JPS6016483A - 無声放電補助励起ガスレ−ザ装置 - Google Patents
無声放電補助励起ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6016483A JPS6016483A JP12450583A JP12450583A JPS6016483A JP S6016483 A JPS6016483 A JP S6016483A JP 12450583 A JP12450583 A JP 12450583A JP 12450583 A JP12450583 A JP 12450583A JP S6016483 A JPS6016483 A JP S6016483A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- cathode
- dielectric
- cooled
- silent discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は無声放電補助励起ガスレーザ装置、特にその
電極部の桁成に関するものである。
電極部の桁成に関するものである。
従来、この種の装置として第１図に示すものがあった。
容器（１）内にバラスト抵抗（４）がそれぞれ接続され
た陰極ビン（２）と陽極（３）との間に直流電源（５）
を接続し、グロー放電（６）を生成させる。
た陰極ビン（２）と陽極（３）との間に直流電源（５）
を接続し、グロー放電（６）を生成させる。
また、誘電体電極（７）には交流電源（２）を接続し、
無声放電（８）を生成させる。
無声放電（８）を生成させる。
レーザ媒質ガス（９）は陰棹（２）、陽極（３）間と、
Ｆｉ！）交換器（１０）間を送風機（１１）により循環
される。
Ｆｉ！）交換器（１０）間を送風機（１１）により循環
される。
（１３）は全反！ＪＪ鐘、（１４）は部分透過鋺、（１
５）はレーザ光である。 。
５）はレーザ光である。 。
誘電体電極（７）は陰極（２）の上流に配設され、無声
放電（８）を生成することによりレーザ々す、質ガス（
９）を予備励起し、陰極ビン（２）のグロー放電（６）
を均一にし放電々流を増加さ砺る働きがある。
放電（８）を生成することによりレーザ々す、質ガス（
９）を予備励起し、陰極ビン（２）のグロー放電（６）
を均一にし放電々流を増加さ砺る働きがある。
従来の装置は以上のように措成されており、陰極ビン（
２）の放電々流が増加すると陰極ビン（２）の温度が上
昇し、モリブデンやクングヌテン等の耐熱金属を使用し
ても、レーザ媒質ガス（９）中に含まれる酸素などと反
ノ、卜し表面に酸化物を生成してしまう。この反応は温
度が高いほど高く、レーザ媒質ガスの素成を変化しレー
ザ発撮効串を下げたり、また表面が酸化物に覆れるとア
ーク放電になりやすくなり、放電々流が低下することに
よってレーザ出力が低下する等の欠点があった。
２）の放電々流が増加すると陰極ビン（２）の温度が上
昇し、モリブデンやクングヌテン等の耐熱金属を使用し
ても、レーザ媒質ガス（９）中に含まれる酸素などと反
ノ、卜し表面に酸化物を生成してしまう。この反応は温
度が高いほど高く、レーザ媒質ガスの素成を変化しレー
ザ発撮効串を下げたり、また表面が酸化物に覆れるとア
ーク放電になりやすくなり、放電々流が低下することに
よってレーザ出力が低下する等の欠点があった。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、一般に冷却するｆｆ＆成をとる誘
電体電極に、陰極を伝熱的に接するように設けることに
より、陰極をも冷却するようにして、劣下がなく、レー
ザ出力が安定な無声放電補助励起ガスレーザ発振器を提
供することを目的としている。
めになされたもので、一般に冷却するｆｆ＆成をとる誘
電体電極に、陰極を伝熱的に接するように設けることに
より、陰極をも冷却するようにして、劣下がなく、レー
ザ出力が安定な無声放電補助励起ガスレーザ発振器を提
供することを目的としている。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第３図、第４図において、（１６）は内部を冷却水によ
り冷却され、金属（１７）の表面を誘電体（１８）で覆
った誘電体電極である。陰極ビン（２）は誘電体電極（
１６）の表面に接して設けられ、陰極ビン（２）を誘電
体電極（１６）とともに冷却水（２０）により有効に冷
却することができる。
り冷却され、金属（１７）の表面を誘電体（１８）で覆
った誘電体電極である。陰極ビン（２）は誘電体電極（
１６）の表面に接して設けられ、陰極ビン（２）を誘電
体電極（１６）とともに冷却水（２０）により有効に冷
却することができる。
無声放電（８）は陰極ビン（２）と誘電体（１８）の表
面で発生し、陰極ビン（２）の周辺のレーザ媒質（９）
を予備励起するためグロー放電（６）の拡がりは良い。
面で発生し、陰極ビン（２）の周辺のレーザ媒質（９）
を予備励起するためグロー放電（６）の拡がりは良い。
陰極ビン（２）が冷却され、低温（３００度以下）に保
たれると、モリブデン、タングステン等の金属はレーザ
媒質１１月こ含まれる酸素等とは容易に反応することは
なく、そのステ命が非常に伸びる。
たれると、モリブデン、タングステン等の金属はレーザ
媒質１１月こ含まれる酸素等とは容易に反応することは
なく、そのステ命が非常に伸びる。
また、レーザ媒質の素成が変化することもなくなるので
効率低下が無く、安定なレーザ出力を得ることができる
。
効率低下が無く、安定なレーザ出力を得ることができる
。
第５図は誘電体電極（１６）をセラミックやシリコン樹
脂等の絶縁物（１９）内にモールドしたもので、不要な
部分の無声放電（８）とグロー放電を除去しようとした
もので、陽極ピン（２）は尖らせる必要がなく、誘電体
電極（１６）に巻きつけるだけで上記第３図と第４図の
実施例と同様の効果を奏する。
脂等の絶縁物（１９）内にモールドしたもので、不要な
部分の無声放電（８）とグロー放電を除去しようとした
もので、陽極ピン（２）は尖らせる必要がなく、誘電体
電極（１６）に巻きつけるだけで上記第３図と第４図の
実施例と同様の効果を奏する。
なお、上記は陰極ビンの場合を示したが、陽極を分割し
、これを誘電体電極（７）に接するようにして冷却して
も同様の効果を奏する。
、これを誘電体電極（７）に接するようにして冷却して
も同様の効果を奏する。
以上のように、この発明によれば誘電体電極に陽極を接
するようにし、陰極を冷却したもので、その守命が非常
に伸びレーザ出力の安定なものが得られる効果がある。
するようにし、陰極を冷却したもので、その守命が非常
に伸びレーザ出力の安定なものが得られる効果がある。
第１図は従来例を示す構成図、第２図は第１図を横方向
から見た図、第３図はこの発明の一実施例を示ず構成図
、第４図は第３図の誘電体電極部分の拡大図、第５図は
この発明の他の実施例における誘電体電極部分の拡大図
である。 なお、図中（１６）は誘電体電極、（１７）は金属、（
１８）は誘電体、（２０）は゛冷却水、（２）は陰極ビ
ン、（３）は陽極である。 代理人 大岩増雄 第１図 ′＄２図
から見た図、第３図はこの発明の一実施例を示ず構成図
、第４図は第３図の誘電体電極部分の拡大図、第５図は
この発明の他の実施例における誘電体電極部分の拡大図
である。 なお、図中（１６）は誘電体電極、（１７）は金属、（
１８）は誘電体、（２０）は゛冷却水、（２）は陰極ビ
ン、（３）は陽極である。 代理人 大岩増雄 第１図 ′＄２図
Claims (1)
- レーザ媒質ガスの気流を挾んで相対向するように配設さ
れ直流高電圧が印加されてグロー放電を生成する陽極と
陰極、内部を冷却媒質により冷却される金属体どこの表
面を覆う誘電体とによりｔ１夕成され交流電圧を印加し
て無声放電を生成させる誘電体電極を備えているものに
おいて、上記陰極を上記誘電体電極に伝熱的に連絡させ
て、上記冷却媒質により誘電体電極をも冷すようにした
ことを特徴とする無声放電補助励起ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12450583A JPS6016483A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | 無声放電補助励起ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12450583A JPS6016483A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | 無声放電補助励起ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6016483A true JPS6016483A (ja) | 1985-01-28 |
Family
ID=14887147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12450583A Pending JPS6016483A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | 無声放電補助励起ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6016483A (ja) |
-
1983
- 1983-07-08 JP JP12450583A patent/JPS6016483A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5905344A (en) | Discharge lamps and methods for making discharge lamps | |
| US4096449A (en) | Apparatus for producing an electric glow discharge in a flowing gas | |
| GB2083944A (en) | CO2 Laser with Catalyst | |
| JPS6016483A (ja) | 無声放電補助励起ガスレ−ザ装置 | |
| JPS639393B2 (ja) | ||
| JPH02207578A (ja) | 気体レーザ発振器 | |
| JP2518015B2 (ja) | 放電灯 | |
| JPH09120799A (ja) | 希ガス放電灯 | |
| US3604968A (en) | High pressure discharge lamp of the cooled electrode type | |
| JPS59214286A (ja) | 横方向励起型ガスレ−ザ発振器 | |
| JPS6348881A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| JPH0747890Y2 (ja) | レ−ザ用励起ランプ | |
| JPS6420682A (en) | Gas laser apparatus excited by high frequency discharge | |
| JPS6195588A (ja) | ガスレ−ザ発振器 | |
| JPH03142977A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JP3159528B2 (ja) | 放電励起エキシマレーザ装置 | |
| JPH08227692A (ja) | 紫外線蛍光ランプ | |
| JPS5848487A (ja) | ガスレ−ザ発振器 | |
| JPS63227074A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS58123784A (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| JPH02240982A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPS6364067B2 (ja) | ||
| JPS639177A (ja) | ガスレ−ザ発振器 | |
| JPS63228778A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS6184885A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 |