JPS601388A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
- Publication number
- JPS601388A JPS601388A JP10914483A JP10914483A JPS601388A JP S601388 A JPS601388 A JP S601388A JP 10914483 A JP10914483 A JP 10914483A JP 10914483 A JP10914483 A JP 10914483A JP S601388 A JPS601388 A JP S601388A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- panel
- gas
- cryopump
- baffle
- closed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はクライオポンプに係り、特に該クライオポンプ
内に蓄積した排気ガスを選択回収出来るクライオポンプ
に関する。
内に蓄積した排気ガスを選択回収出来るクライオポンプ
に関する。
第１図は各種気体の温度と蒸気圧との関係を示す蒸気圧
曲線であり、このグラフから判るようにクライオポンプ
内に設けられた複数段の冷却面の温度をそれぞれ変える
ことにより、各段の冷却面に凝縮捕獲される気体の種類
を変えることができる。
曲線であり、このグラフから判るようにクライオポンプ
内に設けられた複数段の冷却面の温度をそれぞれ変える
ことにより、各段の冷却面に凝縮捕獲される気体の種類
を変えることができる。
第２図はこの原理を応用したクライオポンプの従来構造
の一例を示したものであシ、クライオポンプケース１内
に冷却管２，３．４が配設されてお９、それぞれに冷媒
５，６．７が導入されている。これらの冷却管２，３．
４にはそれぞれ吸着部材の一つであるシェブロンバッフ
ル８，９および多孔質吸着剤パネル１０が固設されてい
る。また前記クライオポンプケースｌの入口側には入口
側ゲートバルブ１１を介して入口側ダクト１２が接続さ
れており、同じく出口側には出口側ゲートバルブ１３を
設けたクライオポンプ（図示せず）を介して出口側ダク
ト１４に接続されている。
の一例を示したものであシ、クライオポンプケース１内
に冷却管２，３．４が配設されてお９、それぞれに冷媒
５，６．７が導入されている。これらの冷却管２，３．
４にはそれぞれ吸着部材の一つであるシェブロンバッフ
ル８，９および多孔質吸着剤パネル１０が固設されてい
る。また前記クライオポンプケースｌの入口側には入口
側ゲートバルブ１１を介して入口側ダクト１２が接続さ
れており、同じく出口側には出口側ゲートバルブ１３を
設けたクライオポンプ（図示せず）を介して出口側ダク
ト１４に接続されている。
このように構成された従来構造のクライオポンプにおい
ては、例えば冷媒５に液体窒素を用い、冷媒６，７に液
体ヘリウムを用いると、シェフロンバッフル８は７７″
Ｋに、シェブロンバッフル９および多孔質吸着剤パネル
１０は４．２ ’Ｋに冷却されるから、入口側ダクト１
２からゲートパルプ１１を介して導かれる排気ガスの組
成を、例えば水蒸気（Ｈ２Ｏ）ａ１水素ガス（Ｉ−１２
） ｂ ｓ ヘリウムガス（Ｈｅ）Ｃの３種類と仮定す
れば、それぞれのガスａ、ｂ、 ｃｌｒ！図示の如くそ
れぞれ冷却面８，９゜ｌＯに凝縮捕獲される。この場合
クライオポンプの出口側に接続された出口側ゲートパル
プ１３は閉じられている。
ては、例えば冷媒５に液体窒素を用い、冷媒６，７に液
体ヘリウムを用いると、シェフロンバッフル８は７７″
Ｋに、シェブロンバッフル９および多孔質吸着剤パネル
１０は４．２ ’Ｋに冷却されるから、入口側ダクト１
２からゲートパルプ１１を介して導かれる排気ガスの組
成を、例えば水蒸気（Ｈ２Ｏ）ａ１水素ガス（Ｉ−１２
） ｂ ｓ ヘリウムガス（Ｈｅ）Ｃの３種類と仮定す
れば、それぞれのガスａ、ｂ、 ｃｌｒ！図示の如くそ
れぞれ冷却面８，９゜ｌＯに凝縮捕獲される。この場合
クライオポンプの出口側に接続された出口側ゲートパル
プ１３は閉じられている。
このクライオポンプはガスため込み式のポンプであるた
めに、冷却面における捕獲ガス量がある限度以上になる
と捕獲性能が落ちるため、捕獲ガスを回収再生する作業
を行う必要がある。このときに捕獲ガス中に有害ガスが
含まれる場合、あるいはその他の理由で各ガスを個別に
回収排気する必要が生じたときに、選択回収排気運転が
行われる。この選択回収排気運転とは、例えばガスＣの
みを個別に回収する場合、入口側ゲートパルプ１１を閉
じ、出口側ゲートパルプ１３を開き、ついで冷媒７の温
度をガスＣがパネル１０の表面よシ遊離するまで昇温し
、出口側ダクト１４およびその先に接続された排気ポン
プ（図示せず）によりガスＣを回収するものである。
めに、冷却面における捕獲ガス量がある限度以上になる
と捕獲性能が落ちるため、捕獲ガスを回収再生する作業
を行う必要がある。このときに捕獲ガス中に有害ガスが
含まれる場合、あるいはその他の理由で各ガスを個別に
回収排気する必要が生じたときに、選択回収排気運転が
行われる。この選択回収排気運転とは、例えばガスＣの
みを個別に回収する場合、入口側ゲートパルプ１１を閉
じ、出口側ゲートパルプ１３を開き、ついで冷媒７の温
度をガスＣがパネル１０の表面よシ遊離するまで昇温し
、出口側ダクト１４およびその先に接続された排気ポン
プ（図示せず）によりガスＣを回収するものである。
第３図は上記の選択回収排気の状態を示したものである
が、従来のクライオポンプの構造によると、まだ再生状
態に入っていないシェブロンバッフル９が、再生中の昇
温されたパネル１０の副剤熱によシある程度昇温してし
′まい、このシェブロンバッフル９に凝縮されたガスｂ
もある程度遊離してしまうという欠点があった。
が、従来のクライオポンプの構造によると、まだ再生状
態に入っていないシェブロンバッフル９が、再生中の昇
温されたパネル１０の副剤熱によシある程度昇温してし
′まい、このシェブロンバッフル９に凝縮されたガスｂ
もある程度遊離してしまうという欠点があった。
本発明は上述の点に匹みてなされたもので、その目的と
するところは、良好な選択回収排気を行うことのできる
クライオポンプを提供するにある。
するところは、良好な選択回収排気を行うことのできる
クライオポンプを提供するにある。
本発明はクライオポンプの吸着部材である冷却用パネル
とバッフル、あるいはバックル間に開閉可能なシャッタ
を設けて、再生状態に入ったパネルまたはバッフルから
の副剤熱による隣接バックルの昇温を防止することによ
シ、所期の目的を達成するように力したものである。
とバッフル、あるいはバックル間に開閉可能なシャッタ
を設けて、再生状態に入ったパネルまたはバッフルから
の副剤熱による隣接バックルの昇温を防止することによ
シ、所期の目的を達成するように力したものである。
以下本発明に係るクライオポンプの一実施例を図面を参
照して説明する。
照して説明する。
第４図および第５図に本発明の一実施例を示す。
第２．３図と同一部分は同一番号または同一記号で示し
である。第４図においてシェブロンバッフル８，９ｆａ
’ｌおよびシェブロンバッフル９とパネル１０間に、そ
れぞれ温度制御され開閉可能なシャッタ１５．１６が配
設されている。他の部分の構造は第２，３図に示す従来
例と同じである。
である。第４図においてシェブロンバッフル８，９ｆａ
’ｌおよびシェブロンバッフル９とパネル１０間に、そ
れぞれ温度制御され開閉可能なシャッタ１５．１６が配
設されている。他の部分の構造は第２，３図に示す従来
例と同じである。
上記のように構成された本発明の一実施例による動作を
以下に説明する。クライオポンプの通常排気時には排気
ガスは入口側ダクト１２から開いているゲートパルプ１
１ｒ介してクライオポンプケース１内に導かれ、排気ガ
スの成分であるガス”Ｉ ｂｌ Ｃはそれぞれ冷却面８
，９．１０に凝縮捕獲される。このときにはゲートパル
プ１３は閉じられている。
以下に説明する。クライオポンプの通常排気時には排気
ガスは入口側ダクト１２から開いているゲートパルプ１
１ｒ介してクライオポンプケース１内に導かれ、排気ガ
スの成分であるガス”Ｉ ｂｌ Ｃはそれぞれ冷却面８
，９．１０に凝縮捕獲される。このときにはゲートパル
プ１３は閉じられている。
クライオポンプ内に蓄積したガスを選択回収排気する場
合には、第５図に示す如くまず入口側ゲートパルプ１１
を閉じ出口側ゲートパルプ１３を開く。−例としてパネ
ル１０に凝縮しているガスＣを選択回収排気する場合は
、シャッタ１６を図示しない開閉機構によル閉じ、パネ
ル１０を昇温して吸着ガスＣをパネル１０より遊離し、
出口側ゲートパルプ１３を通って出口側ダクト１４に排
気する。この場合にシャッタ１６が閉じているのでパネ
ル１０の昇温による副剤熱が遮断され、シェブロンバッ
フル９の昇温ヲ防止シテハツフル９に凝縮しているガス
ｂの遊離を防止することができ、良好な選択回収排気を
可能にする。
合には、第５図に示す如くまず入口側ゲートパルプ１１
を閉じ出口側ゲートパルプ１３を開く。−例としてパネ
ル１０に凝縮しているガスＣを選択回収排気する場合は
、シャッタ１６を図示しない開閉機構によル閉じ、パネ
ル１０を昇温して吸着ガスＣをパネル１０より遊離し、
出口側ゲートパルプ１３を通って出口側ダクト１４に排
気する。この場合にシャッタ１６が閉じているのでパネ
ル１０の昇温による副剤熱が遮断され、シェブロンバッ
フル９の昇温ヲ防止シテハツフル９に凝縮しているガス
ｂの遊離を防止することができ、良好な選択回収排気を
可能にする。
シャロンバッフル８ｔたは９に凝縮しているガスａまた
はｂを選択回収排気する場合も同様である。
はｂを選択回収排気する場合も同様である。
上記のように本発明によれば、再生状態に入ったクライ
オポンプのパネルまたはバッフルからの副射熱を、シャ
ッタによって隣接バッフルに伝わるのを防止するように
したので、排気ガスの良好な選択回収排気を行うことが
でき、その効果は大である。
オポンプのパネルまたはバッフルからの副射熱を、シャ
ッタによって隣接バッフルに伝わるのを防止するように
したので、排気ガスの良好な選択回収排気を行うことが
でき、その効果は大である。
第１図は各種気体の蒸気圧曲線、第２図は従来構造例の
クライオポンプの排気時の動作説明図、第３図は同じく
再生時の動作説明図、第４図は本発明に係るクライオポ
ンプの一実施例による排気時の動作説明図、第５図は同
じく再生時の動作説明図でおる。 ｌ・・・クライオポンプケース、５，６．７・・・冷媒
、８．９“・°シェブロンバッフル、１０・・・多孔ｆ
＝１１１ｉ 着剤パネル、１１・・・入口側ゲートパル
プ、１２・・・入口側ダクト、１３・・・出口側ゲート
パルプ、１４・・・出口側ダクト、ａ、ｂ、Ｃ・・・排
気ガス、１５゜１６・・・シャッタ。 代理人 弁理士 高橋明夫 箔 １ の シ薔 曳 でｏＫ） 鵠 ２ 囚 活 ３の 端４０ ． Ｙ Ｓ目
クライオポンプの排気時の動作説明図、第３図は同じく
再生時の動作説明図、第４図は本発明に係るクライオポ
ンプの一実施例による排気時の動作説明図、第５図は同
じく再生時の動作説明図でおる。 ｌ・・・クライオポンプケース、５，６．７・・・冷媒
、８．９“・°シェブロンバッフル、１０・・・多孔ｆ
＝１１１ｉ 着剤パネル、１１・・・入口側ゲートパル
プ、１２・・・入口側ダクト、１３・・・出口側ゲート
パルプ、１４・・・出口側ダクト、ａ、ｂ、Ｃ・・・排
気ガス、１５゜１６・・・シャッタ。 代理人 弁理士 高橋明夫 箔 １ の シ薔 曳 でｏＫ） 鵠 ２ 囚 活 ３の 端４０ ． Ｙ Ｓ目
Claims (1)
- １、複数の成分からなるガスが導入されるケースと、こ
のケース内に設けられ、それぞれが異なるガスの成分を
凝縮・吸着する複数の吸着部材と、これら吸着部拐を冷
却する冷却管とを有するクライオポンプにおいて、前記
各吸着部月間に開閉自在なシャッタを設け、該シャッタ
は前記ケース内にガスを導入するときには各シャッタが
開放され、かつ、任意の前記吸着部月に吸着したガスを
回収するときには、この任意の吸着部材と隣接した吸着
部材間を閉じることを特徴とするクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10914483A JPS601388A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10914483A JPS601388A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | クライオポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS601388A true JPS601388A (ja) | 1985-01-07 |
Family
ID=14502716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10914483A Pending JPS601388A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS601388A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0377030A4 (en) * | 1988-06-02 | 1991-03-13 | Grumman Aerospace Corporation | Regenerable cryosorption pump with movable physical barrier and physical barrier thereof |
| JP2014153196A (ja) * | 2013-02-08 | 2014-08-25 | Natl Inst Of Radiological Sciences | １１ｃまたは１０ｃを含む気体化合物を生成する方法および装置 |
-
1983
- 1983-06-20 JP JP10914483A patent/JPS601388A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0377030A4 (en) * | 1988-06-02 | 1991-03-13 | Grumman Aerospace Corporation | Regenerable cryosorption pump with movable physical barrier and physical barrier thereof |
| JP2014153196A (ja) * | 2013-02-08 | 2014-08-25 | Natl Inst Of Radiological Sciences | １１ｃまたは１０ｃを含む気体化合物を生成する方法および装置 |
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