JPS6020830A - 回動テ−ブル駆動装置 - Google Patents
回動テ−ブル駆動装置Info
- Publication number
- JPS6020830A JPS6020830A JP12473283A JP12473283A JPS6020830A JP S6020830 A JPS6020830 A JP S6020830A JP 12473283 A JP12473283 A JP 12473283A JP 12473283 A JP12473283 A JP 12473283A JP S6020830 A JPS6020830 A JP S6020830A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nut
- motor
- revolved
- revolution
- slider
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/52—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism a single rotating pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
この発明は、回動テーブルに係り、特に高精度な回動を
得るのに好適な回動テーブル駆動装置に関する。
得るのに好適な回動テーブル駆動装置に関する。
従来の回転テーブル１は、第１図および第２図に示すよ
うに、その駆動機構としてウオームギヤ２とウオームホ
イールギヤろとを使用しているが、両歯車の加工精度と
組立て精度から来る両歯車のかみ合いの不整合によって
、回転テーブル１に上下動を生じ、かつ、回転速度が不
均一となるため、該回転テーブル１による被加工物の加
工面にうねり状の凹凸を生じ、特に回転精度が要求され
る鏡面切削用としてｄ、使用できないという欠点があっ
た。
うに、その駆動機構としてウオームギヤ２とウオームホ
イールギヤろとを使用しているが、両歯車の加工精度と
組立て精度から来る両歯車のかみ合いの不整合によって
、回転テーブル１に上下動を生じ、かつ、回転速度が不
均一となるため、該回転テーブル１による被加工物の加
工面にうねり状の凹凸を生じ、特に回転精度が要求され
る鏡面切削用としてｄ、使用できないという欠点があっ
た。
この発明の目的は、従来の歯車の組合せ方式を使用せず
に、回動精度が高い回動テーブル駆動装置を提供するこ
とにある。
に、回動精度が高い回動テーブル駆動装置を提供するこ
とにある。
要するにこの発明は、歯車による駆動方式の代りに、ス
チールベルトと送りねじによる回転駆動方式に変えるこ
とにより、高精度な回動を可能にしたものであるー 〔発明の実施例〕 以下、この発明を図面に基づいて説明する。
チールベルトと送りねじによる回転駆動方式に変えるこ
とにより、高精度な回動を可能にしたものであるー 〔発明の実施例〕 以下、この発明を図面に基づいて説明する。
第６図は、この発明の一実施例でスチールベルトを回動
テーブルの回動円筒に巻き付けた状態を示す斜視図、第
４図は、この発明の一実施例の一部断面平面図、第５図
は、第４図のＡ−Ａ断面図である。
テーブルの回動円筒に巻き付けた状態を示す斜視図、第
４図は、この発明の一実施例の一部断面平面図、第５図
は、第４図のＡ−Ａ断面図である。
まず、構成を説明する。４はベース５上に枢着した回動
円筒で、その上面に回動テーブル６を一体に設け、上記
回動円筒４の側面に、短ざく形の長大７を有するスチー
ルベルト８の一端を止め金具９によって固定し、上記長
大７内を挿通するスチールベルト１０の一端を、上記止
め金具９と対称的位置に止め金具１１によって固定する
。上記スチールベル） ８ 、１０は、上記回動円筒４
の側面にそれぞれ反対方向に巻くように圧接した後、そ
の他端をそれぞれスライダ１２の両端に緊結する。該ス
ライダ１２の中央部にナツト１３を固着し、該ナツト１
３のねじ穴に係合する送りねじ１４を上記スライダ１２
に並置し、その両端をベアリング１５．１５によって回
動自在に保持する。１６は、上記送りねじ１４の外側に
おいて該送りねじ１４に並置したサイドベースで、その
両端において上記ベアリング１５．１５を保持するとと
もに、上下に上記スライダ１２のリニアガイド１７、１
７を設け、かつ、上記サイドベース１６の一端のベアリ
ング１５の外側端にモータ１８を取付けたものであ西。
円筒で、その上面に回動テーブル６を一体に設け、上記
回動円筒４の側面に、短ざく形の長大７を有するスチー
ルベルト８の一端を止め金具９によって固定し、上記長
大７内を挿通するスチールベルト１０の一端を、上記止
め金具９と対称的位置に止め金具１１によって固定する
。上記スチールベル） ８ 、１０は、上記回動円筒４
の側面にそれぞれ反対方向に巻くように圧接した後、そ
の他端をそれぞれスライダ１２の両端に緊結する。該ス
ライダ１２の中央部にナツト１３を固着し、該ナツト１
３のねじ穴に係合する送りねじ１４を上記スライダ１２
に並置し、その両端をベアリング１５．１５によって回
動自在に保持する。１６は、上記送りねじ１４の外側に
おいて該送りねじ１４に並置したサイドベースで、その
両端において上記ベアリング１５．１５を保持するとと
もに、上下に上記スライダ１２のリニアガイド１７、１
７を設け、かつ、上記サイドベース１６の一端のベアリ
ング１５の外側端にモータ１８を取付けたものであ西。
つぎに作用を説明する。第４図の状態において、モータ
１８が図示矢印方向に回転−すると、ナツト１６が矢印
ａ方向に移動する。従って該ナツト１５と一体のスライ
ダ１２は、リニアガイド１７゜１７間を滑動して矢印ａ
方向に移動するため、回動円板６もスチールベルト１ｏ
に弓１張られて矢印ａ方向に回動する。そしてナツト１
３の面がベアリング１５に当接すると、図示してないモ
ータ１５の逆転スイッチが作動してモータ１８が逆転し
、ナツト１０が矢印す方向に移動するだめ、スチールベ
ルト８に引張られて回動テーブル６も矢印す方向に回動
し、ナツト１３が上記と別のベアリング１５に当接して
モータ１８の逆転スイッチ（図示せず）が作動するまで
等速で回動し続ける。
１８が図示矢印方向に回転−すると、ナツト１６が矢印
ａ方向に移動する。従って該ナツト１５と一体のスライ
ダ１２は、リニアガイド１７゜１７間を滑動して矢印ａ
方向に移動するため、回動円板６もスチールベルト１ｏ
に弓１張られて矢印ａ方向に回動する。そしてナツト１
３の面がベアリング１５に当接すると、図示してないモ
ータ１５の逆転スイッチが作動してモータ１８が逆転し
、ナツト１０が矢印す方向に移動するだめ、スチールベ
ルト８に引張られて回動テーブル６も矢印す方向に回動
し、ナツト１３が上記と別のベアリング１５に当接して
モータ１８の逆転スイッチ（図示せず）が作動するまで
等速で回動し続ける。
このようにして回動テーブル６は、所定の回転角度内を
等速度で回動する。
等速度で回動する。
なお、この発明は、回動方向に剛性を持たせた２本のス
チールベル） ８ 、１０によって、回動テーブル６と
スライダ１２の両端間を緊結し、かつ、該スライダ１２
と上下のリニアガイド１７．１７との間隙をミクロンオ
ーダにしてスライダ１２が滑動できるようにしたため、
回動テーブル乙に上下動を生じることはない。
チールベル） ８ 、１０によって、回動テーブル６と
スライダ１２の両端間を緊結し、かつ、該スライダ１２
と上下のリニアガイド１７．１７との間隙をミクロンオ
ーダにしてスライダ１２が滑動できるようにしたため、
回動テーブル乙に上下動を生じることはない。
なお、上記の説明においては便宜上スチールベルトを使
用したが、何らその制限はなく、ワイヤを使用しても上
記同様の作用が得られる０また、その材料も金属に限ら
ずカーボンファイバーのようなものでもよい。一般には
伸縮率の小さい帯状またはひも状のものであればよい。
用したが、何らその制限はなく、ワイヤを使用しても上
記同様の作用が得られる０また、その材料も金属に限ら
ずカーボンファイバーのようなものでもよい。一般には
伸縮率の小さい帯状またはひも状のものであればよい。
以上説明したように、この発明によれば、回動精度が高
い回動テーブル駆動装ｐが得られる。
い回動テーブル駆動装ｐが得られる。
第１図は、従来の回転テーブル駆動装置の斜視概略図、
第２図は、第１図の縦断面図、第３図は、この発明の一
実施例でスチールベルトを回動テーブルの回動円筒に巻
き付けた状態を示す斜視図、第４図は、この発明の一実
施例の一部断面平面図、第５図は、第４図のＡ−Ａ断面
図を示す。 符号の説明 １：・・回転テーブル ２・・・ウオーノ、ギヤろ・・
・ウオームホイールギヤ ４・・回動円筒 ５・・・ベース ６・・・回動デープル ７・・長大 ８．１０・・・スチールベルト ９．１１・・・止め金具 １２・スライダ１３・・・ナ
ツト １４・・・送りねじ１５・・・ベアリング １６
・・サイドベース１７・・・リニアガイド １８・・・
モータ代理人弁理士 高 橋 明 夫 第１図 ５ う）２図 η′５図
第２図は、第１図の縦断面図、第３図は、この発明の一
実施例でスチールベルトを回動テーブルの回動円筒に巻
き付けた状態を示す斜視図、第４図は、この発明の一実
施例の一部断面平面図、第５図は、第４図のＡ−Ａ断面
図を示す。 符号の説明 １：・・回転テーブル ２・・・ウオーノ、ギヤろ・・
・ウオームホイールギヤ ４・・回動円筒 ５・・・ベース ６・・・回動デープル ７・・長大 ８．１０・・・スチールベルト ９．１１・・・止め金具 １２・スライダ１３・・・ナ
ツト １４・・・送りねじ１５・・・ベアリング １６
・・サイドベース１７・・・リニアガイド １８・・・
モータ代理人弁理士 高 橋 明 夫 第１図 ５ う）２図 η′５図
Claims (1)
- 回動テーブルの回動円筒に２本の伸縮率の小さい帯状体
またはひも状体を、一端を固定して互いに反対方向に巻
きつけ、かつ、上記２本の帯状体またはひも状体を上記
回動円筒上において、一旦、交叉させた後、他端を上記
回動円筒に極めて近接して設けられたスライダに距離を
隔てて固定し、上記スライダを上記回動テーブルの回転
の接線方向に運動可能にしであることを特徴とする回動
テーブル駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12473283A JPS6020830A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 回動テ−ブル駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12473283A JPS6020830A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 回動テ−ブル駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6020830A true JPS6020830A (ja) | 1985-02-02 |
Family
ID=14892734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12473283A Pending JPS6020830A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 回動テ−ブル駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020830A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0593045U (ja) * | 1992-05-25 | 1993-12-17 | 株式会社東京精密 | ウエハ吸着テーブルの回転装置 |
-
1983
- 1983-07-11 JP JP12473283A patent/JPS6020830A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0593045U (ja) * | 1992-05-25 | 1993-12-17 | 株式会社東京精密 | ウエハ吸着テーブルの回転装置 |
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