JPS6024032A - オリエンテ−シヨンフラツト位置決め装置 - Google Patents
オリエンテ−シヨンフラツト位置決め装置Info
- Publication number
- JPS6024032A JPS6024032A JP58130841A JP13084183A JPS6024032A JP S6024032 A JPS6024032 A JP S6024032A JP 58130841 A JP58130841 A JP 58130841A JP 13084183 A JP13084183 A JP 13084183A JP S6024032 A JPS6024032 A JP S6024032A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- susceptor
- positioning
- orientation flat
- belt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はオリエンチーシロンフラット位置決め装置に係
り、特にウェハのオリエンチーシロンフラットを位置決
めするのに好適なオリエンテーションフラゾト位置決め
装置に関するものである。
り、特にウェハのオリエンチーシロンフラットを位置決
めするのに好適なオリエンテーションフラゾト位置決め
装置に関するものである。
従来、ウェハのオリエンテーションフラット（以下、オ
リフラと略）を位置決めするオリフラ位置決め装置とし
ては、第１図、第２図に示すような、ウェハ１０の外周
縁に沿って配設されると共にモータ２０ａで回転駆動さ
れる回転ピン４と、ウェハｌＯの外周縁に沿って配設さ
れた位置決めピンｎと、モータ２０ｂでベルト幻が常時
回転（この場合は、反時計回り）駆動されるベルト搬送
装置必と、ウェハ１０のオリタラ１１の検出確認用の光
学センサδと、ベルトるの外側に配設されたウェハガイ
ドがとで構成された装置が慣用されている。
リフラと略）を位置決めするオリフラ位置決め装置とし
ては、第１図、第２図に示すような、ウェハ１０の外周
縁に沿って配設されると共にモータ２０ａで回転駆動さ
れる回転ピン４と、ウェハｌＯの外周縁に沿って配設さ
れた位置決めピンｎと、モータ２０ｂでベルト幻が常時
回転（この場合は、反時計回り）駆動されるベルト搬送
装置必と、ウェハ１０のオリタラ１１の検出確認用の光
学センサδと、ベルトるの外側に配設されたウェハガイ
ドがとで構成された装置が慣用されている。
ベルト囚に載置されたウェハ１ｏはベルト囚の搬１０の
搬送が停止される。この状態でモータ２０ｍにより回転
ピン２１を、この場合は１時計回りに回転駆動すること
ウェハ１０は矢印３１方向ヘウエハガイド謳でガイドさ
れて回転される。この回転により応する位置に到達した
時点で回転ピン２１とウェハｌＯの外周側面との接触が
断たれウェハｌＯの回転が停止される。この結果、ウェ
ハｌＯのオリフラ１１は位置決めビンｎで位置決めされ
光学センサ５で検出確認される。
搬送が停止される。この状態でモータ２０ｍにより回転
ピン２１を、この場合は１時計回りに回転駆動すること
ウェハ１０は矢印３１方向ヘウエハガイド謳でガイドさ
れて回転される。この回転により応する位置に到達した
時点で回転ピン２１とウェハｌＯの外周側面との接触が
断たれウェハｌＯの回転が停止される。この結果、ウェ
ハｌＯのオリフラ１１は位置決めビンｎで位置決めされ
光学センサ５で検出確認される。
二のようなオリフラ位置決め装置では次のような欠点が
あった。
あった。
（１） オリフラのわずかな部分を検出するために光学
センサの誤動作を生じやすくオリフラ位置決めの正確さ
に欠ける。
センサの誤動作を生じやすくオリフラ位置決めの正確さ
に欠ける。
（２）光学センサの調整が難かしい。
本発明の目的は、光学センサを用いずにオリフラ位置決
めを行うことで、正確にオリフラを位置決めできるオリ
フラ位置決め装置を提供することにある。
めを行うことで、正確にオリフラを位置決めできるオリ
フラ位置決め装置を提供することにある。
本発明は、オリフラ位置決め装置を、オリフラを機械的
に位置決めする位置決め手段とオリフラを位置決めされ
たウェハな受取り位置決め手段の外側へ搬出する搬出手
段とで構成したことを特徴とするもので、オリフラ位置
決めを光学センサを用いずに機械的に行えるようにした
ものである。
に位置決めする位置決め手段とオリフラを位置決めされ
たウェハな受取り位置決め手段の外側へ搬出する搬出手
段とで構成したことを特徴とするもので、オリフラ位置
決めを光学センサを用いずに機械的に行えるようにした
ものである。
本発明の一実施例を第３図、第４図により説明する。
第３図、第４図、オリフラ位置決め装置は、オへ
リフラを機械的に位置決めする位置決め手段旬とオリフ
ラを位置決めされたウェハを受取り位置決め手段旬の外
側へ搬出する搬出手段園とで構成されている。
ラを位置決めされたウェハを受取り位置決め手段旬の外
側へ搬出する搬出手段園とで構成されている。
位置決め手段旬は、ウェハｌＯの外周縁を一部包含可能
で、かつ、オリフラ位置決め部４１を有する段差社が形
成されたＵ字形のサセプタ４と、サセプタ化にウェハｌ
Ｏが包含された時点でウェハｌＯを回動させる回動手段
１例えば、第３図に示すようにウェハｌＯがサセプタ４
に包含された時点で一方のベルト４４ａのみがウニ／１
１Ｏの裏面に接触可能で、かつ、サセプタ化のオリフラ
位置決め部４１と対応しサセプタ化の中心より偏心した
位置で回動自在に設けられたローラ５１と同一レベルで
設けられた他のベルト搬送装置！４５とで構成されてい
る。この場合、他のベルト搬送装置ｆ４５は、サセプタ
化にウェハ１０を搬入する機能も有している。
で、かつ、オリフラ位置決め部４１を有する段差社が形
成されたＵ字形のサセプタ４と、サセプタ化にウェハｌ
Ｏが包含された時点でウェハｌＯを回動させる回動手段
１例えば、第３図に示すようにウェハｌＯがサセプタ４
に包含された時点で一方のベルト４４ａのみがウニ／１
１Ｏの裏面に接触可能で、かつ、サセプタ化のオリフラ
位置決め部４１と対応しサセプタ化の中心より偏心した
位置で回動自在に設けられたローラ５１と同一レベルで
設けられた他のベルト搬送装置！４５とで構成されてい
る。この場合、他のベルト搬送装置ｆ４５は、サセプタ
化にウェハ１０を搬入する機能も有している。
搬出手段圓は、ローラ５１と、ベルト５２の一端がサセ
プタ化に包含されたウェハｌＯを受取り可能でベルト５
２の他端がサセプタ４の外周面より少なくともウェハｌ
Ｏの直径以上離されサセプタ化のオリフラ位置決め部４
１と直交する方向でサセプタ６の −下方に設けられた
ベルト搬送装置臼と、ベルト搬送装置臼の他端（第３図
、第４図では左端）に対応して設けられたウェハストッ
パ８と、ウェハストッパ８にオリフラ１１が当接したウ
ェハ１０を検出する光学センサ謁とで構成されている。
プタ化に包含されたウェハｌＯを受取り可能でベルト５
２の他端がサセプタ４の外周面より少なくともウェハｌ
Ｏの直径以上離されサセプタ化のオリフラ位置決め部４
１と直交する方向でサセプタ６の −下方に設けられた
ベルト搬送装置臼と、ベルト搬送装置臼の他端（第３図
、第４図では左端）に対応して設けられたウェハストッ
パ８と、ウェハストッパ８にオリフラ１１が当接したウ
ェハ１０を検出する光学センサ謁とで構成されている。
オリフラ１１を有するウェハｌＯは他のベルト搬送値［
４５のベルト４４ｔ１，４４ｂに載置され矢印友方向へ
搬送された後にサセプタ化に搬入される。サセプタ０に
搬入されたウェハｌＯは、段差稔、他のベルト搬送装置
Ｎ４５の一方のベルト４４ｍ及びローラ５１に支持され
た状態で、その外周縁の一部をサセプタ化に包含される
。この時点で、ウェハｌＯは、他のベルト搬送装置６の
一方のベルト４４ａの搬送力によりサセプタ化の内周面
にガイドされてオリフラ位置決め部４１と一致するまで
回動させられる。
４５のベルト４４ｔ１，４４ｂに載置され矢印友方向へ
搬送された後にサセプタ化に搬入される。サセプタ０に
搬入されたウェハｌＯは、段差稔、他のベルト搬送装置
Ｎ４５の一方のベルト４４ｍ及びローラ５１に支持され
た状態で、その外周縁の一部をサセプタ化に包含される
。この時点で、ウェハｌＯは、他のベルト搬送装置６の
一方のベルト４４ａの搬送力によりサセプタ化の内周面
にガイドされてオリフラ位置決め部４１と一致するまで
回動させられる。
第３図に示すようにオリフラ１１がオリフラ位置決め部
４１と一致、すなわち、オリフラ位置決めが完了すれば
、ウェハ１０は、ローラ５１を支点として自重により第
４図に示すように、その一部がベルト搬送袋［５３のベ
ルト５２に当接するまで傾斜する。
４１と一致、すなわち、オリフラ位置決めが完了すれば
、ウェハ１０は、ローラ５１を支点として自重により第
４図に示すように、その一部がベルト搬送袋［５３のベ
ルト５２に当接するまで傾斜する。
この状態でベルト５２を回転（この場合は、反時計回り
）駆動することでオリフラ位置決めが完了したウェハ１
０はベルト５２に受取られてサセプタ０の外側へ搬出さ
れ矢印お方向へ搬送された後に、第３ｒ５１Ｊに仮想線
で示すようにオリフラ１１がウェハストッパ聞に当接す
ることで停止させられる。その後、このウェハｌＯは、
光学センサ団によりその存在を検出される。
）駆動することでオリフラ位置決めが完了したウェハ１
０はベルト５２に受取られてサセプタ０の外側へ搬出さ
れ矢印お方向へ搬送された後に、第３ｒ５１Ｊに仮想線
で示すようにオリフラ１１がウェハストッパ聞に当接す
ることで停止させられる。その後、このウェハｌＯは、
光学センサ団によりその存在を検出される。
本実施例のようなオリフラ位置決め装置では。
光学センサを用いずにサセプタに搬入され外周縁の一部
をサセプタに包含されたウェハを回動させサセプタのオ
リフラ位置決め部にオリフラを一致させてオリフラ位置
決めを行えるので、正確にオリフラを位置決めできると
共に、光学センサの調整を不要にできるという効果が得
られる。
をサセプタに包含されたウェハを回動させサセプタのオ
リフラ位置決め部にオリフラを一致させてオリフラ位置
決めを行えるので、正確にオリフラを位置決めできると
共に、光学センサの調整を不要にできるという効果が得
られる。
本発明は、以上説明したようにオリフラ位置決め装置を
、ウェハのオリフラを機械的に位置決めする位置決め手
段と、オリフラを位置決めされたウェハを受取り位置決
め手段の外側へ搬出する搬出手段とで構成したことで、
光学センサを用いずにオリフラ位置決めを行うことがで
きるので、正確にオリフラを位置決めできるという効果
がある
、ウェハのオリフラを機械的に位置決めする位置決め手
段と、オリフラを位置決めされたウェハを受取り位置決
め手段の外側へ搬出する搬出手段とで構成したことで、
光学センサを用いずにオリフラ位置決めを行うことがで
きるので、正確にオリフラを位置決めできるという効果
がある
第１図は、従来のオリフラ位置決め装置の平面図、第２
図は、第１図のＡ−Ａ視断面図、第３図は１本発明のオ
リフラ位置決め装置の一実施例を示す平面図、第４図は
、第３図のＢ−Ｂ視断面図である。
図は、第１図のＡ−Ａ視断面図、第３図は１本発明のオ
リフラ位置決め装置の一実施例を示す平面図、第４図は
、第３図のＢ−Ｂ視断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 ウェハのオリエンチーシロンフラットを機械的に
位置決めする位置決め手段と、オリエンテーションフラ
ットを位置決めされたウェハな受取り前記位置決め手段
の外側へ搬出する搬出手段とで構成したことを特徴とす
るオリエンテーションフラット位置決め装置。 ２、前記位置決め手段を、前記ウェハの外周縁を一部包
含可能でオリエンチーシロンフラット位置決め部を有す
る段差が形成されたＵ字形のサセプタと、該サセプタに
ウェハが包含された時点で該ウェハを回動させる回動手
段とで構成し、前記搬出手段を、サセプタのオリエンチ
ーシロンフラット位置決め部と対応しサセプタの中心よ
り偏心した位置で回動自在に設けられたローラと、一端
がサセプタに包含されたウェハな受取り可能で他端がサ
セプタの外周面より少な鳴ともウニへの直径以上離され
サセプタのオリエンテーラ１ンフラ１８位置決め部と直
交する方向テサセプタの下方に設けられたベルト搬送装
置と、該ベルト搬送装置の他端に対応して設けられたウ
ェハストッパと、該ウェハストッパにオリエンチーシロ
ンフラットが当接したウェハな検出する光学センサとで
構成した特許請求の範囲第１項記戦のオリエンテーショ
ンフラット位置決め装置。 ３．１ｆｆ記回動装置を、ｉｆｆ記ウェハが前記サセプ
タに包合された時点で一方のベルトのみがウェハの裏面
に接融可能で、かつ、前記ローラと同一レベルで設けら
れた他のベルト搬送装置とした特許請求の範囲第２項記
載のオリエンテーションフラット位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58130841A JPS6024032A (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | オリエンテ−シヨンフラツト位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58130841A JPS6024032A (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | オリエンテ−シヨンフラツト位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6024032A true JPS6024032A (ja) | 1985-02-06 |
Family
ID=15043948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58130841A Pending JPS6024032A (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | オリエンテ−シヨンフラツト位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6024032A (ja) |
-
1983
- 1983-07-20 JP JP58130841A patent/JPS6024032A/ja active Pending
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