JPS60239328A - 石英ガラスの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明はゾル−ゲル法による石英ガラスの製造方法に関
する。

〔従来技術〕

石英ガラスはＩＣ製造工程中でるつぼやボード、拡散炉
等に使用されるようになり、その有用性が認められ、更
に水酸基の少ないものや光学的均一性の良いものが開発
されたことによって、各種の光学的用途に使用されるよ
うになり、特に光通信用の石英ガラスファイバーが最近
注目されている。

このように石英ガラスは種々の分野で使用これその利用
範囲も広がっている。しかし、石英ガラスの製造コスト
は高く、高価なことが問題になっている。安価で高品質
の石英ガラスを製造する方法として、ゾル−ゲル法が試
みられている。

ゾル−ゲル法は基本的には金属アルコキシドを加水分解
し、ゾル化・乾燥させて得られたドライゲルを加熱する
非溶融ガラス製造法である。最近この技術を用いて、高
品質で大型（４ｉｎｃｈφ以上）の石英ガラスが製造で
きるようになった。

“　ドライゲルの作製Ｉ：ｔｖＩ４整したゾルを秤量し
て容器に移し、適当な開口率で穴を開けたふたをし、ふ
たを固定した後、加熱乾燥することにより行なっている
。焼結１−た石英ガラスの平面性を確保する為、乾燥前
に一定期間密閉状態で保持する方法も提案されている。

量産において、以上のように１個ずつ秤量、ふ几換え、
ふたの固定、容器の移動を行な）ことけ作業上の低能率
にとどまらず、各容器間のデッドスペースにより必要以
上に大型の乾燥装置を必要とする。更忙、乾燥速度を個
々には制御しきれないなどの問題がある。

１　６５、 本発明けこのような問題点を解決するもので、一度に多
数のドライゲルが能率よく、乾燥速度を同一にして作製
できる乾燥容器を提供することにある。

〔概要〕

本発明の石英ガラスの製造方法は、少なくともアルキル
シリケートを原料とするゾル−ゲル法による石英ガラス
の製造方法において、調整したゾルを仕切り板で区切っ
た大型容器に移し、一括して乾燥を行ない、多数のドラ
イゲルを同時に作製することを特徴とする。

仕切り板をゾル移入後に容器内に置いてゾルを区切れば
、個々に秤量する必要がなくなり、更に効果的である。

仕切り板が容器の高きより低ければ容器内の湿度が均一
になり、乾燥速度が同一になる為更によい。

乾燥容器及び仕切り板の材料は、疎水性・平滑性が重要
視され、ある程度の耐熱性もめられる。

それ由、ポリプロピレン・ポリ塩化ビニル・ポリエチレ
ン・テフロン（デュポン社の登録商標）等のポリマーが
望ましい。また金属板などをポリマーでコーティングし
て用いてもよい。

〔実施例〕

以下、本発明について実施例に基すき詳細に説明する。

実施例１ 第１図は仕切り板を装着したポリ塩化ビニル製容器であ
る。仕切った１マスけ２０ｃｒｎＸ　２５ｃｍｘ　５　
ａｎであり、容器の高ζけ１０αである。

エチルシリケート５．３１とα０５規定塩酸水溶液４．
３ｔを激しく攪拌し、無色透明の均一溶液を得た後、そ
こにシリカ微粉末Ｃｋｔｔｒｏｓｉｌ　０Ｘ−５０）　
１．８麺を徐々に添加し、充分に攪拌した。このゾルを
アンそニア水を用いてＰＨ４，５Ｋｉｉｌ整した後、５
００ｇずつ秤量して容器に移した。２日間密閉して放置
した後、開口率１係のふたに換え、接着テープで固定し
た。この容器を乾燥機に移し、６０℃で乾燥させると一
週間後に容器内湿度が２０係以下に低下して、乾燥終了
を示した。

このようにして、１４α×１Ｚ５傭Ｘ　Ｏ，７ａｍ　の
ドライゲルが２０枚同時に作製できた。このドライゲル
を１８０°Ｑ４ｒの昇温速度で、１２５０℃まで加熱す
ると１０（ＸＸ１２．５儂Ｘ０．５ｃｍの石英ガラスが
製造できた。

平面性は極めて良好だっ之。

実施例２ 第２図は仕切り板が分離できるポリ塩化ビニル製容器で
ある。寸法は実施例１の図１と同様である。

容器内に実施例１と同様の方法で調整したゾルを１０助
移入した後、仕切り板を真上から靜かに置いてゾルを区
切った。２日間密閉して放置すると、ゾルはゲル化した
後、クラックが入ることなく５チはど収縮した。その後
実施例１と同様の乾燥・焼結方法により１０ｃＩｎＸ　
１２．５ｃｒｎｘ　ｌ　５ｃｍの石英ガラスが２０枚製
造できた。

実施例３ 第３図は内径２０ｃＩｎ、高さ５傭のポリ塩化ビニル製
仕切９板である。

第２図（ロ））の容器内に実施例１と同様の方法で調整
したゾルを１０Ｋｆ移入した後、２７個の仕切り板を真
上から静かに置いてイルを区切った。２日間密閉して放
置すると、ゾルはゲル化した後、りラックが入ることな
く５チはど収縮した。その後実施例１と同様の乾燥・焼
結方法により、直径１０儂の石英ガラスが２７枚製造で
きた。

尚、本実施例ではポリ塩化ビニル製容器を用いたが、他
のポリ材料を用いても同様な結果が得られるし、より大
型化も可能である。又、他の調整方法を行なったゾルに
対しても、本発明は適用できる。

〔効果〕

以上述べたように本発明によれば、少なくともアルキル
シリケートを原料とするゾル−ゲル法による石英°ガラ
スの製造方法において、調整したゾルを仕切り板を用い
た大型容器に移し一括して乾燥することにより、一度に
多数のドライゲルを能率よくへ乾燥速匿を同一にして作
製できる為、量産性の向上、歩留りの向上などに多大の
効果を有するものである。

また、仕切り板を変えることにより請求める形状の石英
ガラスを無駄なく製造することが可能である。量産性に
関しても、容器の大型化等によりかなりのレベルまで対
応できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による仕切り板を装着した容器を示す図
である。第２図は本発明による分離可能・な容器を示す
。に）は容器、の）は仕切り板を示す。 第３図は、丸型の石英ガラスを製造する為の仕切り板を
示す図である。 以　上 出願人　株式会社　諏訪精工舎 代理人　弁理士　最上　務 第１図 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）　少なくともアルキルシリケートを原料とするゾル
   −ゲル法による石英ガラスの製造方法において、調整し
   たゾルを仕切り板で区切った大型容器に移し、一括して
   乾燥を行ない、多数のドライゲルを同時に作成すること
   を特徴とする石英ガラスの製造方法。 ２）ゾルを大型容器に移した後、仕切り板を置いてゾル
   を区切ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   石英ガラスの製造方法。 ３）前記仕切り板の高さを前記大型容器の全高よりも小
   さくしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第
   ２項記載の石英ガラスの製造方法。 ４）前記大型容器および仕切り板の材料とじてポリマー
   を用いたことを特徴とする特許請求の範囲第１〜第３項
   のいずれかに記載の石英ガラスの製造方法。