JPS6020029A - クリ−ンル−ム用給気方式 - Google Patents
クリ−ンル−ム用給気方式Info
- Publication number
- JPS6020029A JPS6020029A JP58126970A JP12697083A JPS6020029A JP S6020029 A JPS6020029 A JP S6020029A JP 58126970 A JP58126970 A JP 58126970A JP 12697083 A JP12697083 A JP 12697083A JP S6020029 A JPS6020029 A JP S6020029A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- filter boxes
- air supply
- filter
- clean room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 235000009508 confectionery Nutrition 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
近来、半導体の製造成いは製薬、製菓等の分野、病院に
おける手術室等においては、その作業を行なう部屋は充
分に清浄であることが必要であり、今後柱々このような
りリーンルームと称される外部と遮断された清浄な空間
が要望されている。このクリーンルームは、外部の汚染
された空気と完全に遮断されるのみならず、部屋内部の
作業者等に・よって汚染された空気をも排除する必要が
あり、このためには、常に清浄な空気をクリーンルーム
内に送９込む必要がある。この清浄な空気の製造には、
通常極めて微細なガラス繊維を材料とした超高精密空気
濾過器（通常ＨＥＰＡフィルターと称される）が用いら
れ、これの除塵性能は０．３μｍの粒子の除去率として
９９．９７％以上あるといわれている。
おける手術室等においては、その作業を行なう部屋は充
分に清浄であることが必要であり、今後柱々このような
りリーンルームと称される外部と遮断された清浄な空間
が要望されている。このクリーンルームは、外部の汚染
された空気と完全に遮断されるのみならず、部屋内部の
作業者等に・よって汚染された空気をも排除する必要が
あり、このためには、常に清浄な空気をクリーンルーム
内に送９込む必要がある。この清浄な空気の製造には、
通常極めて微細なガラス繊維を材料とした超高精密空気
濾過器（通常ＨＥＰＡフィルターと称される）が用いら
れ、これの除塵性能は０．３μｍの粒子の除去率として
９９．９７％以上あるといわれている。
上記した清浄な空気をクリーンルーム内に送り込むには
、前記した超高精密空気ヂ過器を内蔵したフィルターボ
ックスを給気ダクトよシ分岐せしめて天井面に多数設け
、給気ダークトをとおってきた空気を超高精密空気濾過
器を通過せしめることにより空気を清浄にしてクリーン
ルームに噴き出させ、また汚染された空気は環気ダクト
に吸引され、環気ダクトをとおり空調機等を経て給気ダ
クトへと循環している。
、前記した超高精密空気ヂ過器を内蔵したフィルターボ
ックスを給気ダクトよシ分岐せしめて天井面に多数設け
、給気ダークトをとおってきた空気を超高精密空気濾過
器を通過せしめることにより空気を清浄にしてクリーン
ルームに噴き出させ、また汚染された空気は環気ダクト
に吸引され、環気ダクトをとおり空調機等を経て給気ダ
クトへと循環している。
上述したような空気の循環における給気ダクトとフィル
ターボックスとの関係は、従来においては第１図に示す
ように、給気ダクト１２から分岐管１４が給気ダクト１
２よシ直角方向に分岐され、その端部にフィルタ−ボッ
クス１３示装給気ダクト１２は末端に行くに従って順次
１２ａ。
ターボックスとの関係は、従来においては第１図に示す
ように、給気ダクト１２から分岐管１４が給気ダクト１
２よシ直角方向に分岐され、その端部にフィルタ−ボッ
クス１３示装給気ダクト１２は末端に行くに従って順次
１２ａ。
１２ｂの如くその径が細くされるとともに、そｔぞれの
給気ダク）１２ａ及び１２ｂにも前記と同様に先端にフ
ィルターボックス１３ａ，１３ｂを有する分岐管１４ａ
及び１４ｂが分岐されている。
給気ダク）１２ａ及び１２ｂにも前記と同様に先端にフ
ィルターボックス１３ａ，１３ｂを有する分岐管１４ａ
及び１４ｂが分岐されている。
この従来の構成では、給気ダクト１２よシ直角方向にそ
れぞれ分岐管を設けるので、製作工程に手数がか＼るば
かりでなく、給気ダクトは末端に行くにしたがい順次細
くされるので、分岐管もそれに伴なって数多くの種類を
必要とし、工作上不便があった。
れぞれ分岐管を設けるので、製作工程に手数がか＼るば
かりでなく、給気ダクトは末端に行くにしたがい順次細
くされるので、分岐管もそれに伴なって数多くの種類を
必要とし、工作上不便があった。
本発明は、上述したような欠点を補うもので、クリーン
ルームへの給気ダクトの配管方式として、超高精密空気
濾過器を内蔵した複数のフィルターボックスによって空
気を供給するクリーンルームへの空気供給において、前
記フィルターボックスのそれぞれを給気ダクトの所要箇
所に分岐管を介することなく直接に接続し、該フィルタ
ーボックスを吹出しと分岐とを兼ねさせることによシ、
工作が簡単で工期の短縮が可能な給気方式を提供するも
のである。
ルームへの給気ダクトの配管方式として、超高精密空気
濾過器を内蔵した複数のフィルターボックスによって空
気を供給するクリーンルームへの空気供給において、前
記フィルターボックスのそれぞれを給気ダクトの所要箇
所に分岐管を介することなく直接に接続し、該フィルタ
ーボックスを吹出しと分岐とを兼ねさせることによシ、
工作が簡単で工期の短縮が可能な給気方式を提供するも
のである。
本発明を図面に示す実施例によって説明すると、第２図
，第３図において、１はクリーンルーム、２、２ａ，２
ｂ，・・・・・・は断面円形成いは角形等の給気ダクト
、３，３ａ，３ｂ，・・・・・・は超高精密空気濾過器
４を内蔵したフィルターボックスで該フィルターボック
ス４．４＆，４ｂ，・・・・・・は給気ダク）２．２ａ
，２ｂ，・・・・・・と交互に分岐管を介することなく
連設され、空気の吹き出しと給気ダクト２，２ａ．２ｂ
，・・・・・・の分岐とを兼ねて天井部５に装置される
。６，６′はクリーンルームの隔！、７、７′は隔壁６
，６′に設けられた吸込口であり、還気ダクト８，８′
に連通される。９ 、９ａ 、９ｂ。
，第３図において、１はクリーンルーム、２、２ａ，２
ｂ，・・・・・・は断面円形成いは角形等の給気ダクト
、３，３ａ，３ｂ，・・・・・・は超高精密空気濾過器
４を内蔵したフィルターボックスで該フィルターボック
ス４．４＆，４ｂ，・・・・・・は給気ダク）２．２ａ
，２ｂ，・・・・・・と交互に分岐管を介することなく
連設され、空気の吹き出しと給気ダクト２，２ａ．２ｂ
，・・・・・・の分岐とを兼ねて天井部５に装置される
。６，６′はクリーンルームの隔！、７、７′は隔壁６
，６′に設けられた吸込口であり、還気ダクト８，８′
に連通される。９ 、９ａ 、９ｂ。
９ｃ，・・・・・・は吸気ダク）２ 、 ２ａ 、 ２
ｂ 、・・・・・・とフィルターボックス３，３ａ，３
ｂ，・・・・・とをそれぞね連結するフランジである。
ｂ 、・・・・・・とフィルターボックス３，３ａ，３
ｂ，・・・・・とをそれぞね連結するフランジである。
第４図（イ）（口）ｅつに）（ホ）は本発明の給気方式
の他の例を示すものであり、同一部品については同一符
号で示しである。
の他の例を示すものであり、同一部品については同一符
号で示しである。
本発明は、上記のように構成されるものであるが、クリ
ーンルームへの各フィルターボックス２２ａ，２ｂ，・
・・・・・からの空気の吹出風量を均一化しなければな
らないが、実験的，経験的にはそれぞれのフィルターボ
ックス２．２ａ，２ｂ，・・・・・からの吹出風量の最
大と最小の差が１５％〜２。
ーンルームへの各フィルターボックス２２ａ，２ｂ，・
・・・・・からの空気の吹出風量を均一化しなければな
らないが、実験的，経験的にはそれぞれのフィルターボ
ックス２．２ａ，２ｂ，・・・・・からの吹出風量の最
大と最小の差が１５％〜２。
楚であれば実用上差し支えがないので、その範囲内に吹
出風量を設定すれば良いことになる。例えば、第一のフ
ィルターボックスの吹出風量をＱｌ、第二のフィルター
ボックスの吹出風量をＱ２としたとき、Ｑｌ’；Ｑ２
とするには、その風量における基準になる点から前記第
一のフィルターボックスの吹き出しまでの抵抗をＲ１、
前記第二のフィルターボックスの吹き出しまでの抵抗を
Ｒ２としたとき、Ｒ１とＲ２ が同じであればよいので
あるが、ダクトその他に種々の抵抗を付設することによ
りＲｘとＲ２ を同じとすることは非常に手数がかメジ
実際的ではない。しかしながら、超高精密空気濾過器は
、他のダクト等の抵抗を無視してもよい程大きな抵抗を
有するものであるので、空気抵抗が同一の超高精密空気
濾過器を使用するとＲ１／Ｒ２の値は１に近くなる。し
たがって、空気抵抗が同一の超高精密空気濾過器をそれ
ぞれのフィルターボックスに装置すれば、各フィルター
ボックスからの吹出風量ははソ均ー化されるものであり
、上記の条件で給気ダクトの径を同一にしたときは、一
般的には末端はど吹出風量は多くなる傾向を有する。ま
た、ダクトの径を末端に行くに従って順次小径としてい
けば風量を均一化することができるものであり、更に、
フィルターボックスからの吹出風量を変えたい場合等は
、超高精密空気濾過器の空気抵抗を同一にして、それが
内蔵されるそれぞれのフィルターボックスの面積を変え
ればそれぞれのフィルターボックスからの吹出風量を所
望のとお９に変えることができるものである。
出風量を設定すれば良いことになる。例えば、第一のフ
ィルターボックスの吹出風量をＱｌ、第二のフィルター
ボックスの吹出風量をＱ２としたとき、Ｑｌ’；Ｑ２
とするには、その風量における基準になる点から前記第
一のフィルターボックスの吹き出しまでの抵抗をＲ１、
前記第二のフィルターボックスの吹き出しまでの抵抗を
Ｒ２としたとき、Ｒ１とＲ２ が同じであればよいので
あるが、ダクトその他に種々の抵抗を付設することによ
りＲｘとＲ２ を同じとすることは非常に手数がかメジ
実際的ではない。しかしながら、超高精密空気濾過器は
、他のダクト等の抵抗を無視してもよい程大きな抵抗を
有するものであるので、空気抵抗が同一の超高精密空気
濾過器を使用するとＲ１／Ｒ２の値は１に近くなる。し
たがって、空気抵抗が同一の超高精密空気濾過器をそれ
ぞれのフィルターボックスに装置すれば、各フィルター
ボックスからの吹出風量ははソ均ー化されるものであり
、上記の条件で給気ダクトの径を同一にしたときは、一
般的には末端はど吹出風量は多くなる傾向を有する。ま
た、ダクトの径を末端に行くに従って順次小径としてい
けば風量を均一化することができるものであり、更に、
フィルターボックスからの吹出風量を変えたい場合等は
、超高精密空気濾過器の空気抵抗を同一にして、それが
内蔵されるそれぞれのフィルターボックスの面積を変え
ればそれぞれのフィルターボックスからの吹出風量を所
望のとお９に変えることができるものである。
本発明は、上記したように、空気抵抗が同一の超高精密
空気濾過器４を内蔵した複数のフィルターボックス３，
ｊａ，３ｂ，・・・・・のそれぞれを給気ダク）’２．
２ａ，’２ｂと直列に連接し、フィルターボックス３，
３ａ、３ｂ、・・・・・・に空気吹き出しと給気ダクト
の分岐を兼ねさせたものであり、このようにしても前記
各フィルターボックス３゜３ａ、３ｂ、・・・・・・か
らの吹出風量をはソ均−化できるものであシ、従来のこ
の種の給気ダクトよりそれと直角方向に分岐管を用いた
ものに比して、本発明は直管のみで工事が可能であり、
配管工事が極めて簡単化でき、従って工期も短縮させる
ことができるものである。
空気濾過器４を内蔵した複数のフィルターボックス３，
ｊａ，３ｂ，・・・・・のそれぞれを給気ダク）’２．
２ａ，’２ｂと直列に連接し、フィルターボックス３，
３ａ、３ｂ、・・・・・・に空気吹き出しと給気ダクト
の分岐を兼ねさせたものであり、このようにしても前記
各フィルターボックス３゜３ａ、３ｂ、・・・・・・か
らの吹出風量をはソ均−化できるものであシ、従来のこ
の種の給気ダクトよりそれと直角方向に分岐管を用いた
ものに比して、本発明は直管のみで工事が可能であり、
配管工事が極めて簡単化でき、従って工期も短縮させる
ことができるものである。
第１図は従来のクリーンルームへの給気方式の平面図、
第２図及び第３図は、本発明のクリーンルームへの給気
方式の平面図及び断面図、第４図（イ）（Ｏ）ＣＩに）
０９は本発明の給気方式の他の例を示す平面図である。 １；クリーンルーム ２．２＆、２ｂ、・・・・・・；給気ダクト３．３ａ、
３ｂ、・・・・・；フィルターボックス４；超高精密空
気テ過器
第２図及び第３図は、本発明のクリーンルームへの給気
方式の平面図及び断面図、第４図（イ）（Ｏ）ＣＩに）
０９は本発明の給気方式の他の例を示す平面図である。 １；クリーンルーム ２．２＆、２ｂ、・・・・・・；給気ダクト３．３ａ、
３ｂ、・・・・・；フィルターボックス４；超高精密空
気テ過器
Claims (1)
- 空気抵抗が略同−である超高精密空気濾過器のそれぞれ
を複数のフィルターボックスに内蔵させ、該フィルター
ボックスに空気を供給して清浄な空気としてクリーンル
ーム内に噴出せしめるようにしたものにおいて、前記フ
ィルターボックスのそれぞれを給気ダクトの所要箇所に
分岐管を介することなく直接に接続したことを特徴とす
るクリーンルーム用給気方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58126970A JPS6020029A (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | クリ−ンル−ム用給気方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58126970A JPS6020029A (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | クリ−ンル−ム用給気方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6020029A true JPS6020029A (ja) | 1985-02-01 |
Family
ID=14948398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58126970A Pending JPS6020029A (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | クリ−ンル−ム用給気方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020029A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5081945A (en) * | 1988-12-27 | 1992-01-21 | Juki Corporation | Elastic tape sewing machine |
| JPH0454995A (ja) * | 1990-06-22 | 1992-02-21 | Kuinraito Denshi Seiko Kk | 縫製部位の厚さに対応するミシンの糸調子制御方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5629732B2 (ja) * | 1974-10-03 | 1981-07-10 |
-
1983
- 1983-07-14 JP JP58126970A patent/JPS6020029A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5629732B2 (ja) * | 1974-10-03 | 1981-07-10 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5081945A (en) * | 1988-12-27 | 1992-01-21 | Juki Corporation | Elastic tape sewing machine |
| JPH0454995A (ja) * | 1990-06-22 | 1992-02-21 | Kuinraito Denshi Seiko Kk | 縫製部位の厚さに対応するミシンの糸調子制御方法 |
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