JPS60145531A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS60145531A JPS60145531A JP123084A JP123084A JPS60145531A JP S60145531 A JPS60145531 A JP S60145531A JP 123084 A JP123084 A JP 123084A JP 123084 A JP123084 A JP 123084A JP S60145531 A JPS60145531 A JP S60145531A
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- ferromagnetic material
- ferromagnetic
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- cylindrical
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は強磁性金属薄１模層を記録層とする磁気記録
媒体の製造方法に関し、その目的とするところは可及的
に均一な厚みの強磁性金属薄膜層を有する前記の磁気記
録媒体の製造方法を提供することにある。
媒体の製造方法に関し、その目的とするところは可及的
に均一な厚みの強磁性金属薄膜層を有する前記の磁気記
録媒体の製造方法を提供することにある。
強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒体は、通常
、ポリエステルフィルムなどの基板を、真空槽内に取り
つけた円筒状キャンの周側面に沿って移動させ、この基
板に強磁性材を真空蒸着することによってつくられてお
り、磁気特性にぼれた前記の磁気記録媒体を製造する場
合には、円筒状キャンと強磁性相蒸発源との間に防着板
を設＆Ｊて強磁性材の蒸気流を一部遮Ｌｌｊｉ調整し、
基板に対して斜め方向に差し向けたりすることか行われ
ている。
、ポリエステルフィルムなどの基板を、真空槽内に取り
つけた円筒状キャンの周側面に沿って移動させ、この基
板に強磁性材を真空蒸着することによってつくられてお
り、磁気特性にぼれた前記の磁気記録媒体を製造する場
合には、円筒状キャンと強磁性相蒸発源との間に防着板
を設＆Ｊて強磁性材の蒸気流を一部遮Ｌｌｊｉ調整し、
基板に対して斜め方向に差し向けたりすることか行われ
ている。
ところが、従来から斜め入射蒸着等を行うため、円筒状
キャンと強磁性材蒸発源との間に設りられている防着板
は、銅あるいはステンレス製で内部に冷却水を流通さ・
Ｕたものか用いられ、真空蒸着時の非常な高温によって
溶けたりしないように２０℃前後の室温以下に水冷し゛
Ｃ使用されているため、強磁性材蒸発源からの非常に温
度の高い強磁性材の蒸気流がこの防着板によって一部遮
…ｉ ａ整されると、防着板に蒸気流の一部が付着して
空隙の多い多孔質の付着物が形成され、長時間遮断調整
が行われると、防着板に付着したこの多孔質の強磁性材
からなる付着物により防着板の先端が膨出して強磁性材
の蒸気流の基板に対する入射角度の制限範囲が変化し、
基板」二に形成される強磁性金属薄膜層の層厚が均一に
ならず、磁気特性も均一なものがｉＭられないという欠
点があった。
キャンと強磁性材蒸発源との間に設りられている防着板
は、銅あるいはステンレス製で内部に冷却水を流通さ・
Ｕたものか用いられ、真空蒸着時の非常な高温によって
溶けたりしないように２０℃前後の室温以下に水冷し゛
Ｃ使用されているため、強磁性材蒸発源からの非常に温
度の高い強磁性材の蒸気流がこの防着板によって一部遮
…ｉ ａ整されると、防着板に蒸気流の一部が付着して
空隙の多い多孔質の付着物が形成され、長時間遮断調整
が行われると、防着板に付着したこの多孔質の強磁性材
からなる付着物により防着板の先端が膨出して強磁性材
の蒸気流の基板に対する入射角度の制限範囲が変化し、
基板」二に形成される強磁性金属薄膜層の層厚が均一に
ならず、磁気特性も均一なものがｉＭられないという欠
点があった。
この発明はかかる欠点を解消するため種々検問を行った
結果なされたもので、真空槽内の円筒状キャンと強磁性
材蒸発源との間に配設する防着板としζ、内部に熱オイ
ルを流通させて２００〜５００°Ｃの温度に加熱制御で
きるようにした防着板を使用し、この加熱制御された防
着板により、強磁性材蒸発源から円筒状キャンの周側面
に沿って移動する基板に差し向けられる蒸気流を一部遮
断調整することによって、防着板に何着する強磁性材か
らなるイ１着着物内空隙ができて多孔質になるのを良好
に防止し、防着板先端の膨出を良好に抑制して、所期の
目的を達成したものである。
結果なされたもので、真空槽内の円筒状キャンと強磁性
材蒸発源との間に配設する防着板としζ、内部に熱オイ
ルを流通させて２００〜５００°Ｃの温度に加熱制御で
きるようにした防着板を使用し、この加熱制御された防
着板により、強磁性材蒸発源から円筒状キャンの周側面
に沿って移動する基板に差し向けられる蒸気流を一部遮
断調整することによって、防着板に何着する強磁性材か
らなるイ１着着物内空隙ができて多孔質になるのを良好
に防止し、防着板先端の膨出を良好に抑制して、所期の
目的を達成したものである。
この発明によれば、防着板の内部に熱オイルを流通させ
て２００〜５００°Ｃの温度に防着板を加熱制御してい
るため、強磁性材蒸発源から円筒状キャンの周側面に沿
って移動する基板に差しｉｉ農ノられる非當に高温の蒸
気流がこの防着板に遮…１されると、強磁性材が防着板
に緻密に付着してイ」着物内にほとんど空隙が生ぜず、
従って、強磁性＋Ｊの蒸気流がこの防着板によって長時
間遮断調整されても、蒸気流の一部が防着板に（ＮＪ着
して防着板の先端が膨出し、強磁性材の蒸気流の基板に
対する入射角度の制限範囲か変化するということもなく
、基板上に形成される強磁性金属薄膜層は層厚の均一な
ものが（↓Ｉられ、磁気特性か均一な強磁代金１７ｉ薄
股層が形成される。
て２００〜５００°Ｃの温度に防着板を加熱制御してい
るため、強磁性材蒸発源から円筒状キャンの周側面に沿
って移動する基板に差しｉｉ農ノられる非當に高温の蒸
気流がこの防着板に遮…１されると、強磁性材が防着板
に緻密に付着してイ」着物内にほとんど空隙が生ぜず、
従って、強磁性＋Ｊの蒸気流がこの防着板によって長時
間遮断調整されても、蒸気流の一部が防着板に（ＮＪ着
して防着板の先端が膨出し、強磁性材の蒸気流の基板に
対する入射角度の制限範囲か変化するということもなく
、基板上に形成される強磁性金属薄膜層は層厚の均一な
ものが（↓Ｉられ、磁気特性か均一な強磁代金１７ｉ薄
股層が形成される。
以下、図面を参照しながらこの発明について説明する。
第１図は真空蒸着装置の断面図をボしたものであり、■
は真空槽でこの真空槽ｌの内部は排気系２により排気さ
れて真空に保持される。３は真空槽１の中央ｆｌｌｓに
配設された円筒状キャンであり、ポリエステルフィルム
等の基板４は原反ロール５よりこの円筒状キャン３の周
側面に沿って移動し、巻き取りロール６に巻き取られる
。この間円筒状キャン３の周側面に沿って移動する基板
４に対向して真空槽ｌの下底に配設された強磁性＋Ａ蒸
発？ｙＡ７で強磁性材８が加熱蒸発され、蒸気流Ａが基
板４に差し向けられるが、この蒸気流Ａは真空槽１内に
加熱制御されて配設された防着板９によって一部遮断調
整され、基板４に対して斜め入射蒸着が行われる。
は真空槽でこの真空槽ｌの内部は排気系２により排気さ
れて真空に保持される。３は真空槽１の中央ｆｌｌｓに
配設された円筒状キャンであり、ポリエステルフィルム
等の基板４は原反ロール５よりこの円筒状キャン３の周
側面に沿って移動し、巻き取りロール６に巻き取られる
。この間円筒状キャン３の周側面に沿って移動する基板
４に対向して真空槽ｌの下底に配設された強磁性＋Ａ蒸
発？ｙＡ７で強磁性材８が加熱蒸発され、蒸気流Ａが基
板４に差し向けられるが、この蒸気流Ａは真空槽１内に
加熱制御されて配設された防着板９によって一部遮断調
整され、基板４に対して斜め入射蒸着が行われる。
ここで、真空槽１内の円１θ１状キャン３と強磁性材蒸
発源７との間に配設された防着板９は、内部に加熱され
た熱オイルが流通されており、この熱オイルによって防
着板９の温度は２００〜５００℃の範囲内で適宜の温度
に調整され、保持される。ｉｊＬって強磁性材蒸発源７
で加熱蒸発された強磁性（１の蒸気流Ａは、このように
加熱制御された防着板９により一部遮断１！ａ整されて
斜め入射蒸着が行われ、このような加熱された防着板９
には強磁性」４がｍ密に何着して付着物内に空隙が生じ
ることもないため、防着板９の先端が膨出するというこ
ともな（、その結果蒸気流Ａの基板４に対する入射角度
は変化せず、基板４上には均一なｌｉみの強磁性金属薄
膜層が良好に形成され、磁気特性か均一で良好な磁気記
録媒体がｉＶられる。このような防着板９の熱オイルに
よる温度調整は、２００°Ｃより低いと強磁性１Ａの蒸
気流へを一部遮断調整する際、防着板９にイ」着する強
磁性材からなるイ］着着物内空隙が生じて多孔質になる
のを良好に抑制できず、５００℃よりｉｎ」いと円筒状
キャン３の周側面に沿っ゛Ｃ移動するＮｔｋｌｋ４上に
形成される強磁性金属薄膜層に輻射熱が作用して悪影響
を及はずため、２００〜５００°Ｃの範囲内で行うのが
好ましい。また防着板９の材質は銅、ステンレ等の金属
製ものが好ましく使用される。
発源７との間に配設された防着板９は、内部に加熱され
た熱オイルが流通されており、この熱オイルによって防
着板９の温度は２００〜５００℃の範囲内で適宜の温度
に調整され、保持される。ｉｊＬって強磁性材蒸発源７
で加熱蒸発された強磁性（１の蒸気流Ａは、このように
加熱制御された防着板９により一部遮断１！ａ整されて
斜め入射蒸着が行われ、このような加熱された防着板９
には強磁性」４がｍ密に何着して付着物内に空隙が生じ
ることもないため、防着板９の先端が膨出するというこ
ともな（、その結果蒸気流Ａの基板４に対する入射角度
は変化せず、基板４上には均一なｌｉみの強磁性金属薄
膜層が良好に形成され、磁気特性か均一で良好な磁気記
録媒体がｉＶられる。このような防着板９の熱オイルに
よる温度調整は、２００°Ｃより低いと強磁性１Ａの蒸
気流へを一部遮断調整する際、防着板９にイ」着する強
磁性材からなるイ］着着物内空隙が生じて多孔質になる
のを良好に抑制できず、５００℃よりｉｎ」いと円筒状
キャン３の周側面に沿っ゛Ｃ移動するＮｔｋｌｋ４上に
形成される強磁性金属薄膜層に輻射熱が作用して悪影響
を及はずため、２００〜５００°Ｃの範囲内で行うのが
好ましい。また防着板９の材質は銅、ステンレ等の金属
製ものが好ましく使用される。
第２図は、この発明の防着板の他の使用例を示したもの
で、この第２図に示１゛真空蒸着装置は円筒状キャン３
と強磁性４Ａ蒸発源７との間に左右一対の防着板９１お
よび９２を配設し、強磁性４．ｔ Ｆ＋発源を円筒状キ
ャン３の真下に配設した以外は、第１図に示す真空蒸着
装置と全（同じで、防着板９１および９２が内部に流通
させた４；１）オイルによリ２００〜５００℃の範囲内
のｌ温度で温度調整が行われることも同じである。この
第２図に示すように、真空蒸着装置に配設される防着板
は必ずしも斜め入射蒸着を行う場合のみ配設されて使用
されるものではなく、第２図に示すような真空蒸着を行
う場合にも使用され、この場合も前記第１図に示す真空
蒸着装置の場合と同様な効果が１４られる。
で、この第２図に示１゛真空蒸着装置は円筒状キャン３
と強磁性４Ａ蒸発源７との間に左右一対の防着板９１お
よび９２を配設し、強磁性４．ｔ Ｆ＋発源を円筒状キ
ャン３の真下に配設した以外は、第１図に示す真空蒸着
装置と全（同じで、防着板９１および９２が内部に流通
させた４；１）オイルによリ２００〜５００℃の範囲内
のｌ温度で温度調整が行われることも同じである。この
第２図に示すように、真空蒸着装置に配設される防着板
は必ずしも斜め入射蒸着を行う場合のみ配設されて使用
されるものではなく、第２図に示すような真空蒸着を行
う場合にも使用され、この場合も前記第１図に示す真空
蒸着装置の場合と同様な効果が１４られる。
基板としては、ポリエステル、ポリイミド”、ポリアミ
ド等一般に使用されている高分子成形物からなるプラス
チックフィルムおよび銅などの非磁性金属が使用され、
また、強磁性金属薄膜層を形成する強磁性相としては、
コバルト、ニッケル、鉄などの金属単体の他、これらの
合金あるいは酸化物、およびＣｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ −
Ｐなど一般に使用される強磁性相がいずれも使用される
。
ド等一般に使用されている高分子成形物からなるプラス
チックフィルムおよび銅などの非磁性金属が使用され、
また、強磁性金属薄膜層を形成する強磁性相としては、
コバルト、ニッケル、鉄などの金属単体の他、これらの
合金あるいは酸化物、およびＣｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ −
Ｐなど一般に使用される強磁性相がいずれも使用される
。
次に、この発明の実施例について説明する。
実施例１
第１図に示すような真空蒸着装置を使用し、厚さが１０
μ厚のポリエステルベースフィルム４を、原反ロール５
から円筒状キャン３の周側面に沿って移動させ、巻き取
りロール６に巻き取るようにセットするとともに、強磁
性材蒸発源７にコバルト８をセソトシた。次いで排気糸
２て真空槽１内を約５×１０″５トールにまで真空排気
し、銅製の防着板９の温度を３００℃にｌｌ整して強磁
性材蒸発源７内のコバルト８を加熱蒸発させ、ポリエス
テルベースフィルム４の走行速度１０ ｒｎ ／ ｓｅ
ｃで真空蒸着を行い、ポリエステルヘ−スフイルム４上
にコバルトからなる強磁性金属薄膜層を形成した。しか
る後、所定のＩＩＪに裁断して磁気テープをつくった。
μ厚のポリエステルベースフィルム４を、原反ロール５
から円筒状キャン３の周側面に沿って移動させ、巻き取
りロール６に巻き取るようにセットするとともに、強磁
性材蒸発源７にコバルト８をセソトシた。次いで排気糸
２て真空槽１内を約５×１０″５トールにまで真空排気
し、銅製の防着板９の温度を３００℃にｌｌ整して強磁
性材蒸発源７内のコバルト８を加熱蒸発させ、ポリエス
テルベースフィルム４の走行速度１０ ｒｎ ／ ｓｅ
ｃで真空蒸着を行い、ポリエステルヘ−スフイルム４上
にコバルトからなる強磁性金属薄膜層を形成した。しか
る後、所定のＩＩＪに裁断して磁気テープをつくった。
実施例２
実施例１において、防着Ｕ９．９の温度を２００℃に調
整した以外は実施例１と同様にして磁気テープをつくっ
た。
整した以外は実施例１と同様にして磁気テープをつくっ
た。
実施例３
実施例１において、防着板９の温度を５００°Ｃに調整
した以外は実施例１と同様にして磁気テープをつくった
。
した以外は実施例１と同様にして磁気テープをつくった
。
比較例Ｉ
実施例１において、防着板９に代えて従来の水冷式防着
板を使用し、防着板の温度を２０℃に調整した以外は実
施例１と同様にして磁気テープをつ く っ ノこ。
板を使用し、防着板の温度を２０℃に調整した以外は実
施例１と同様にして磁気テープをつ く っ ノこ。
各実施例および比較例で得られた磁気テープについて、
真空蒸着開始時から２５００ ｍの走行長さに旦って強
磁性金属薄１１Ｑ屓の厚みを測定した。
真空蒸着開始時から２５００ ｍの走行長さに旦って強
磁性金属薄１１Ｑ屓の厚みを測定した。
第３図はその結果をグラフで表したものでグラフΔは実
施例１で得られたω磁気テープ、グラフＢは実施例２で
得られた磁気テープ、グラフＣは実施例３で得られた磁
気テープ、グラフＤは比較例１でｉνＩられた磁気テー
プをボす。これらのグラフから明らかなように比較例１
で得られた磁気テープ（グラフＤ）は走行長さが長くな
るにｆｊＬって強磁性金属薄膜層の厚みが次第に薄くな
るが、実施例１〜３で（ｑられた磁気テープ（グラフＡ
、Ｂ、Ｃ）は強磁性金属薄膜ｊ−の厚みかほとんど変わ
らないかあるいは若干薄くなる程度であり、このことか
らこの発明の製造方法によれば、防着板に付着される強
磁性相からなる付着物内に空隙がほとんど生ぜず、空孔
の生起が抑制される結果、均一な厚みの強磁性金属薄膜
層を有する磁気記録媒体が得られるのがわかる。
施例１で得られたω磁気テープ、グラフＢは実施例２で
得られた磁気テープ、グラフＣは実施例３で得られた磁
気テープ、グラフＤは比較例１でｉνＩられた磁気テー
プをボす。これらのグラフから明らかなように比較例１
で得られた磁気テープ（グラフＤ）は走行長さが長くな
るにｆｊＬって強磁性金属薄膜層の厚みが次第に薄くな
るが、実施例１〜３で（ｑられた磁気テープ（グラフＡ
、Ｂ、Ｃ）は強磁性金属薄膜ｊ−の厚みかほとんど変わ
らないかあるいは若干薄くなる程度であり、このことか
らこの発明の製造方法によれば、防着板に付着される強
磁性相からなる付着物内に空隙がほとんど生ぜず、空孔
の生起が抑制される結果、均一な厚みの強磁性金属薄膜
層を有する磁気記録媒体が得られるのがわかる。
第１図はこの発明の製造方法を実施するために使用する
真空蒸着装置の１例を示す概略断面図、第２図は同真空
蒸着装置のその他の例をボず概略断面図、第３図はこの
発明の製造方法によっζ得られた磁気記録媒体の強磁性
金１、・Ｊ會ｊ１７股層の層厚と走行長さとの関係図で
ある。 ■・・・真空槽、３・・・円筒状キャン４・・・基板、
７・・・強磁性材蒸発源、 ８・・・強磁性４Ａ、９，
９１．９２・・・防着板、Ａ・・・蒸気流 特許出願人 目立マクセル株式会社 代理人 高岡−春（−、＋７．”！−”′”″、−、′
、’１ 、ン−１ 魯゛豐−ｉ１ 第 １ 図 第２図
真空蒸着装置の１例を示す概略断面図、第２図は同真空
蒸着装置のその他の例をボず概略断面図、第３図はこの
発明の製造方法によっζ得られた磁気記録媒体の強磁性
金１、・Ｊ會ｊ１７股層の層厚と走行長さとの関係図で
ある。 ■・・・真空槽、３・・・円筒状キャン４・・・基板、
７・・・強磁性材蒸発源、 ８・・・強磁性４Ａ、９，
９１．９２・・・防着板、Ａ・・・蒸気流 特許出願人 目立マクセル株式会社 代理人 高岡−春（−、＋７．”！−”′”″、−、′
、’１ 、ン−１ 魯゛豐−ｉ１ 第 １ 図 第２図
Claims (1)
- １、真空槽内に、円筒状キャンとこの円筒状キャンに対
向する強磁性材蒸発源とを配設してなる真空蒸着装置に
おいて、円筒状キャンと強磁性材蒸発源との間に２００
〜５００℃の温度に加熱制御した防着板を配設し、この
防着板により、強磁性材蒸発源から円筒状キャンの周側
面に沿って移動する基板に差しｌｉｉ農すられる強磁性
月の蒸気流を一部遮断調整して差し向け、基板上に強磁
性金属薄膜層を形成することを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP123084A JPS60145531A (ja) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP123084A JPS60145531A (ja) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60145531A true JPS60145531A (ja) | 1985-08-01 |
Family
ID=11495665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP123084A Pending JPS60145531A (ja) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60145531A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5601652A (en) * | 1989-08-03 | 1997-02-11 | United Technologies Corporation | Apparatus for applying ceramic coatings |
| WO2015025782A1 (ja) * | 2013-08-21 | 2015-02-26 | コニカミノルタ株式会社 | ガスバリアーフィルムの製造装置及びガスバリアーフィルムの製造方法 |
-
1984
- 1984-01-06 JP JP123084A patent/JPS60145531A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5601652A (en) * | 1989-08-03 | 1997-02-11 | United Technologies Corporation | Apparatus for applying ceramic coatings |
| WO2015025782A1 (ja) * | 2013-08-21 | 2015-02-26 | コニカミノルタ株式会社 | ガスバリアーフィルムの製造装置及びガスバリアーフィルムの製造方法 |
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