JPS60182011A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁気記録媒体に関する。

背景技術とその問題点 近年、磁気記録の高密度化の目的で薄膜磁気記録媒体、
即も非磁性基体上に真空蒸着、スパッタリング等の方法
により数白人〜略ｌμの厚さの強磁性金属を形成させた
磁気記録媒体についての（ｔｌｌ究が盛んである。この
ような磁気記録媒体においζ、高い抗磁力ｌｌｃを有す
る磁性層を得る方法とし°Ｃ上述のＩｉ！１！磁性金属
例えばＣｏを主体とする耐性全屈の蒸発粒子を斜めに入
射させる斜め蒸着法が提案されζいる。

また、本出願人においζ、はぼ垂直蒸着法によって１０
ｉい抗磁力を示し、且つ商い角形比をイｊする１？ｉ気
記録媒体も提案されている。この磁気記録媒体は非磁性
基体、Ｌにｌｌｉの１〜地層を被着した後、これの上に
例えばＣｏを主体の金屈硼Ｐ１層を形成するものである
。

しかし、前者の磁気記録媒体では磁ｆ１１金属のバッキ
ングがＰｌめ入射により低ドし、また酸素導入によって
飽和研束密度が低トする等の問題があった。一方１ｉＪ
ｔ考の磁気記録媒体では膜形成の際、基体温度を高温に
保たねばならないため、使用する非磁性基体が制限され
生産性の点でも問題があった。

発明の目的 本発明は、上述の点に鑑の、？口Ｊ密度記録に適し、Ｌ
つ量産性に優れた磁気記録媒体を提供するものである。

発明の概要 本発明は、非磁性基体上にＧ３Ａｌ合金のト地１−と金
属磁性層を順次形成して成る磁気記録媒体である。

この発明の磁気記録媒体では、峨性金属の蒸発粒子をほ
ぼ垂直入射しＣ（？ｉ　４’ｌ　Ｉｔｉを形成゛４−る
ことができるので磁性層のバッキングが密になり＋Ｆ１
ｉ密度記録に適する。また當に１１．での／−を産が可
能でＰ産１１［に通ずる。

実施例 以下、本発明の詳細な説明する。

本発明においては、図に）Ｊ（ずように非磁性基体（１
）」−にＧａＡｌ合金のト地層（２）と金属磁性層（３
）を順次被着して磁気記録媒体を構成する。

非磁性基体（１）としては、例えばポリエチレンテレフ
タレート、ポリアミｉ′、ポリアミド・イミド、ポリイ
ミド等の市分子フィルム、ガラス、セラミック、サファ
イア或いは表面を酸化した金属板等を用いることができ
る。

金属磁性層（２）とし−（はＣｏ、　ｌ’ｅ、旧或いは
これらの合金（例えばＧｏ−Ｎｉ合金等）等を用いるこ
とができる。

１−地ｊ４を構成ＪるＧ８＾１合金としては、八１が２
〜４０市皇％含有する組成範囲のものを用いることがで
きる。このＧａＡ　１合金は凝固Ｉｔｋテに体積膨張°
４゛る非磁性の１１〜融点金属である。

非磁性基体＋１１４二へのＧａ１ｌｌド地層（２）及び
金属磁性層（３）の形成には蒸着法、スパッタリング法
、イオンブレーティング法等を用いることができる。

実施例１ ガラス基扱まりなる非磁性基体ｆｉｌ−ｔに１．ＯＸ　
１０−’　Ｔｏｒｒ〜１．Ｏｘ　１ｏ−５Ｔｏｒｒの貝
空中で基体温度３０°ｃ　ニ保持した状態でＧａｒｏ　
Ａｌ３０合金を５００人蒸着し゛Ｃト地層（２）を形成
し、引き続きＣｏ６ｓ　Ｎｉ３ｓ合金を２００人蒸着し
て金属磁性層（３）を形成した。基体４に度は基体近傍
に位置した熱電対により１測し、層の厚さは水晶振動子
によりモニターした。このようにしζ（Ｌ−また磁気記
録媒体を実施例１とした。

実施例２ 実施例１と同様の方法によるも、基体温度を１００℃と
してＧａ７ｏ−八１３０合金を５００人、Ｃｏｇ５Ｎｉ
ａｓ合金を２００人人々Ｍ、！￥した。このようにして
（Ｍた磁気記録媒体を実施例２とした。

実施例３ 実施例１と同様の方法によるも、基体温度を３０℃とし
、［＋ａｔｏ−八Ｉ〕ｏへ金を′５００人、Ｃ０６５−
Ｎｉ３５合金を１０（）八人々范着した。このよ−）に
しζｉすだ磁気記録媒体を実施例３とした。

実施例４ 実施例１と同様の方法によるも、基体？Ｘ！＋度を１０
０°Ｃとし、Ｇａｖｏ−へ１３１〕合金を５００人、Ｃ
ｏｇｓ　−Ｎｉ３ｉ合金を１００八人々蒸着した。この
ようにし“（得た磁気記録媒体を実施例４とした。

１、記各例の（ｄ気記録媒体の磁気特性を測定した結果
をＦ記表に示−３°。

表 このように１−地層としてＧａと八１の合金を用いるご
とによっ′（非磁セ１基体の基体温度が常ｒｉ！　’Ｃ
あっても、所望の磁気特性がｊ）−られる。Ｃ８は融点
が２９．８℃であるが、＾１との合金は融点が２６．４
℃と低トするため、液状の−１・地層を形成しやずく、
そのｌ−に金属磁性ｊ−を形成すると磁性金属の１１１
（粒子間にＧａ＾１′合金が拡散し、磁性金属の微粒子
間の磁気的結合を弱め、その結果、商い抗磁力の磁気記
録媒体がｆ！−７られる。

面、金属磁性層は−Ｗに限られるものではなく一１二達
したト地層を介在させた多層構造と一４′るごともでき
る。

発明の効果 、上述した本発明によれば、凝固時に体積膨張するＧａ
＾１の下地１＠を介し゛ζ合金１ｆｉｉ性層を形成する
ことにより、金ＩＩバ化′ゑ（’Ｉ：　ｌＩ！！ｉがほ
ぼ！ＩＦｌｌ′Ｉ方向からの蒸着でも微細化され、ｒ＋
ｉい抗磁〕月１ｃをｆｕ、また高い角形比Ｒｓをｊ！ｌ
ることができる。

そして、金属磁性１＠を用いる、二とと相俟つ′（，１
１！：直蒸着が１＋Ｊ能なため金属磁セ１１−のバッキ
ングが密になり、ｌ１ｌｉ密度記録に通ずるものである
。また１、・ｌめ苅着よりは効イ４のよい１１−産がで
きｐ産性にもＪ角Ｊる。１：た、磁気的に面内等方性の
磁性層であるためにテープ、ディスク等応用範囲が極め
て広い。

さらに、本発明では、１〜地層のＧａＡｌ合金が低面：
点金属であり、膜形成時の基体ｌＡ！１度を電層として
も所望の磁気１１．’ｉ　１１１が得られるので、非磁
性基体に対する熱的損傷（カール、しわ等）を排除でき
る。

このため、非磁性基体の祠′にの選択の自由度が増し、
温度二１ントｌ」−小制御のための設イメ１１ｉ、対策
等が不要になり、極めて量産）！１に適するものである
。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の磁気記録媒体の例をボず１４１ｉ曲図であ
る。 （１）は非磁１１１基体、（２）は〔；様Ｉ合金１〜地
層、（３）は金属磁性層である。 代理人　伊藤　貞 同　松隈秀盛

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性基体上にＧａＡｌ合金のト地層と金属磁性層が順
   次形成されて成る磁気記録媒体。