JPS60176558U - 半導体圧力センサ - Google Patents
半導体圧力センサInfo
- Publication number
- JPS60176558U JPS60176558U JP6493984U JP6493984U JPS60176558U JP S60176558 U JPS60176558 U JP S60176558U JP 6493984 U JP6493984 U JP 6493984U JP 6493984 U JP6493984 U JP 6493984U JP S60176558 U JPS60176558 U JP S60176558U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- semiconductor pressure
- sensor chip
- glass
- bonded
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案による半導体圧力センサの一実施例を示
す断面図、第２図は従来の半導体圧力センサの製造状態
を示す断面図である。 １・・・・・・圧力センサチップ、２，４・・・・・・
結晶化ガラス、３，５・・・・・・低融点ガラス。
す断面図、第２図は従来の半導体圧力センサの製造状態
を示す断面図である。 １・・・・・・圧力センサチップ、２，４・・・・・・
結晶化ガラス、３，５・・・・・・低融点ガラス。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体圧力センサチップを低融点ガラスを介して結晶化
ガラスベースに接着してなる半導体圧力センサにおいて
、 前記結晶化ガラスベースのセンサチップ接続部の周辺を
湾曲させ、低融点ガラスを介して半導体圧力センサチッ
プをその上面にガラス接着したことを特徴とする半導体
圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6493984U JPS60176558U (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | 半導体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6493984U JPS60176558U (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | 半導体圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60176558U true JPS60176558U (ja) | 1985-11-22 |
Family
ID=30596485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6493984U Pending JPS60176558U (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | 半導体圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60176558U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62238671A (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-19 | Ishizuka Glass Ltd | 半導体圧力変換器の製造方法 |
| JPS62242369A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-22 | Ishizuka Glass Ltd | 半導体圧力変換器 |
-
1984
- 1984-05-02 JP JP6493984U patent/JPS60176558U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62238671A (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-19 | Ishizuka Glass Ltd | 半導体圧力変換器の製造方法 |
| JPS62242369A (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-22 | Ishizuka Glass Ltd | 半導体圧力変換器 |
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