JPS6013691A - 薬液供給装置 - Google Patents
薬液供給装置Info
- Publication number
- JPS6013691A JPS6013691A JP11796183A JP11796183A JPS6013691A JP S6013691 A JPS6013691 A JP S6013691A JP 11796183 A JP11796183 A JP 11796183A JP 11796183 A JP11796183 A JP 11796183A JP S6013691 A JPS6013691 A JP S6013691A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chemical liquid
- chemical
- tank
- tanks
- solution
- Prior art date
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- Pending
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- Loading And Unloading Of Fuel Tanks Or Ships (AREA)
- Weting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、洗浄、エツチング、現像などの薬液を比較的
多量に必要とする工程で用いられる薬液供給装置に関す
る。
多量に必要とする工程で用いられる薬液供給装置に関す
る。
従来の薬液供給装置は、７本の薬液タンクから薬液排出
装置により薬液を排出して外部に供給するように構成さ
れていた。１本の薬液タンクの薬液を供給し終わると、
そのたびに薬液が充填された新しい薬液タンクと交換す
る必要があった。薬液の使用量が増加すると、この交換
作業も増え問題となっていた。また薬液タンクの交換作
業中は薬液を供給することができず、薬液を使用する装
置等を停止させなければならなかった。
装置により薬液を排出して外部に供給するように構成さ
れていた。１本の薬液タンクの薬液を供給し終わると、
そのたびに薬液が充填された新しい薬液タンクと交換す
る必要があった。薬液の使用量が増加すると、この交換
作業も増え問題となっていた。また薬液タンクの交換作
業中は薬液を供給することができず、薬液を使用する装
置等を停止させなければならなかった。
この問題点を解決するために大容量の薬液タンクを用意
して、そのタンクに薬液を移しかえて交換回数を減らす
方法も考えられるが、移しかえにともなりて薬液にゴミ
等が混入するなどして品質が低下するおそれがある。ま
た大きな薬液タンクを用いても交換作業中はやはり薬液
を供給することができず、薬液を使用する装置等を停止
させる必要があった。
して、そのタンクに薬液を移しかえて交換回数を減らす
方法も考えられるが、移しかえにともなりて薬液にゴミ
等が混入するなどして品質が低下するおそれがある。ま
た大きな薬液タンクを用いても交換作業中はやはり薬液
を供給することができず、薬液を使用する装置等を停止
させる必要があった。
本発明は上記事情を考慮してなされたもので薬液タンク
の交換頻度を少なくし、薬液を供給しつつ薬液タンクの
交換可能な薬液供給装置を提供することを目的とする。
の交換頻度を少なくし、薬液を供給しつつ薬液タンクの
交換可能な薬液供給装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明による薬液供給装置
は、薬液が充填された複数の薬液タンクと、これら薬液
タンクが空になったことを検出する検出手段と、薬液を
排出する薬液タンクを、前記複数の薬液タンクから選択
する選択手段と、この選択手段により選択された薬液タ
ンクから薬液を排出１−て外部へ供給する薬液排出手段
とを備え、薬液が排出されている薬液タンクが空になっ
たことを、前記検出手段により検出した場合に、薬液が
充填された薬液タンクを、前記選択手段により選択する
ことを特徴とする。
は、薬液が充填された複数の薬液タンクと、これら薬液
タンクが空になったことを検出する検出手段と、薬液を
排出する薬液タンクを、前記複数の薬液タンクから選択
する選択手段と、この選択手段により選択された薬液タ
ンクから薬液を排出１−て外部へ供給する薬液排出手段
とを備え、薬液が排出されている薬液タンクが空になっ
たことを、前記検出手段により検出した場合に、薬液が
充填された薬液タンクを、前記選択手段により選択する
ことを特徴とする。
本発明の一実施例による薬液供給装置を図に示す。薬液
が充填された薬液タンクｌ／、／λ、 ／、３ 、 ／
！があり、それぞれに薬液排出パイプ１０／ 、 １０
２ 。
が充填された薬液タンクｌ／、／λ、 ／、３ 、 ／
！があり、それぞれに薬液排出パイプ１０／ 、 １０
２ 。
１０３ 、１０１１が設けられており、薬液排出パイプ
１０／ 、 １０２ 、１０３ 、１０１１−にはＡシ
ブ３／ 、 、？、２ 、．３３ 。
１０／ 、 １０２ 、１０３ 、１０１１−にはＡシ
ブ３／ 、 、？、２ 、．３３ 。
３ダと静電容量センサコバ２２ 、．２３ 、２ダが設
けられている静電容量センサ、２／、λコ、刀、評の検
出信号は制御装置Ｖ内のセンサ入力部ｊに入力する。ｄ
ル’ｆ３／ 、 ３２ 、３３ 、３’ｌは制御装置弘
内のノ々ルブコントロール部７からの信号により制御さ
れる。薬液タンク／／ 、 ／２ 、 ／３ 、 ／弘
からの薬液の排出は窒素（Ｎ、）により加圧することに
よりなされる。Ｎ、にょる加圧は／ＮＡ／ブ１０／ 、
１０２ 、１０３ 、 ＩＯ！−により制御できる。
けられている静電容量センサ、２／、λコ、刀、評の検
出信号は制御装置Ｖ内のセンサ入力部ｊに入力する。ｄ
ル’ｆ３／ 、 ３２ 、３３ 、３’ｌは制御装置弘
内のノ々ルブコントロール部７からの信号により制御さ
れる。薬液タンク／／ 、 ／２ 、 ／３ 、 ／弘
からの薬液の排出は窒素（Ｎ、）により加圧することに
よりなされる。Ｎ、にょる加圧は／ＮＡ／ブ１０／ 、
１０２ 、１０３ 、 ＩＯ！−により制御できる。
複数の薬液排出パイプ１０／ 、 １０２ 、１０３
。
。
７Ｇは７本のパイプにまとめられて薬液使用装置♂に所
定量の薬液が供給される。なおセンサ入力部！により入
力した検出信号はシーケンスコントローラ乙で処理され
、ノ々ルブコントロール部７にコントロール信号を出力
する。
定量の薬液が供給される。なおセンサ入力部！により入
力した検出信号はシーケンスコントローラ乙で処理され
、ノ々ルブコントロール部７にコントロール信号を出力
する。
次にこの薬液供給装置の動作を説明する。まず、すべて
の薬液タンク／／ 、 ／２ 、 ／３ 、 ／！とも
薬液が充填されているとする。ノ々ルブ９／バク、 ？
、？ 、 ？’ｉＺを開いてＮ！により加圧する。ノ々
ルブ３／ 、 ３２ 、３．３ 、３’１のうち選択さ
れた例えば薬液タンクｌ／のノ々ルブ３１を開く。する
とＮ、による加圧により薬液が薬液排出パイプｉｏｉ中
を流れて、薬液使用装置ｒに供給される・この薬液タン
クｌ／が空になると薬液ではなくＩｔが薬液排出パイプ
ｉｏｉを流れる。すると静電容量センサ２／は薬液がな
くなった旨の検出信号をセンサ入力部ｊに出力し、シー
ケンスコントローラｔは、この薬液タンク／／が空にな
ったことを知り、直ちにノ々ルゾ３／を閉じるとともに
、薬液が充填されている他の薬液タンクのノ々ルブ、例
えばノ々ルゾ３２を開くようノ々ルブコントロール部に
命令する。、ｅルプ３コが開くとＮ、による加圧により
薬液排出パイプ１０２中を薬液が流れ、薬液使用装置ざ
に供給される。次にこの薬液タンク／２が空になれば次
の薬液タンク／３．／グと切換えて同様の動作をおこな
う。
の薬液タンク／／ 、 ／２ 、 ／３ 、 ／！とも
薬液が充填されているとする。ノ々ルブ９／バク、 ？
、？ 、 ？’ｉＺを開いてＮ！により加圧する。ノ々
ルブ３／ 、 ３２ 、３．３ 、３’１のうち選択さ
れた例えば薬液タンクｌ／のノ々ルブ３１を開く。する
とＮ、による加圧により薬液が薬液排出パイプｉｏｉ中
を流れて、薬液使用装置ｒに供給される・この薬液タン
クｌ／が空になると薬液ではなくＩｔが薬液排出パイプ
ｉｏｉを流れる。すると静電容量センサ２／は薬液がな
くなった旨の検出信号をセンサ入力部ｊに出力し、シー
ケンスコントローラｔは、この薬液タンク／／が空にな
ったことを知り、直ちにノ々ルゾ３／を閉じるとともに
、薬液が充填されている他の薬液タンクのノ々ルブ、例
えばノ々ルゾ３２を開くようノ々ルブコントロール部に
命令する。、ｅルプ３コが開くとＮ、による加圧により
薬液排出パイプ１０２中を薬液が流れ、薬液使用装置ざ
に供給される。次にこの薬液タンク／２が空になれば次
の薬液タンク／３．／グと切換えて同様の動作をおこな
う。
このように本実施例によれば１本の薬液タンクがなくな
っても、とだえることなく薬液の供給を続けることがで
きる。また薬液タンク／／、／コ、１３゜／４’の交換
は、それぞれのバルブ？／ 、 ９り′、 ９３ 、怖
を閉じておこなえばよく、他の薬液タンクにより薬液が
供給されている間に交換作業をすることができる。
っても、とだえることなく薬液の供給を続けることがで
きる。また薬液タンク／／、／コ、１３゜／４’の交換
は、それぞれのバルブ？／ 、 ９り′、 ９３ 、怖
を閉じておこなえばよく、他の薬液タンクにより薬液が
供給されている間に交換作業をすることができる。
なお、先の実施例ではｖ本の薬液タンクを用意したが複
数本であれば倒木でもよい。また薬液を排出するのにＮ
、による加圧手段を用いたが、ポンプにより排出しても
よい。また薬液タンクが空になったことを検出する方法
としては、先の実施例による方法の他にタンク重量の減
少を検出する方法や、フロートスイッチを用いる方法で
もよい。
数本であれば倒木でもよい。また薬液を排出するのにＮ
、による加圧手段を用いたが、ポンプにより排出しても
よい。また薬液タンクが空になったことを検出する方法
としては、先の実施例による方法の他にタンク重量の減
少を検出する方法や、フロートスイッチを用いる方法で
もよい。
以上の通り本発明によれば、薬液を供給したままで薬液
タンクを交換することができ、薬液がある薬液タンクが
１本でもある限り交換する必要はないから、薬液タンク
の交換頻度を少な（することができる。特に薬液タンク
を交換していけば無制限の期間薬液を供給することがで
きるため、薬液使用装置を長時間稼動することができる
。さらに、薬液タンクをそのまま用いることができるの
で、ノミの混入等による品質低下を招くおそれもない。
タンクを交換することができ、薬液がある薬液タンクが
１本でもある限り交換する必要はないから、薬液タンク
の交換頻度を少な（することができる。特に薬液タンク
を交換していけば無制限の期間薬液を供給することがで
きるため、薬液使用装置を長時間稼動することができる
。さらに、薬液タンクをそのまま用いることができるの
で、ノミの混入等による品質低下を招くおそれもない。
図は本発明の一実施例による薬液供給装置のブロック図
である。 ／／ 、 ／２ 、 ／、３ 、 ／＋・・・薬液タン
ク、２／、−一、 Ｊ 、 、１１Ｉ・・・８１ 電界
ｔセンサ、、７／、、：？コ、 ３３ 、３ダ・・・バ
ルブ、デへ９Ｊ、 、 ９３ 、９１Ｉ・・・ノ々ルブ
、１０１ 、１０コ、 １０３ 、１０≠・・・薬液排
出パイプ。 出願人代理人 猪 股 清
である。 ／／ 、 ／２ 、 ／、３ 、 ／＋・・・薬液タン
ク、２／、−一、 Ｊ 、 、１１Ｉ・・・８１ 電界
ｔセンサ、、７／、、：？コ、 ３３ 、３ダ・・・バ
ルブ、デへ９Ｊ、 、 ９３ 、９１Ｉ・・・ノ々ルブ
、１０１ 、１０コ、 １０３ 、１０≠・・・薬液排
出パイプ。 出願人代理人 猪 股 清
Claims (1)
- 薬液が充填された複数の薬液タンクと、これら薬液タン
クが空になったことを検出する検出手段と、薬液を排出
する薬液タンクを、前記複数の薬液タンクから選択する
選択手段と、この選択手段により選択された薬液タンク
から薬液を排出して外部へ供給する薬液排出手段とを備
え、薬液が排出されている薬液タンクが空になったこと
を、前記検出手段により検出した場合に、薬液が充填さ
れた薬液タンクを、前記選択手段により選択することを
特徴とする薬液供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11796183A JPS6013691A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | 薬液供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11796183A JPS6013691A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | 薬液供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6013691A true JPS6013691A (ja) | 1985-01-24 |
Family
ID=14724536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11796183A Pending JPS6013691A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | 薬液供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6013691A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012513942A (ja) * | 2008-12-29 | 2012-06-21 | ゴジョ・インダストリーズ・インコーポレイテッド | 安価な無線周波数識別（ｒｆｉｄ）分与システム |
| US10459460B2 (en) | 2015-11-16 | 2019-10-29 | Gojo Industries, Inc. | Product reservoir validation system |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS585596A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-12 | Toshiba Corp | 容器ガスの供給方法 |
-
1983
- 1983-06-29 JP JP11796183A patent/JPS6013691A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS585596A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-12 | Toshiba Corp | 容器ガスの供給方法 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012513942A (ja) * | 2008-12-29 | 2012-06-21 | ゴジョ・インダストリーズ・インコーポレイテッド | 安価な無線周波数識別（ｒｆｉｄ）分与システム |
| US9357887B2 (en) | 2008-12-29 | 2016-06-07 | Gojo Industries, Inc. | Low cost radio frequency identification (RFID) dispensing systems |
| US10213063B2 (en) | 2008-12-29 | 2019-02-26 | Gojo Industries, Inc. | Low cost radio frequency identification (RFID) dispensing systems |
| US10791881B2 (en) | 2008-12-29 | 2020-10-06 | Gojo Industries, Inc. | Low cost radio frequency identification (RFID) dispensing systems |
| US11259671B2 (en) | 2008-12-29 | 2022-03-01 | Gojo Industries, Inc. | Low cost radio frequency identification (RFID) dispensing systems |
| US10459460B2 (en) | 2015-11-16 | 2019-10-29 | Gojo Industries, Inc. | Product reservoir validation system |
| US10996690B2 (en) | 2015-11-16 | 2021-05-04 | Gojo Industries, Inc. | Product reservoir validation system |
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