JPS60171421A - 感熱形流量検出素子 - Google Patents
感熱形流量検出素子Info
- Publication number
- JPS60171421A JPS60171421A JP59029390A JP2939084A JPS60171421A JP S60171421 A JPS60171421 A JP S60171421A JP 59029390 A JP59029390 A JP 59029390A JP 2939084 A JP2939084 A JP 2939084A JP S60171421 A JPS60171421 A JP S60171421A
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- JP
- Japan
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- heat
- support
- flow rate
- thin film
- sensitive flow
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野］
この発明は発熱体と流動流体間の熱伝達量から流速及全
流量等をめる感熱形の流量検出素子に関するものである
。
流量等をめる感熱形の流量検出素子に関するものである
。
従来この種の装置として第１図に示すものがあった。図
において（１）はアルミナ系セラミックより成るセラミ
ックボビン、（２）はそのセラミックボビン（１）に巻
かれた白金線より成る発熱線、（３）は発熱線（２）（
Ｉ−被覆保護するためのアルミナ系ガラス質膜より成る
コーディング層、（４）は電極の取出しと支持を兼ね発
熱線（２）に溶接接合されステンレス・ワイヤーより成
るリード線である。
において（１）はアルミナ系セラミックより成るセラミ
ックボビン、（２）はそのセラミックボビン（１）に巻
かれた白金線より成る発熱線、（３）は発熱線（２）（
Ｉ−被覆保護するためのアルミナ系ガラス質膜より成る
コーディング層、（４）は電極の取出しと支持を兼ね発
熱線（２）に溶接接合されステンレス・ワイヤーより成
るリード線である。
従来の１８熱形の流量検出素子は以上のように構成され
ているので、発熱線（２）が細線であるため断線し易く
、巻線間隔のバラツキによる抵抗短絡などのため抵抗値
調整が困難であり、高抵抗素子を作り難く、更には細線
とは８えバルク状貴金属を使用しているため素子が高価
になる、巻線プロセスを含むための量産性に欠けるなど
の諸々の欠点があった。
ているので、発熱線（２）が細線であるため断線し易く
、巻線間隔のバラツキによる抵抗短絡などのため抵抗値
調整が困難であり、高抵抗素子を作り難く、更には細線
とは８えバルク状貴金属を使用しているため素子が高価
になる、巻線プロセスを含むための量産性に欠けるなど
の諸々の欠点があった。
〔発明の概要］
この発り」は上記のような従来のものの欠点を除去する
ためになされたもので、電気絶縁性と耐熱性を有す支持
体表面に発熱体として金属薄膜を成膜し、この金属薄膜
に給電する電極及びこの電極に接続されるリード線を備
えることにより応答性に優れ量産性の高い安価な感熱形
振量検出素子を提供することを目的としている。
ためになされたもので、電気絶縁性と耐熱性を有す支持
体表面に発熱体として金属薄膜を成膜し、この金属薄膜
に給電する電極及びこの電極に接続されるリード線を備
えることにより応答性に優れ量産性の高い安価な感熱形
振量検出素子を提供することを目的としている。
以下、この発明の一実ＩＭ例を図について説明する。第
２図において、（７）はアルミナ系セラミック材より成
り円柱形状をした支持体、（５）は支持体（７）表面に
イオンブレーティング法により生成された円筒状余端薄
膜で、発熱体を形成しており膜厚２０００Ｘの白金薄ｇ
、（６）はステンレススチール材ヨり成るカプセル形の
電極であり、支持体（７）と白金嵌 薄膜（５）をはさんでα合状態で結合されている。（４
）はリード線で電極（６）とスポット溶接により接合さ
れている。（３）は従来例と同様であるが、アルミナ系
ガラス質膜より成るコーティング層テあす、被覆により
白金薄Ｊ漠を保護している。この実施例においては、イ
オンブレーティング法により白金薄膜を形成おり薄膜の
性質上望ましいが、特にこの製法に限らず通常の薄膜生
成法、例えば加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法であっても
同様の効果を得ることができる。コーティング層（３）
についても特にアルミナ系ガラス質膜に限らず電気絶縁
性、耐熱性を有するものであれば８ｉ０２膜、テフロン
膜、金属酸化膜、耐熱性高分子膜、８１０、ＭもＦ ２
、ｃａＦ２、Ｅｎ８などでも良い。支持体（７）Ｋつ
いても電気絶縁性と耐熱性を満足する材質であｔｌ、ば
耐熱性プラスチック材料でも、アルミナ系以外のセムミ
ツク、例えばステアタイト系、ホルステライト系、コー
プイライト系、ジルコン系であっても良い。
２図において、（７）はアルミナ系セラミック材より成
り円柱形状をした支持体、（５）は支持体（７）表面に
イオンブレーティング法により生成された円筒状余端薄
膜で、発熱体を形成しており膜厚２０００Ｘの白金薄ｇ
、（６）はステンレススチール材ヨり成るカプセル形の
電極であり、支持体（７）と白金嵌 薄膜（５）をはさんでα合状態で結合されている。（４
）はリード線で電極（６）とスポット溶接により接合さ
れている。（３）は従来例と同様であるが、アルミナ系
ガラス質膜より成るコーティング層テあす、被覆により
白金薄Ｊ漠を保護している。この実施例においては、イ
オンブレーティング法により白金薄膜を形成おり薄膜の
性質上望ましいが、特にこの製法に限らず通常の薄膜生
成法、例えば加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法であっても
同様の効果を得ることができる。コーティング層（３）
についても特にアルミナ系ガラス質膜に限らず電気絶縁
性、耐熱性を有するものであれば８ｉ０２膜、テフロン
膜、金属酸化膜、耐熱性高分子膜、８１０、ＭもＦ ２
、ｃａＦ２、Ｅｎ８などでも良い。支持体（７）Ｋつ
いても電気絶縁性と耐熱性を満足する材質であｔｌ、ば
耐熱性プラスチック材料でも、アルミナ系以外のセムミ
ツク、例えばステアタイト系、ホルステライト系、コー
プイライト系、ジルコン系であっても良い。
次に動作について説明する。外部より給電される電力は
リード線（４）を通して電極（６）を通り発熱体を形成
する白金薄Ｊ＃（５）に印加され、発熱させる。
リード線（４）を通して電極（６）を通り発熱体を形成
する白金薄Ｊ＃（５）に印加され、発熱させる。
従来同様、当該白金薄膜（５）と流動流体間の熱伝達量
を電気信号に変換することによって流速乃至は流量等の
流＃Ｉ原流体流動量を検出し感熱形の流量検出装置を構
成する。
を電気信号に変換することによって流速乃至は流量等の
流＃Ｉ原流体流動量を検出し感熱形の流量検出装置を構
成する。
この実施例では白金薄膜（５）の形成にイオンブレーテ
ィング法を用いているがこれは、支持体（７）と薄膜（
５）との接合性付着強度高めることと薄膜（５）の結晶
性を上げて薄膜（５Ｊの品質をバルブ材の品質に近づけ
ること、即ち抵抗温度依存性の直線性を高めることと大
きな抵抗温度係数を得ることを目的としている。この実
地例の白金薄膜（５）の厚みはわずか２０００Ａである
ので従来の感熱形振量検出素子と比べ格段に応答性に優
れており、レーザー・トリミング法により抵抗調整を実
施しているので所望の抵抗値を得ることができる上、高
抵抗の素子を形成することも容易である。従って抵抗温
度係数の一致した低抵抗の素子と高抵抗の素子とを併用
すれば高抵抗の素子を温度補償用に回路ブリッジに組み
込むことにより簡便な回路構成で容易に正確な温度補償
を実現することができる。
ィング法を用いているがこれは、支持体（７）と薄膜（
５）との接合性付着強度高めることと薄膜（５）の結晶
性を上げて薄膜（５Ｊの品質をバルブ材の品質に近づけ
ること、即ち抵抗温度依存性の直線性を高めることと大
きな抵抗温度係数を得ることを目的としている。この実
地例の白金薄膜（５）の厚みはわずか２０００Ａである
ので従来の感熱形振量検出素子と比べ格段に応答性に優
れており、レーザー・トリミング法により抵抗調整を実
施しているので所望の抵抗値を得ることができる上、高
抵抗の素子を形成することも容易である。従って抵抗温
度係数の一致した低抵抗の素子と高抵抗の素子とを併用
すれば高抵抗の素子を温度補償用に回路ブリッジに組み
込むことにより簡便な回路構成で容易に正確な温度補償
を実現することができる。
なお、上記実施例では円柱状の支持体（７）の表面に薄
膜を生成したものを示したが、特に円柱状に限定される
ものではなく薄板状の支持体（７）の表面に薄膜を生成
したものであっても何ら支障はなく、むしろ円柱形状よ
り量産性に優れているとも言える。
膜を生成したものを示したが、特に円柱状に限定される
ものではなく薄板状の支持体（７）の表面に薄膜を生成
したものであっても何ら支障はなく、むしろ円柱形状よ
り量産性に優れているとも言える。
〔発明の効果］
以上のようにこの発明によれば、電気絶縁性々耐熱性を
有する支持体を設け、その表面に金属薄膜で発熱体を形
成し、この金属薄膜に給電する電極及びこの電極に接続
されるリード線を備えたことにより、安価で、量産性に
優れ応答性の高い感熱形振量検出素子が得られるという
効果がある。
有する支持体を設け、その表面に金属薄膜で発熱体を形
成し、この金属薄膜に給電する電極及びこの電極に接続
されるリード線を備えたことにより、安価で、量産性に
優れ応答性の高い感熱形振量検出素子が得られるという
効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の感熱形振量検出素子を示す断面図、第２
図はこの発明の一実施例による感熱形振量検出素子を示
す断面図である。 （３）・・・コーティング層、（４）・・・リード線、
（５）・・・金属薄膜、（６）・・・電極、（７）・・
・支持体。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代 理 人 大 岩 増 雄
図はこの発明の一実施例による感熱形振量検出素子を示
す断面図である。 （３）・・・コーティング層、（４）・・・リード線、
（５）・・・金属薄膜、（６）・・・電極、（７）・・
・支持体。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代 理 人 大 岩 増 雄
Claims (4)
- （１）電気絶縁性と耐熱性を有す支持体、この支持体表
面に成膜され発熱体を形成する金属薄膜、上記支持体両
端部に設けられこの金属薄膜に給電する電極、とこの電
極に接続されるリード線を備えた感熱形流重検出素子。 - （２）支持体は円柱状である特許請求の範囲第１項記載
の感熱形流量検出素子。 - （３）支持体は薄板状である特許請求の範囲第１項記載
の感熱形流量検出素子。 - （４）金属薄１漠はコーティング層で被覆されている特
許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の感
熱形流量検出素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59029390A JPS60171421A (ja) | 1984-02-17 | 1984-02-17 | 感熱形流量検出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59029390A JPS60171421A (ja) | 1984-02-17 | 1984-02-17 | 感熱形流量検出素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60171421A true JPS60171421A (ja) | 1985-09-04 |
Family
ID=12274811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59029390A Pending JPS60171421A (ja) | 1984-02-17 | 1984-02-17 | 感熱形流量検出素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60171421A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030067053A (ko) * | 2002-02-06 | 2003-08-14 | (주) 페니엘이엔씨 | 조립식 영구 쏘일네일링 공법 |
-
1984
- 1984-02-17 JP JP59029390A patent/JPS60171421A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030067053A (ko) * | 2002-02-06 | 2003-08-14 | (주) 페니엘이엔씨 | 조립식 영구 쏘일네일링 공법 |
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