JPS60213562A - 荷搬送台車構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、特にクリーン室において荷を搬送するのに採
用される荷搬送設備に関するものである。

従来例の構成とその問題点 最近では、被搬送物として例えばウェハーなどのように
１三やホコリをきらうものかあ、る。この場合に、荷搬
送設備を配設する工場（室）内をクリーｙ化している。

第１図、第２図に従来の荷搬堡設備が示されている。す
なわち（１）は自走車で、機枠（２）に車軸（３）を介
して遊転可能に取付けた左右一対の第１車輪（４）と、
これよりも走行経路（−主経路）（５）方向の何れかに
離れた位置において前記機枠（２）に車軸（６）を介し
て遊転可能に取付けた左右一対の第２車輪（７）と、両
車軸ｆ３）（６）に取付けた横移動規制用車輪（８）と
、前記第１車輪（４）の近くにおいて前記機枠（２）に
駆動軸（９）を介して取付けた推進用回転輪　−゛　（
摩 擦回転輪）帥と、この推進用回転輪（１０を駆動すべく
前記機枠（２）に取付けた七−タＱη、および該モータ
Ｑｌ）と駆動軸（９）とを連動連結する減速装置１（２
）と、前記機枠（２）の側面に取付けた行先設定用のコ
ードマグネ・リドα荀と１．集電子αυなどからなる。

ａυは機枠（２）上に取付けられる連結部で、機枠（２
）のすぐ上に位置する小幅部αηと、これから左右上方
に位置する二叉部（至）とから構成される。０ｅは箱状
の搬送物収納部で、前記二叉部（至）に横軸芯（イ）の
周りに相対回転可能に取付けである。そして搬送物収納
部αり内にはウェハーなどの搬送物１２乃が収納されて
いる。＠は前記自走車（１）を案内するレール装置で、
第１車輪（４）に上側から接当する浮上り防止面（ハ）
と、第２車輪（７）および推進用回転輪ＯＯに下側から
接当する走行案内面（ハ）と、横移動規制用車輪（８）
に外側の から接当する横ずれ防止、規制案内面（ハ）とを有し、
前記走行案内面一には、前記集電子Ｕυが摺接する給電
し−ル（イ）が設けられる。前記自走車（１）とじ−ル
装置（イ）とはタクト（ハ）内に配置しである。このタ
クト（ハ）の底板上に走行経路（５）方向の支持レール
四を左右一対設け、これら支持レール−間に、弾性緩衝
体（至）を介して支持枠体Ｃ１１）を走行経路（５）方
向に複数本設け、これら支持枠体（ｊＯに支持具０）を
介して前記レール装置（イ）を取付けている。前記タク
ト（ハ）の天板には走行経路（５）の全長に亘るスリツ
ト（至）が形成され、ここに左右からの弾性シール材（
ロ）を設けてシール式スリ・リド部（至）に形成してい
る。そしてこのシール式スリ１リド部（至）に、前記連
結部Ｏｅの小幅部α力が位置するように描成しである。

前記タクト（ハ）の側部には吸引タクト（至）が配設さ
れ、そして両者を吸引口（ロ）で連通している。

自走車（１）の走行は、七−夕（ロ）の回転力を減速装
置０り、駆動軸（９）を介して推進用回転輪αＯに伝達
し、この推進用回転輪（１０を走行案内面（ハ）上で圧
接転動させることにより可能となり、さらに走行案内面
（ハ）に対する第２車輪（７）の転勤と、浮上り防止面
（ハ）に対する第１車輪（４）の転勤、ならびに横移動
規制用車輪（８）の規制案内面（至）に対する転勤とに
より、走行経路（５）上を振れやガタ付きなどない状態
で安定して行なわれる。このような走行中において、車
輪（４）（７）　（ａ）や推進用回転輪００の転勤など
により粉塵が発生するが、この粉塵は吸引口（ロ）を通
して吸引タクト（至）内に吸引されることになる。上記
構成の荷搬送設備はクリーンルーム（至）内に配設され
る。

ところで、上記構成の従来における荷搬送設備によると
、走行案内面（ハ）などに作用する側車輪（４）（７）
ならびに推進用回転輪（１０が、機枠（２）に対して定
着させて車体前後方向に対して直交する横軸心の周りに
回転自在に配設されていることから、例えば第３図に示
すようにカーづ経路を走行するとき、前述した車輪（４
）（７）や回転輪（ｊＯに横すべり移動（摺接移動）（
ａ）　（ｂ）　（ｃ）が生じる。これにより摩耗が生じ
て多量の粉塵が発生し、前述したように吸引タクト（至
）を使用した吸引除去方式でありながら十分に対処でき
ず、以ってスリ・リド部に）から漏出して荷やクリーン
ルーム（ハ）に悪影響を及ぼすことになる。

発明の目的 本発明の目的とするところは、直線経路はもとより、カ
ーづ経路においても粉塵の発生を極減し得る荷搬送設備
を提供する点にある。

発明の構成 上記目的を達成するために本□発明における荷搬送設備
は、左右一対の規制案内面と上向きの走行案内面とを有
するタクト式レール装置と、このレール装置に案内され
て走行自在な自走車とからなり、前記自走車は、機枠下
部の前後に、縦軸心の周りに遊動自在な支持板を夫々設
け、これら支持板に、前記走行案内面に接当自在な走行
車輪と、規制案内面に接当自在な左右一対の規制車輪と
を設け、前記機枠に、前記タクト式し一ル装置に形成し
た横向きの摩擦面に対して接当自在で且つ縦軸心の周り
に回転自在な摩擦駆動輪を設けている。

実施例と作用 以下に本発明の一実施例を第４図〜第７図に基づいて説
明する。（ト）はタクト式レール装置で、上向きの走行
案内面＠１）を形成する底板（４０Ａ）と、下部内面に
夫々様ずれ防止の規制案内面（４２Ａ）　（４２Ｂ）を
形成する左右一対の側板（４０Ｂ）　（４０Ｃ）と、中
央部に全長に亘るスリ・リドθ埠を形成してなる左右一
対の天板（４０Ｄ）　（４０Ｅ）と、中間部に夫々下向
きの浮上り防止面（４４Ａ）　（４４Ｂ）を形成すべく
前記側板（４０Ｂ）（４０Ｃ）の上下方向中間部から内
方に突出させた突出板（４０Ｆ）　（４０Ｇ）とからな
り、前記天板（４０Ｄ）　（４０Ｅ）の はヒス（ハ）を介しんキ脱形成としているが、これは一
体物であってもよい。一方の側板（４０Ｂ）の内面で突
出板（４０Ｆ）の上方位置には、レー１し長さ方向に適
当間隔置きに絶縁体（至）が取付けられ、これら絶縁体
（ト）間に、上下一対の給電レール（４７Ａ）　（４７
Ｂ）と、これらよりも下位となる一本の信号レール（４
枠とが、その作用面を内方かつ横向きとして配設しであ
る。第５図左半分に示すように、前記底板（４０Ａ）に
は多数の吸引孔θつが形成され１．これら吸引孔０りに
対向するように底板（４０Ａ）の底面側には吸引タクト
−が配設される。ｆ５］）はカバーを示す。前記底板（
４０Ａ）の下方には、第５図左半分に示すように配線字
曲Ｑ５２を形成してもよい。この場合に吸引は、仮想線
に示すように側板（４０Ｃ）に連通ずる吸引管（ト）を
配設することにより可能となる。前記底板（４０Ａ）の
両側には下方開放の蟻満（財）が形成され、これら蟻溝
（財）に係合する係合部−を有する複数の支持具−によ
って、タクト式し−１し装置り０はクリーンルーム争カ
内で例えば水平に支持架設される。（至）は前記タクト
式レール装置１０１に支持案内されて一定経路軸上を走
行自在な自走車で、長尺板状の機枠−の前後端には夫々
縦軸Ｑ功−が取付けである。そして両縦軸（６つ情には
、平面視がＨ字状の支持板−い搬が縦軸心（６２ａ）　
（６８ａ）の周りに遊動自在に取付けられる。両支持板
ｉｉ→−の両側には、前記規制案内面（４２Ａ）　（４
２］３）に接当自在な左右一対の規制車輪（６６Ａ）　
（６６Ｂ）　、　（６７Ａ）　（６７Ｂ）を夫々前後一
対有し、これら規制車輪（６６Ａ）　（６６Ｂ）、（６
７Ａ）　（６７Ｂ）は縦車軸（６８Ａ）　（６８Ｂ）　
、（６９Ａ）　（６９Ｂ）を介して遊転自在となる。前
後の規制車輪間において、前記支持板（財）−の両側に
は前記走行案内面０Ｄに接当自在な走行車＠　（７０Ａ
）（７０Ｂ）、　（７１Ａ）（７１Ｂ）が取付けられ、
これら走行車輪（７０Ａ）　（７０Ｂ）　、（７１Ａ）
　（７１Ｂ）は横車軸（７２Ａ）（７２Ｂ）、（７８Ａ
）　（７８Ｂ）を介して遊転自在となる。なお走行車幅
（７０Ａ）　（７０Ｂ）、（７１Ａ）　（７１Ｂ）は浮
上り防止面（４４Ａ）　（４４Ｂ）の下方に位置する。

前方の縦軸但のの上端には揺動板Ｃ１４の前端が取付け
られ、この揺動板（１４は縦軸心（６２ａ）の因りに左
右揺動自在となる。

他方の側板（４０Ｃ）において、突出板（４０Ｇ）より
も上方の内面は横向きの摩擦面Ｑυに形成され、この摩
擦面ｑ９に接当自在な摩擦駆動輪ｑＱが揺動板ｑ→の後
端に取付けられる。摩擦駆動輪ｑ・は縦方向の駆動ｌｌ
１ｌＩＩＶ′Ｉ）に取付けられて縦軸心（７７ａ　）の
周りに回転自在であり、また機枠…と揺動板Ｑ４との間
に設けたばね（７６により摩擦面Ｑθに接当すべく付勢
さｎている。前記揺動板ｑ４には直流七−タ翰が取付け
られ、この直流を一タ（７値の出力軸は、べ１しト伝＠
機構−とハイポイド千や装置６１）とを介して前記駆動
軸（ハ）に連動している。前記機枠■からは、前記スリ
・リド曽を通る連結部（イ）が連設され、この連結部−
の上端に荷支持部（イ）が設けられる。この荷支持部輪
は、荷装置形式や荷収納形式などであり、また内部にマ
イクロコシヒュータなどの制御ユニ囃リドを収納しても
よい。両支持板−−上には、一方の側板（４０Ｂ）に対
向する絶縁ケース−（ハ）が取付けである。前方の絶縁
ケース■には側部開放の四部■が上下三箇所形成され、
また後方の絶縁ケース（至）には同様の凹部（至）が上
下三箇所形成される。前方の絶縁ケース−においては、
上段と中段の凹部（至）内に両給電レール（４７Ａ）　
（４７Ｂ）に接触自在な集電用ローラブラシ（８７Ａ）
　（８７Ｂ）が配設され、下段の凹部（至）内には信号
レール−に接触自在な信号授受用０−ラづラシ（至）が
配設される。また後方の絶縁ケース■の四部（至）内に
は、両給電レール（４７Ａ）　（４７Ｂ）に接触自在な
集電用０−ラブラシ（８９Ａ）　（８９Ｂ）が配設され
る。各０−うつ−５：、　（８７Ａ）（８７Ｂ）、岐、
（８９Ａ）（８９Ｂ）は、そのブラシ軸（イ）が縦方向
で軸受０１に支持され、少量の露出外面が対応するレー
ル（４７Ａ）（４７Ｂ）（財）上で接触転勤自在となる
。両線縁ケース−（ハ）でブラシ軸−の下方には粉塵受
は部（イ）が形成されている。この粉塵受は部（至）に
おいて、前記ううシ軸輪の下端外周に、ばねに）を介し
てカーボンづラシーが接触している。−はばね受けを示
す。

次に走行作業を説明する。直流モータＱ＊の駆動により
、ばね１７枠の弾性力によって摩擦面（ハ）に圧接され
ている摩擦駆動輪Ｑ・を回転させることにより、自走車
（至）の一定経路曽上の走行が可能となる。その際に、
走行案内面（財）に対する走行車輪（７０Ａ）（７０Ｂ
）、（７１Ａ）（７１Ｂ）の転勤と、規制案内面（４２
Ａ）（４２Ｂ）に対する規制車輪（６６Ａ）　（６６Ｂ
）、（６７Ａ）　（６７Ｂ）の転勤と、浮上り防止面（
４４Ａ）　（４４Ｂ）による浮上り防止とにより、一定
経路一上での走行は振れやガタ付き薯ない状態で安定し
て行なわれる。このような走行中において、各車輪（６
６Ａ）　（６６Ｂ）、（６７Ａ）　（６７Ｂ）、（７０
Ａ）　（７０Ｂ）　、　（７１Ａ）　（７１Ｂ）や摩擦
駆動輪Ｑりの転動などにより粉塵が発生するが、この粉
塵は吸引孔（１［相］を通して吸引タクト（イ）や吸引
管輪内に吸引されることになり、またスリット■にも内
方への吸引力が作用することから粉塵がクリーンルーム
５７１に出る恐れはない。さらに給電や信号授受は、各
レール（４７Ａ）　（４７Ｂ）、０枠に対するローラブ
ラシ（８７Ａ）（８７Ｂ）、（ハ）、（８９Ａ）（８９
Ｂ）の転勤により行なうことから、従来の摺接に比べて
摩損による粉塵の発生は極減する。さらに接触転勤位置
は車輪案内部より上位で且つ横向きであることから、該
接触転勤位置で発生した少量の粉塵は速やかに落下し、
また走行案内部側で発生した大きなｊ三などが各レール
（４７Ａ）（４７Ｂ）、に）に悪影響を及ぼすことがな
く、以って給電や信号授受は常に円滑に行なわれる。こ
のようにＤ−ラブうシ（８７Ａ）　（８７Ｂ入岐、（８
９Ａ）　（８９Ｂ）を使うことによって、軸受０υやカ
ーボンづラシーなど回転支持機］背部で粉塵が発生する
が、ここで０−ラづラシ（８７Ａ）　（８７Ｂ）　、（
ハ）、（８９Ａ）（８９Ｂ）は接触のために一部を露出
させているだけで、回転支持機構部の全てを含む殆んど
を絶縁ケース（ロ）（ハ）内に収納していることから、
発生した粉塵はタクト式し−ル装置ＩＩ内に漏出せず、
さらに粉塵受は部０３に受け貯められる。

重連したような一定経路（７）上での走行中において、
第７図で示すようにカーづ経路に達したとき、カーづ状
の規制案内面（４２Ａ）　（４２Ｂ）に接当する規制車
輪（６６Ａ）　（６６Ｂ）、（６７Ａ）　（６７Ｂ）を
介して両支持板−一が、縦軸心（６２ａ）（６８ａ）の
周りに各別に遊動して、そのカーブに沿うように自動的
に向きを変えることになり、したがって支持板ｌ６４１
Ｔｃ４に取付けた走行車輪（７０Ａ）　（７０Ｂ）、（
７１Ａ）（７１Ｂ）も自動的に向きを変えて常にカーづ
に沿った向きとなる。その結果、走行車輪（７０Ａ）　
（７０Ｂ）、（７１Ａ）　（７１Ｂ）の横すべり移動（
摺接移動）がなくなって粉塵の発生を極減し得る。また
機枠−側に取付けた摩擦駆動輪ｆ！は、横向きの摩擦面
（ハ）に対して接当すべく縦軸心（７７ａ）の周りに回
転自在であり、したがってカーブ経路において横すべり
移動がなくなって粉塵の発生を極減し得る。

発明の効果 上記構成の本発明における荷搬送設備によると、次のよ
うな効果を期待できる。すなわち、カーづ経路を走行中
に射いては規制案内面に接当する規制車輪を介して支持
板が、そのカーブに沿うように自動的に向きを変えるこ
とから、この支持板に取付けた走行車輪も自動的に向き
を変えて常にカーブに沿う向きとなり、したがって横す
べり移動（摺接移動）がなくなって粉塵の発生を極減で
きる。また機枠に定着式の摩擦駆動輪は、横向きの摩擦
面に対して接当すべく縦軸心の周りに回転自在に取付け
たから、この場合もカーブ経路において横すべり移動が
なくなって粉塵の発生を極減できる。このように本発明
によると、直線経路はもとより、カーづ経路においても
粉塵の発生を極減でき、特にクリーンルーム内の搬送用
として好適である。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は従来例を示し、箇１図は縦断側面図、
第２図は縦断正面図、第８図はカーづ経路での概略平面
図、第４図〜第７図は本発明の一実施例を示し、第４図
は縦断側面図、第５図は縦断正面図、第６図は横断平面
図、第７図はカーブ経路での概略平面図である。 Ｃ４０・・・タクト式レール装置、０℃・・・走行案内
面、（４２Ａ）　（４２Ｂ）・・・規制案内面、（４４
Ａ）　（４４Ｂ）・・・浮上り防止面、（ト）・・・自
走車、曽１・一定経路、−・・・機枠、■ＯＩ・・・縦
軸、（６２ａ　）　（６８ａ　）’・・縦軸心、−（→
・・・支持板、（６６Ａ）　（６６Ｂ）、（６７Ａ）　
（６７Ｂ）・・・規制車輪、（７０Ａ）　（７０Ｂ）。 （７１Ａ）　（７１Ｂ）・・・走行車輪、Ｑ４・・・揺
動板、（７１１９・・・摩擦面、ｑ→・・・摩擦駆動輪
、（７７ａ）・・・縦軸心、（７０・・・ばね、翰・・
・直流を一部 代理人　森　本　義　弘

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、左右一対の規制案内面と上向きの走行案内面とを有
   するタクト式レール装置と、このレール装置に案内され
   て走行自在な自走車とからなり、前記自走車は、機枠下
   部の前後に、縦軸心の周りに遊動自在な支持板を夫々設
   け、これら支持板に、前記走行案内面に接当自在な走行
   車輪と、規制案内面に接当自在な左右一対の規制車輪と
   を設け、前記機枠に、前記タクト式レール装置に形成し
   た横向きの摩擦面に対して接当自在で且つ縦軸心の周り
   に回転自在な摩擦駆動輪を設けたことを特徴とする荷搬
   送設備。