JPS601962B2 - 導波管形気密窓 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、線型加速器、マイクロ波加熱装置、レーダ等
に使用する大略力マイクロ波の導波管形気密窓に関する
。

線型加速器等の大鰭力マイクロ波導波管系には、真空又
は加圧ガスの気密のために導波管形気密窓が用いられる
。従来の導波管形気密窓は、第１図に示すように気密保
持用のセラミック製円板１の外周にメタラィズ層２を形
成し、この円板１の外周を囲うように金属製リング３を
設けて、これらの接合個所をろう付けして封着している
。

また金属製リング３の外周に冷却用パイプ４を設けて、
セラミック製円板１で発生する熱を、該パイプ４を流通
する冷却水で吸収するようにしている。しかし、従来の
導波管形気密窓は、セラミック製円板１と金属製リング
３とをろう付けしているために、該円板１の外縁に若干
のろう材がしみ出すことがさげられない。

従ってしみ出したろう村により、大軍力マイクロ波がセ
ラミック面上で放電しやすくなり、気密窓を通過できる
マイクロ波通過許容電力が制限される問題がある。また
、金属製リング３は、ろう付けを容易にするために薄肉
としているが、この場合冷却水による腐食に弱くなり、
耐久性の点で問題があった。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的と
するところは、マイクロ波通過許容電力を高め、しかも
耐久性を向上することができる導波管形気密窓を提供す
るものである。すなわち、本発明は外周にメタラィズ層
を形成したセラミック製円板の両面に金属製リングを設
け、かつ該リング及び円板の外周にこれらを接合封着す
る銅〆ツキ層を形成した導波管形気密窓である。

以下本発明の一実施例を図面を参照して説明する。

第２図は大電力マイクロ波の導波管形気密窓の断面図で
、この気密窓は、セラミック製円板１１と金属製リング
１２，１２とを銅〆ッキ層１３により接合封着し、さら
に該銅〆ッキ層１３の外周に冷却用パイプ１４を取付け
ている。

上記セラミック製円板１１は、真空または加圧ガスの気
密保持用のもので、その外周にメタライズ層１５を形成
している。一方上記金属製リング１２，１２は上記円板
１１と同じ外径をなして円板！１の両面に設けられてお
り、その外周面が円板１１の外周面と同一曲面を形成し
ている。上記銅〆ツキ層１３は円板１１及びリング１２
の外周面に電気鋳造法等により厚肉に銅〆ツキして形成
されるもので、この鋼メッキ層１３を形成することによ
り円板１１とりング１２とが接合封着される。このよう
に構成された導波管形気密窓は、円板１１とりング１２
とを銅〆ッキ層１３で接合封着しているので、ろう材洩
れによるマイクロ波放電は起らず、この結果マイクロ波
通過許容電力が増加する。しかもろう付けをおこなわな
いので銅〆ッキ層１３を厚肉とすることができ、この結
果冷却水による腐食劣化に対して丈夫であり、耐久性が
増す。また作業性の悪いろう付けの代りに銅〆ッキをお
こなうので工程の簡素化、コスト低下なども図ることが
できる。なお、この構造の導波管形気密窓は、冷却作用
及び電気的作用は従来のものと同様である。

以上説明したように、本発明はろう付けの代りに銅〆ツ
キにより接合封着するので、マイクロ波放電を防止し、
また耐食性を高め、さらには工程の簡素化、コストの低
下を図ることができる顕著な効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の導波管形気密窓の断面図、第２図は本発
明の一実施例を示す導波管形気密窓の断面図である。 １１……セラミック製円板、１２・・…・金属製リング
、１３・・・・・・鋼メッキ層、１４・・・・・・冷却
用パイプ、１５……メタラィズ層。 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 外周にメタライズ層を形成したセラミツク製円板の
   両面に金属製リンを設け、かつ該リング及び円板の外周
   に、これらを接合封着する銅メツキ層を形成してなる導
   波管形気密窓。