JPS60231306A - 非晶質磁気光学層 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明はハードディスク、フロッピーディスク、ドキュ
メントファイル等に使用される光磁気記録媒体の磁気光
学層に関するものであり、特に磁気光学効果に優れた非
晶質磁気光学層に係るものである。

従来技術 近年、半導体レーザー光により磁気記録を行う光磁気記
録媒体が高密度記録用として種々研死されている。特に
高密度記録用として使用されるためには磁性膜がその膜
面に垂直な方向に磁化容易軸を有することが必要とされ
る。従来、これら光磁気記録媒体に用いられる磁性膜と
してはＧｄ−Ｃｏ　、Ｇｄ−Ｆｅ　、　Ｔｂ−Ｆｅ　、
　Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅ　。

Ｔｂ　−Ｄｙ−Ｆｅ等の非晶質合金を用いたもの等が知
られているが、これら非晶質合金磁性体を用いた光磁気
記録媒体は記録感度が高く半導体レーザー光によって高
速度（周波数、ｔｉ、ＭＨ，において）で記録できると
いう利点はあるものの磁気光学効果が十分満足できるも
のではない問題点を有するものである。かかることから
Ｔｂ−Ｆ・−Ｃｏよりなる３元系非晶質磁性合金膜を用
いることによりカー回転角θＫを大きくして磁気光学効
果を向上させることが提案されている。このような非晶
質合金磁性体を用いて光磁気記録媒体を作るには一般に
ガラス板のような基板上に前記磁性体を真空蒸着、スパ
ッタリング等の方法で付着させて磁性膜を形成している
。こうして得られる光磁気記録媒体への記録・再生は次
のようにして行われる。すなわち、記録は磁性膜のキュ
リ一温度または補償温度近傍における温度変化に対応し
た保磁力の急激な変化特性を利用して情報信号で変調さ
れたレーザー光を磁性膜に照射加熱して磁性膜表面磁化
の向きを反転させることにより行われる。また再生はこ
うして反転記録された磁性膜のカー回転角を読出すこと
により行われる。このように非晶質合金磁性体のように
光が透過しにくい場合の情報信号の記録・再生はカー効
果を利用するものである。

カー効果とは磁性体の表面で光が反射する際の偏光面の
回転ｆｊ４．象であり、＆）極（ｐｏｌａｒ）効果、ｂ
）縦（１ｏｎｇ１ｔｕｄｉｎａｌ　）効果、Ｃ）横（ｔ
ｒａｎｓｖｅｒｓｅ　）効果があり、特に非晶質合金磁
性体の場合にはａの極効果が用いられ、そのカー回転角
θＫを利用して再生が行われる。従ってカー回転角θＫ
が少しでも大きくなればそれだけ磁気光学効果が増し、
再生特性が向上することになる。

しかしながら、前述のＴｂ　−Ｆｅ−Ｃｏよりなる３元
系非晶質合金磁性体のカー回転角θにはその組成により
０，８１もしくは０．３３程度であり、光再生特性の向
上が望まれている現況にある。

目　的 本発明の目的は膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する
非晶質合金磁性体におけるカー回転角θＫをより増大せ
しめ、それにより光再生特性を向上させた非晶質磁気光
学層を提供することにある。

構成 本発明は膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有するＴｂ−
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｍ　（ただし、ＭはＳｎ　、　Ｂｉ　。

Ｎｌ　、　Ｃｒ　、　Ｃｕのうちから選ばれる少くとも
１種）からなる非晶質磁気光学層である。なお、本発明
の磁気層は垂直磁気異方性を有することカー必要であり
、かつ高保磁力を有することか望ましく、この理由から
本発明磁気Ｊ−を構成する磁性体の組成式を （Ｔｂｘ　（”ｘ−ｙＣＧｙ　）ｔ−ｘ　）１４Ｍｚト
シテ表わした場合、０．１　＜、　ｘ≦Ｏ１４、０，０
１≦ｙ　＜、Ｏ−’　ｓｏ、ｏｏｚ≦２≦０．１である
ことが好ましい。

本発明非晶質磁気光学層は適宜の支持体上に真空蒸着、
スパッタリング、イオンシレーティング等の方法で膜厚
０．０１−ＩＩｔｍ程度に形成する。

スパッタリングにて磁性体の薄膜形成を行う場合には、
各磁性体成分を各個にあるいは組合わせてターゲットと
し、磁性体組成はターゲット表面の面積比でコントロー
ルするようにする。

支持体としては、ガラス、プラスチック、セラミック等
が使用できる。また本発明非晶質磁気光学層と支持体と
の間、あるいは上面に保護層、断熱層、反射層等が任意
に設けられる。

効　果 このようにして得られるＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ−Ｍ（ただし
、ＭはＳｎ　、　Ｂｉ　、　Ｎｉ　、　Ｏｒ　、　Ｃｕ
のうちから選ばれる少くとも１ｍ）からなる垂直磁化容
易軸を有する非晶質磁気光学層の回転角θＫがＭを含有
していないものに比べて太きいため、光再生時の光再生
特性が良好となり、Ｓ／Ｎ比が向上するとともに記録ビ
ット数も増大し、高密度記録再生可能な光磁気記録媒体
が得られることになる。

以下に実施例を示す。

　５　一 実施例 スライドガラス支持体上にスパッタリング法によりＴｂ
−Ｆ・−Ｃｏ−Ｍからなる非晶質磁気光学層を形成した
。ターゲットはコンポジット法を用い、Ｆｅ６．。ｃｏ
ｏ、１合金円板上にＴｂおよびＭのチップをのせて構成
し２、各組成比をターゲット表面ノ面積比でコントロー
ルしつつ膜を形成した。

各磁性体膜の作成条件を次表に示す。

（以下余白） 　６　− 各非晶質磁気光学層は保磁力Ｈｅの大きい補償組成付近
の（Ｆｌｌｏ、９　Ｃ００Ｊ　）０．８　Ｔｂｏ、ｔも
しくは（Ｆｅｏ、ｓ　ＣＯｏ、ｔ　）ｏ、ｙｏ　Ｔｂｏ
、ｔｔの組成においてＴｂの一部なＭで置換するという
形、すなわち（Ｆｅ１）、＠　Ｃｏｏ、ｔ　）ｏ、ｓ（
ＴｂＩ　−ｘ　Ｍｘ　）ｏ、ｔ　＊　（Ｆｅ６１ｇ　Ｃ
ｏ６，１　）ｏ、ｙｏ　（Ｔｂｔ−ｘＭｘ）ｏ、鵞ｔ　
もしくは（ＦｅＯ，Ｑ　Ｃｏｇ、１　）ｏ、ｔｔ　（（
Ｔｂｏ、ｕＭｏＡａ　）ｒｘＭｘ）ｏ、ｔｔとし作製し
た。

膜の評価は基板（支持体）側からＨｅ−Ｎｏレーザー（
λ＝６３３ｎｍ）を照射し、カー効果を用いてカー回転
角θにおよび保磁力Ｈａをめた。

それらの結果を第１図〜第１θ図に示す。これらの図よ
りＸ、すなわちＭの量を増加させることによりＨａは小
さくなるもののθには大きくなることがわかる。各実施
例ではＴｂの一部なＭで置換したため、Ｍ量を増加させ
ると異方性に寄与しているＴｂの電が減り、Ｈａが小さ
くなるためＭ量をそれ程増大できなかったが、（Ｆｅｏ
、ｅ　Ｃｏｏ、１）とＴｂの量の比を一定にしてＭ量を
増すようにすればＨｃの低下はある程度抑えられＭ量を
増大させることができる。

ここで改めて各実施例における非晶質磁気光学層におい
て最もカー回転角θＫが大きくなる場合のＴｂ　−Ｆｅ
−Ｃｏ　−Ｍ膜組成、カー回転角θにおよびＭ無含有の
場合とのθにの増加量をまとめて次表に示す。

（以下余白） 　９−

【図面の簡単な説明】

第１図〜第１０図は実施例における各磁性体験中のＭの
量を変えた場合のθにおよびＨｅの変化図である １１− 第３図 第５図 （ｉ−１’Ｏ，（ｌ　Ｃｏｏ、＋　）ｏ７ｑ　（Ｔｂ＋
−ｚ　Ｃｕｘ）ｏ２＋中のＸ第４図 （Ｆｌ！０．ｑｃＯｏ、＋）ｏ７ｑ　（Ｔｂ　１−ｃ　
Ｃｒｒ）ｏ２＋中のＸ第７図 第８図 特開昭ＧＯ−２３１３０６（６） 第９図 第１０図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｌ　膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有するＴｂ−Ｆｅ
   　−Ｃｏ　−Ｍ　（ただしゝ、ＭはＳｎ　、　Ｂ１　、
   　Ｎｉ。 Ｃｒ　、　Ｃｕのうちから選ばれる少くとも１ｍ）から
   なる非晶質磁気光学層。