JPS6025143U - 半導体熱処理炉 - Google Patents
半導体熱処理炉Info
- Publication number
- JPS6025143U JPS6025143U JP11691283U JP11691283U JPS6025143U JP S6025143 U JPS6025143 U JP S6025143U JP 11691283 U JP11691283 U JP 11691283U JP 11691283 U JP11691283 U JP 11691283U JP S6025143 U JPS6025143 U JP S6025143U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- treatment furnace
- semiconductor heat
- storage
- vertical heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の横型の半導体熱処理炉を説明する断面図
、第２図および第３図は本考案の半導体熱処理炉を説明
する断面図である。 １１は半導体ウェハー、１２は収納治具、１３は縦型加
熱炉、１４は移動装置、１５は石英反応管、１６は加熱
ヒーター、１７はガス注入口、１８は石英キャップ、１
９は伝達棒である。
、第２図および第３図は本考案の半導体熱処理炉を説明
する断面図である。 １１は半導体ウェハー、１２は収納治具、１３は縦型加
熱炉、１４は移動装置、１５は石英反応管、１６は加熱
ヒーター、１７はガス注入口、１８は石英キャップ、１
９は伝達棒である。
Claims (2)
- （１）複数の半ぞ体ウェハーを水平に積み重ねた収納治
具と該収納治具をつるして配置し加熱する同心円状の複
数の縦型加熱炉と前記収納治具を垂下させ且つ上下方向
に往復運動させる移動装置とを具備して成る半導体熱処
理炉。 - （２）実用新案登録請求の範囲第１項に於いて、前記収
納治具を前記縦型加熱炉内を移動装置により回転させて
成る半導体熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11691283U JPS6025143U (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | 半導体熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11691283U JPS6025143U (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | 半導体熱処理炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6025143U true JPS6025143U (ja) | 1985-02-20 |
Family
ID=30269326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11691283U Pending JPS6025143U (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | 半導体熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6025143U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6370142U (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-11 |
-
1983
- 1983-07-26 JP JP11691283U patent/JPS6025143U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6370142U (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6025143U (ja) | 半導体熱処理炉 | |
| JPS6025144U (ja) | 半導体熱処理炉 | |
| JPS6025142U (ja) | 半導体熱処理炉 | |
| JPS61247048A (ja) | 縦型拡散炉用ボ−ト | |
| JPS60136136U (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS58162634U (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS59117138U (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS6016535U (ja) | 気相成長装置 | |
| JPS5988458U (ja) | 均熱炉の排ガスポ−ト | |
| JPS5926238U (ja) | Ｃｖｄ装置 | |
| JPS60124032U (ja) | 半導体ウエハ処理用縦型炉 | |
| JPS6111773U (ja) | 拡散炉 | |
| JPS59182930U (ja) | 半導体ウエハ拡散炉 | |
| JPS63119234U (ja) | ||
| JPS6066028U (ja) | 炉芯管 | |
| JPS60111042U (ja) | 熱処理装置 | |
| JPS58151661U (ja) | 真空焼入装置 | |
| JPS5897153U (ja) | 高炉々体レンガの乾燥装置 | |
| JPS60103142U (ja) | ベルヌイ型半導体基板搬送装置 | |
| JPS6066027U (ja) | 拡散容器 | |
| JPS59117139U (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS5948040U (ja) | 熱処理装置 | |
| JPS5995625U (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS60165462U (ja) | 反応管装置 | |
| JPS6018541U (ja) | 気相成長装置 |