JPS60245132A - 電子ビ−ム露光装置等の電子レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の＠する技術分野〕 この発明は電子ビーム露光装置等の電子レンズに関する
。

〔従来技術とその問題点〕

一般に、電子ビーム露光装置に用いる電子レンズとして
は電磁レンズが広く使用されているが、この電磁レンズ
には数アンペアにも及ぶ電流を通じる為大量の熱を発生
し多くの不都合が生じている。すなわち励磁コイルから
発生する熱が被露光試料に到達して該被露光試料を熱膨
張させ露光されたパターンの寸法が所望の値から変化し
てしまうとか、発生ずる熱の為電子光学系の各部が熱膨
張して軸合わせが狂ったり特性が変化してパターンを誤
った位置に露光してしまう等である。

これらの不都合を除く為、従来は第１図に示す様にコイ
ル巻き枠１−’Ｐレンズヨーク２にパイプ３を嘔り付け
、該パイプ３の内側に温度調整した水を通す方法が用い
られていた。

しかしこの方法では、パイプ外壁の温度が水温より高（
なる事は避けられず、またパイプを溶接等でコイル巻き
枠やレンズヨークに取り付ける際に隙間な（配置する事
は加工上非常に困難であっ、た。

近年では電子ビーム露光装置で露光される回路パターン
が微細化されるに従って前述のパターン寸法や位置に許
容される誤差も小さくなっており、従来のコイル冷却方
法では不充分となって来ていた。

〔発明の目的〕

この発明は以上の欠点を改良し発熱により生じる不都合
をｆ、Ｋ＜シた電、子レンズを提供することにある。

〔発明の概要〕

本究明は、励磁コイルをシリコンオイル中に浸漬し、そ
れを温度調整するものである。

〔発明の実施例〕

第２図は本発明による電子ビーム蕗光装置等の電子レン
ズの一実施例で、励磁コイル４を巻いたコイル巻き枠５
にジャケット６を組付ケ、該ジャケット内に温度調整機
７で温度調整したシリコンオイル８をポンプ９により流
入せしめ、励磁コイルを浸漬し、励起コイルで発生した
熱を受けて昇温したシリコンオイルを再び温度調整機に
戻す構成となっている。

斯くすれば励磁コイル４で発生した熱はほとんど全部が
シリコンオイル８に伝達され、ジャケット６’Ｐレンズ
ヨークｌＯの温度上昇はシリコンオイルの温度上昇より
低く押える事ができる。１夕ｕえば励起コイルが３０ワ
ツトの発熱量がある場合、シリコンオイルの温度上昇％
　０．１°Ｃ以下に押える為には約１０リツトル／分の
シリコンオイルを流す必要があるがこの程度の熱交換器
及びポンプは容易に実現でき、ジャケットやレンズヨー
クの温度上昇を０．１℃以下にする事ができる。

また、シリコンオイルを１更用するのは低粘度のものが
得られる為循環ポンプの負荷が小さい、熱伝導率が大な
為冷却能力にすぐれる、電気絶縁１生が良い為コイル弔
電１線の被覆にあるピンホールからの電流リークがない
、化学的に不活性な為周囲の材料を侵したり発錆させな
い等の性簀のバランスが他の冷却液、例えば水や変圧器
油等に比べて優れているからである。本究明は電子ビー
ム露光装置ｔこ限定されるものではなく、例えば電子顕
微鏡、電子ビームプローバ等励磁コイルの発熱の影響を
受けた場合に不都合が起きる装置に於いても同様の効果
を持つ事は明らかである。

〔発明の効果〕

以上の説明の如く、本発明により励磁コイルの発熱によ
る不都合をほとんど皆無にする事ができた。

【図面の簡単な説明】

第１１図は従来用いられていた電子ビーム繕光装置等の
電子レンズの断面図、第２図は本発明による亀子ビーム
鑵光装置等の電子レンズの一実施例を不す断面図である
。 ■・・・コイル巻き枠、２・・・レンズヨーク、３・・
・パイプ、４・・・励磁コイル、５・・・コイル巻き枠
、６・・・ジャケット、７・・・温度調整機、８・・・
シリコンオイル、９・・・ポンプ、１０・・・レンズヨ
ーク。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 励磁コイルをシリコンオイル中に浸漬し、該シリコンオ
   イルを温度調整することを特徴とＴる遊子ビーム蕗光装
   置等の電子レンズ。