JPS60145541A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS60145541A JPS60145541A JP64884A JP64884A JPS60145541A JP S60145541 A JPS60145541 A JP S60145541A JP 64884 A JP64884 A JP 64884A JP 64884 A JP64884 A JP 64884A JP S60145541 A JPS60145541 A JP S60145541A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- substrate
- recording medium
- thin
- magneto
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims abstract description 8
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 claims abstract description 4
- 229910001004 magnetic alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 18
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 12
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 abstract description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 abstract description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 abstract 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000005374 Kerr effect Effects 0.000 description 2
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 241000282465 Canis Species 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の分野)
本発明は光磁気メモリー、磁気記録および表示素子等に
用いられる光磁気記録媒体、特に磁気カー効果もしくは
ファラデー効果等の磁気光学効果を用いて記録情報を読
み出づことのできるフィルム状あるいはテープ状の磁性
薄膜記録媒体に関Jるものである。
用いられる光磁気記録媒体、特に磁気カー効果もしくは
ファラデー効果等の磁気光学効果を用いて記録情報を読
み出づことのできるフィルム状あるいはテープ状の磁性
薄膜記録媒体に関Jるものである。
(従来技術)
磁界を変化させることにより情報が書き込まれ、磁気カ
ー効果あるいはファラデー効果等の磁気光学効果により
情報が読み出される光磁気記録媒体か知られている。
ー効果あるいはファラデー効果等の磁気光学効果により
情報が読み出される光磁気記録媒体か知られている。
このような光磁気記録媒体は、これまでGdCo、Gd
Fe、’l−b Fe、Gd l’b Fe。
Fe、’l−b Fe、Gd l’b Fe。
1”bFeco等の非晶質磁性合金からなるit911
31を、ガラス、ポリメチルメタクリレ−1−(PMM
A)、ポリカーボネート(PC)等の用撓性のない硬質
′の基板上に積層して形成されてきた。このようにして
形成された硬質ディスクは消去可能な高密度記録媒体と
して優れたものと考えられている。
31を、ガラス、ポリメチルメタクリレ−1−(PMM
A)、ポリカーボネート(PC)等の用撓性のない硬質
′の基板上に積層して形成されてきた。このようにして
形成された硬質ディスクは消去可能な高密度記録媒体と
して優れたものと考えられている。
しかしながら、このような光磁気記録媒体は基板の変形
加工が困難であるために形状が限られてJメリ、例えば
フィルム状やテープ状の形状とづることは不可能であっ
た。したがって、その用途も制限されたものとなってい
る。
加工が困難であるために形状が限られてJメリ、例えば
フィルム状やテープ状の形状とづることは不可能であっ
た。したがって、その用途も制限されたものとなってい
る。
また、硬質ディスクを製造づ−る際には予め最終形状に
成形したガラス等の基板を洗浄処理し、バッチ式スパッ
タ装置もしくは蒸着装置で1枚ずつ簿膜形成しなければ
ならず、大儀生産が不可能である。特に、下地処理層、
反射層、誘電体層、保護層等を薄層に設【ノて多層構造
とした場合には生産性が悪く、製作費が非常に高いもの
となる。
成形したガラス等の基板を洗浄処理し、バッチ式スパッ
タ装置もしくは蒸着装置で1枚ずつ簿膜形成しなければ
ならず、大儀生産が不可能である。特に、下地処理層、
反射層、誘電体層、保護層等を薄層に設【ノて多層構造
とした場合には生産性が悪く、製作費が非常に高いもの
となる。
(発明の目的)
本発明の目的は、フィルム状およびテープ状の形状とす
ることがi+J能であり、生産性が良く、製作費の安い
光磁気記録媒体を提供覆ることにある。
ることがi+J能であり、生産性が良く、製作費の安い
光磁気記録媒体を提供覆ることにある。
(発明の構成および主たる作用)
本発明による光磁気記録媒体は、可撓性を有する基板上
に、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する希土類−遷
移金属非晶質磁性合金からなる記録薄膜を積層してなる
ものである。
に、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する希土類−遷
移金属非晶質磁性合金からなる記録薄膜を積層してなる
ものである。
本発明の好ましい実施態様においては、基板としてガラ
ス転移温度を70℃以上としたものを使用する。
ス転移温度を70℃以上としたものを使用する。
本発明において、「可撓性を有する基板」とはポリエチ
レンテレフタレート、ポリイミド等、可撓性のある素材
全てを意味し、最終製品の形状に対応してフィルム状、
テープ状あるい(よディスク状等、任意の形状と覆るこ
とができるものを意味づる。
レンテレフタレート、ポリイミド等、可撓性のある素材
全てを意味し、最終製品の形状に対応してフィルム状、
テープ状あるい(よディスク状等、任意の形状と覆るこ
とができるものを意味づる。
本発明による光磁気記録媒体はフィルム状J3よびテー
プ上の形状で使用可能なものとするため、記録が行なわ
れる薄膜(「記録薄膜」〉は膜面に垂直な方向に磁化容
易軸を有する必要がある。なぜなら、光磁気記録媒体を
フィルム状もしくはテープ状とづる場合には微小な領域
において欝込みおよび読出しが行なわれるために磁化容
易軸を膜面と垂直な方向に位置さじなければ実用上満足
できる記憶容量を有する記録薄膜を得ることは不可能だ
からである。
プ上の形状で使用可能なものとするため、記録が行なわ
れる薄膜(「記録薄膜」〉は膜面に垂直な方向に磁化容
易軸を有する必要がある。なぜなら、光磁気記録媒体を
フィルム状もしくはテープ状とづる場合には微小な領域
において欝込みおよび読出しが行なわれるために磁化容
易軸を膜面と垂直な方向に位置さじなければ実用上満足
できる記憶容量を有する記録薄膜を得ることは不可能だ
からである。
磁化容易軸を膜面と垂直な方向に向けるためには、薄膜
が十分な磁気異方性を持つことが必要ぐあり、磁気異方
性は薄膜を非晶質で構成することにより達成される。非
晶質として適した材料は本発明にa3いて「希土類−遷
移金属非晶質台金」と表わされる、希土類元素と遷移金
属とからなる合金であり、GdCo、GdFe、TbF
e。
が十分な磁気異方性を持つことが必要ぐあり、磁気異方
性は薄膜を非晶質で構成することにより達成される。非
晶質として適した材料は本発明にa3いて「希土類−遷
移金属非晶質台金」と表わされる、希土類元素と遷移金
属とからなる合金であり、GdCo、GdFe、TbF
e。
Gd −1−b Fe 、 Tb Fe Co等の合金
、およびこれらに131.sn、Ge等の添加元素を加
えた合金が含まれる。
、およびこれらに131.sn、Ge等の添加元素を加
えた合金が含まれる。
本発明による光磁気記録媒体は、室温近傍以下の温瓜に
JJいて、十分な張力で保持された可撓性基体上に、希
土類−遷移金属非晶質合金をスパッタリング法あるいは
真空蒸着法によって成膜づることにより製造することが
できる。
JJいて、十分な張力で保持された可撓性基体上に、希
土類−遷移金属非晶質合金をスパッタリング法あるいは
真空蒸着法によって成膜づることにより製造することが
できる。
なJJ、基板のガラス転移温度を70℃以上とり−ると
表面性がより優れたものとなり、好ましい。
表面性がより優れたものとなり、好ましい。
(発明の効果)
本発明による光磁気記録媒体は、可撓性の基板上に非晶
質合金薄膜を形成りることにより、フィルム状およびテ
ープ状に形成することができる。
質合金薄膜を形成りることにより、フィルム状およびテ
ープ状に形成することができる。
このような形状の光磁気記録媒体は従来の硬質ディスク
と比べC広い用途に使用づることか可能であり、また読
み出し装置の小型化も達成される。
と比べC広い用途に使用づることか可能であり、また読
み出し装置の小型化も達成される。
しかも、その磁気光学特性等は従来の硬質ディスクと同
等である。
等である。
本発明の光磁気記録媒体は基板が可撓性であるために加
工が容易であり、例えば薄膜を積層した後にスリン1−
シたり、JJら抜いたりし〔様々な形状とすることが可
能ひあり、また、ガラスやPMtVI A等の素Uには
さんで従来の光磁気ディスクのような形状としても良く
、あるいは基板を薄くし、溝(qきディスクに真空J−
E 着−!Jることにより、溝付光磁気ディスクとづる
こともできる。したがって、その生産性は従来の硬質デ
ィスクと比べて箸しく高く、製作費は安価である。
工が容易であり、例えば薄膜を積層した後にスリン1−
シたり、JJら抜いたりし〔様々な形状とすることが可
能ひあり、また、ガラスやPMtVI A等の素Uには
さんで従来の光磁気ディスクのような形状としても良く
、あるいは基板を薄くし、溝(qきディスクに真空J−
E 着−!Jることにより、溝付光磁気ディスクとづる
こともできる。したがって、その生産性は従来の硬質デ
ィスクと比べて箸しく高く、製作費は安価である。
(実施例)
以下、本発明に係る実施例を説朗りる。
興−二り
電子ビーム蒸着装置において、100s幅、80μm厚
のポリエチレンテレフタレートフィルムを基板とじ゛C
使用し、l−1)o、(、Feo、4のアークメル!へ
した合金を蒸@源とし、基板と蒸着源との間隔を300
馴となるようにセットした後、気圧が2X10 Tor
rとなるまで真空排気した。その後前記フィルムを冷却
キ17ンに沿って40cm/1(1の速度で搬送しなが
ら、電子ビームパワー100mAを投入し゛C成膜を行
なった。
のポリエチレンテレフタレートフィルムを基板とじ゛C
使用し、l−1)o、(、Feo、4のアークメル!へ
した合金を蒸@源とし、基板と蒸着源との間隔を300
馴となるようにセットした後、気圧が2X10 Tor
rとなるまで真空排気した。その後前記フィルムを冷却
キ17ンに沿って40cm/1(1の速度で搬送しなが
ら、電子ビームパワー100mAを投入し゛C成膜を行
なった。
このようにして得られた膜厚1000Aの薄膜は表面性
が良好であり、T bo、1Fe o、’lからT b
O,3F e Q、7の組成連続変化膜であった。こ
のうち、l−b O,2F e o、W近傍のfg股は
膜面に垂直なh向に磁化容易軸を有し、X線的には非晶
質であり、磁気カー回転角は0.25度であった。この
値は硬質ディスクの値と同等であった。
が良好であり、T bo、1Fe o、’lからT b
O,3F e Q、7の組成連続変化膜であった。こ
のうち、l−b O,2F e o、W近傍のfg股は
膜面に垂直なh向に磁化容易軸を有し、X線的には非晶
質であり、磁気カー回転角は0.25度であった。この
値は硬質ディスクの値と同等であった。
例 2
マグネトロンスパッタ装置において、100m幅、50
μm厚のポリイミドフィルムを基板として使用し、基板
とターゲットの間隔が60mmとなるようにセットした
後、実施例1と同様に真空排気し、Ar圧を調整し、基
板フィルムを搬送しながらターゲラ1−に電力を投入し
成膜を行なった。
μm厚のポリイミドフィルムを基板として使用し、基板
とターゲットの間隔が60mmとなるようにセットした
後、実施例1と同様に真空排気し、Ar圧を調整し、基
板フィルムを搬送しながらターゲラ1−に電力を投入し
成膜を行なった。
このようにし′C得られた膜厚1000Aの薄膜は表面
性が良好であり、1’ bo−Lh e o、wの組成
で脱血側の磁気カー回転角は0.201mであった。
性が良好であり、1’ bo−Lh e o、wの組成
で脱血側の磁気カー回転角は0.201mであった。
Claims (2)
- (1)可撓性を有゛りる基板と、この基板に積層された
、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有づる希土類−遷移
金属非晶質磁性合金からなる記録薄膜とからなる光磁気
記録媒体。 - (2) 前記基板のガラス転移温度が70℃以上である
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光磁気記
録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP64884A JPS60145541A (ja) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP64884A JPS60145541A (ja) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60145541A true JPS60145541A (ja) | 1985-08-01 |
Family
ID=11479523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP64884A Pending JPS60145541A (ja) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60145541A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4710434A (en) * | 1984-12-17 | 1987-12-01 | Sony Corporation | Optomagnetic recording medium |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56137537A (en) * | 1980-03-27 | 1981-10-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical recording member and its manufacture |
| JPS59221848A (ja) * | 1983-05-30 | 1984-12-13 | Mitsubishi Plastics Ind Ltd | 光磁気記録媒体 |
-
1984
- 1984-01-06 JP JP64884A patent/JPS60145541A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56137537A (en) * | 1980-03-27 | 1981-10-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical recording member and its manufacture |
| JPS59221848A (ja) * | 1983-05-30 | 1984-12-13 | Mitsubishi Plastics Ind Ltd | 光磁気記録媒体 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4710434A (en) * | 1984-12-17 | 1987-12-01 | Sony Corporation | Optomagnetic recording medium |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4753853A (en) | Double-layered magnetooptical recording medium | |
| JPH0550400B2 (ja) | ||
| JPH0619859B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH0328739B2 (ja) | ||
| JP2647958B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS60145542A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2829321B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP3022642B2 (ja) | 光磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2876062B2 (ja) | 磁性膜 | |
| JPS62121943A (ja) | 光学的記録媒体 | |
| JPS61196447A (ja) | 光磁気記録素子 | |
| JP2616120B2 (ja) | 光磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPS62267946A (ja) | 光磁気デイスク用記録媒体の製造法 | |
| JPS63273236A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2830385B2 (ja) | 光磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0432209A (ja) | 磁性膜 | |
| JPH01243225A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS60130806A (ja) | 非晶質磁気光学層 | |
| JPS62245546A (ja) | 光磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH02230531A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS615460A (ja) | GeNで保護された光熱磁気記録媒体 | |
| JPS63148447A (ja) | 光熱磁気記録媒体 | |
| JPS5996713A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS63224054A (ja) | 光磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0536134A (ja) | 光磁気記録媒体 |