーハ整列器の一実施例を示すもので、
第１図は正面図、第２図は右側面図、第３図は平面図、
第４図６１第１図におけるＩＶ−ＩＶ線断面図、第５図
は作動状態を示す説明図である。 １・・・基台、２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ・・・脚、３ａ
ｔ３ｂ・・・側板、４・・・連結部材、５・・・枢軸、
７・・・回動軸、８・・・モータ、９・・・送りローラ
、１１・・・支板、１２・・・電源スィッチ、１５・・
・支切部材、ａ・・・ウェーハ、ｂ・・・ファセット。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 円盤状ウェーハを立てて並列する装置において、複数の
    脚を介して支承される基台上にウェーハを区画収容する
    支切部材を設けるとともに、前記脚の長さを変えて前記
    基台を傾斜して支承せしめ、前記支切部材に立て掛けた
    ウェーハが一方的に傾倒保持されるようにウェーハ整列
    器。
JP20374083U 1983-12-29 1983-12-29 ウエ−ハ整列器 Pending JPS60111049U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20374083U JPS60111049U (ja) 1983-12-29 1983-12-29 ウエ−ハ整列器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20374083U JPS60111049U (ja) 1983-12-29 1983-12-29 ウエ−ハ整列器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60111049U true JPS60111049U (ja) 1985-07-27

Family

ID=30766146

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20374083U Pending JPS60111049U (ja) 1983-12-29 1983-12-29 ウエ−ハ整列器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60111049U (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS495672A (ja) * 1972-05-02 1974-01-18
JPS5018165B1 (ja) * 1970-02-12 1975-06-26
JPS54984A (en) * 1977-06-06 1979-01-06 Nec Corp Containing tool for semiconductor wafer

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5018165B1 (ja) * 1970-02-12 1975-06-26
JPS495672A (ja) * 1972-05-02 1974-01-18
JPS54984A (en) * 1977-06-06 1979-01-06 Nec Corp Containing tool for semiconductor wafer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60111049U (ja) ウエ−ハ整列器
JPS60111048U (ja) ウエ−ハ自動整列器
JPS5810423U (ja) 感光板位置合せ装置
JPS60109327U (ja) 半導体用イオン注入装置の半導体ウエ−ハ支持機構
JPS5840839U (ja) 半導体ウエ−ハ揃え治具
JPS6121337U (ja) 回転式物品受け台
JPS5959241U (ja) 工作機械
JPS60194457U (ja) ウエハ−研摩装置
JPS5940212U (ja) 円筒構造物支持装置
JPS5984843U (ja) 半導体製造用キヤリアハンガ
JPS59147257U (ja) インプリント装置
JPH0270932U (ja)
JPS6018147U (ja) 杭打抜機の輸送置き台兼用初期打込反力台
JPS60103124U (ja) コンクリ−ト製品の旋回装置
JPS58120643U (ja) ウエハ処理用バスケツト
JPS5946927U (ja) 基板送り機構
JPS602830U (ja) 半導体ウエハのエツチング槽
JPS58137367U (ja) 回転テ−ブル装置
JPS5867541U (ja) 穀類調整機における昇降機の取付装置
JPS58158663U (ja) マルチ作業機のフイルムロ−ル予備装着装置
JPS59111040U (ja) 半導体製造用治具
JPS58127243U (ja) 回転電機のベルト交換装置
JPS5863671U (ja) 自動販売機における停電ランプの点灯制御回路
JPS60100748U (ja) フオトレジスト塗布装置
JPS58187230U (ja) 脱穀機の籾受部における籾受棒の支持装置