JPS60203434A - 透明導電性フイルムの製造方法 - Google Patents
透明導電性フイルムの製造方法Info
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- JPS60203434A JPS60203434A JP5950984A JP5950984A JPS60203434A JP S60203434 A JPS60203434 A JP S60203434A JP 5950984 A JP5950984 A JP 5950984A JP 5950984 A JP5950984 A JP 5950984A JP S60203434 A JPS60203434 A JP S60203434A
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- conductive film
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は溶融押出法により得られたポリエーテルスルホ
ンまたはポリスルホンフィルムを用いた透明導電性フィ
ルムの製造法に係るものでおり、更に詳しくはフィルム
上の少くとも片面に、ビニル基を有するシラン化合物お
よび多官能ビニル化合物光増感剤、および溶剤を主要成
分とする塗布液を塗布し乾燥後紫外線照射により反応硬
化せしめ然る後該硬化物層上に透明導電層を形成して透
明導電性フィルムを製造する方法に関するものである。
ンまたはポリスルホンフィルムを用いた透明導電性フィ
ルムの製造法に係るものでおり、更に詳しくはフィルム
上の少くとも片面に、ビニル基を有するシラン化合物お
よび多官能ビニル化合物光増感剤、および溶剤を主要成
分とする塗布液を塗布し乾燥後紫外線照射により反応硬
化せしめ然る後該硬化物層上に透明導電層を形成して透
明導電性フィルムを製造する方法に関するものである。
近年液晶を用いる表示累子の伸長は著しるしいものがお
り、このため透明電極のｌ装柱が増しつつある。従来液
晶聚示累子に用いられる電極は、薄いガラス板上に導電
性薄膜を形成した鯖ゆるネサガラスが用いられ、該導電
性薄膜をエツチングすることにより電極回路を形成する
という方法が広く行なわれて来た。然しながら素子の簿
記化、軽量化、ｉｔ量産化要求され透明高分子フィルム
上に導電性薄膜を形成した透明電極の検討が広範に行な
われる様になり、一部実用化され始めている。
り、このため透明電極のｌ装柱が増しつつある。従来液
晶聚示累子に用いられる電極は、薄いガラス板上に導電
性薄膜を形成した鯖ゆるネサガラスが用いられ、該導電
性薄膜をエツチングすることにより電極回路を形成する
という方法が広く行なわれて来た。然しながら素子の簿
記化、軽量化、ｉｔ量産化要求され透明高分子フィルム
上に導電性薄膜を形成した透明電極の検討が広範に行な
われる様になり、一部実用化され始めている。
一方高分子フイルムを用いた透明導性フィルムは薄激化
、軽量化、量産化、高強展化の観点からは優れてはいる
ものの直接フィルム上に導電層を形成しｆｃ場合、ガラ
スに比較して問題点を有していることも事実である。即
ち ■ 液晶の配向処理を目的とした電極歯の２ビン死・ グ処理工程での導電薄膜の耐摩耗性が気く表面抵抗が増
大する。
、軽量化、量産化、高強展化の観点からは優れてはいる
ものの直接フィルム上に導電層を形成しｆｃ場合、ガラ
スに比較して問題点を有していることも事実である。即
ち ■ 液晶の配向処理を目的とした電極歯の２ビン死・ グ処理工程での導電薄膜の耐摩耗性が気く表面抵抗が増
大する。
＠ 実用化もしくは実用化に近い高分子フィルムとして
一軸配向ポリエステルフイルムを用いた透明導電フィル
ムが有るが耐熱性が劣るのに加えて光学異方性を有する
支持体であるため光学軸を偏光板軸と厳密に一致させる
ことが非富に困難である。また軸方向の揃ったフィルム
を得ることも同様困難である。
一軸配向ポリエステルフイルムを用いた透明導電フィル
ムが有るが耐熱性が劣るのに加えて光学異方性を有する
支持体であるため光学軸を偏光板軸と厳密に一致させる
ことが非富に困難である。また軸方向の揃ったフィルム
を得ることも同様困難である。
θ 非旋光性フィルムとして謂ゆるキャストフィルムが
考えられるが非富に生産性に劣る。
考えられるが非富に生産性に劣る。
、Ｏ導電層薄膜との密層性が悪く耐湿熱信頼性に劣シ、
回路加工時に断線が生じ易い。
回路加工時に断線が生じ易い。
等である。
これら欠点を除去するため本願発明者らは種々の高分子
フィルム類を検討し、耐熱性を有し非旋光性フィルムで
め９且つ透明性の良好な押出し法で得られるポリエーテ
ルスルホン、およびポリスルホンフィルムが優れている
ことを見いだし選択した。しかしながらポリエーテルス
ルホンおよびポリスルホンフィルム上に単純に導電性薄
膜を形成した場合該薄膜とフィルムの密着性が着しるし
く劣ることに起因して導電性の耐湿劣化が大きく使用に
耐えない、耐摩耗性が悪く断線が生じ易い、折り曲げ性
が悪く回路加工時、素子組立時に断線不良が生じ易いと
いった欠点が生じた。
フィルム類を検討し、耐熱性を有し非旋光性フィルムで
め９且つ透明性の良好な押出し法で得られるポリエーテ
ルスルホン、およびポリスルホンフィルムが優れている
ことを見いだし選択した。しかしながらポリエーテルス
ルホンおよびポリスルホンフィルム上に単純に導電性薄
膜を形成した場合該薄膜とフィルムの密着性が着しるし
く劣ることに起因して導電性の耐湿劣化が大きく使用に
耐えない、耐摩耗性が悪く断線が生じ易い、折り曲げ性
が悪く回路加工時、素子組立時に断線不良が生じ易いと
いった欠点が生じた。
本発明者らは密着性に起因するこれら欠点を解消する方
法として常法によりビニルシラン、アクリルシラン処理
を試みた。この結果スパッター法で形成せしめる導電膜
との密着性は著しるしく向上することを見い出した。し
かしながらこれら化合物は単官能モノマーである為加熱
等の処理によって重合固定せしめようとした場合直鎖構
造の謂ゆる熱可塑性樹脂しか得られないために処理皮膜
は低融点の皮膜にならざるを得す、スパッタ一時、ラビ
ング剤の加熱処理等の熱工程時に不安定であｐ変形をき
たし導電膜層に微細なシワを生ずると微細なりランクが
生じるといった現象を見い出した。本願発明者らは本現
象、欠点を克服すべく鋭意検討を行ない本願発明に到達
した。即ち塗膜自体を３次元架橋せしめ変形し難い安定
な塗膜を形成せしめるという方法を見い出したものであ
る。
法として常法によりビニルシラン、アクリルシラン処理
を試みた。この結果スパッター法で形成せしめる導電膜
との密着性は著しるしく向上することを見い出した。し
かしながらこれら化合物は単官能モノマーである為加熱
等の処理によって重合固定せしめようとした場合直鎖構
造の謂ゆる熱可塑性樹脂しか得られないために処理皮膜
は低融点の皮膜にならざるを得す、スパッタ一時、ラビ
ング剤の加熱処理等の熱工程時に不安定であｐ変形をき
たし導電膜層に微細なシワを生ずると微細なりランクが
生じるといった現象を見い出した。本願発明者らは本現
象、欠点を克服すべく鋭意検討を行ない本願発明に到達
した。即ち塗膜自体を３次元架橋せしめ変形し難い安定
な塗膜を形成せしめるという方法を見い出したものであ
る。
以下に本発明の詳細につき述べる。
本発明に用いられるフィルムは溶融押出し法で得られた
ポリエーテルスルホン（以下ＰＥＳフィルムと称する）
またはポリスルホン（以下ＰＳフィルムと称する）フィ
ルムで有り、該フィルムは耐熱性、透明性に優れており
更に旋光性の無い透明電極用フィルムとしては非蕗に優
れたフィルムでらる。次にＰＥＳ フィルムまたｉｔ、
ＰＳフィルム上に塗布する塗液を調整する。まずカップ
リング剤としてはビニルシランおよび／またはアクリル
７ラン等の分子内に反応性炭素−炭素２重結合を有する
謂ゆるビニル系７ランカツプリング剤はすべて使用可能
であり、これらカップリング剤の溶液も適宜使用可能で
ある。
ポリエーテルスルホン（以下ＰＥＳフィルムと称する）
またはポリスルホン（以下ＰＳフィルムと称する）フィ
ルムで有り、該フィルムは耐熱性、透明性に優れており
更に旋光性の無い透明電極用フィルムとしては非蕗に優
れたフィルムでらる。次にＰＥＳ フィルムまたｉｔ、
ＰＳフィルム上に塗布する塗液を調整する。まずカップ
リング剤としてはビニルシランおよび／またはアクリル
７ラン等の分子内に反応性炭素−炭素２重結合を有する
謂ゆるビニル系７ランカツプリング剤はすべて使用可能
であり、これらカップリング剤の溶液も適宜使用可能で
ある。
次いで該カップリング剤に２ヶ以上の反応性２東結合を
有する多官能ビニル化合物を配合するこれら化合物とし
てはエポキシジアクリレート、ウレタンジアクリレート
、ポリエステルジアクリレート、トリメチロールプロパ
ントリアクリレート、 ゛ポリエチレングリコールジア
クリレート等の多官能アクリレート類、ブチレングリコ
ールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタ
クリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、トリ
メチロールプロパントリアクリレート等の多官能メタク
リレート類、ジアリルフタレート、トリアリールイソシ
アヌレート、トリアリールトリメリテート等の多官能ア
リール化合物、等が適宜用いられる。
有する多官能ビニル化合物を配合するこれら化合物とし
てはエポキシジアクリレート、ウレタンジアクリレート
、ポリエステルジアクリレート、トリメチロールプロパ
ントリアクリレート、 ゛ポリエチレングリコールジア
クリレート等の多官能アクリレート類、ブチレングリコ
ールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタ
クリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、トリ
メチロールプロパントリアクリレート等の多官能メタク
リレート類、ジアリルフタレート、トリアリールイソシ
アヌレート、トリアリールトリメリテート等の多官能ア
リール化合物、等が適宜用いられる。
またビニル系７ランカツプリング剤に対する多官能ビニ
ル化合物の配合割合が嵐要であり、ビニル系シランカッ
プリング剤１００＆ｍ部に対して後者は１０〜１００重
ｆｉ部の範囲で配合される。
ル化合物の配合割合が嵐要であり、ビニル系シランカッ
プリング剤１００＆ｍ部に対して後者は１０〜１００重
ｆｉ部の範囲で配合される。
１０ｆ［蓋部以下の場合塗層は熱的に軟弱とな９改良効
果が発現せず１００重量部以上の場合導電膜に対する密
着性が低下してしまいカップリング剤の効果が半減して
しまう。次いで光増感剤が配合されるが増感剤としては
ベンゾフェノン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンエテルエーテル轡一般的光増感剤が単独もしくは併用
使用される。
果が発現せず１００重量部以上の場合導電膜に対する密
着性が低下してしまいカップリング剤の効果が半減して
しまう。次いで光増感剤が配合されるが増感剤としては
ベンゾフェノン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンエテルエーテル轡一般的光増感剤が単独もしくは併用
使用される。
次いでかくして得られた配合物を溶剤を用いて希釈する
がこの場合配合物に対して良溶媒でおり且つＰＥＳフィ
ルムおよびｐＳフィルムに対しては貧溶媒で且つ親和性
を有する溶媒を選定することが肝要であり、この様な溶
媒としてセロンルプ類、カービトール類に属する溶剤が
好んで用いられる。
がこの場合配合物に対して良溶媒でおり且つＰＥＳフィ
ルムおよびｐＳフィルムに対しては貧溶媒で且つ親和性
を有する溶媒を選定することが肝要であり、この様な溶
媒としてセロンルプ類、カービトール類に属する溶剤が
好んで用いられる。
またｐｇｓフィルムに対しても良溶媒である溶剤を若干
添加することも均一塗布達成のための有効な手段である
。また希釈率については塗布厚み、塗布作業性の観点か
ら適宜決定される。また着色防止剤、レベリング剤、消
泡剤、ブルーイング剤、濡れ改良剤等の添加も本発明達
成のため有効な手段でおる。
添加することも均一塗布達成のための有効な手段である
。また希釈率については塗布厚み、塗布作業性の観点か
ら適宜決定される。また着色防止剤、レベリング剤、消
泡剤、ブルーイング剤、濡れ改良剤等の添加も本発明達
成のため有効な手段でおる。
かくして得られた塗布液をＰＥＳフィルムの少くとも片
面にディップ法、パーコーター法、ロールコータ−法、
スプレー法、スピンコード法等の単性により塗布する。
面にディップ法、パーコーター法、ロールコータ−法、
スプレー法、スピンコード法等の単性により塗布する。
塗布厚みは均一塗布を前提として可及的に薄膜であるこ
とが望ましいが１〜５μｍ程度が本目的のために一般的
である。次いで乾燥によシ溶剤を除去し塗膜を形成した
後塗膜面に紫外線を照射し架橋硬化塗膜とする。得られ
たフィルムの塗膜上に次いで透明導電層を形成する。
とが望ましいが１〜５μｍ程度が本目的のために一般的
である。次いで乾燥によシ溶剤を除去し塗膜を形成した
後塗膜面に紫外線を照射し架橋硬化塗膜とする。得られ
たフィルムの塗膜上に次いで透明導電層を形成する。
この場合酸化イ゛ンジウム、酸化錫、酸化カドミウム等
の酸化物を単独もしくは併用使用しスパッタリング法や
イオンブレティング法で形成される。
の酸化物を単独もしくは併用使用しスパッタリング法や
イオンブレティング法で形成される。
かくして得られた透明導電性フィルムは導電層が支持体
層と強固に一体化しているため耐摩耗性、回路加工性、
耐湿性、耐溶剤性に優れカップリング剤の単独使用の場
合と異なり強固な３次元架橋塗膜が形成されるため耐熱
性に優れた工業的意義の大きい透明導電フィルムであっ
た。以下に実施例を示す。
層と強固に一体化しているため耐摩耗性、回路加工性、
耐湿性、耐溶剤性に優れカップリング剤の単独使用の場
合と異なり強固な３次元架橋塗膜が形成されるため耐熱
性に優れた工業的意義の大きい透明導電フィルムであっ
た。以下に実施例を示す。
実施例
ｒ−メタクリロキシグロビルトリメトキシシランｉｏｏ
ｍ童部トリメチロールプロパントリアクリレート ３０
重量部ネオペンチルグリコールジアクリレート ２０重
量部ベンゾインイソブチルエーテル ５ｍ！Ｅｉ部ブチ
ルセロソルブ ５００重量部 上記組成物を室温にて混合して均一な溶液を得た。１０
０μｍ厚のＰＥ８フイルムの片面上に前記溶液をロール
コータ−法により均一に塗布し、８０℃にて加熱して溶
剤を除去した後８０ Ｗ／ｃＴｎの高圧水銀灯１灯にて
照射距離１５ので１０秒間照射した。得られた硬化塗膜
の厚みは５μｍであった。この塗膜上にスパッター法に
より酸化インジウム、酸化錫の透明導電層を厚み３００
スにて形成させた。得られた透明導電性フィルムの諸物
件を第１表に記す。
ｍ童部トリメチロールプロパントリアクリレート ３０
重量部ネオペンチルグリコールジアクリレート ２０重
量部ベンゾインイソブチルエーテル ５ｍ！Ｅｉ部ブチ
ルセロソルブ ５００重量部 上記組成物を室温にて混合して均一な溶液を得た。１０
０μｍ厚のＰＥ８フイルムの片面上に前記溶液をロール
コータ−法により均一に塗布し、８０℃にて加熱して溶
剤を除去した後８０ Ｗ／ｃＴｎの高圧水銀灯１灯にて
照射距離１５ので１０秒間照射した。得られた硬化塗膜
の厚みは５μｍであった。この塗膜上にスパッター法に
より酸化インジウム、酸化錫の透明導電層を厚み３００
スにて形成させた。得られた透明導電性フィルムの諸物
件を第１表に記す。
比較例１
ｒ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン １０
０重量部ペンゾインインフ゛チルエーテル ３ｍ［置部
上記組成物を室温にて均一に混合した後、該組成物を１
００μｍ厚のＰＥＳフィルムの片面上にロールコータ−
法により均一に塗布して３μｍ厚のコーティング層を設
けた。
０重量部ペンゾインインフ゛チルエーテル ３ｍ［置部
上記組成物を室温にて均一に混合した後、該組成物を１
００μｍ厚のＰＥＳフィルムの片面上にロールコータ−
法により均一に塗布して３μｍ厚のコーティング層を設
けた。
実施例と同様な条件にて紫外線照射によるコーティング
層の硬化及び該コーティング層上にスパッター法による
透明導電層の形成をした。得られ 。
層の硬化及び該コーティング層上にスパッター法による
透明導電層の形成をした。得られ 。
７’Ｃ透明導電性フイルムの諸物件を第１表に記す。
比較例２
ｒ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン １０
重量部メチルメタクリレ−） ３０１ｉ［置部２−ヒド
ロキシエチルメタクリレート ２０重量部トリメテロー
ルグロバントリアクリレート ３０重量部ネオペンチル
グリコールジアクリレート１．０１ｍ童部ベンゾインイ
ソブチルエーテル ３重量部プチルセロンルプ ３５０
＆を部 上記組成物を室温にて混合して均一な溶液を得た。該組
成物を１００μ厚のＰＥＳフィルムの片面上にロールコ
ータ−法により均一に塗布した仮、８０℃にて加熱して
溶剤を除去したところ４μｍ厚のコーティング層が得ら
れた。
重量部メチルメタクリレ−） ３０１ｉ［置部２−ヒド
ロキシエチルメタクリレート ２０重量部トリメテロー
ルグロバントリアクリレート ３０重量部ネオペンチル
グリコールジアクリレート１．０１ｍ童部ベンゾインイ
ソブチルエーテル ３重量部プチルセロンルプ ３５０
＆を部 上記組成物を室温にて混合して均一な溶液を得た。該組
成物を１００μ厚のＰＥＳフィルムの片面上にロールコ
ータ−法により均一に塗布した仮、８０℃にて加熱して
溶剤を除去したところ４μｍ厚のコーティング層が得ら
れた。
実施例と同様な条件にて紫外巌照射によるコーティング
層の硬化及び該コーティング層上にスパッター法による
透明導電層の形成を行なった。得られた透明導電性フィ
ルムの緒特性を第１表に記す。
層の硬化及び該コーティング層上にスパッター法による
透明導電層の形成を行なった。得られた透明導電性フィ
ルムの緒特性を第１表に記す。
以上のように、比較例１にて得られた透明導電性フィル
ムはコーティング層と導電層との密着性は良好でおるに
もかかわらず、耐熱性、耐溶剤性に著しく劣り、一方、
比較例２にて得られｆｃ透明導電性フィルムは耐熱性１
耐溶剤性は良好であるにもかかわらず、コーティング層
と導電層との密° 滑性が劣るため、耐湿性、耐摩耗性
が著しく低下した。これに反し、本発明の実施例によっ
て得られた透明導電性フィルムは上記欠点を全て解消し
た優れた特性を有するものであった。
ムはコーティング層と導電層との密着性は良好でおるに
もかかわらず、耐熱性、耐溶剤性に著しく劣り、一方、
比較例２にて得られｆｃ透明導電性フィルムは耐熱性１
耐溶剤性は良好であるにもかかわらず、コーティング層
と導電層との密° 滑性が劣るため、耐湿性、耐摩耗性
が著しく低下した。これに反し、本発明の実施例によっ
て得られた透明導電性フィルムは上記欠点を全て解消し
た優れた特性を有するものであった。
Claims (1)
- 溶融押出法により得られたポリエーテルスルホンまたは
ポリスルホンの非旋光性フィルムの少なくとも片面に、
分子内に反応性２友結合を有するシラン化合物、該カッ
プリング剤１００重量部に対して１０〜１００重量部の
２個以上の反応性性２東結合を有する多官能ビニル化合
物、光増感剤、およびこれらを溶解する溶剤を主成分と
する塗布液を塗布し、乾燥後１０μｍ以下の塗膜を形成
し１００℃以下の温度で乾燥後紫外光を照射し硬化せし
め、該塗膜上に蒸着法またはスパッター法により酸化イ
ンジウムを主取分とする導電薄膜を形成することを特徴
とする透明導電性フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5950984A JPS60203434A (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | 透明導電性フイルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5950984A JPS60203434A (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | 透明導電性フイルムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60203434A true JPS60203434A (ja) | 1985-10-15 |
| JPH0112664B2 JPH0112664B2 (ja) | 1989-03-01 |
Family
ID=13115294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5950984A Granted JPS60203434A (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | 透明導電性フイルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60203434A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63906A (ja) * | 1986-06-18 | 1988-01-05 | 住友ベークライト株式会社 | 透明導電性フイルム |
-
1984
- 1984-03-29 JP JP5950984A patent/JPS60203434A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63906A (ja) * | 1986-06-18 | 1988-01-05 | 住友ベークライト株式会社 | 透明導電性フイルム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0112664B2 (ja) | 1989-03-01 |
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