JPS60182015A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
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- JPS60182015A JPS60182015A JP3659484A JP3659484A JPS60182015A JP S60182015 A JPS60182015 A JP S60182015A JP 3659484 A JP3659484 A JP 3659484A JP 3659484 A JP3659484 A JP 3659484A JP S60182015 A JPS60182015 A JP S60182015A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
3.1 発明の技術分野
本発明は、At又はその合金の陽極酸化皮膜に生成りる
微細孔(以ト、ボアという。)中に強磁性体を充填して
得られる垂直磁気記録異体に関するものである。 3.2 技術の背に1 磁気記録媒体にディジタル信号を記録づる方式には、磁
性層表面に対して水平方向に磁化さUる面内記録方式と
、磁性層表面に対して垂直、づなわら、厚さ方向に磁化
させる垂直記録方式とがある。従来は面内記録方式が用
いられてきたが、近年の記録の高密度化、人容吊化に伴
ない、高記録密度性に優れる垂直磁気記録媒体が8−目
され、各所で実用化・最適化の(ll+究・開発が進め
られている。 3.3 従来技術の問題点 Δを又はイの合金を酸又はアルカリ浴中で陽極酸化づる
と、表面に酸化At皮膜かできる。 その皮膜には表面に対して垂直な軸を右づるボアが形成
される。これを強磁性金属塩イAンを含む溶液中U″電
解行なうことにより、ボア中に強磁性体を充填させるこ
とができる。口のようにして得られた磁性膜は、膜表面
に対し−C垂直な磁化容易方向を右し、また、膜作成条
件に上り、磁気特性を広範囲に変化させることができる
。従つC,陽極酸化処理により生成されたボア中に強I
硅性イホを充填したちのは垂直磁気記録媒1本として使
用づることか可能Cある。 」−記の原理を用いてla気ディスク19の磁気記録媒
体を作成づる場合、従来は、基板として、△を合金を用
いるのが一般的であったが、At合金を基数として用い
る場合は、その合金に含まれる金属間化合物、非金属介
在物などの不純物や、ビンボールなどの表面欠陥などの
!こめに、ボアの径−X’)長軸方向、又は分布率など
について均一な陽極酸化皮膜が得られない。さらに、そ
のような皮膜に強磁性体を充填して、垂直18気記録媒
体とした場合は、前記表面欠陥部が記録信号のドロップ
アウトや磁気ヘッドのクラッシュ等の原因になる。など
の欠点があった。 金属間化合物や非金属介在物の混入は、Δを含金を作る
時の原料の純度を上げていっても、溶解、vi造、圧延
などの諸工程を通る際に、ある程度導入されるのは避け
られないものである。 従って、均一な磁性膜を得るという観魚からは、基板と
して1lliA/−を使用づることか望ましい。しかし
、一方、純At は、機械的強度が弱く、加工性も良く
ないため、回転磁気ディスクなどのように薄板に形成す
る場合は、表面を鏡面に加工Jるのは難しい。そうする
と、純Atも、回転磁気ディスクの基板として使用する
のは不適当である。 3.4 本光明の目的 本発明は、上記の点に鑑み、回転磁気ディスクを製作J
る場合の所要の1層成的強度及び加工性を備え、なd3
かつ、均一な磁気膜を有しつる垂直磁気記録媒体を提供
りることを目的と覆る。 3.5 本発明の構成及び゛効果 本発明は上記目的を達成りるため、At合金板の上に、
蒸着、イオレブレーiイング、スパッタリング等の気相
成dにより高純度Alt<を形成しく、見積を(^1成
したもの−Cある。 このにうな414成とづることにより、この基板で磁気
ディスクを製作Jる場合は、At合金板は機械的強度が
大きく、かつ、加工性が良いので、所定の加工粘度がj
qられる。また、陽極酸化処理をりる場合は、高純ゴ腹
△を肱に対して処理がされるから、不純物や表面欠陥な
どの影響を受
微細孔(以ト、ボアという。)中に強磁性体を充填して
得られる垂直磁気記録異体に関するものである。 3.2 技術の背に1 磁気記録媒体にディジタル信号を記録づる方式には、磁
性層表面に対して水平方向に磁化さUる面内記録方式と
、磁性層表面に対して垂直、づなわら、厚さ方向に磁化
させる垂直記録方式とがある。従来は面内記録方式が用
いられてきたが、近年の記録の高密度化、人容吊化に伴
ない、高記録密度性に優れる垂直磁気記録媒体が8−目
され、各所で実用化・最適化の(ll+究・開発が進め
られている。 3.3 従来技術の問題点 Δを又はイの合金を酸又はアルカリ浴中で陽極酸化づる
と、表面に酸化At皮膜かできる。 その皮膜には表面に対して垂直な軸を右づるボアが形成
される。これを強磁性金属塩イAンを含む溶液中U″電
解行なうことにより、ボア中に強磁性体を充填させるこ
とができる。口のようにして得られた磁性膜は、膜表面
に対し−C垂直な磁化容易方向を右し、また、膜作成条
件に上り、磁気特性を広範囲に変化させることができる
。従つC,陽極酸化処理により生成されたボア中に強I
硅性イホを充填したちのは垂直磁気記録媒1本として使
用づることか可能Cある。 」−記の原理を用いてla気ディスク19の磁気記録媒
体を作成づる場合、従来は、基板として、△を合金を用
いるのが一般的であったが、At合金を基数として用い
る場合は、その合金に含まれる金属間化合物、非金属介
在物などの不純物や、ビンボールなどの表面欠陥などの
!こめに、ボアの径−X’)長軸方向、又は分布率など
について均一な陽極酸化皮膜が得られない。さらに、そ
のような皮膜に強磁性体を充填して、垂直18気記録媒
体とした場合は、前記表面欠陥部が記録信号のドロップ
アウトや磁気ヘッドのクラッシュ等の原因になる。など
の欠点があった。 金属間化合物や非金属介在物の混入は、Δを含金を作る
時の原料の純度を上げていっても、溶解、vi造、圧延
などの諸工程を通る際に、ある程度導入されるのは避け
られないものである。 従って、均一な磁性膜を得るという観魚からは、基板と
して1lliA/−を使用づることか望ましい。しかし
、一方、純At は、機械的強度が弱く、加工性も良く
ないため、回転磁気ディスクなどのように薄板に形成す
る場合は、表面を鏡面に加工Jるのは難しい。そうする
と、純Atも、回転磁気ディスクの基板として使用する
のは不適当である。 3.4 本光明の目的 本発明は、上記の点に鑑み、回転磁気ディスクを製作J
る場合の所要の1層成的強度及び加工性を備え、なd3
かつ、均一な磁気膜を有しつる垂直磁気記録媒体を提供
りることを目的と覆る。 3.5 本発明の構成及び゛効果 本発明は上記目的を達成りるため、At合金板の上に、
蒸着、イオレブレーiイング、スパッタリング等の気相
成dにより高純度Alt<を形成しく、見積を(^1成
したもの−Cある。 このにうな414成とづることにより、この基板で磁気
ディスクを製作Jる場合は、At合金板は機械的強度が
大きく、かつ、加工性が良いので、所定の加工粘度がj
qられる。また、陽極酸化処理をりる場合は、高純ゴ腹
△を肱に対して処理がされるから、不純物や表面欠陥な
どの影響を受
【)ない、均一な陽極酸化皮膜が得られる
。 従って、このようなり#3極酸化皮膜を右づ−る基板に
磁性体充填処理を覆れば、記録信号のドロツブアラ1−
や磁気ヘッドのクラッシュなどを起さない、信頼度と安
全性の高い垂直18気記録媒体を得ることができる。 3.6 本発明の実施例 次に、本発明のいくつかの実施例について説明づ−る。 実施例1 現イ「、一般に磁気ディスクの基板として用いられてい
るAt合金Δ△50BGをタイX7モンド旋盤にCvL
面什」二げを11ない、その表面に純lff99.99
9%の高純度Atを原料として電子ビーム蒸着を行ない
、19さ5μmの純At層を形成した。その後、3wt
(手早)%シコウ酸浴にて20℃、DC40Vの条イ1
で陽極酸化処理を行ない、厚さ4μmの陽極酸化皮膜を
(qだ。 次いr、30℃の5wt%スルファミン酸とIIN%リ
ン酸の混浴中に20分間浸漬してボアを拡大した後、5
wt%第一硫酸鉄アン[ニウムと3W【%ホウ酸溶液中
で交流電解を行ない、ボア中に鉄を析出させた。その後
、表面を約2μm研磨してから顕微鏡にて表mjを観察
し、欠陥部の大きさと数を調べた。表w1面積1m+8
2について調べた結果を表1に示す。比較のため、蒸着
を行なわなかった同月1.1(AA508G)を同様に
処理した時の欠陥を調べた結果を表1に(71記する。 実施例2 実施例1の蒸着の代わりに、同じく純度99゜999%
の高純度Atをターグツ1へとしCマグネl−ロン・ス
パッタリング法にJ、すJ’7さ5μmの膜を形成した
。他の処理は実施例1と同じである。欠陥部を数えた結
果を表1に承り。 実施例3 実施例1の蒸着の代わりにイオン・ブレーティング法に
より、同じく高純度△を膜を5μm形成した。 他の処理は実施例1と同じである。欠陥の数を表1に承
り。 表1 3.7 実施態様の説明 上述のように、At 合金板上に純At層を形成りるこ
とにより、垂直磁気記録媒体の欠陥の数を著しく減少さ
せることができる。 本発明者は、垂直磁気記録媒体として良好な磁気特性を
得るために気相成長したAt mtAに関】る詳細な実
験を行なった結果、Δノ 合金阜仮に形成する高純度A
t膜の特性としC1電気11(抗率ρが2.7〜3.2
μQcrnのしのが良好な磁気特性が1!7られること
がわかった。 実験は、純Δを膜形成時の真空度、固成JXim度、基
板温度などの諸条イ′1を変化さけてL+なったが、真
空度の高いほど、電気抵抗率が低くなり、また、I19
成艮速度が人ぎいはと、電気抵抗率が低くなる。しかし
、塁4に温度を変え(t)、電気11(li“し率に変
化)よなかった。 上記の諸条イ′[を変えで作成したり仮を、いり゛れも
同条件で陽極酸化処’l1ll、ボア拡大処理、磁性体
析出処理を行なつU (!’?られlこ磁性膜の(6気
特性を測定した。 この結果、1161面に垂直り向の保磁力11c (±
〉は、股作成条イ9(に依存liす゛、(Jぽ一定のl
111が1°Iられるか、飽和磁束密度13sは純Δl
の電気抵抗率に大きく依存りることが判った。この結果
を第1図に示す。同図にLi2い(、実線、鎖線、及び
一点鎖線はそれぞれW着払(Jよる皮膜、イAンゾレー
ディング法による皮膜、及びスパッタリング法にJ、る
皮膜の測定結果を示づ。 垂直(丑気記録媒体どして使用覆る場合、B sは大き
い方がTI′i生信号の信号雑音比が良くなり、記録密
度が向上Jるため、Δを合金基板上に形成づる純△を股
とし℃は、電気抵抗率ρが2゜7〜3.2μΩamの範
囲にあるものが適当であることが、この測定結果から判
る。
。 従って、このようなり#3極酸化皮膜を右づ−る基板に
磁性体充填処理を覆れば、記録信号のドロツブアラ1−
や磁気ヘッドのクラッシュなどを起さない、信頼度と安
全性の高い垂直18気記録媒体を得ることができる。 3.6 本発明の実施例 次に、本発明のいくつかの実施例について説明づ−る。 実施例1 現イ「、一般に磁気ディスクの基板として用いられてい
るAt合金Δ△50BGをタイX7モンド旋盤にCvL
面什」二げを11ない、その表面に純lff99.99
9%の高純度Atを原料として電子ビーム蒸着を行ない
、19さ5μmの純At層を形成した。その後、3wt
(手早)%シコウ酸浴にて20℃、DC40Vの条イ1
で陽極酸化処理を行ない、厚さ4μmの陽極酸化皮膜を
(qだ。 次いr、30℃の5wt%スルファミン酸とIIN%リ
ン酸の混浴中に20分間浸漬してボアを拡大した後、5
wt%第一硫酸鉄アン[ニウムと3W【%ホウ酸溶液中
で交流電解を行ない、ボア中に鉄を析出させた。その後
、表面を約2μm研磨してから顕微鏡にて表mjを観察
し、欠陥部の大きさと数を調べた。表w1面積1m+8
2について調べた結果を表1に示す。比較のため、蒸着
を行なわなかった同月1.1(AA508G)を同様に
処理した時の欠陥を調べた結果を表1に(71記する。 実施例2 実施例1の蒸着の代わりに、同じく純度99゜999%
の高純度Atをターグツ1へとしCマグネl−ロン・ス
パッタリング法にJ、すJ’7さ5μmの膜を形成した
。他の処理は実施例1と同じである。欠陥部を数えた結
果を表1に承り。 実施例3 実施例1の蒸着の代わりにイオン・ブレーティング法に
より、同じく高純度△を膜を5μm形成した。 他の処理は実施例1と同じである。欠陥の数を表1に承
り。 表1 3.7 実施態様の説明 上述のように、At 合金板上に純At層を形成りるこ
とにより、垂直磁気記録媒体の欠陥の数を著しく減少さ
せることができる。 本発明者は、垂直磁気記録媒体として良好な磁気特性を
得るために気相成長したAt mtAに関】る詳細な実
験を行なった結果、Δノ 合金阜仮に形成する高純度A
t膜の特性としC1電気11(抗率ρが2.7〜3.2
μQcrnのしのが良好な磁気特性が1!7られること
がわかった。 実験は、純Δを膜形成時の真空度、固成JXim度、基
板温度などの諸条イ′1を変化さけてL+なったが、真
空度の高いほど、電気抵抗率が低くなり、また、I19
成艮速度が人ぎいはと、電気抵抗率が低くなる。しかし
、塁4に温度を変え(t)、電気11(li“し率に変
化)よなかった。 上記の諸条イ′[を変えで作成したり仮を、いり゛れも
同条件で陽極酸化処’l1ll、ボア拡大処理、磁性体
析出処理を行なつU (!’?られlこ磁性膜の(6気
特性を測定した。 この結果、1161面に垂直り向の保磁力11c (±
〉は、股作成条イ9(に依存liす゛、(Jぽ一定のl
111が1°Iられるか、飽和磁束密度13sは純Δl
の電気抵抗率に大きく依存りることが判った。この結果
を第1図に示す。同図にLi2い(、実線、鎖線、及び
一点鎖線はそれぞれW着払(Jよる皮膜、イAンゾレー
ディング法による皮膜、及びスパッタリング法にJ、る
皮膜の測定結果を示づ。 垂直(丑気記録媒体どして使用覆る場合、B sは大き
い方がTI′i生信号の信号雑音比が良くなり、記録密
度が向上Jるため、Δを合金基板上に形成づる純△を股
とし℃は、電気抵抗率ρが2゜7〜3.2μΩamの範
囲にあるものが適当であることが、この測定結果から判
る。
第1図は本発明による基板の高純度At層の電気抵抗率
と飽和磁束密度との関係を示−リグラフCある。 14訂出願人 高 橋 俊 部 夕 才 否 2.5 3.5 電気伝斡rψΩcml 1’T +i’l庁長官 若杉和夫 殿1 、 =I;
flの表示 昭和()0づ12LI2ε31]イ’l I!2出のf
l RT願く1)2、発明の名称 Q’−、sin、
’−メ垂自磁気記録媒体 3、補正4りる石 “旧′1どの関係 1:1ム′[出l(1人11所 静
岡県浜松市人瀬町350−29氏名 1r5 イn 俊
部 4、代理人〒105 (111i 中5rr都港1メ豹i橋3]目′155番
り弓(3,ン+li iE の対(() 明1i’1llf!fの’l’l i1’l晶求の範囲
の欄及び発明の訂廁な説明欄 7、袖11−の内容 8.1” ”・ 別紙のどJ3リ ′59.3.74 。 補正の内容 (1)特許請求の範囲を別紙のとd3り訂正りる。 く2)明細囚第4頁第15行目のl’A4合金」より第
18行目までを次のように訂正づる。 1機械的強度及び加工性に優れた月利、例えば△を合金
、ガラス、硬7′(プラスチック、レラミックなど(以
下、代表的にAt合金という。)C基板を作り、その基
板上に、蒸着、イオンブレニアインク又はスパッタリン
グなどの気相成長によるノj2)、−c高純度△tFi
を形成したものである。」 (3)明細−)図14頁第19行目のl JJ板−1を
1磁気記録媒体コに訂正ηる。 (4)明細丙第9頁ダ18?j目と第9行目の闇に、次
の文章をIJ]」入ηる。 1ト記実施例は、At合金を基板として用いlc揚合の
ものであるが、カラス、li!J!貿プラスチック、又
はレラミックなどを用いる場合にも、同様の結末かj’
Jられるものと思われる。」’lll i’f品求の範
囲 (1) j’ルミニウム(以上、Atという。)の陽4
4i酸化処理にeJ:り生成される酸化皮114)の微
flll l中に強141性体を充填して製造される垂
直磁気記録媒体であって、At合金、カラス、硬質プラ
スチック又(よレラミツクを基板としC用い、この基板
上に蒸着、イオンプレーディング又はスパッタリングな
どの気相成長による方法で高純する垂直磁気記録媒体。 (2)高Tk度At層はその電気抵抗率が2.7へ・3
.2μΩcmの範囲にあるものであることを特徴とりる
14訂請求の範囲第11jiに記載の垂直磁気記録媒体
。
と飽和磁束密度との関係を示−リグラフCある。 14訂出願人 高 橋 俊 部 夕 才 否 2.5 3.5 電気伝斡rψΩcml 1’T +i’l庁長官 若杉和夫 殿1 、 =I;
flの表示 昭和()0づ12LI2ε31]イ’l I!2出のf
l RT願く1)2、発明の名称 Q’−、sin、
’−メ垂自磁気記録媒体 3、補正4りる石 “旧′1どの関係 1:1ム′[出l(1人11所 静
岡県浜松市人瀬町350−29氏名 1r5 イn 俊
部 4、代理人〒105 (111i 中5rr都港1メ豹i橋3]目′155番
り弓(3,ン+li iE の対(() 明1i’1llf!fの’l’l i1’l晶求の範囲
の欄及び発明の訂廁な説明欄 7、袖11−の内容 8.1” ”・ 別紙のどJ3リ ′59.3.74 。 補正の内容 (1)特許請求の範囲を別紙のとd3り訂正りる。 く2)明細囚第4頁第15行目のl’A4合金」より第
18行目までを次のように訂正づる。 1機械的強度及び加工性に優れた月利、例えば△を合金
、ガラス、硬7′(プラスチック、レラミックなど(以
下、代表的にAt合金という。)C基板を作り、その基
板上に、蒸着、イオンブレニアインク又はスパッタリン
グなどの気相成長によるノj2)、−c高純度△tFi
を形成したものである。」 (3)明細−)図14頁第19行目のl JJ板−1を
1磁気記録媒体コに訂正ηる。 (4)明細丙第9頁ダ18?j目と第9行目の闇に、次
の文章をIJ]」入ηる。 1ト記実施例は、At合金を基板として用いlc揚合の
ものであるが、カラス、li!J!貿プラスチック、又
はレラミックなどを用いる場合にも、同様の結末かj’
Jられるものと思われる。」’lll i’f品求の範
囲 (1) j’ルミニウム(以上、Atという。)の陽4
4i酸化処理にeJ:り生成される酸化皮114)の微
flll l中に強141性体を充填して製造される垂
直磁気記録媒体であって、At合金、カラス、硬質プラ
スチック又(よレラミツクを基板としC用い、この基板
上に蒸着、イオンプレーディング又はスパッタリングな
どの気相成長による方法で高純する垂直磁気記録媒体。 (2)高Tk度At層はその電気抵抗率が2.7へ・3
.2μΩcmの範囲にあるものであることを特徴とりる
14訂請求の範囲第11jiに記載の垂直磁気記録媒体
。
Claims (2)
- (1)陽極酸化処理ににり生成される微細孔中に強磁性
体を充填して製造される垂直磁気記録媒体の基板が、ア
ルミニウム(以F、At という。)合金上に、蒸着、
イオンブレーアイング、又はスパッタリングなとの気相
成長によるh法′C″高純度A1層を形成しCなること
を特徴どηる垂直磁気記録媒体。 - (2)高純度At層はその電気抵抗甲が2.7〜3.2
μOff+の範囲にdうるちのでdうることを特徴とす
る特5′[請求の範囲第1項に記載の垂直磁気記録異体
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3659484A JPS60182015A (ja) | 1984-02-28 | 1984-02-28 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3659484A JPS60182015A (ja) | 1984-02-28 | 1984-02-28 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60182015A true JPS60182015A (ja) | 1985-09-17 |
Family
ID=12474103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3659484A Pending JPS60182015A (ja) | 1984-02-28 | 1984-02-28 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60182015A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5671821A (en) * | 1979-11-14 | 1981-06-15 | Hitachi Ltd | Substrate for magnetic disc and its manufacture |
| JPS5922232A (ja) * | 1982-07-26 | 1984-02-04 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 磁気デイスク用アルミニウム基板の製造法 |
-
1984
- 1984-02-28 JP JP3659484A patent/JPS60182015A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5671821A (en) * | 1979-11-14 | 1981-06-15 | Hitachi Ltd | Substrate for magnetic disc and its manufacture |
| JPS5922232A (ja) * | 1982-07-26 | 1984-02-04 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 磁気デイスク用アルミニウム基板の製造法 |
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