JPS6016541U - ワイヤボンデイング装置 - Google Patents

ワイヤボンデイング装置

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Publication number
JPS6016541U
JPS6016541U JP1984080295U JP8029584U JPS6016541U JP S6016541 U JPS6016541 U JP S6016541U JP 1984080295 U JP1984080295 U JP 1984080295U JP 8029584 U JP8029584 U JP 8029584U JP S6016541 U JPS6016541 U JP S6016541U
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JP
Japan
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wire bonding
capillary
bonding equipment
rotation
eccentric shaft
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JP1984080295U
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JPH0343717Y2 (ja
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実津男 広田
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071—Connecting or disconnecting
    • H10W72/0711—Apparatus therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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    • H10W72/071—Connecting or disconnecting
    • H10W72/0711—Apparatus therefor
    • H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers

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  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図乃至第３図は本考案の一実施例を示し、第１図は
側面図、第２図は第１図■−■線に沿う一部断面した側
面図、第３図は第２図■−■線に沿う断面図、第４図と
第５図は本考案の他の実施例を示し、第４図は側面図、
第５図は第４図Ｖ−■線に沿う一部断面した側面図であ
る。 １・・・・・・制御モータ（駆動源）、４・・・・・・
回転軸、９・・・・・・偏心軸、１１・・・・・・第１
のラジアル軸受、１２・・・・・・第２のラジアル軸受
、１５・・・・・・シャフト、（ばね体）、２０・・・
・・・作動体、２１・・・・・・キャピラリ、２７・・
・・・・板ばね。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 駆動源の回転によりキャピラリを上下動させて半導体チ
    ップにワイヤボンディングする装置において、上記駆動
    源の回転軸に偏心して連結された偏心軸と、この偏心軸
    に取着されたラジアル軸受と、このラジアル軸受の回転
    により上記キャピラリを上下動させる手段とを具備して
    なることを特徴とするワイヤボンディング装置。
JP1984080295U 1984-05-30 1984-05-30 ワイヤボンデイング装置 Granted JPS6016541U (ja)

Priority Applications (1)

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JP1984080295U JPS6016541U (ja) 1984-05-30 1984-05-30 ワイヤボンデイング装置

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JP1984080295U JPS6016541U (ja) 1984-05-30 1984-05-30 ワイヤボンデイング装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6016541U true JPS6016541U (ja) 1985-02-04
JPH0343717Y2 JPH0343717Y2 (ja) 1991-09-12

Family

ID=30210288

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JP1984080295U Granted JPS6016541U (ja) 1984-05-30 1984-05-30 ワイヤボンデイング装置

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55111346U (ja) * 1979-01-29 1980-08-05

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55111346U (ja) * 1979-01-29 1980-08-05

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Publication number Publication date
JPH0343717Y2 (ja) 1991-09-12

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