JPH01272921A - 流量変換装置 - Google Patents

流量変換装置

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JPH01272921A
JPH01272921A JP63103641A JP10364188A JPH01272921A JP H01272921 A JPH01272921 A JP H01272921A JP 63103641 A JP63103641 A JP 63103641A JP 10364188 A JP10364188 A JP 10364188A JP H01272921 A JPH01272921 A JP H01272921A
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JP
Japan
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hole
pressure receiving
receiving plate
flow
flow rate
Prior art date
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Application number
JP63103641A
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English (en)
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JPH0512646B2 (ja
Inventor
Yoshifumi Uchiyama
義史 内山
Atsushi Tsuchiya
篤 土屋
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Cosmo Instruments Co Ltd
Original Assignee
Cosmo Instruments Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH01272921A publication Critical patent/JPH01272921A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は例えば空気等の気体の流量を測定することに
用いる流量変換装置に関する。
「従来の技術」 本出願人は「特願昭61−6958号及び特願昭62−
.91548号」(二よって片持梁形の受圧板を用いた
流量変換装置を提案した。特願昭62−91548号は
片持梁形の受圧板(二上って流体の流量を測定する構造
に加えて流体の流路Cニバイパス路を設け、このバイパ
ス路に片持梁形の弁を設けて可変オリフィス構造とし、
流体の流量に応じてバイパス路を流れる流体の量を制御
させ、低流量域から大流量域までの測定レンジを広くで
きる構造とし、更に測定レンジの変更をバイパス路の直
径を変更するだけで行なうことができる構造とした点を
特徴とするものである。
「発明が解決しようとする課題」 先に提案した流量変換器はバイパス路(二片持梁形弁を
設けた構造としたから、この弁が流体の流れに応じて振
動することがあり、この弁の振動が被測定流体を振動さ
せ、この振動が測定用の片持梁形受圧仮に伝わり安定な
測定を行なうことができない現象が発生する欠点がある
。
この発明の目的はバイパス路における弁の振動を除去し
、どの流量域でも安定した測定を行なうことができる流
量変換装置を提供するにある。
「課題を解決するための手段」 この発明では被測定流体が流れる流路に測定用孔とバイ
パス用孔を設けると共に、測定用孔の下流側にこの孔を
通過した流体が板面にほぼ直交する向(−当るように配
置した片持梁形受圧板な設け、バイパス用孔(二流体の
aLれを層流化する細管を多数装着した構成としたもの
である。
この発明の構成によればバイパス路を構成する孔を通過
する流体は多数の細管を通じて層流化されて流れる。こ
の層流は流計が小流量から大流量に至る広い範囲にわた
って維持されるため、流体の流れに振動か発生すること
がない。
よって小流量から大流量に至る広い範囲にわたって安定
に測定を行なうことができるth量変換装置を得ること
ができる。
「実施例」 第1図乃至第4図にこの発明の一実施例を示す。
第] IJ+において1は被測定流体の流入口、2は被
測定流体の流出口を示し、被測定流体(気体)は矢印X
方向に流れる。
3及び4は配管接続具、5は流量変換器本体、6は層流
プレートを示す。
流計変換器本体5は第2図に示すよう(二中夫に壁7を
有し、壁7の両側にバイパス路を構成する一対の三ケ月
状の透孔8A、8Bが形成され、壁7を貫通して測定用
透孔9が形成される。
測定用透孔9はヌリノト状とされ、この透孔9の下流側
に片持梁形受圧板11が設けられる。この片持梁形受圧
板11は磁性体から成るバネ祠によって形1戊され、そ
の偏位量は検出コイル12によって検出される。尚受圧
板11の他方の遊端側には補償コイル13が配置され、
温度補償が行なえるようにしている。また14は受圧板
11を1呆護するヌトノパープレートを示す。
この発明の特徴とする構造は層流プレート6にある。層
流プレート6は第3図に示すように全体が平板状(−形
成され、この平板状の層流プレート6にバイパス用孔8
A、8B+二連通する六角形状の透孔15Aと15Bを
形成する。また流量変換器本体5に設けた測定用透孔9
の下流側に孔16を形成する。
バイパス路を構成する透孔15A、15Bには流体の流
れを層流化するために多数の細管18を装着する。細管
18の直径は例えば1鵡程度とされる。この細管18を
流体が流れることによって流体の流れは層流化される。
透孔]、 5 A 、 15 Bはそれぞれ六角形状と
した場合を示す。このように六角形状とすることによっ
て直径の小さい細管を安定(二収納させることができる
。つまり多数の管を束ねると、束ねた管の外周は自然に
六角形状(二なる。このため(皿孔15Aと15Bを六
角形に選定したものである。
「発明の効果」 思」−説明し定ようにこの発明によればバイパス路に多
数の細管18を設け、バイパスする流体は全てこの細管
18を通過する。流体が細W18を流れることによって
流体の流れは層流化され渦等の発生が抑えられ、流体が
振動することはない。
よって受圧板11が振動することがなく安定に流量を電
気信号に変換することができる。
然もこの発明によれば層流プレートの層流化動作は低流
量域ぶら大流量域(−至る広い範囲にわたって作用する
から、広い範囲(二わたって流量測定が可能な流量変換
器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を説明するための断面図、
第2図はこの発明に用いた流量変換器本体の構造を説明
するための斜視図、第3図はこの発明に用いた層流プレ
ートの構造を説明するための斜視図、第4図は流量変換
器本体の要部の構造を説明するための拡大断面図である
。 1:被測定流体の流入口、2:出口、5:流量変換器本
体、6:層流プレート、7:壁、8A。 8B=バイパス用孔、9:測定用孔、11:片持梁形受
圧板、12:検出コイル、18:細管。 特許出願人  株式会社コスモ計器 代  理  人   草   野      卓へ  
                       N1
手続補正吉: (自  発  ) 1、事件の表示  特願昭63−103641号2、発
明の名称  流量変換装置 3、補正をする老 事件との関係   特許出願人株式
会社 二1スモΔ]器 4、代 理 人  東京都新宿区新宿四丁目2番21号
相模ヒル (’n:h  03−350−6156)5
、補正の対象  明細書中発明の詳細な説明の欄お、J
−び図面 ンス補償」と訂正する。 (2)明細書5頁6行「細管18の直径は例えばl m
m 」を「細管18の内径は例えば(1,5mm 」と
aj止−Jる。 (3)図面第1図乃至第4図を添付図に訂正する。 以  」ニ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)A、被測定流体が流れる流路に設けた測定用孔及
    びバイパス用孔と、 B、上記測定用孔の下流側に設けられ、透孔を通過した
    流体が板面にほぼ直交する向に当るように配置した片持
    梁形受圧板と、 C、この受圧板の変位量を測定する変位検出器と、 D、上記バイパス用孔に装着され、この透孔を通過する
    流体の流れを層流化する複数の細管と、 によって構成した流量変換装置。
JP63103641A 1988-04-25 1988-04-25 流量変換装置 Granted JPH01272921A (ja)

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JP63103641A JPH01272921A (ja) 1988-04-25 1988-04-25 流量変換装置

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JP63103641A JPH01272921A (ja) 1988-04-25 1988-04-25 流量変換装置

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JPH01272921A true JPH01272921A (ja) 1989-10-31
JPH0512646B2 JPH0512646B2 (ja) 1993-02-18

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ID=14359394

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JP63103641A Granted JPH01272921A (ja) 1988-04-25 1988-04-25 流量変換装置

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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49148075U (ja) * 1973-04-20 1974-12-20
JPS5283254A (en) * 1975-12-30 1977-07-12 Tokyo Keiso Kk Flowmeter
JPS5954926A (ja) * 1982-09-22 1984-03-29 Esutetsuku:Kk 層流素子の製造方法
JPS6014121A (ja) * 1983-07-05 1985-01-24 Esutetsuku:Kk 層流素子
JPS62165121A (ja) * 1986-01-16 1987-07-21 Cosmo Keiki:Kk 流量変換装置

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JPH0512646B2 (ja) 1993-02-18

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