JPS60238905A - 制御系異常検出装置 - Google Patents
制御系異常検出装置Info
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- JPS60238905A JPS60238905A JP59094213A JP9421384A JPS60238905A JP S60238905 A JPS60238905 A JP S60238905A JP 59094213 A JP59094213 A JP 59094213A JP 9421384 A JP9421384 A JP 9421384A JP S60238905 A JPS60238905 A JP S60238905A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- control system
- signal
- feedback signal
- section
- test
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0218—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterised by the fault detection method dealing with either existing or incipient faults
- G05B23/0256—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterised by the fault detection method dealing with either existing or incipient faults injecting test signals and analyzing monitored process response, e.g. injecting the test signal while interrupting the normal operation of the monitored system; superimposing the test signal onto a control signal during normal operation of the monitored system
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、例えば油圧制御系の異常動作及び故障等を
高感度に検出する制御系異常検出装置に関する。
高感度に検出する制御系異常検出装置に関する。
従来より、例えば油圧制御系における制御弁の故障及び
油漏れ等の異常を検出するには、第1図に示すような異
常検出装置11が使用される。この異常検出装置11は
、制御系12の制御目標値Xを入力し、制御系モデル1
3によって制御系12の出力予測値Yaを算出し、この
予測値Yaと実際の制御系12の出力値Yとから制御[
111m差E (=Ya −Y)をめる。次に、異常判
定装置14によって上記制御偏差Eが予め設定される偏
差許容範囲内であるか否かを調べ、制御ll偏差Fが許
容範囲を逸脱するとき、制御系12は異常であると判定
して表示装置15にこれを表示するものである。
油漏れ等の異常を検出するには、第1図に示すような異
常検出装置11が使用される。この異常検出装置11は
、制御系12の制御目標値Xを入力し、制御系モデル1
3によって制御系12の出力予測値Yaを算出し、この
予測値Yaと実際の制御系12の出力値Yとから制御[
111m差E (=Ya −Y)をめる。次に、異常判
定装置14によって上記制御偏差Eが予め設定される偏
差許容範囲内であるか否かを調べ、制御ll偏差Fが許
容範囲を逸脱するとき、制御系12は異常であると判定
して表示装置15にこれを表示するものである。
すなわち、この異常検出装置11は、制御系モデル13
と実際の制御系12とにそれぞれ実時間で同じ入力信号
を与え、その時の出力信号の差を検出することにより、
制御系12の異常を検出するものである。尚、上記のよ
うな演算及び判定等は、通常ディジタルコンピュータで
処理される。
と実際の制御系12とにそれぞれ実時間で同じ入力信号
を与え、その時の出力信号の差を検出することにより、
制御系12の異常を検出するものである。尚、上記のよ
うな演算及び判定等は、通常ディジタルコンピュータで
処理される。
ところで、上記のような従来の制御系異常検出装置では
、制御系モデル13の精度によって検出感度が左右され
ることになる。すなわち、制御系モデル13の特性と実
際の制御系12の特性との誤差が大きいと、正常時にお
いても制n偏差Eが大きくなるため誤診断を行なう恐れ
がある。
、制御系モデル13の精度によって検出感度が左右され
ることになる。すなわち、制御系モデル13の特性と実
際の制御系12の特性との誤差が大きいと、正常時にお
いても制n偏差Eが大きくなるため誤診断を行なう恐れ
がある。
一般に制御系は、微分方程式でモデル化されるが、モデ
ルの精度を高めるためには微分方程式の次数を上げる必
要がある。一方、微分方程式の次数を上げると計算が複
雑になり、これをディジタルコンピュータで演算する場
合には演算時間が長くなる。したがって、油圧制御系の
ように数10Hz〜数100Hzの高速応答性を有する
制御系にこの装置を適用するには、演算時間が長時間と
なるため制御系モデル13を簡略化せざるを得ない。
ルの精度を高めるためには微分方程式の次数を上げる必
要がある。一方、微分方程式の次数を上げると計算が複
雑になり、これをディジタルコンピュータで演算する場
合には演算時間が長くなる。したがって、油圧制御系の
ように数10Hz〜数100Hzの高速応答性を有する
制御系にこの装置を適用するには、演算時間が長時間と
なるため制御系モデル13を簡略化せざるを得ない。
ところが、この制御系モデル13を簡略化すると、前述
したように正常時においても制御偏差Eが大きくなり、
誤診断する恐れがあるので、異常判定装置14の許容値
を大きく設定する必要がある。しかしながら、この場合
、制御系の重故障のように制御偏差Eが非常に大きいと
きには検出可能であるが、劣化や軽故障のように制御偏
差Eが小さいときには検出不可能であり、検出感度に問
題が生じてしまうことになる。
したように正常時においても制御偏差Eが大きくなり、
誤診断する恐れがあるので、異常判定装置14の許容値
を大きく設定する必要がある。しかしながら、この場合
、制御系の重故障のように制御偏差Eが非常に大きいと
きには検出可能であるが、劣化や軽故障のように制御偏
差Eが小さいときには検出不可能であり、検出感度に問
題が生じてしまうことになる。
この発明は上記のような問題を改善するためになされた
もので、制御系の劣化や故障の程度によらず、常に感度
良く異常を検出することのできる制御系異常検出装置を
提供することを目的とする。
もので、制御系の劣化や故障の程度によらず、常に感度
良く異常を検出することのできる制御系異常検出装置を
提供することを目的とする。
すなわち、この発明による制御系異常検出装置は、制御
系診断用のステップ状のデスト信号を発生するテスト信
号発生部と、このテスト信号を制御系に与えそのフィー
ドバック信号を検出するフィードバック信号検出手段と
、このフィードバック信号をディジタル信号に変換して
記憶づる第1の記憶部と、この記憶したフィードバック
信号から無駄時間及び立ち上がり時間及びオーパージコ
ート量を算出する演算部と、前記制御系が正常状態であ
るときの前記演算部の演算結果を基準値として記憶する
第2の記憶部と、前記制御系の診断時に得られるフィー
ドバック信号の演算結果と前記基準値とを比較する比較
部と、この比較部での比較結果が許容範囲内であるか否
かを判定する判定部とを具備してなることを特徴とする
ものである。
系診断用のステップ状のデスト信号を発生するテスト信
号発生部と、このテスト信号を制御系に与えそのフィー
ドバック信号を検出するフィードバック信号検出手段と
、このフィードバック信号をディジタル信号に変換して
記憶づる第1の記憶部と、この記憶したフィードバック
信号から無駄時間及び立ち上がり時間及びオーパージコ
ート量を算出する演算部と、前記制御系が正常状態であ
るときの前記演算部の演算結果を基準値として記憶する
第2の記憶部と、前記制御系の診断時に得られるフィー
ドバック信号の演算結果と前記基準値とを比較する比較
部と、この比較部での比較結果が許容範囲内であるか否
かを判定する判定部とを具備してなることを特徴とする
ものである。
以下、第2図乃至第4図を参照してこの発明の一実施例
を詳細に説明する。
を詳細に説明する。
第2図はこの発明に係る制御系異常検出装置を位置制御
油圧サーボ系に適用する場合の構成を示すもので、21
は位置制御系、22は異常検出装置である。
油圧サーボ系に適用する場合の構成を示すもので、21
は位置制御系、22は異常検出装置である。
まず、上記位置制御系21は、目標値Xとフィードバッ
ク値Yとの偏差を演算器21aでめた後これを増幅器2
1bで増幅し、この増幅信号に応じて電気油圧サーボ弁
21cの開度を制御し、この開度に応じた油を流入及び
流出することによって油圧シリンダ及び負荷21dを駆
動する。また、位置検出器21eで油圧シリンダの位置
を検出し、フィードバック値Yとして負帰還することに
より、目標値XとフィードバックIIYとが一致するよ
うに制5− 御する。
ク値Yとの偏差を演算器21aでめた後これを増幅器2
1bで増幅し、この増幅信号に応じて電気油圧サーボ弁
21cの開度を制御し、この開度に応じた油を流入及び
流出することによって油圧シリンダ及び負荷21dを駆
動する。また、位置検出器21eで油圧シリンダの位置
を検出し、フィードバック値Yとして負帰還することに
より、目標値XとフィードバックIIYとが一致するよ
うに制5− 御する。
また、上記異常検出装置22は、テスト許可信号Zが供
給されることにより所定のテスト信号Xtを発生するテ
スト信号発生部22aと、テスト信号Xtをトリガ信号
としてフィードバック信号Yを定められた時間間隔でサ
ンプリング及びホールドするサンプルホールド回路22
bと、このυンプルホールド回路22bと同期してアナ
ログ信号Yをディジタル信号に変換するアナログ・ディ
ジタル〈以下A/Dと記す)変換器22cと、このA/
D変換器22cと同期してディジタル信号に変換された
フィードバック信号Yを定められた時間間隔で記憶する
メモリ22dと、このメモリ22dのデータから無駄時
間、立上がり時間、オーバーシュート量等を演算する演
算部22eと、この演算部22eの演算結果を記憶する
不揮発メモリ22fと、この不揮発メモリ22fへ制御
系が正常な場合の基準データの入力を行なうスイッチ2
2Qと、上記不揮発メモリ22fに記憶しておいた基準
データと演算部22eの演算結果とを比較する比較部2
2hと、この比6− 較部22hの出力が予め設定される許容範囲Sにあるか
否かにより制御系が異常か否かを判定する判定部22i
と、この判定結果を表示する表示部22jとから構成さ
れるものである。
給されることにより所定のテスト信号Xtを発生するテ
スト信号発生部22aと、テスト信号Xtをトリガ信号
としてフィードバック信号Yを定められた時間間隔でサ
ンプリング及びホールドするサンプルホールド回路22
bと、このυンプルホールド回路22bと同期してアナ
ログ信号Yをディジタル信号に変換するアナログ・ディ
ジタル〈以下A/Dと記す)変換器22cと、このA/
D変換器22cと同期してディジタル信号に変換された
フィードバック信号Yを定められた時間間隔で記憶する
メモリ22dと、このメモリ22dのデータから無駄時
間、立上がり時間、オーバーシュート量等を演算する演
算部22eと、この演算部22eの演算結果を記憶する
不揮発メモリ22fと、この不揮発メモリ22fへ制御
系が正常な場合の基準データの入力を行なうスイッチ2
2Qと、上記不揮発メモリ22fに記憶しておいた基準
データと演算部22eの演算結果とを比較する比較部2
2hと、この比6− 較部22hの出力が予め設定される許容範囲Sにあるか
否かにより制御系が異常か否かを判定する判定部22i
と、この判定結果を表示する表示部22jとから構成さ
れるものである。
以下、上記のように構成した異常検出装置22の動作に
ついて説明する。
ついて説明する。
まず、制御系が正常な状態であるとき、テスト許可信号
Zをテスト信号発生部22aに与えると、このテスト信
号発生部22aは第3図(a)に示すようなステップ状
のテスト信号Xtを発生する。
Zをテスト信号発生部22aに与えると、このテスト信
号発生部22aは第3図(a)に示すようなステップ状
のテスト信号Xtを発生する。
このテスト信号>(1は、その振幅及び周期が予め設定
されており、位置制御系21の目標値Xに並列に入力さ
れる。この位置制御系21では、ステップ状のテスト信
号Xtに応答して、第3図(b)に示すようなフィード
バック信号Yを出力するようになる。
されており、位置制御系21の目標値Xに並列に入力さ
れる。この位置制御系21では、ステップ状のテスト信
号Xtに応答して、第3図(b)に示すようなフィード
バック信号Yを出力するようになる。
また、異常検出装置22では、テスト信号Xtがトリガ
信号となってサンプルホールド回路22bがフィードバ
ック信号Yのサンプリングを開始すると共に、A/D変
換器220でディジタル信号に変換し、メモリ22dに
記憶し、さらに演算部22eによって、上記メモリ22
dに記憶したデータから第3図(b)に示すように無駄
時間Td1 、 Td2と、立上がり、立ち下がり時間
Tri 、Tr2と、オーバーシュート量ΔY1.ΔY
2とを演算する。
信号となってサンプルホールド回路22bがフィードバ
ック信号Yのサンプリングを開始すると共に、A/D変
換器220でディジタル信号に変換し、メモリ22dに
記憶し、さらに演算部22eによって、上記メモリ22
dに記憶したデータから第3図(b)に示すように無駄
時間Td1 、 Td2と、立上がり、立ち下がり時間
Tri 、Tr2と、オーバーシュート量ΔY1.ΔY
2とを演算する。
ここで、第3図(b)中Tdlは、テスト信号><1が
立上がってからフィードバック値Yが定常値に対し10
%変化するまでの時間であり、制御系の無駄時間を表わ
す。また、Triはフィードバック値Yが定常値の10
%から90%に達するまでの時間であり、制御系の立上
がり時間を表わす。そして、ΔY1は、フィードバック
値Yが定常値に対して何%行き過ぎたかであり、制御系
のオーバーシュート量を表わす。一方、Td2 。
立上がってからフィードバック値Yが定常値に対し10
%変化するまでの時間であり、制御系の無駄時間を表わ
す。また、Triはフィードバック値Yが定常値の10
%から90%に達するまでの時間であり、制御系の立上
がり時間を表わす。そして、ΔY1は、フィードバック
値Yが定常値に対して何%行き過ぎたかであり、制御系
のオーバーシュート量を表わす。一方、Td2 。
Tr2.ΔY2は、テスト信号Xtが立ち下がる場合の
無駄時間、立ち下がり時間、オーバーシュート量を表わ
すものであり、Tdl 、Tri 。
無駄時間、立ち下がり時間、オーバーシュート量を表わ
すものであり、Tdl 、Tri 。
ΔY1と同様の手段によりめられるものである。
このようにして演算部22eでめた演算結果は、制御系
が正常な状態での基準値として、スイッチ22Qを介し
て不揮発メモリ22fに記憶しておく。
が正常な状態での基準値として、スイッチ22Qを介し
て不揮発メモリ22fに記憶しておく。
次に、制御系を診断するには、制御系がスタンバイ状態
(稼働していない状態)でテスト信号Xtの入力が可能
な条件であるときに、異常検出装置22にテスト許可信
号Zを与え、デスト信号発生部22aで前述のようにス
テップ状のテスト信号Xtを発生させ、サンプルホール
ド回路221)、A/D変換器22c及びメモリ22d
を前述のように作動させて、フィードバック値Yをメモ
リ22dに記憶する。そして、演算部22eで前述と同
様に無駄時間Td1 、Td2 、立ち上がり時間Tr
1゜Tr2、オーバーシュート量ΔYl、ΔY2を算出
し、この算出値を予め不揮発メモリ22fに記憶してお
いた正常状態のときの基準値と比較部22hで比較し、
算出値と基準値との差が許容範囲S内であるか否かを判
定部22iで判定する。ここで、算出値と基準値との差
が許容範囲S内にないとき、゛制−系異常″と判定され
て表示部22jにされるようになる。
(稼働していない状態)でテスト信号Xtの入力が可能
な条件であるときに、異常検出装置22にテスト許可信
号Zを与え、デスト信号発生部22aで前述のようにス
テップ状のテスト信号Xtを発生させ、サンプルホール
ド回路221)、A/D変換器22c及びメモリ22d
を前述のように作動させて、フィードバック値Yをメモ
リ22dに記憶する。そして、演算部22eで前述と同
様に無駄時間Td1 、Td2 、立ち上がり時間Tr
1゜Tr2、オーバーシュート量ΔYl、ΔY2を算出
し、この算出値を予め不揮発メモリ22fに記憶してお
いた正常状態のときの基準値と比較部22hで比較し、
算出値と基準値との差が許容範囲S内であるか否かを判
定部22iで判定する。ここで、算出値と基準値との差
が許容範囲S内にないとき、゛制−系異常″と判定され
て表示部22jにされるようになる。
つまり、例えば第4図(a)に示すようなテス9−
ト信号X1を与えたとき、制御系が正常であれば第4図
(b)に示すようなフィードバック信号Yが得られるが
、制御系の応答性が劣化したような場合には、上記フィ
ードバック信号Yは、第4図(C)に示すように、立ち
上がり、立ち下がり時間Tri 、Tr2が正常時と比
較して大きくなると共に、オーバーシュート量ΔY1.
ΔY2が小さくなるか若しくはオーバーシュートなしと
なる。
(b)に示すようなフィードバック信号Yが得られるが
、制御系の応答性が劣化したような場合には、上記フィ
ードバック信号Yは、第4図(C)に示すように、立ち
上がり、立ち下がり時間Tri 、Tr2が正常時と比
較して大きくなると共に、オーバーシュート量ΔY1.
ΔY2が小さくなるか若しくはオーバーシュートなしと
なる。
また、制御系が不安定になった場合には、上記フィード
バック信号Yは、第4図(d)に示すように、立ち上が
り、立ち下がり時間Tr1.Tr2が小さくなると共に
、オーバーシュート―ΔY1゜ΔY2が大きくなる。
バック信号Yは、第4図(d)に示すように、立ち上が
り、立ち下がり時間Tr1.Tr2が小さくなると共に
、オーバーシュート―ΔY1゜ΔY2が大きくなる。
このため、無駄時間、立ち上がり、立ち下がり時間、オ
ーバーシュート量のいずれかが正常時の基準における許
容範囲を逸脱したか否かを調べることによって、制御系
の判定を行なうことができるようになる。また、テスト
信号Xtを数回入力して無駄時間Td、立ち上がり、立
ち下がり時間Tr、オーバーシュート量ΔYの各平均値
をめ=10− るようにすれば、Td、Tr、ΔYの精度が向上するの
で、判定部22tの許容範囲の設定を狭くすることがで
き、これによって制御系のわずかな異常も検出すること
ができるようになる。
ーバーシュート量のいずれかが正常時の基準における許
容範囲を逸脱したか否かを調べることによって、制御系
の判定を行なうことができるようになる。また、テスト
信号Xtを数回入力して無駄時間Td、立ち上がり、立
ち下がり時間Tr、オーバーシュート量ΔYの各平均値
をめ=10− るようにすれば、Td、Tr、ΔYの精度が向上するの
で、判定部22tの許容範囲の設定を狭くすることがで
き、これによって制御系のわずかな異常も検出すること
ができるようになる。
したがって、上記のように構成した制御系異常検出装置
は、定期的に制御系の診断を行なうことによって、制御
系の劣化のようなわずがな異常も検出できるようになり
、さらに重故障が発生する前に保全対策を行なうことも
できるようになる。
は、定期的に制御系の診断を行なうことによって、制御
系の劣化のようなわずがな異常も検出できるようになり
、さらに重故障が発生する前に保全対策を行なうことも
できるようになる。
以上詳述したようにこの発明によれば、制御系異常検出
装置に対して、制御系診断用のステップ状のテスト信号
を発生するテスト・信号発生部と、このテスト信号を制
御系に与えそのフィードバック信号を検出するフィード
バック信号検出手段と、このフィードバック信号をディ
ジタル信号に変換して記憶する第1の記憶部と、この記
憶したフィードバック信号から無駄時間及び立ち上がり
時間及びオーバーシュート量を締出する演算部と、前記
制御系が正常状態であるときの前記演算部の演算結果を
基準値として記憶する第2の記憶部と、前記制御系の診
断時に得られるフィードバック信号の演算結果と前記基
準値とを比較する比較部と、この比較部での比較結果が
許容範囲内であるか否かを判定する判定部とを具備させ
ることにより、制御系の劣化や故障の程度によらず、常
に感度良く異常を検出することのできる制御系異常検出
装置を提供することができる。
装置に対して、制御系診断用のステップ状のテスト信号
を発生するテスト・信号発生部と、このテスト信号を制
御系に与えそのフィードバック信号を検出するフィード
バック信号検出手段と、このフィードバック信号をディ
ジタル信号に変換して記憶する第1の記憶部と、この記
憶したフィードバック信号から無駄時間及び立ち上がり
時間及びオーバーシュート量を締出する演算部と、前記
制御系が正常状態であるときの前記演算部の演算結果を
基準値として記憶する第2の記憶部と、前記制御系の診
断時に得られるフィードバック信号の演算結果と前記基
準値とを比較する比較部と、この比較部での比較結果が
許容範囲内であるか否かを判定する判定部とを具備させ
ることにより、制御系の劣化や故障の程度によらず、常
に感度良く異常を検出することのできる制御系異常検出
装置を提供することができる。
第1図は従来の制御系異常検出装置の構成を示すブロッ
ク回路図、第2図はこの発明に係る制御だめの波形図で
ある。 21・・・位置制御系、22・・・異常検出装置、22
a・・・テスト信号発生部、22b・・・サンプルホー
ルド回路、22c・・・A/D変換器、22d・・・メ
モリ、22e・・・演算部、22f・・・不揮発メモリ
、22g・・・スイッチ、2211・・・比較部、22
i・・・判定部、22j・・・表示部、X・・・目標値
、Y・・・フィードバック信号、Z・・・テスト許可信
号、Xt・・・テスト信号、S・・・許容範囲、Td・
・・無駄時間、Tr・・・立上がり、立ち下がり時間、
ΔY・・・オーバーシュー1−―。 出願人復代理人 弁理士 鈴江武彦 13− 第1− 2
ク回路図、第2図はこの発明に係る制御だめの波形図で
ある。 21・・・位置制御系、22・・・異常検出装置、22
a・・・テスト信号発生部、22b・・・サンプルホー
ルド回路、22c・・・A/D変換器、22d・・・メ
モリ、22e・・・演算部、22f・・・不揮発メモリ
、22g・・・スイッチ、2211・・・比較部、22
i・・・判定部、22j・・・表示部、X・・・目標値
、Y・・・フィードバック信号、Z・・・テスト許可信
号、Xt・・・テスト信号、S・・・許容範囲、Td・
・・無駄時間、Tr・・・立上がり、立ち下がり時間、
ΔY・・・オーバーシュー1−―。 出願人復代理人 弁理士 鈴江武彦 13− 第1− 2
Claims (1)
- 制御系診断用のステップ状のテスト信号を発生するテス
ト信号発生部と、このテスト信号を制御系に与えそのフ
ィードバック信号を検出するフィードバック信号検出手
段と、このフィードバック信号をディジタル信号に変換
して記憶する第1の記憶部と、この記憶したフィードバ
ック信号から無駄II間及び立ち上がり時間及びオーバ
ーシュート量を算出する演算部と、前記制御系が正常状
態であるときの前記aIi算部の演算結果を基準値とし
て記憶する第2の記憶部と、前記制御系の診断時に得ら
れるフィードバック信号の演算結果と前記基準値とを比
較する比較部と、この比較部での比較結果が許容範囲内
であるか否かを判定する判定部とを具備してなることを
特徴とする制御系異常検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59094213A JPS60238905A (ja) | 1984-05-11 | 1984-05-11 | 制御系異常検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59094213A JPS60238905A (ja) | 1984-05-11 | 1984-05-11 | 制御系異常検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60238905A true JPS60238905A (ja) | 1985-11-27 |
Family
ID=14104034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59094213A Pending JPS60238905A (ja) | 1984-05-11 | 1984-05-11 | 制御系異常検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60238905A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03149607A (ja) * | 1989-11-07 | 1991-06-26 | Mitsubishi Electric Corp | サーボモータ制御装置 |
-
1984
- 1984-05-11 JP JP59094213A patent/JPS60238905A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03149607A (ja) * | 1989-11-07 | 1991-06-26 | Mitsubishi Electric Corp | サーボモータ制御装置 |
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