JPH01272921A - 流量変換装置 - Google Patents
流量変換装置Info
- Publication number
- JPH01272921A JPH01272921A JP63103641A JP10364188A JPH01272921A JP H01272921 A JPH01272921 A JP H01272921A JP 63103641 A JP63103641 A JP 63103641A JP 10364188 A JP10364188 A JP 10364188A JP H01272921 A JPH01272921 A JP H01272921A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- pressure receiving
- receiving plate
- flow
- flow rate
- Prior art date
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- Granted
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- Measuring Volume Flow (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は例えば空気等の気体の流量を測定することに
用いる流量変換装置に関する。
用いる流量変換装置に関する。
「従来の技術」
本出願人は「特願昭61−6958号及び特願昭62−
.91548号」(二よって片持梁形の受圧板を用いた
流量変換装置を提案した。特願昭62−91548号は
片持梁形の受圧板(二上って流体の流量を測定する構造
に加えて流体の流路Cニバイパス路を設け、このバイパ
ス路に片持梁形の弁を設けて可変オリフィス構造とし、
流体の流量に応じてバイパス路を流れる流体の量を制御
させ、低流量域から大流量域までの測定レンジを広くで
きる構造とし、更に測定レンジの変更をバイパス路の直
径を変更するだけで行なうことができる構造とした点を
特徴とするものである。
.91548号」(二よって片持梁形の受圧板を用いた
流量変換装置を提案した。特願昭62−91548号は
片持梁形の受圧板(二上って流体の流量を測定する構造
に加えて流体の流路Cニバイパス路を設け、このバイパ
ス路に片持梁形の弁を設けて可変オリフィス構造とし、
流体の流量に応じてバイパス路を流れる流体の量を制御
させ、低流量域から大流量域までの測定レンジを広くで
きる構造とし、更に測定レンジの変更をバイパス路の直
径を変更するだけで行なうことができる構造とした点を
特徴とするものである。
「発明が解決しようとする課題」
先に提案した流量変換器はバイパス路(二片持梁形弁を
設けた構造としたから、この弁が流体の流れに応じて振
動することがあり、この弁の振動が被測定流体を振動さ
せ、この振動が測定用の片持梁形受圧仮に伝わり安定な
測定を行なうことができない現象が発生する欠点がある
。
設けた構造としたから、この弁が流体の流れに応じて振
動することがあり、この弁の振動が被測定流体を振動さ
せ、この振動が測定用の片持梁形受圧仮に伝わり安定な
測定を行なうことができない現象が発生する欠点がある
。
この発明の目的はバイパス路における弁の振動を除去し
、どの流量域でも安定した測定を行なうことができる流
量変換装置を提供するにある。
、どの流量域でも安定した測定を行なうことができる流
量変換装置を提供するにある。
「課題を解決するための手段」
この発明では被測定流体が流れる流路に測定用孔とバイ
パス用孔を設けると共に、測定用孔の下流側にこの孔を
通過した流体が板面にほぼ直交する向(−当るように配
置した片持梁形受圧板な設け、バイパス用孔(二流体の
aLれを層流化する細管を多数装着した構成としたもの
である。
パス用孔を設けると共に、測定用孔の下流側にこの孔を
通過した流体が板面にほぼ直交する向(−当るように配
置した片持梁形受圧板な設け、バイパス用孔(二流体の
aLれを層流化する細管を多数装着した構成としたもの
である。
この発明の構成によればバイパス路を構成する孔を通過
する流体は多数の細管を通じて層流化されて流れる。こ
の層流は流計が小流量から大流量に至る広い範囲にわた
って維持されるため、流体の流れに振動か発生すること
がない。
する流体は多数の細管を通じて層流化されて流れる。こ
の層流は流計が小流量から大流量に至る広い範囲にわた
って維持されるため、流体の流れに振動か発生すること
がない。
よって小流量から大流量に至る広い範囲にわたって安定
に測定を行なうことができるth量変換装置を得ること
ができる。
に測定を行なうことができるth量変換装置を得ること
ができる。
「実施例」
第1図乃至第4図にこの発明の一実施例を示す。
第] IJ+において1は被測定流体の流入口、2は被
測定流体の流出口を示し、被測定流体(気体)は矢印X
方向に流れる。
測定流体の流出口を示し、被測定流体(気体)は矢印X
方向に流れる。
3及び4は配管接続具、5は流量変換器本体、6は層流
プレートを示す。
プレートを示す。
流計変換器本体5は第2図に示すよう(二中夫に壁7を
有し、壁7の両側にバイパス路を構成する一対の三ケ月
状の透孔8A、8Bが形成され、壁7を貫通して測定用
透孔9が形成される。
有し、壁7の両側にバイパス路を構成する一対の三ケ月
状の透孔8A、8Bが形成され、壁7を貫通して測定用
透孔9が形成される。
測定用透孔9はヌリノト状とされ、この透孔9の下流側
に片持梁形受圧板11が設けられる。この片持梁形受圧
板11は磁性体から成るバネ祠によって形1戊され、そ
の偏位量は検出コイル12によって検出される。尚受圧
板11の他方の遊端側には補償コイル13が配置され、
温度補償が行なえるようにしている。また14は受圧板
11を1呆護するヌトノパープレートを示す。
に片持梁形受圧板11が設けられる。この片持梁形受圧
板11は磁性体から成るバネ祠によって形1戊され、そ
の偏位量は検出コイル12によって検出される。尚受圧
板11の他方の遊端側には補償コイル13が配置され、
温度補償が行なえるようにしている。また14は受圧板
11を1呆護するヌトノパープレートを示す。
この発明の特徴とする構造は層流プレート6にある。層
流プレート6は第3図に示すように全体が平板状(−形
成され、この平板状の層流プレート6にバイパス用孔8
A、8B+二連通する六角形状の透孔15Aと15Bを
形成する。また流量変換器本体5に設けた測定用透孔9
の下流側に孔16を形成する。
流プレート6は第3図に示すように全体が平板状(−形
成され、この平板状の層流プレート6にバイパス用孔8
A、8B+二連通する六角形状の透孔15Aと15Bを
形成する。また流量変換器本体5に設けた測定用透孔9
の下流側に孔16を形成する。
バイパス路を構成する透孔15A、15Bには流体の流
れを層流化するために多数の細管18を装着する。細管
18の直径は例えば1鵡程度とされる。この細管18を
流体が流れることによって流体の流れは層流化される。
れを層流化するために多数の細管18を装着する。細管
18の直径は例えば1鵡程度とされる。この細管18を
流体が流れることによって流体の流れは層流化される。
透孔]、 5 A 、 15 Bはそれぞれ六角形状と
した場合を示す。このように六角形状とすることによっ
て直径の小さい細管を安定(二収納させることができる
。つまり多数の管を束ねると、束ねた管の外周は自然に
六角形状(二なる。このため(皿孔15Aと15Bを六
角形に選定したものである。
した場合を示す。このように六角形状とすることによっ
て直径の小さい細管を安定(二収納させることができる
。つまり多数の管を束ねると、束ねた管の外周は自然に
六角形状(二なる。このため(皿孔15Aと15Bを六
角形に選定したものである。
「発明の効果」
思」−説明し定ようにこの発明によればバイパス路に多
数の細管18を設け、バイパスする流体は全てこの細管
18を通過する。流体が細W18を流れることによって
流体の流れは層流化され渦等の発生が抑えられ、流体が
振動することはない。
数の細管18を設け、バイパスする流体は全てこの細管
18を通過する。流体が細W18を流れることによって
流体の流れは層流化され渦等の発生が抑えられ、流体が
振動することはない。
よって受圧板11が振動することがなく安定に流量を電
気信号に変換することができる。
気信号に変換することができる。
然もこの発明によれば層流プレートの層流化動作は低流
量域ぶら大流量域(−至る広い範囲にわたって作用する
から、広い範囲(二わたって流量測定が可能な流量変換
器を提供することができる。
量域ぶら大流量域(−至る広い範囲にわたって作用する
から、広い範囲(二わたって流量測定が可能な流量変換
器を提供することができる。
第1図はこの発明の一実施例を説明するための断面図、
第2図はこの発明に用いた流量変換器本体の構造を説明
するための斜視図、第3図はこの発明に用いた層流プレ
ートの構造を説明するための斜視図、第4図は流量変換
器本体の要部の構造を説明するための拡大断面図である
。 1:被測定流体の流入口、2:出口、5:流量変換器本
体、6:層流プレート、7:壁、8A。 8B=バイパス用孔、9:測定用孔、11:片持梁形受
圧板、12:検出コイル、18:細管。 特許出願人 株式会社コスモ計器 代 理 人 草 野 卓へ
N1
手続補正吉: (自 発 ) 1、事件の表示 特願昭63−103641号2、発
明の名称 流量変換装置 3、補正をする老 事件との関係 特許出願人株式
会社 二1スモΔ]器 4、代 理 人 東京都新宿区新宿四丁目2番21号
相模ヒル (’n:h 03−350−6156)5
、補正の対象 明細書中発明の詳細な説明の欄お、J
−び図面 ンス補償」と訂正する。 (2)明細書5頁6行「細管18の直径は例えばl m
m 」を「細管18の内径は例えば(1,5mm 」と
aj止−Jる。 (3)図面第1図乃至第4図を添付図に訂正する。 以 」ニ
第2図はこの発明に用いた流量変換器本体の構造を説明
するための斜視図、第3図はこの発明に用いた層流プレ
ートの構造を説明するための斜視図、第4図は流量変換
器本体の要部の構造を説明するための拡大断面図である
。 1:被測定流体の流入口、2:出口、5:流量変換器本
体、6:層流プレート、7:壁、8A。 8B=バイパス用孔、9:測定用孔、11:片持梁形受
圧板、12:検出コイル、18:細管。 特許出願人 株式会社コスモ計器 代 理 人 草 野 卓へ
N1
手続補正吉: (自 発 ) 1、事件の表示 特願昭63−103641号2、発
明の名称 流量変換装置 3、補正をする老 事件との関係 特許出願人株式
会社 二1スモΔ]器 4、代 理 人 東京都新宿区新宿四丁目2番21号
相模ヒル (’n:h 03−350−6156)5
、補正の対象 明細書中発明の詳細な説明の欄お、J
−び図面 ンス補償」と訂正する。 (2)明細書5頁6行「細管18の直径は例えばl m
m 」を「細管18の内径は例えば(1,5mm 」と
aj止−Jる。 (3)図面第1図乃至第4図を添付図に訂正する。 以 」ニ
Claims (1)
- (1)A、被測定流体が流れる流路に設けた測定用孔及
びバイパス用孔と、 B、上記測定用孔の下流側に設けられ、透孔を通過した
流体が板面にほぼ直交する向に当るように配置した片持
梁形受圧板と、 C、この受圧板の変位量を測定する変位検出器と、 D、上記バイパス用孔に装着され、この透孔を通過する
流体の流れを層流化する複数の細管と、 によって構成した流量変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63103641A JPH01272921A (ja) | 1988-04-25 | 1988-04-25 | 流量変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63103641A JPH01272921A (ja) | 1988-04-25 | 1988-04-25 | 流量変換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01272921A true JPH01272921A (ja) | 1989-10-31 |
| JPH0512646B2 JPH0512646B2 (ja) | 1993-02-18 |
Family
ID=14359394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63103641A Granted JPH01272921A (ja) | 1988-04-25 | 1988-04-25 | 流量変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01272921A (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49148075U (ja) * | 1973-04-20 | 1974-12-20 | ||
| JPS5283254A (en) * | 1975-12-30 | 1977-07-12 | Tokyo Keiso Kk | Flowmeter |
| JPS5954926A (ja) * | 1982-09-22 | 1984-03-29 | Esutetsuku:Kk | 層流素子の製造方法 |
| JPS6014121A (ja) * | 1983-07-05 | 1985-01-24 | Esutetsuku:Kk | 層流素子 |
| JPS62165121A (ja) * | 1986-01-16 | 1987-07-21 | Cosmo Keiki:Kk | 流量変換装置 |
-
1988
- 1988-04-25 JP JP63103641A patent/JPH01272921A/ja active Granted
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49148075U (ja) * | 1973-04-20 | 1974-12-20 | ||
| JPS5283254A (en) * | 1975-12-30 | 1977-07-12 | Tokyo Keiso Kk | Flowmeter |
| JPS5954926A (ja) * | 1982-09-22 | 1984-03-29 | Esutetsuku:Kk | 層流素子の製造方法 |
| JPS6014121A (ja) * | 1983-07-05 | 1985-01-24 | Esutetsuku:Kk | 層流素子 |
| JPS62165121A (ja) * | 1986-01-16 | 1987-07-21 | Cosmo Keiki:Kk | 流量変換装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0512646B2 (ja) | 1993-02-18 |
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