JPS60177984A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
- Publication number
- JPS60177984A JPS60177984A JP59032472A JP3247284A JPS60177984A JP S60177984 A JPS60177984 A JP S60177984A JP 59032472 A JP59032472 A JP 59032472A JP 3247284 A JP3247284 A JP 3247284A JP S60177984 A JPS60177984 A JP S60177984A
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- JP
- Japan
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- fabric
- laser
- laser light
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/083—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction
- B23K26/0838—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction by using an endless conveyor belt
- B23K26/0846—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction by using an endless conveyor belt for moving elongated workpieces longitudinally, e.g. wire or strip material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Treatment Of Fiber Materials (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Treatment And Processing Of Natural Fur Or Leather (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、レーザ加工装置にかかるものであシ、特にレ
ーザビームの走査を行うことによって対象物例えは生地
、皮などを加工するレーザ加工装置に関するものである
。
ーザビームの走査を行うことによって対象物例えは生地
、皮などを加工するレーザ加工装置に関するものである
。
第1図には、従来のレーザ加工装置の一例が示i”Q、
印F1の如く延反装置14カ・ら裁断コンベヤ10上に
送シ出され、スクラップは矢印F2の如くスクラップ処
理装置16に収容される。裁断コンベヤ10の略中央付
近には、レーザヘッド20を走査するための駆動機構2
2が配置されている。この駆動機構22は、第1の駆動
体24と、第2の駆動体26とによって構成されている
。第1の駆動体24は、裁断コンベア10の両側部に一
組設けられておシ、これに対して第2の駆動体26が矢
印F3方向に移動可能に架設されている。すなわち第2
の駆動体26は、第1の駆動体24によって矢印F6の
方向に駆動される。この矢印F3の方向は、生地18の
表面に想定される座標@Xに一致する。
印F1の如く延反装置14カ・ら裁断コンベヤ10上に
送シ出され、スクラップは矢印F2の如くスクラップ処
理装置16に収容される。裁断コンベヤ10の略中央付
近には、レーザヘッド20を走査するための駆動機構2
2が配置されている。この駆動機構22は、第1の駆動
体24と、第2の駆動体26とによって構成されている
。第1の駆動体24は、裁断コンベア10の両側部に一
組設けられておシ、これに対して第2の駆動体26が矢
印F3方向に移動可能に架設されている。すなわち第2
の駆動体26は、第1の駆動体24によって矢印F6の
方向に駆動される。この矢印F3の方向は、生地18の
表面に想定される座標@Xに一致する。
第2の駆動体26には、キャリッジ28が装着されてお
り、このキャリッジ28は、第2の駆動体26によって
図の矢印F4の方向に駆動されるc5この矢印F4の方
向は、生地18の表面に想定さ]′綽って座標軸Yの方
向に走査される。
り、このキャリッジ28は、第2の駆動体26によって
図の矢印F4の方向に駆動されるc5この矢印F4の方
向は、生地18の表面に想定さ]′綽って座標軸Yの方
向に走査される。
1 更に、裁断コンベヤ10の近辺には、レーザ発(3
) 振器30が配置されておシ、前述した第2の駆動体26
には、プリズムないしFiハラ−からなる光学手段62
が配置されている。またレーザ発振器達する。光路L1
の方向は、光学手段32の移動方向すなわち第2の駆動
体26の矢印F6の移動方向に一致する。甘だ光路L2
の方向は、レーザヘッド20の移動方向すなわちキャリ
ッジ28の矢印F4の移動方向に一致する。従って、レ
ーザヘッド20がこのように移動しても、レーザ発振器
60から出力されるレーザ光は良好にレーザヘッド20
に達することができる。
) 振器30が配置されておシ、前述した第2の駆動体26
には、プリズムないしFiハラ−からなる光学手段62
が配置されている。またレーザ発振器達する。光路L1
の方向は、光学手段32の移動方向すなわち第2の駆動
体26の矢印F6の移動方向に一致する。甘だ光路L2
の方向は、レーザヘッド20の移動方向すなわちキャリ
ッジ28の矢印F4の移動方向に一致する。従って、レ
ーザヘッド20がこのように移動しても、レーザ発振器
60から出力されるレーザ光は良好にレーザヘッド20
に達することができる。
次に上記従来例の動作について説明すると、生地18は
、裁断コンベヤ10の動作とともに移送され、レーザヘ
ッド200部分を通過する。レーー゛8・y(4) パターンを描きながら走査が行なわれることとなる。
、裁断コンベヤ10の動作とともに移送され、レーザヘ
ッド200部分を通過する。レーー゛8・y(4) パターンを描きながら走査が行なわれることとなる。
しかしながら、以上のような従来のレーザ加工1と1.
なる。また、駆動機!22の動作に伴う騒音あす るしは振動も相当大とならざるを得ない。
なる。また、駆動機!22の動作に伴う騒音あす るしは振動も相当大とならざるを得ない。
更に、レーザヘッド20の移動範囲は、裁断パターンと
一致するため、高速で裁断加工を行うことが困難である
という不都合もある。%に、レーザ照射手段を複数設け
て裁断を行うことは、レーザヘッドの移動が重ならない
ように配慮する必璧があり、レーザヘッドのクロスは不
可能であるとともにその接近にも限界がある。
一致するため、高速で裁断加工を行うことが困難である
という不都合もある。%に、レーザ照射手段を複数設け
て裁断を行うことは、レーザヘッドの移動が重ならない
ように配慮する必璧があり、レーザヘッドのクロスは不
可能であるとともにその接近にも限界がある。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、高速
で生産性よく所定の加工を行うことかできるとともに、
騒音あるいは振動を低減し得るレーザ加工装置を提供す
ることをその目的とし、被加工物に対してレーザ光を照
射する光学手段であるばラーを少なくとも2つ設けると
ともに、これらのiラーを第1及び第2の軸を中心とし
て所定のパターンを各々描くように個別に制御しつつレ
ーザ光を走査するようにしたレーザ加工装置によって前
記目的を達成しようとするものである。
で生産性よく所定の加工を行うことかできるとともに、
騒音あるいは振動を低減し得るレーザ加工装置を提供す
ることをその目的とし、被加工物に対してレーザ光を照
射する光学手段であるばラーを少なくとも2つ設けると
ともに、これらのiラーを第1及び第2の軸を中心とし
て所定のパターンを各々描くように個別に制御しつつレ
ーザ光を走査するようにしたレーザ加工装置によって前
記目的を達成しようとするものである。
図に示されている。これら第2図及び第3図において、
加工対象の生地1[]0が支持される支持台であるスラ
ットコンベヤ102の左方には、生地100の延反装置
104が配置されている。この延反装置104には、生
地10Dが巻回された原反ロール106がセットされて
おり、との原反口−ル106に巻回された生地100は
、延反装置104によってスラットコンベヤ102上に
送す出されるようになっている。スラットコンベヤ10
2の右方にはスクラップ処理装置1o8が配置されてお
り、加工終了後の残余のスクラップが収容されるように
なっている。
加工対象の生地1[]0が支持される支持台であるスラ
ットコンベヤ102の左方には、生地100の延反装置
104が配置されている。この延反装置104には、生
地10Dが巻回された原反ロール106がセットされて
おり、との原反口−ル106に巻回された生地100は
、延反装置104によってスラットコンベヤ102上に
送す出されるようになっている。スラットコンベヤ10
2の右方にはスクラップ処理装置1o8が配置されてお
り、加工終了後の残余のスクラップが収容されるように
なっている。
スラットコンベヤ102の中央付近適宜位置にド112
の光学系は、レーザヘッド212と同様ズ124に入射
し、更にはばラー126によって反射され、生地100
に入射するようになっている。
の光学系は、レーザヘッド212と同様ズ124に入射
し、更にはばラー126によって反射され、生地100
に入射するようになっている。
第1のばラー駆動部114は、ばラー126を、軸PX
を中心として第3図の矢印FA又は第4図の矢印FBの
如く揺動駆動するものであり、この軸PXは、集光手段
118のレンズ124(Q光軸と一致している。
を中心として第3図の矢印FA又は第4図の矢印FBの
如く揺動駆動するものであり、この軸PXは、集光手段
118のレンズ124(Q光軸と一致している。
第2のミラー駆動部116は、ミラー126を、軸PY
を中心として第6図の矢印FC又は第4図の矢印FDの
如く揺動するものである。
を中心として第6図の矢印FC又は第4図の矢印FDの
如く揺動するものである。
すなわち、レーザ光RA(第2図参照)は、凸面鏡12
01凹面鏡122及びレンズ124によって焦点が生地
100上となるように合わせられるとともに、第1のば
ラー駆動部114によって元RBのスポット径dを絞る
ためのものである。
01凹面鏡122及びレンズ124によって焦点が生地
100上となるように合わせられるとともに、第1のば
ラー駆動部114によって元RBのスポット径dを絞る
ためのものである。
すなわち、スポット径dは、レンズ124の焦点距離F
ルンズ124に入射するレーザ光のビーム径り、定数k
に対して d=に− り で表わされる。従って、焦点距離Fを大きくとる場合で
あっても、スポット径dを一定にしようとすると、ビー
ム径りもFに比例して大きくする必要がある。本発明に
おいては、レンズ124の焦点距離Fを太きくシ、レー
ザヘッド112と生地100との距離を大とする方がば
ラー126の揺動程度を小さくすることができるため、
かかると−ム拡大手段を含む方が好ましい。
ルンズ124に入射するレーザ光のビーム径り、定数k
に対して d=に− り で表わされる。従って、焦点距離Fを大きくとる場合で
あっても、スポット径dを一定にしようとすると、ビー
ム径りもFに比例して大きくする必要がある。本発明に
おいては、レンズ124の焦点距離Fを太きくシ、レー
ザヘッド112と生地100との距離を大とする方がば
ラー126の揺動程度を小さくすることができるため、
かかると−ム拡大手段を含む方が好ましい。
次に、スラットコンベヤー02あるいは延反装置104
の近辺には、レーザ発振器128 、228が各々配置
されており、更に、フレーム110の一方の肩110A
には、プリズム、ミラーなとかても同様であシ、伝送体
232.234及び光学手段230によってレーザ発振
器228によって出力されるレーザ光をレーザヘッド2
12に導<伝送手段が構成されている。
の近辺には、レーザ発振器128 、228が各々配置
されており、更に、フレーム110の一方の肩110A
には、プリズム、ミラーなとかても同様であシ、伝送体
232.234及び光学手段230によってレーザ発振
器228によって出力されるレーザ光をレーザヘッド2
12に導<伝送手段が構成されている。
次に、スラットコンベア102は、一部が円弧状にわん
曲しており、これによって加工わん曲部102Aが形成
されている。この加工わん曲部102Aは、ミラー12
6の軸pxの回転中心を中心点とした半径Rの円周の一
部となるように構成されている(第3図参照)、このた
め、第1のばラー駆動部114によりばラー126を軸
PXに対して回転することによってレーザ光RAを座標
軸X方向に走査する場合にあっては、ばラー次に、上記
実施例における全体的動作について、(、・鰺明する。
曲しており、これによって加工わん曲部102Aが形成
されている。この加工わん曲部102Aは、ミラー12
6の軸pxの回転中心を中心点とした半径Rの円周の一
部となるように構成されている(第3図参照)、このた
め、第1のばラー駆動部114によりばラー126を軸
PXに対して回転することによってレーザ光RAを座標
軸X方向に走査する場合にあっては、ばラー次に、上記
実施例における全体的動作について、(、・鰺明する。
邑・パオず、生地100は、延反装置104によって、
パ、− 、、原反ロール106からスラットコンベヤ1[12上
に送り出される。他方レーザ光は、レーザ発振器128
.228から前述した伝送手段を介して各各レーザヘッ
ド112.212に達する。更にレーザ光は、前述した
ビーム拡大手段及びレンズ124を通過するとともに、
ばラー126によって生地10[]上に焦点が合うよう
に反射される。
パ、− 、、原反ロール106からスラットコンベヤ1[12上
に送り出される。他方レーザ光は、レーザ発振器128
.228から前述した伝送手段を介して各各レーザヘッ
ド112.212に達する。更にレーザ光は、前述した
ビーム拡大手段及びレンズ124を通過するとともに、
ばラー126によって生地10[]上に焦点が合うよう
に反射される。
このとき、第1及び第2のばラー駆動部114゜116
によってばラー126が軸PX、PYを中心として揺動
し、必要彦裁断のパターンに従ってレーザ光RAが生地
100上で走査される(第2図参照)。レーザ光RBに
ついても・同様に第1及び第2のばラー駆動部214,
216によって所定のパターンを描くように生地100
上で走査−される。
によってばラー126が軸PX、PYを中心として揺動
し、必要彦裁断のパターンに従ってレーザ光RAが生地
100上で走査される(第2図参照)。レーザ光RBに
ついても・同様に第1及び第2のばラー駆動部214,
216によって所定のパターンを描くように生地100
上で走査−される。
ル上の動作により、生地100は、同様に2つのパター
ンが形成されて裁断され、失地100は、スラットコン
ベヤー02によってスクラップ処理紳“交する座標軸X
、Y方向に走査することとしたが、レーザ光RAを平面
的ないしは2次元的に走査できれば十分であ侵。レーザ
光RBについても同様である。
ンが形成されて裁断され、失地100は、スラットコン
ベヤー02によってスクラップ処理紳“交する座標軸X
、Y方向に走査することとしたが、レーザ光RAを平面
的ないしは2次元的に走査できれば十分であ侵。レーザ
光RBについても同様である。
また、上記実施例では、生地100を座標軸Xの方向に
わん曲させたが、これをY方向にわん曲させるようにし
てもよい。
わん曲させたが、これをY方向にわん曲させるようにし
てもよい。
更に、加工対象物としては、生地、皮等の他、金属、プ
ラスチックなどでもよいが、上記実施例では、町とり性
のあるものが好ましいことはいうまでもない。このよう
な性質を有しない場合には、スラットコンベヤー02を
第1図に示すように平坦に構成することと々る。更に、
加工対象物が比較的小面積のものであるときは、直接ス
ラットコンベヤ102に載せるようにする。
ラスチックなどでもよいが、上記実施例では、町とり性
のあるものが好ましいことはいうまでもない。このよう
な性質を有しない場合には、スラットコンベヤー02を
第1図に示すように平坦に構成することと々る。更に、
加工対象物が比較的小面積のものであるときは、直接ス
ラットコンベヤ102に載せるようにする。
1
−ドに対して共通とするようにしてもよく、レーザ、′
い 、ヘッドを更に多数設けるようにしてもよい。
い 、ヘッドを更に多数設けるようにしてもよい。
、(,1発明の効果〕
一゛パ以上説明したように、本発明によるレーザ加工装
置によれば、被加工物に対してレーザ光を照射する光学
手段を2つ以上設けることとし、各光学手段を、所定の
軸を中ノしとして揺動させることによってレーザ光の走
査を行うこととしたので、レーザ光のクロスあるいは接
近も容易に行うことができ、高速で生産性よく加工を行
うことができるとともに、騒音あるいは振動が低減され
るという効果がある。
置によれば、被加工物に対してレーザ光を照射する光学
手段を2つ以上設けることとし、各光学手段を、所定の
軸を中ノしとして揺動させることによってレーザ光の走
査を行うこととしたので、レーザ光のクロスあるいは接
近も容易に行うことができ、高速で生産性よく加工を行
うことができるとともに、騒音あるいは振動が低減され
るという効果がある。
第1図は従来のレーザ加工装置の一例を示す斜視図、第
2図は本発明にがかるレーザ加工装置の一実施例を示す
一部透視した斜視図、第6図は第2図に示す装置の簡略
化した正面図、第4図はレーザヘッドの構成例を示す説
明図である。 図において、100は生地、102はスラットコンベヤ
、112,212はレーザヘッド、114゜すものとす
る。 出願人 工業技術院長 川 1)裕 部× m 手続補正書(自発) 昭和女7年 3月 4日 特許庁長官 殿 1 事件の表示 特願昭59−32472号2 発明の
名称 レーザ加工装置 3 補正をする者 事件との関係 特許出願人 4 補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄並びに図面。 5 補正の内容 (1)明細書第7頁第11行目の「シンバル」を。 「ジンバル」と補正する。 (2)明細書第10頁第1行目の1オプテイカルブチカ
ルフアイバー」と補正する。 (3)図面の第2図を別紙補正図面のとおり補正する。 以上
2図は本発明にがかるレーザ加工装置の一実施例を示す
一部透視した斜視図、第6図は第2図に示す装置の簡略
化した正面図、第4図はレーザヘッドの構成例を示す説
明図である。 図において、100は生地、102はスラットコンベヤ
、112,212はレーザヘッド、114゜すものとす
る。 出願人 工業技術院長 川 1)裕 部× m 手続補正書(自発) 昭和女7年 3月 4日 特許庁長官 殿 1 事件の表示 特願昭59−32472号2 発明の
名称 レーザ加工装置 3 補正をする者 事件との関係 特許出願人 4 補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄並びに図面。 5 補正の内容 (1)明細書第7頁第11行目の「シンバル」を。 「ジンバル」と補正する。 (2)明細書第10頁第1行目の1オプテイカルブチカ
ルフアイバー」と補正する。 (3)図面の第2図を別紙補正図面のとおり補正する。 以上
Claims (3)
- (1)支持台上に支持された被加工物に対し、レーザ光
を2次元的に走査しつつ照射することによつ学手段を含
み、該光学手段はレーザ光の集光を行゛軸の一方は、前
記集光手段の元軸と一致することを%徴とするレーザ加
工装置。 - (2)前記集光手段は、レーザ光の径を拡大するビーム
拡大手段を各々含む集光手段である特許請求の範囲第1
項記載のレーザ加工装置。 - (3)前記支持台は、前記第1又は第2の軸の中心に対
する円弧を形成するわん曲部を含む支持台である特許請
求の範囲第1項又は第2項記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59032472A JPS60177984A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59032472A JPS60177984A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | レ−ザ加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60177984A true JPS60177984A (ja) | 1985-09-11 |
| JPH0243592B2 JPH0243592B2 (ja) | 1990-09-28 |
Family
ID=12359913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59032472A Granted JPS60177984A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60177984A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104384723A (zh) * | 2014-09-24 | 2015-03-04 | 江苏鑫成铜业有限公司 | 一种用于铜板剪切的激光划线装置 |
| CN106181076A (zh) * | 2015-07-16 | 2016-12-07 | 北京印刷学院 | 用于激光机的弧面可调式输料方法及设备 |
| CN106181077A (zh) * | 2015-07-16 | 2016-12-07 | 北京印刷学院 | 用于激光机的弧面输料方法及其设备 |
| CN106216852A (zh) * | 2016-08-25 | 2016-12-14 | 张美华 | 一种fpc覆盖膜全自动切割机 |
| CN108296652A (zh) * | 2018-04-13 | 2018-07-20 | 孙小雷 | 一种全自动送料服装面料激光裁剪机 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4830492U (ja) * | 1971-08-17 | 1973-04-13 | ||
| JPS51135492A (en) * | 1975-05-20 | 1976-11-24 | Mitsubishi Electric Corp | Laser material processing unit |
| JPS52141695U (ja) * | 1976-04-22 | 1977-10-27 |
-
1984
- 1984-02-24 JP JP59032472A patent/JPS60177984A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4830492U (ja) * | 1971-08-17 | 1973-04-13 | ||
| JPS51135492A (en) * | 1975-05-20 | 1976-11-24 | Mitsubishi Electric Corp | Laser material processing unit |
| JPS52141695U (ja) * | 1976-04-22 | 1977-10-27 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104384723A (zh) * | 2014-09-24 | 2015-03-04 | 江苏鑫成铜业有限公司 | 一种用于铜板剪切的激光划线装置 |
| CN106181076A (zh) * | 2015-07-16 | 2016-12-07 | 北京印刷学院 | 用于激光机的弧面可调式输料方法及设备 |
| CN106181077A (zh) * | 2015-07-16 | 2016-12-07 | 北京印刷学院 | 用于激光机的弧面输料方法及其设备 |
| CN106216852A (zh) * | 2016-08-25 | 2016-12-14 | 张美华 | 一种fpc覆盖膜全自动切割机 |
| CN108296652A (zh) * | 2018-04-13 | 2018-07-20 | 孙小雷 | 一种全自动送料服装面料激光裁剪机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0243592B2 (ja) | 1990-09-28 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |