JPS60218257A - 保護フイルムの剥離方法 - Google Patents
保護フイルムの剥離方法Info
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- JPS60218257A JPS60218257A JP59072546A JP7254684A JPS60218257A JP S60218257 A JPS60218257 A JP S60218257A JP 59072546 A JP59072546 A JP 59072546A JP 7254684 A JP7254684 A JP 7254684A JP S60218257 A JPS60218257 A JP S60218257A
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- Japan
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- protective film
- adhesive tape
- article
- peeling
- adhesive
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- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0442—Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C63/00—Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
- B29C63/0004—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C63/0013—Removing old coatings
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
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- B65H3/20—Separating articles from piles using adhesives
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- H10P72/7402—Wafer tapes, e.g. grinding or dicing support tapes
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-
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- H10P72/7442—Separation by peeling
- H10P72/7446—Separation by peeling using a peeling wheel
Landscapes
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は例えばシリコンウェハのような薄板状物品の
上面に貼付した粘着フィルムからなる保護フィルムの剥
離方法に関するものである。
上面に貼付した粘着フィルムからなる保護フィルムの剥
離方法に関するものである。
このようなシリコンウェハの場合、表面に保護フィルム
を貼付して保護したのち、フィルムを貼付していない側
を水流を併用して研磨するなどの作業を行ない、その後
不用になった保護フィルムを剥離しなければならない。
を貼付して保護したのち、フィルムを貼付していない側
を水流を併用して研磨するなどの作業を行ない、その後
不用になった保護フィルムを剥離しなければならない。
従来はこのような保護フィルムの剥離作業を手作業で行
なっていたのできわめて手数がかかり非能率なものであ
った。
なっていたのできわめて手数がかかり非能率なものであ
った。
この発明の目的は上記のような間頭を解決することであ
り、粘着テープを利用して簡単に保護フィルムを剥離す
る方法を提供するものである。
り、粘着テープを利用して簡単に保護フィルムを剥離す
る方法を提供するものである。
すなわち、この発明は薄板状物品の表面１こ貼付した粘
着性の保護フィルムの上方に、粘着面を下にした粘着テ
ープを若干の間隙を存して張りわたし、ついで、この粘
着テープを弛めることにより保護フィルムの表面に接着
させて、この粘着テープの粘着力による引はがし力のみ
により保護フィルムを薄板状物品から剥離することを特
徴とするものである。
着性の保護フィルムの上方に、粘着面を下にした粘着テ
ープを若干の間隙を存して張りわたし、ついで、この粘
着テープを弛めることにより保護フィルムの表面に接着
させて、この粘着テープの粘着力による引はがし力のみ
により保護フィルムを薄板状物品から剥離することを特
徴とするものである。
この発明は上記のように、粘着テープを薄板状物品の上
面に若干の間隙を存して張りわたし、そののちこれを弛
ませて保護フィルムに接着させたのち、薄板状物品を保
持しつつ粘着テープを引張る手段を有する簡単な装置多
こより自動的；こ保護フィルムを剥離できるものである
が、この発明の場合、粘着テープの接着時に物品に圧力
を加えず、粘着テープの引きはがし力のみで保護フィル
ムをはがすので、物品が圧迫されたり、持ち上げられた
りして破損するようなおそれが全くないという特有の効
果がある。
面に若干の間隙を存して張りわたし、そののちこれを弛
ませて保護フィルムに接着させたのち、薄板状物品を保
持しつつ粘着テープを引張る手段を有する簡単な装置多
こより自動的；こ保護フィルムを剥離できるものである
が、この発明の場合、粘着テープの接着時に物品に圧力
を加えず、粘着テープの引きはがし力のみで保護フィル
ムをはがすので、物品が圧迫されたり、持ち上げられた
りして破損するようなおそれが全くないという特有の効
果がある。
以下にこの発明方法の詳細を添付図面に基づいて説明す
る。
る。
第１図はこの発明方法を実施する装置の一例である。１
は機台であって、その上部後寄りに多数のシリコンウェ
ハのような薄板状物品２を一定の間隔で積上げたマガジ
ン３を設けるが、このマガジン内の物品２の上面には粘
着フィルムからなる保護フィルム４が貼着しである。
は機台であって、その上部後寄りに多数のシリコンウェ
ハのような薄板状物品２を一定の間隔で積上げたマガジ
ン３を設けるが、このマガジン内の物品２の上面には粘
着フィルムからなる保護フィルム４が貼着しである。
５は無端搬送ベルト６を有する取出し手段、７はベルト
６の駆動プーリであり、図示省略しであるモータにより
駆動される。
６の駆動プーリであり、図示省略しであるモータにより
駆動される。
８はマガジンの受台で適宜の昇降機構９により一定ピッ
チにて下降し、つぎの物品２をベルト６上に載せる作用
を行なう。１０は機台１上の側方に設けた機１箱で、そ
の側面には一対の巻軸１１゜１２を設ける。
チにて下降し、つぎの物品２をベルト６上に載せる作用
を行なう。１０は機台１上の側方に設けた機１箱で、そ
の側面には一対の巻軸１１゜１２を設ける。
巻軸１１には粘着テープ１４を巻き、巻軸１２は物品２
から剥離した保護フィルム４が耐着した粘着テープ１４
を巻きとるものであり、巻軸１１には制動装置、巻軸１
２には駆動装置を設ける。
から剥離した保護フィルム４が耐着した粘着テープ１４
を巻きとるものであり、巻軸１１には制動装置、巻軸１
２には駆動装置を設ける。
１５は機箱１０に設けたガイドローラであり、このガイ
ドローラ１５の下部に適宜の駆動装置によって矢印方向
へ駆動されている引取りローラ１５′があり、このロー
ラ１５′の前方ｌこは真空吸引台１６がある。この吸引
台１６は第６図のように上面に無数の吸引孔を有する中
空体であり、真空吸引装置に弁を介して連通している。
ドローラ１５の下部に適宜の駆動装置によって矢印方向
へ駆動されている引取りローラ１５′があり、このロー
ラ１５′の前方ｌこは真空吸引台１６がある。この吸引
台１６は第６図のように上面に無数の吸引孔を有する中
空体であり、真空吸引装置に弁を介して連通している。
この吸引台１６の前方には上下一対のピーリングローラ
１７があり、粘着テープ１４はこの一対のピーリングロ
ーラ１７間を経て上方へ導かれ、ガイドローラ１８を経
て巻軸１２１こ巻取られる。
１７があり、粘着テープ１４はこの一対のピーリングロ
ーラ１７間を経て上方へ導かれ、ガイドローラ１８を経
て巻軸１２１こ巻取られる。
ピーリングローラ１７は第３図ないし第５図のようにテ
ープ受片２３とともに移動台１９に取付けられたもので
この移動台１９は機箱１０に設けたがイドレール２０に
摺動自在に取付けられ、動力駆動の送りネジあるいはエ
アシリンダなどにより移動する。
ープ受片２３とともに移動台１９に取付けられたもので
この移動台１９は機箱１０に設けたがイドレール２０に
摺動自在に取付けられ、動力駆動の送りネジあるいはエ
アシリンダなどにより移動する。
前記の無端搬送ベルト６により引取りローラ１５′上に
送り込まれ、粘着テープ１４に接触することなく引取り
ローラ１５′により引取られた物品２が吸引台１６上に
くると、巻軸１１，１２は−たん停止する。このとき、
第３図のように物品２上に粘着層２１を下にした粘着テ
ープ１４が若干の間隙を存して張りわたされている。
送り込まれ、粘着テープ１４に接触することなく引取り
ローラ１５′により引取られた物品２が吸引台１６上に
くると、巻軸１１，１２は−たん停止する。このとき、
第３図のように物品２上に粘着層２１を下にした粘着テ
ープ１４が若干の間隙を存して張りわたされている。
ついで、吸引台１６の真空吸引が始まり、物品２を台１
６上に固定したのち、移動台１９が第３ ′図の矢印方
向へ戻り始める。このとき、巻軸１１．１２は停止して
いるから、ローラ１５，１７間 “のテープ１４が第４
図のように弛む。従って、第６図のように物品２上に粘
着層１３を介して貼着しである保護フィルム４上にテー
プ１４が粘着層２１を介して接着される。
６上に固定したのち、移動台１９が第３ ′図の矢印方
向へ戻り始める。このとき、巻軸１１．１２は停止して
いるから、ローラ１５，１７間 “のテープ１４が第４
図のように弛む。従って、第６図のように物品２上に粘
着層１３を介して貼着しである保護フィルム４上にテー
プ１４が粘着層２１を介して接着される。
上記のようＩこテープ１４が弛んで保護フィルム４上に
接着したのちも移動台１９は引きつづき矢印方向へ戻っ
ている。上記のように移動台１９が戻り始めたときから
若干の時間差をおいて、巻軸１２が第１図の矢印方向へ
回転を始めて保護フィルム４の巻上げを開始するが巻軸
１１は制動装置の働きにより回転を阻止されている。
接着したのちも移動台１９は引きつづき矢印方向へ戻っ
ている。上記のように移動台１９が戻り始めたときから
若干の時間差をおいて、巻軸１２が第１図の矢印方向へ
回転を始めて保護フィルム４の巻上げを開始するが巻軸
１１は制動装置の働きにより回転を阻止されている。
従って粘着テープ１４は第５図のように弛んだまま接着
した保護フィルム４をテープ１４の引はがし力のみでは
がしていき、薄板状物品２に応力を与えない。
した保護フィルム４をテープ１４の引はがし力のみでは
がしていき、薄板状物品２に応力を与えない。
こうして保護フィルム４が物品２から殆んど剥離した段
階で巻軸１１の制動および吸引台１６の真空吸引を解除
し、さらに巻軸１２を駆動してテープ１４を巻取りなが
ら、移動台１９を前方に移動させると、粘着テープ１４
の粘着力で、物品２上から大部分剥離された保護フィル
ム４とともに物品２も同方向に移動し、物品２はつぎの
無端搬送ベルト２２上へ載り、保護フィルム４は物品２
から完全に剥がれてテープ１４とともに巻軸１２に巻取
られる。
階で巻軸１１の制動および吸引台１６の真空吸引を解除
し、さらに巻軸１２を駆動してテープ１４を巻取りなが
ら、移動台１９を前方に移動させると、粘着テープ１４
の粘着力で、物品２上から大部分剥離された保護フィル
ム４とともに物品２も同方向に移動し、物品２はつぎの
無端搬送ベルト２２上へ載り、保護フィルム４は物品２
から完全に剥がれてテープ１４とともに巻軸１２に巻取
られる。
また、第８図、第９図に示すように、吸引台１゛６を複
数に分割してベルト２２の後部が吸引台１６間に組み込
まれるようにしてテープ剥離の終了した物品２をベルト
２２により送り出すよう裔こする場合がある。このさい
、受台？、５を上下するようにして、物品２がベルト２
２上にきたとき受台２５を下げると物品２はベルト２２
に確実に乗り移ることができる。
数に分割してベルト２２の後部が吸引台１６間に組み込
まれるようにしてテープ剥離の終了した物品２をベルト
２２により送り出すよう裔こする場合がある。このさい
、受台？、５を上下するようにして、物品２がベルト２
２上にきたとき受台２５を下げると物品２はベルト２２
に確実に乗り移ることができる。
また、粘着テープ１４は第７図に示すように物品２の中
］こ比較して狭いものでもよい。
］こ比較して狭いものでもよい。
上記のように保護フィルム４が剥がされて７：ベルト２
２上に載った物品２はつぎのマガジン２６内に送り込ま
れる。
２上に載った物品２はつぎのマガジン２６内に送り込ま
れる。
このマガジン２６も前記マガジン３とほぼ類似するもの
で、適宜の昇降機構２４により昇降される受台２５上醤
こ載り、物品２がマガジン２６内に１枚挿入される毎に
受台２５が１ピツチ上昇するものである。
で、適宜の昇降機構２４により昇降される受台２５上醤
こ載り、物品２がマガジン２６内に１枚挿入される毎に
受台２５が１ピツチ上昇するものである。
上記の作用においてピーリングローラ１７を有ローラ１
５′上ｌこ送り込まれてくる。
５′上ｌこ送り込まれてくる。
実施例の装置では上記の作用の繰返しによりっぎつぎと
物品２上の保護フィルム４が粘着テープ１４の粘着力に
より剥離され、剥がされたフィルム４はテープ１４とと
もに巻軸に巻取られ、フィルム４を剥離した物品２はマ
ガジン２６に収容されるので、従来きわめて手数がかか
つていた保護フィルム４の剥離作業が全自動的に能率よ
く行われ、しかも物品２に圧力をかけて破損させるよう
なことがない。
物品２上の保護フィルム４が粘着テープ１４の粘着力に
より剥離され、剥がされたフィルム４はテープ１４とと
もに巻軸に巻取られ、フィルム４を剥離した物品２はマ
ガジン２６に収容されるので、従来きわめて手数がかか
つていた保護フィルム４の剥離作業が全自動的に能率よ
く行われ、しかも物品２に圧力をかけて破損させるよう
なことがない。
なお、実施例は物品の供給およびフィルム剥離後の物品
の送り出しをベルトコンベヤにて行なっているが、物品
を吸着器により搬送する方式あるいはプッシャーを用い
てもよい。
の送り出しをベルトコンベヤにて行なっているが、物品
を吸着器により搬送する方式あるいはプッシャーを用い
てもよい。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の剥離方法を実施する装置の一例を示
す一部縦断正面図、第２図は同上の平面図、第３図、第
４図、第５図は同上要部の作用を示す一部切欠拡大正面
図、第６図は粘着状態の拡大縦断面図、第７図は真空吸
引台の平面図、第８図は真空吸引台附近の他の例の縦断
側面図、第９図は同上の正面図である。 ２・・・薄板状物品、４・・・保護フィルム、１１ 、
１２・・・巻軸、１４・・・粘着テープ、１６・・・真
空吸引台、１７・・・ピーリングローラ。 特許出願人 日東電気工業株式会社 同 代理人 鎌 １） 文 二 手続補正書（自船 昭和５９年５月２３日 １″″“ゞ８“２１”ｔ １、事件の表示 昭和５９年特許願第７２５４６ 号 ２、発明の名称 保護フィルムの剥離方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号氏名銘称）（
３９６）日東電気工業株式会社５゜ 昭和 年 月 日 （発送日） ６、補正により増加する発明の数 ７、補正の対象 明細書及び図面 ８、補正の内容 補正の内容 １ 明細書第乙頁２行目からグ行目の［前記の１＼Ｘ＼
）引取られた」を下記の通り補正します。 １−＃ｒｉ記のマガジン３から送り出された物品２は取
出し手段５のベルト６により所定の速度で取出され、引
取りローラ１５“により加速されて慣性により吸引台１
６上へ送り込まれる。こうして」 ２ 同第ｇ頁Ｓ行目と乙行目の間に下記の通り加入しま
す。 ［また、第１０図のようにベルト２２を引取りローラ１
５°に接近させると品物２の移動が円滑に行なわれる。 その他に第１１図のように引取りローラ１５１を廃止し
、そのかわりに無端搬送ヘルド６とベルト２２の間に無
端ベルト２７を設けてこれの間欠駆動により物品２の吸
引台１６上への送り込みや送り出しを行なう場合、ある
いは第１２図のようにベルト２２を廃止し、無端搬送ベ
ルト６のみを装置の全長に亘って設け、適当な個所にベ
ルト６を支える複数のキャリヤローラ２日を配置してこ
のベルト６を駆動プーリ７により間欠駆動する場合もあ
シ、これらの場合は何れも第９図に示すような吸引台１
６を用いる。」 ３ 同第２頁７９行目より末行の「縦断側面図・・・・
・・・・・同上の」を下記の通り補正します。 「正面図、第９図は同上の側面図、第１０図。 第１１図、第１２図はさらに他の例の」４ 第１０図、
第１１図、第１２図を別紙の通シ追加します。
す一部縦断正面図、第２図は同上の平面図、第３図、第
４図、第５図は同上要部の作用を示す一部切欠拡大正面
図、第６図は粘着状態の拡大縦断面図、第７図は真空吸
引台の平面図、第８図は真空吸引台附近の他の例の縦断
側面図、第９図は同上の正面図である。 ２・・・薄板状物品、４・・・保護フィルム、１１ 、
１２・・・巻軸、１４・・・粘着テープ、１６・・・真
空吸引台、１７・・・ピーリングローラ。 特許出願人 日東電気工業株式会社 同 代理人 鎌 １） 文 二 手続補正書（自船 昭和５９年５月２３日 １″″“ゞ８“２１”ｔ １、事件の表示 昭和５９年特許願第７２５４６ 号 ２、発明の名称 保護フィルムの剥離方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号氏名銘称）（
３９６）日東電気工業株式会社５゜ 昭和 年 月 日 （発送日） ６、補正により増加する発明の数 ７、補正の対象 明細書及び図面 ８、補正の内容 補正の内容 １ 明細書第乙頁２行目からグ行目の［前記の１＼Ｘ＼
）引取られた」を下記の通り補正します。 １−＃ｒｉ記のマガジン３から送り出された物品２は取
出し手段５のベルト６により所定の速度で取出され、引
取りローラ１５“により加速されて慣性により吸引台１
６上へ送り込まれる。こうして」 ２ 同第ｇ頁Ｓ行目と乙行目の間に下記の通り加入しま
す。 ［また、第１０図のようにベルト２２を引取りローラ１
５°に接近させると品物２の移動が円滑に行なわれる。 その他に第１１図のように引取りローラ１５１を廃止し
、そのかわりに無端搬送ヘルド６とベルト２２の間に無
端ベルト２７を設けてこれの間欠駆動により物品２の吸
引台１６上への送り込みや送り出しを行なう場合、ある
いは第１２図のようにベルト２２を廃止し、無端搬送ベ
ルト６のみを装置の全長に亘って設け、適当な個所にベ
ルト６を支える複数のキャリヤローラ２日を配置してこ
のベルト６を駆動プーリ７により間欠駆動する場合もあ
シ、これらの場合は何れも第９図に示すような吸引台１
６を用いる。」 ３ 同第２頁７９行目より末行の「縦断側面図・・・・
・・・・・同上の」を下記の通り補正します。 「正面図、第９図は同上の側面図、第１０図。 第１１図、第１２図はさらに他の例の」４ 第１０図、
第１１図、第１２図を別紙の通シ追加します。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 薄板状物品の表面に貼付した粘着性の保護フィル
ムの上方１こ、粘着層を下にした粘着テープを若干の間
隙を存して張りわたし、ついで、この粘着テープを弛め
ることにより保護フィルムの表面に接触させて、この粘
着テープの粘着力による引きはがし力のみで保護フィル
ムを薄板状物品から剥離することを特徴とする保護フィ
ルムの剥離方法。 ２、 真空吸引台上に吸着固定した薄板状物品の上面に
貼付した保護フィルムの上方１こ、粘着層を下にした粘
着テープを挾んだ一対のピーリングローラを走らせて、
粘着テープと若干の間隙を存して保護フィルム上に張り
わたしたのち、このピーリングローラを逆行させて粘着
テープを弛ませることにより、粘着テープを保護フィル
ム上に接触させ、ついで、ピーリングローラを元の位置
まで戻すことにより粘着テープとともに保護フィルムを
剥離するとともに、この粘着テープを巻上げることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の保護フィルムの剥
離方法。 ３、剥離時におけるピーリングローラの戻り開始からフ
ィルム巻上げ開始までに時間差を設けて巻上げのスター
トを遅らせることにより薄板状物品に機賊的な影響を与
えずに保護フィルムを引きはがすことを特徴とする特許
請求の範囲第２項記載の保護フィルムの剥離方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59072546A JPS60218257A (ja) | 1984-04-10 | 1984-04-10 | 保護フイルムの剥離方法 |
| GB08416030A GB2157193B (en) | 1984-04-10 | 1984-06-22 | Process for peeling protective film off a thin article |
| US06/626,083 US4631103A (en) | 1984-04-10 | 1984-06-29 | Process for peeling protective film off a thin article |
| DE3425192A DE3425192C2 (de) | 1984-04-10 | 1984-07-09 | Verfahren und Vorrichtung zum Abziehen eines Schutzfilms von einem dünnen Gegenstand |
| FR8410999A FR2562528B1 (fr) | 1984-04-10 | 1984-07-11 | Procede pour decoller un film protecteur d'un objet mince et appareil pour sa mise en oeuvre |
| US06/900,952 US4732642A (en) | 1984-04-10 | 1986-08-27 | Apparatus for peeling protective film off a thin article |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59072546A JPS60218257A (ja) | 1984-04-10 | 1984-04-10 | 保護フイルムの剥離方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60218257A true JPS60218257A (ja) | 1985-10-31 |
| JPH0319149B2 JPH0319149B2 (ja) | 1991-03-14 |
Family
ID=13492460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59072546A Granted JPS60218257A (ja) | 1984-04-10 | 1984-04-10 | 保護フイルムの剥離方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60218257A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS639122A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-14 | Teikoku Seiki Kk | シリコンウエハ−保護用マスキングシ−トの剥離方法 |
| JPS63112361A (ja) * | 1986-10-28 | 1988-05-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カバ−フイルム剥離装置 |
| JPH0429562U (ja) * | 1990-06-29 | 1992-03-10 | ||
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| JPH0319149B2 (ja) | 1991-03-14 |
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