JPS6014121A - 層流素子 - Google Patents
層流素子Info
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- JPS6014121A JPS6014121A JP12304383A JP12304383A JPS6014121A JP S6014121 A JPS6014121 A JP S6014121A JP 12304383 A JP12304383 A JP 12304383A JP 12304383 A JP12304383 A JP 12304383A JP S6014121 A JPS6014121 A JP S6014121A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/48—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by a capillary element
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、例えば層流型流量計などに用いられる層流素
子の改良技術に関するものである。
子の改良技術に関するものである。
従米の代表的な層流素子として、多数本のキャピラリー
管を夕）管の内部に密に挿入させるものがあるが、内径
が０，１〜１，０πｍで肉厚が０．１〜０．５間ｔ１！
バ（の極く細いキャピラリー管を外管内に密に挿入する
には熟練を要しキャピラリー管の折れ曲りや挿入不足に
起因して流量特性の均質なものを得るには高度の技術を
要する。その上、管の端部を揃えるための加工が必要で
あると共に、流量特性は長さによって設定されるもので
あるからある程度長く作製しなければならない。
管を夕）管の内部に密に挿入させるものがあるが、内径
が０，１〜１，０πｍで肉厚が０．１〜０．５間ｔ１！
バ（の極く細いキャピラリー管を外管内に密に挿入する
には熟練を要しキャピラリー管の折れ曲りや挿入不足に
起因して流量特性の均質なものを得るには高度の技術を
要する。その上、管の端部を揃えるための加工が必要で
あると共に、流量特性は長さによって設定されるもので
あるからある程度長く作製しなければならない。
本発明は、流量特性の設定が容易で、しがも、素子間の
流量特性を均質化できるものを、製作容易にして提供せ
んとするものであり、即ち本発明による層流素子は、薄
板から成る層流素子構成部材の夫々に、キャピラリー流
路形成用の多数の孔を同一パターンで形成すると共に、
前記多数の孔の位相を合せるための位相合せ部を設け、
該層流素子構成部材の所定枚数を、それらのキャピラリ
ー流路孔の位相を合せた状態で重ね合せてユニット化さ
せた点に特徴がある。
流量特性を均質化できるものを、製作容易にして提供せ
んとするものであり、即ち本発明による層流素子は、薄
板から成る層流素子構成部材の夫々に、キャピラリー流
路形成用の多数の孔を同一パターンで形成すると共に、
前記多数の孔の位相を合せるための位相合せ部を設け、
該層流素子構成部材の所定枚数を、それらのキャピラリ
ー流路孔の位相を合せた状態で重ね合せてユニット化さ
せた点に特徴がある。
以下、本発明の実施例を図面に基いて説明する。
■ 先ず、第１図に示すように、ステンレス鋼や銅、ア
ルミニウムなどの金属やシリコン結晶ウェハ等の薄板か
ら成る円形の層流素子構成部材（］）の多数を用意する
。
ルミニウムなどの金属やシリコン結晶ウェハ等の薄板か
ら成る円形の層流素子構成部材（］）の多数を用意する
。
該構成部材（＋）の夫々には、キャピラリー流路形成用
の多数の孔（ａ）・・と、該多数の孔（ａ）・・の位相
を合せるための位相合せ部（ｂ）・・とが、既知の手段
（例えはフォトエツチング、エレクトロホーミング、放
電加工、プレス加工など口こよって同一／Ｎ６ターンで
形成されている。
の多数の孔（ａ）・・と、該多数の孔（ａ）・・の位相
を合せるための位相合せ部（ｂ）・・とが、既知の手段
（例えはフォトエツチング、エレクトロホーミング、放
電加工、プレス加工など口こよって同一／Ｎ６ターンで
形成されている。
尚、第１図において、前記孔（ａ）を六角形にし、位相
合ぜ部（ｂ）を円形にしているが、第４図に示すように
、孔（ａ）を円形にし、位相合せ部（ｂ）を凹部から形
成するなど変形可能であり、即ち形状は不問であるが、
第１図の構成による場合は、構成部材（１）の大きさの
割に孔（ａ）・・の総計の面積を大にでき、【７かも、
孔（ａ）自体は円形に近い状態となる。
合ぜ部（ｂ）を円形にしているが、第４図に示すように
、孔（ａ）を円形にし、位相合せ部（ｂ）を凹部から形
成するなど変形可能であり、即ち形状は不問であるが、
第１図の構成による場合は、構成部材（１）の大きさの
割に孔（ａ）・・の総計の面積を大にでき、【７かも、
孔（ａ）自体は円形に近い状態となる。
（〉）次に、第２図に示すように、少なくとも２木のね
じ＋２＋ ＋、 ＋２＋を用意して、該ねじ（２＋ 、
＋２＋に前記位相合ぜ部（ｂ）、Φ）を挿入させなが
ら、所望の流量特性を示すに相当する枚数の層流素子構
成部材（１）・・を重ね合わせ、該構成部材ｉ１１・・
を密接させるように前記ねじ＋２＋ 、 ’１２１にナ
ツトｉ３） 、 ｉ３）を螺合する。
じ＋２＋ ＋、 ＋２＋を用意して、該ねじ（２＋ 、
＋２＋に前記位相合ぜ部（ｂ）、Φ）を挿入させなが
ら、所望の流量特性を示すに相当する枚数の層流素子構
成部材（１）・・を重ね合わせ、該構成部材ｉ１１・・
を密接させるように前記ねじ＋２＋ 、 ’１２１にナ
ツトｉ３） 、 ｉ３）を螺合する。
（幻 もって、第３図に示すように、多数の孔（ａ）・
・が互いに連通したキャピラリー流路（５）・・を備え
る層流素子（Ｓ）を、所定枚数の構成部材（１）・・の
ユニット化によって作製するのである。
・が互いに連通したキャピラリー流路（５）・・を備え
る層流素子（Ｓ）を、所定枚数の構成部材（１）・・の
ユニット化によって作製するのである。
かかる構成によれば、層流素子構成部材（１）・・の枚
数設定によって流量特性を設定できるのであり、しかも
、各構成部材（１）の多数の孔（ａ）・・の位相が一致
しているので、常に所定数のキャピラリー流路＾・・を
正確に確保でき、即ち、層流素子＜Ｓ） 、 （Ｓｌ間
の流量特性を均質化できるのである。
数設定によって流量特性を設定できるのであり、しかも
、各構成部材（１）の多数の孔（ａ）・・の位相が一致
しているので、常に所定数のキャピラリー流路＾・・を
正確に確保でき、即ち、層流素子＜Ｓ） 、 （Ｓｌ間
の流量特性を均質化できるのである。
そして、上述の優れた機能を有する層流素子（Ｓ）を、
構成部材（１）・・の重ね合せによってユニット化する
だけで作製できるものであって、従来の外管に対するキ
ャピラリー管の密挿に比べて製作性が良好であり、その
上、量産化が可能であって延いてはコストダウンを達成
できるものである。
構成部材（１）・・の重ね合せによってユニット化する
だけで作製できるものであって、従来の外管に対するキ
ャピラリー管の密挿に比べて製作性が良好であり、その
上、量産化が可能であって延いてはコストダウンを達成
できるものである。
尚、前記層流素子構成部材（１）・・を金属製としてこ
れをユニット化した状態において、該ユニットを真空下
又は不活性ガス中で加熱並びに重ね合せ方向で加圧し、
構成部材（１）、（１）どうしを拡散接合させるも良く
、あるいは、構成部材ｆｌ）がシリコン結晶ウェハ等で
あれば、これの接合面に予め金膜などを設けておいて拡
り、接合させるも良い。
れをユニット化した状態において、該ユニットを真空下
又は不活性ガス中で加熱並びに重ね合せ方向で加圧し、
構成部材（１）、（１）どうしを拡散接合させるも良く
、あるいは、構成部材ｆｌ）がシリコン結晶ウェハ等で
あれば、これの接合面に予め金膜などを設けておいて拡
り、接合させるも良い。
以下、色５図乃至第７図に、例えば層流型流量計の支持
ｎ（４）に対する層流素子（Ｓ）のセット手段を示す。
ｎ（４）に対する層流素子（Ｓ）のセット手段を示す。
第５図は、支持筒（４）の大径部（４ａ）に層流素子（
５１を内装すると共に、支持筒（４）の挿入端部（４ｂ
）をカシメ加工して、該カシメ端ｍ（４ｂ）と段部端（
４Ｃ）とによって層流素子（Ｓ）を固定させるようにし
たものである。
５１を内装すると共に、支持筒（４）の挿入端部（４ｂ
）をカシメ加工して、該カシメ端ｍ（４ｂ）と段部端（
４Ｃ）とによって層流素子（Ｓ）を固定させるようにし
たものである。
第６図は、層流素子（Ｓｌを支持筒大径部（４ａ））こ
内装して後に、筒状の押しねじ（５）を前記大径部（４
ａ）に螺合させたもので、該押しねじ（５）と段部端（
４Ｃ）とによって層流素子（Ｓ）を挾若固定したもので
ある。
内装して後に、筒状の押しねじ（５）を前記大径部（４
ａ）に螺合させたもので、該押しねじ（５）と段部端（
４Ｃ）とによって層流素子（Ｓ）を挾若固定したもので
ある。
第７図は、層流素子（Ｓ）を支持筒大径部（４ａ）に内
押して後に、筒状スリーブ（６）を前記大径ｆ［４ａ）
に圧入さぜたもので、このスリーブ（６）と段部端（４
Ｃ）とによって層流素子（Ｓ）を挟着固定している。
押して後に、筒状スリーブ（６）を前記大径ｆ［４ａ）
に圧入さぜたもので、このスリーブ（６）と段部端（４
Ｃ）とによって層流素子（Ｓ）を挟着固定している。
尚、層流素子（Ｓ）の作製に際して、第８図に示すよう
に、厚さの愚なる構成部材０）を用意し、所定寸法に達
するまでは厚みの厚い構成部材（１）・・を重ね合せ、
厚みの薄い構成部材（１）・・によって所定寸法になる
ように寸法調整して、層流素子（Ｓ）を作製するも良い
。
に、厚さの愚なる構成部材０）を用意し、所定寸法に達
するまでは厚みの厚い構成部材（１）・・を重ね合せ、
厚みの薄い構成部材（１）・・によって所定寸法になる
ように寸法調整して、層流素子（Ｓ）を作製するも良い
。
以上説明したよ、うに本発明の層流素子によれば、流量
特性の設定が容易で、しかも素子間における流量特性の
均質化が図れ、その上、製作性に優れると共に、量産化
が容易であってコストダウンを達成できるものであり、
従来のキャピラリー管充填タイプのものと同じ形態の層
流素子を、製作容易かつ安価に、しかも特性の優れたも
のにして提供できるに至った。
特性の設定が容易で、しかも素子間における流量特性の
均質化が図れ、その上、製作性に優れると共に、量産化
が容易であってコストダウンを達成できるものであり、
従来のキャピラリー管充填タイプのものと同じ形態の層
流素子を、製作容易かつ安価に、しかも特性の優れたも
のにして提供できるに至った。
図面は本発明の実施例を示し、第１図は層流素子構成部
材の平面図、第２図は層流素子ユニット化の説明図、第
８図はユニット化した層流素子の側面図、第４図は層流
素子構成部材の別実施例の平面図、第５図乃至第７図は
夫々層流素子のセット態様の断面図、第８図は別実施例
の層流素子の側面図である。 （１）・・・層流素子イ苦成部材、＾・・キャピラリー
流路、（ａ）・・・キャピラリー流路形成用孔、（ｂし
・位相合せ部。 第１図 す 第２図 １ 第３図 第４図
材の平面図、第２図は層流素子ユニット化の説明図、第
８図はユニット化した層流素子の側面図、第４図は層流
素子構成部材の別実施例の平面図、第５図乃至第７図は
夫々層流素子のセット態様の断面図、第８図は別実施例
の層流素子の側面図である。 （１）・・・層流素子イ苦成部材、＾・・キャピラリー
流路、（ａ）・・・キャピラリー流路形成用孔、（ｂし
・位相合せ部。 第１図 す 第２図 １ 第３図 第４図
Claims (1)
- 薄板から成る層流素子構成部材の夫々に、キャピラリー
流路形成用の多数の孔を同一パターンで形成すると共に
、前記多数の孔の位相を合せるための位相合せ部を設け
、該層流素子構成Ｓ利の所定枚数を、それらのキャピラ
リー流路孔の位相を合せた状態で重ね合せてユニット化
して成る層流素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12304383A JPS6014121A (ja) | 1983-07-05 | 1983-07-05 | 層流素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12304383A JPS6014121A (ja) | 1983-07-05 | 1983-07-05 | 層流素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6014121A true JPS6014121A (ja) | 1985-01-24 |
| JPH0140300B2 JPH0140300B2 (ja) | 1989-08-28 |
Family
ID=14850791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12304383A Granted JPS6014121A (ja) | 1983-07-05 | 1983-07-05 | 層流素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6014121A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01272921A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-10-31 | Cosmo Keiki:Kk | 流量変換装置 |
| JPH01299416A (ja) * | 1988-05-26 | 1989-12-04 | Cosmo Keiki:Kk | 流量変換装置 |
| JP2001336958A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Stec Inc | 流量検出機構 |
| JP2006519997A (ja) * | 2003-03-12 | 2006-08-31 | ローズマウント インコーポレイテッド | マルチセンサを備えた流量装置 |
| JP2007086063A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-04-05 | Smc Corp | 流量計 |
| JP2007531931A (ja) * | 2004-02-27 | 2007-11-08 | 株式会社堀場エステック | フローリストリクタ |
| JP2009198243A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Yamatake Corp | 流量計 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2929248A (en) * | 1957-11-13 | 1960-03-22 | Bailey Meter Co | Flow meter |
| JPS49123071A (ja) * | 1973-03-16 | 1974-11-25 | ||
| JPS5336792A (en) * | 1976-09-17 | 1978-04-05 | Toyota Motor Corp | Machine tool |
| JPS53144371A (en) * | 1977-05-21 | 1978-12-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Flow meter |
-
1983
- 1983-07-05 JP JP12304383A patent/JPS6014121A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US2929248A (en) * | 1957-11-13 | 1960-03-22 | Bailey Meter Co | Flow meter |
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| JP2001336958A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Stec Inc | 流量検出機構 |
| JP2006519997A (ja) * | 2003-03-12 | 2006-08-31 | ローズマウント インコーポレイテッド | マルチセンサを備えた流量装置 |
| JP2007531931A (ja) * | 2004-02-27 | 2007-11-08 | 株式会社堀場エステック | フローリストリクタ |
| JP2007086063A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-04-05 | Smc Corp | 流量計 |
| JP2009198243A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Yamatake Corp | 流量計 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0140300B2 (ja) | 1989-08-28 |
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